JP3222729B2 - 倍率調整機能を備えた光学部材検査装置 - Google Patents
倍率調整機能を備えた光学部材検査装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、画像処理技術を用い
て主としてプラスチック製の透明な光学部材を検査する
装置、および方法に関し、特に撮影倍率を調整するため
の技術に関する。
て主としてプラスチック製の透明な光学部材を検査する
装置、および方法に関し、特に撮影倍率を調整するため
の技術に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の画像処理技術を用いた検査装置
では、テレビカメラにより撮影された原画像から被検物
の領域の画像を分離し、分離された画像に基づいて被検
物が検査される。検査装置のテレビカメラは、倍率の調
整機能を有しており、倍率は、表示画面上で検査に適し
たサイズの画像が得られるよう被検物の大きさに応じて
検査者により調整される。
では、テレビカメラにより撮影された原画像から被検物
の領域の画像を分離し、分離された画像に基づいて被検
物が検査される。検査装置のテレビカメラは、倍率の調
整機能を有しており、倍率は、表示画面上で検査に適し
たサイズの画像が得られるよう被検物の大きさに応じて
検査者により調整される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
検査方法では、撮影倍率が検査者の主観的な判断によっ
て決定されるため、同一の部品に対する撮影倍率がそれ
ぞれの検査者によって異なる可能性がある。撮影倍率の
違いは、テレビカメラで撮影された部品画像の図形とし
ての大きさの違いとして現れるため、同一の部品に対し
て撮影画像が変化すると、画像処理により欠陥等を判断
する際の判定基準が変化し、判定の均一性を保つことが
困難となる。
検査方法では、撮影倍率が検査者の主観的な判断によっ
て決定されるため、同一の部品に対する撮影倍率がそれ
ぞれの検査者によって異なる可能性がある。撮影倍率の
違いは、テレビカメラで撮影された部品画像の図形とし
ての大きさの違いとして現れるため、同一の部品に対し
て撮影画像が変化すると、画像処理により欠陥等を判断
する際の判定基準が変化し、判定の均一性を保つことが
困難となる。
【0004】
【発明の目的】この発明は、上述した従来技術の課題に
鑑みてなされたものであり、客観的な基準に基づいて撮
影倍率を設定することができる倍率調整機能を備えた光
学部材検査装置、およびその方法を提供することを目的
とする。
鑑みてなされたものであり、客観的な基準に基づいて撮
影倍率を設定することができる倍率調整機能を備えた光
学部材検査装置、およびその方法を提供することを目的
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる光学部
材検査装置は、光源からの光束を拡散透過率が低い中心
領域と拡散透過率が高い周辺領域とを有する拡散手段に
より拡散させて被検物に入射させ、被検物を透過した光
束が達する位置に設けられた撮影手段により被検物を撮
影する。撮影倍率は、撮影された画像の部品領域が、予
め光学部材の種類に応じて登録された外径、推奨倍率の
値から計算された基準枠に一致するよう自動的に調整さ
れる。
材検査装置は、光源からの光束を拡散透過率が低い中心
領域と拡散透過率が高い周辺領域とを有する拡散手段に
より拡散させて被検物に入射させ、被検物を透過した光
束が達する位置に設けられた撮影手段により被検物を撮
影する。撮影倍率は、撮影された画像の部品領域が、予
め光学部材の種類に応じて登録された外径、推奨倍率の
値から計算された基準枠に一致するよう自動的に調整さ
れる。
【0006】このために光学部材検査装置は、光学部材
の種類毎に外径の設計値と推奨倍率とが登録された基準
値記憶手段と、検査対象の光学部材の種類に応じて基準
値記憶手段から読み込まれた外径設計値および推奨倍率
に基づいて基準枠を計算する基準枠計算手段と、撮影さ
れた光学部材の外径が基準枠に一致するよう撮影手段の
撮影倍率を決定する倍率演算手段とを備える。また、上
記拡散手段の中心領域は、該中心領域から垂直に射出し
た光束の範囲が被検物にほぼ一致するよう設定されてい
ることを特徴とする。
の種類毎に外径の設計値と推奨倍率とが登録された基準
値記憶手段と、検査対象の光学部材の種類に応じて基準
値記憶手段から読み込まれた外径設計値および推奨倍率
に基づいて基準枠を計算する基準枠計算手段と、撮影さ
れた光学部材の外径が基準枠に一致するよう撮影手段の
撮影倍率を決定する倍率演算手段とを備える。また、上
記拡散手段の中心領域は、該中心領域から垂直に射出し
た光束の範囲が被検物にほぼ一致するよう設定されてい
ることを特徴とする。
【0007】倍率演算手段は、第1の数値記憶手段に書
き込まれた光学部材の外径サイズと、第2の数値記憶手
段に書き込まれた基準枠のサイズとを比較して撮影倍率
を決定する。倍率調整手段は、決定された撮影倍率に基
づいて撮影手段の倍率を自動的に調整する。
き込まれた光学部材の外径サイズと、第2の数値記憶手
段に書き込まれた基準枠のサイズとを比較して撮影倍率
を決定する。倍率調整手段は、決定された撮影倍率に基
づいて撮影手段の倍率を自動的に調整する。
【0008】なお、撮影倍率の設定は、上記の方法の
他、表示手段に被検物の画像と基準枠の画像とを重ねて
表示し、表示画面を観察しつつ、これらを一致させるよ
う観察者が手動で調整する方法によってもよい。
他、表示手段に被検物の画像と基準枠の画像とを重ねて
表示し、表示画面を観察しつつ、これらを一致させるよ
う観察者が手動で調整する方法によってもよい。
【0009】拡散手段の拡散透過率に上記のような分布
を持たせることにより、被検物には中心領域からの光
と、周辺領域からの光軸に対して斜めの光とが入射する
が、被検物の像は主として低輝度の中心領域からの光に
より形成され、斜めに入射した周辺領域からの光は結像
には関与しない。
を持たせることにより、被検物には中心領域からの光
と、周辺領域からの光軸に対して斜めの光とが入射する
が、被検物の像は主として低輝度の中心領域からの光に
より形成され、斜めに入射した周辺領域からの光は結像
には関与しない。
【0010】そして、被検物に光を吸収する黒ゴミのよ
うな欠陥が存在すると、この欠陥に相当する部分は撮影
手段に到達する光量が減少するため、撮影画像内で周囲
の部品領域より低輝度の領域として現れる。一方、被検
物に光を散乱させるキズのような欠陥が存在すると、こ
の欠陥に相当する部分では中心領域からの低輝度の光は
散乱して減衰するものの、周辺領域からの高輝度の光が
散乱されて撮影手段に到達するため結果的に像面上での
欠陥部分の光量は増加し、撮影画像内で周囲の部品領域
より高輝度の領域として現れる。
うな欠陥が存在すると、この欠陥に相当する部分は撮影
手段に到達する光量が減少するため、撮影画像内で周囲
の部品領域より低輝度の領域として現れる。一方、被検
物に光を散乱させるキズのような欠陥が存在すると、こ
の欠陥に相当する部分では中心領域からの低輝度の光は
散乱して減衰するものの、周辺領域からの高輝度の光が
散乱されて撮影手段に到達するため結果的に像面上での
欠陥部分の光量は増加し、撮影画像内で周囲の部品領域
より高輝度の領域として現れる。
【0011】したがって、一回の撮影で吸収性欠陥と散
乱性欠陥との性状の異なる欠陥を部品領域のベース輝度
より輝度が低い領域、高い領域として同時に検出でき
る。
乱性欠陥との性状の異なる欠陥を部品領域のベース輝度
より輝度が低い領域、高い領域として同時に検出でき
る。
【0012】
【実施例】以下、この発明にかかる倍率調整機能を備え
る光学部材検査装置の実施例を説明する。実施例の装置
は、プラスチック製の光学部材を検査対象とする。ま
ず、図1にしたがってこの発明にかかる光学部材検査装
置の概略構成を説明する。
る光学部材検査装置の実施例を説明する。実施例の装置
は、プラスチック製の光学部材を検査対象とする。ま
ず、図1にしたがってこの発明にかかる光学部材検査装
置の概略構成を説明する。
【0013】被検物を撮影する撮影手段としてのCCD
カメラ30からの出力信号は、画像処理装置40に入力
されて処理され、抽出された情報はモニタディスプレイ
50に表示される。また、画像処理装置40には、検査
対象となる光学部材の部品番号を入力する部品番号入力
手段60と、検査対象となる光学部材の種類毎に外径の
設計値と撮影の際の推奨倍率とが部品番号に関連づけて
登録された基準値登録メモリ70と、第1、第2の数値
メモリ81,82と、画像メモリ83とが接続されてい
る。
カメラ30からの出力信号は、画像処理装置40に入力
されて処理され、抽出された情報はモニタディスプレイ
50に表示される。また、画像処理装置40には、検査
対象となる光学部材の部品番号を入力する部品番号入力
手段60と、検査対象となる光学部材の種類毎に外径の
設計値と撮影の際の推奨倍率とが部品番号に関連づけて
登録された基準値登録メモリ70と、第1、第2の数値
メモリ81,82と、画像メモリ83とが接続されてい
る。
【0014】画像処理装置40に設けられた部品領域分
離手段41は、入力画像を2値化して被検物が存在する
部品領域を背景領域から分離し、部品領域の外径に関す
る情報を外径枠のドット数として第1の数値メモリ81
に書き込むと共に、部品領域の画像を画像メモリ83に
書き込む。また、基準枠計算手段42は、部品番号入力
手段60から入力された部品番号にしたがって基準値登
録メモリ70から検査対象部品の外径の設計値と推奨倍
率とを読み出し、基準枠を計算して第2の数値メモリ8
2に書き込む。倍率演算手段43は、第1、第2の数値
メモリ81,82にそれぞれ書き込まれた部品領域のサ
イズと基準枠のサイズとを比較してこれらが一致するよ
う撮影倍率を求める。適正な倍率で撮影されて画像メモ
リ83に取り込まれた部品領域の画像は、2値化抽出手
段44により2値化され、この2値化画像に基づいて判
定手段45が光学部材の良否を判定する。
離手段41は、入力画像を2値化して被検物が存在する
部品領域を背景領域から分離し、部品領域の外径に関す
る情報を外径枠のドット数として第1の数値メモリ81
に書き込むと共に、部品領域の画像を画像メモリ83に
書き込む。また、基準枠計算手段42は、部品番号入力
手段60から入力された部品番号にしたがって基準値登
録メモリ70から検査対象部品の外径の設計値と推奨倍
率とを読み出し、基準枠を計算して第2の数値メモリ8
2に書き込む。倍率演算手段43は、第1、第2の数値
メモリ81,82にそれぞれ書き込まれた部品領域のサ
イズと基準枠のサイズとを比較してこれらが一致するよ
う撮影倍率を求める。適正な倍率で撮影されて画像メモ
リ83に取り込まれた部品領域の画像は、2値化抽出手
段44により2値化され、この2値化画像に基づいて判
定手段45が光学部材の良否を判定する。
【0015】CCDカメラ30に設けられた撮影倍率調
整手段35は、倍率演算手段43により求められた撮影
倍率に基づいて倍率を自動的に調整する。撮影倍率調整
手段35は、CCDカメラがズームレンズを備える場合
には、そのズーム比を変更することにより、あるいは、
より単純には被検物とCCDカメラとの間隔を変化させ
ることにより倍率を変更する。
整手段35は、倍率演算手段43により求められた撮影
倍率に基づいて倍率を自動的に調整する。撮影倍率調整
手段35は、CCDカメラがズームレンズを備える場合
には、そのズーム比を変更することにより、あるいは、
より単純には被検物とCCDカメラとの間隔を変化させ
ることにより倍率を変更する。
【0016】続いて、図2に基づいてCCDカメラ30
により撮影される画像を形成するための光学系の構成に
ついて説明する。
により撮影される画像を形成するための光学系の構成に
ついて説明する。
【0017】装置の光学系は、光源10と、この光源1
0から発した光束を拡散させる第1、第2の拡散板2
1,22から構成される拡散手段20と、拡散手段20
を透過して被検物である正レンズ1を透過した光束、お
よび被検レンズ1の周囲を通過した光束を取り込んで撮
影するCCDカメラ30とを備える。
0から発した光束を拡散させる第1、第2の拡散板2
1,22から構成される拡散手段20と、拡散手段20
を透過して被検物である正レンズ1を透過した光束、お
よび被検レンズ1の周囲を通過した光束を取り込んで撮
影するCCDカメラ30とを備える。
【0018】光源10および被検レンズ1は、CCDカ
メラ30の光軸上に配置されている。CCDカメラ30
は、撮影レンズ31とCCDセンサ32とから構成さ
れ、被検レンズ1の厚さ方向の中心付近をピント面Pと
するよう調整されている。すなわち、ピント面PとCC
Dセンサ32の受像面とは撮影レンズ31を介して光学
的に共役であり、ピント面P上の被検レンズ1の像は、
CCDセンサ上の符号Oで示す範囲に形成される。
メラ30の光軸上に配置されている。CCDカメラ30
は、撮影レンズ31とCCDセンサ32とから構成さ
れ、被検レンズ1の厚さ方向の中心付近をピント面Pと
するよう調整されている。すなわち、ピント面PとCC
Dセンサ32の受像面とは撮影レンズ31を介して光学
的に共役であり、ピント面P上の被検レンズ1の像は、
CCDセンサ上の符号Oで示す範囲に形成される。
【0019】なお、CCDカメラ30に取り込まれる光
量を確保するために、拡散手段20とCCDカメラ30
との間には、拡散する光束を集光させるコンデンサレン
ズを設けることが望ましい。この例では、被検物として
配置された正レンズ1がコンデンサレンズとしての機能
を果たしている。
量を確保するために、拡散手段20とCCDカメラ30
との間には、拡散する光束を集光させるコンデンサレン
ズを設けることが望ましい。この例では、被検物として
配置された正レンズ1がコンデンサレンズとしての機能
を果たしている。
【0020】第1、第2の拡散板21,22は、共に被
検レンズ1の平面形状とほぼ相似形状であり、第2の拡
散板22の方が第1の拡散板21より面積が小さい。こ
れらの拡散板21,22は、光軸がそれぞれの中心を通
るように、光軸に対して垂直に設けられている。また、
これらの拡散板は、同一、あるいは互いに異なる拡散透
過率を有しており、したがって拡散手段20を全体とし
て考えると、第1、第2の拡散板が重なる中心領域は拡
散透過率が低く、重ならない周辺領域は拡散透過率が相
対的に高くなる。
検レンズ1の平面形状とほぼ相似形状であり、第2の拡
散板22の方が第1の拡散板21より面積が小さい。こ
れらの拡散板21,22は、光軸がそれぞれの中心を通
るように、光軸に対して垂直に設けられている。また、
これらの拡散板は、同一、あるいは互いに異なる拡散透
過率を有しており、したがって拡散手段20を全体とし
て考えると、第1、第2の拡散板が重なる中心領域は拡
散透過率が低く、重ならない周辺領域は拡散透過率が相
対的に高くなる。
【0021】第2の拡散板22のサイズは、第2の拡散
板22から垂直に射出する光の範囲が被検レンズ1にほ
ぼ一致するよう定められている。これにより、中心領域
からの垂直射出成分は全て被検レンズ1に入射し、第1
の拡散板21を垂直に透過して第2の拡散板22を通ら
ない成分、すなわち周辺領域からの垂直射出成分は被検
レンズ1に入射しない。また、第1拡散板21の平面形
状を被検物の形状と相似に形成するのは、周辺領域から
の斜射出成分を被検物にあらゆる方向から均一に入射さ
せるためである。
板22から垂直に射出する光の範囲が被検レンズ1にほ
ぼ一致するよう定められている。これにより、中心領域
からの垂直射出成分は全て被検レンズ1に入射し、第1
の拡散板21を垂直に透過して第2の拡散板22を通ら
ない成分、すなわち周辺領域からの垂直射出成分は被検
レンズ1に入射しない。また、第1拡散板21の平面形
状を被検物の形状と相似に形成するのは、周辺領域から
の斜射出成分を被検物にあらゆる方向から均一に入射さ
せるためである。
【0022】図3は、被検レンズと拡散板21,22と
の平面形状の例を示す。図3(A-1)に示されるように被
検レンズが平面形状が矩形であるファインダー用レンズ
1aである場合には、第1、第2の拡散板21a,22
aの平面形状は図2(A-2)に示す通りの矩形とすること
が望ましい。また、図3(B-1)に示されるように被検レ
ンズが一般的な円形レンズ1bである場合には、各拡散
板21b,22bの平面形状は図2(B-2)に示される通
りの円形とすることが望ましい。
の平面形状の例を示す。図3(A-1)に示されるように被
検レンズが平面形状が矩形であるファインダー用レンズ
1aである場合には、第1、第2の拡散板21a,22
aの平面形状は図2(A-2)に示す通りの矩形とすること
が望ましい。また、図3(B-1)に示されるように被検レ
ンズが一般的な円形レンズ1bである場合には、各拡散
板21b,22bの平面形状は図2(B-2)に示される通
りの円形とすることが望ましい。
【0023】なお、実施例の検査装置は、多数個取り金
型により成形されたプラスチックレンズをランナから切
り放さずに検査する構成であるため、被検レンズには図
3に示されるようにゲートGを介してランナRが連結し
ている。
型により成形されたプラスチックレンズをランナから切
り放さずに検査する構成であるため、被検レンズには図
3に示されるようにゲートGを介してランナRが連結し
ている。
【0024】撮影された画像には、図4に示されるよう
に、第2の拡散板22を透過せずに達する周辺領域の輝
度の高い成分により主として形成される高輝度の背景領
域Bと、2つの拡散板を透過した中心領域の輝度の低い
成分により主として形成される被検レンズの像(部品領
域)Sとが含まれる。
に、第2の拡散板22を透過せずに達する周辺領域の輝
度の高い成分により主として形成される高輝度の背景領
域Bと、2つの拡散板を透過した中心領域の輝度の低い
成分により主として形成される被検レンズの像(部品領
域)Sとが含まれる。
【0025】第2の拡散板22の形状を被検レンズ1の
平面形状とを相似形とすることにより、上記のように画
像内で被検レンズが配置された部品領域と背景領域とを
明瞭に区分することができ、後述の画像処理における対
象領域の分離処理がきわめて容易となる。
平面形状とを相似形とすることにより、上記のように画
像内で被検レンズが配置された部品領域と背景領域とを
明瞭に区分することができ、後述の画像処理における対
象領域の分離処理がきわめて容易となる。
【0026】ここで、被検レンズ1の表面または内部に
光を吸収する欠陥、例えば光学部材中に含まれる黒いゴ
ミが存在すると、レンズ像を形成する中心領域からの透
過光の一部が吸収されてCCDセンサ32に光が達しな
いため、図5に示されるように中間輝度の部品領域S内
に部品領域より輝度が低い欠陥像DLが発生する。
光を吸収する欠陥、例えば光学部材中に含まれる黒いゴ
ミが存在すると、レンズ像を形成する中心領域からの透
過光の一部が吸収されてCCDセンサ32に光が達しな
いため、図5に示されるように中間輝度の部品領域S内
に部品領域より輝度が低い欠陥像DLが発生する。
【0027】また、被検レンズ1の表面に光を散乱させ
る欠陥、例えば光学部材の表面に白いゴミやキズが存在
すると、この欠陥により光が散乱し、欠陥がなければC
CDセンサ32上のレンズ像の範囲Oに達しない周辺領
域からの高輝度の斜射出成分の一部がレンズ像の範囲O
に達し、図6に示されるように中間輝度の部品領域S内
に部品領域より輝度が高い欠陥像DHが発生する。
る欠陥、例えば光学部材の表面に白いゴミやキズが存在
すると、この欠陥により光が散乱し、欠陥がなければC
CDセンサ32上のレンズ像の範囲Oに達しない周辺領
域からの高輝度の斜射出成分の一部がレンズ像の範囲O
に達し、図6に示されるように中間輝度の部品領域S内
に部品領域より輝度が高い欠陥像DHが発生する。
【0028】例えば、あるX軸方向の走査線上に吸収性
の欠陥に基づく低輝度像DLと散乱性の欠陥に基づく高
輝度像DHとが存在する場合、この走査線に沿った画素
列の出力は図7(A)に示すとおりとなる。画像処理装置
40は、2つの閾値SH1,SH2を用いて2値化するこ
とにより、図7(B)(C)に示されるように性状の異なる2
種類の欠陥をそれぞれ独立して抽出することができる。
の欠陥に基づく低輝度像DLと散乱性の欠陥に基づく高
輝度像DHとが存在する場合、この走査線に沿った画素
列の出力は図7(A)に示すとおりとなる。画像処理装置
40は、2つの閾値SH1,SH2を用いて2値化するこ
とにより、図7(B)(C)に示されるように性状の異なる2
種類の欠陥をそれぞれ独立して抽出することができる。
【0029】レンズの検査をする場合、欠陥の性状、大
きさ、発生位置により良品、不良品を判別する際の判定
基準が相違するため、性状の判定は必要である。実施例
のように一回の検査で欠陥の性状が判断できれば、欠陥
を検出した後にさらにその性状を特性するために検査す
るより検査の手順を簡略化することができる。
きさ、発生位置により良品、不良品を判別する際の判定
基準が相違するため、性状の判定は必要である。実施例
のように一回の検査で欠陥の性状が判断できれば、欠陥
を検出した後にさらにその性状を特性するために検査す
るより検査の手順を簡略化することができる。
【0030】続いて、上記の装置を利用した検査の手順
を図8に示したフローチャートにしたがって説明する。
CCDカメラから画像を入力し(ステップA-1)、輝度の
分布に基づいて被検レンズの像に対応する部品領域を分
離する(ステップA-2)。分離された部品領域の外径サイ
ズは、第1の数値メモリ81に書き込まれ、分離された
画像データは画像メモリ83に書き込まれる(ステップA
-3)。
を図8に示したフローチャートにしたがって説明する。
CCDカメラから画像を入力し(ステップA-1)、輝度の
分布に基づいて被検レンズの像に対応する部品領域を分
離する(ステップA-2)。分離された部品領域の外径サイ
ズは、第1の数値メモリ81に書き込まれ、分離された
画像データは画像メモリ83に書き込まれる(ステップA
-3)。
【0031】ステップA-4では、倍率の調整が必要か否
かが判断される。検査の開始時、あるいは、検査対象部
品の種類が変更された場合には、検査部品のサイズに応
じて撮影倍率を調整する。この場合、画像処理装置40
は、部品番号入力手段から入力された検査対象部品の部
品番号に応じて基準値登録メモリから外径と推奨倍率と
を読み込み、基準枠のサイズを計算する(ステップA-5〜
7)。
かが判断される。検査の開始時、あるいは、検査対象部
品の種類が変更された場合には、検査部品のサイズに応
じて撮影倍率を調整する。この場合、画像処理装置40
は、部品番号入力手段から入力された検査対象部品の部
品番号に応じて基準値登録メモリから外径と推奨倍率と
を読み込み、基準枠のサイズを計算する(ステップA-5〜
7)。
【0032】計算された基準枠のサイズは第2の数値メ
モリに画素のドット数に対応した数値データとして書き
込まれる(ステップA-8)。倍率演算手段は2つの数値メ
モリ81,82に書き込まれた画像を比較すると共に、
現在設定されている倍率に基づいて、部品画像が基準枠
に一致する撮影倍率を計算により求め、計算された撮影
倍率に一致するよう倍率調整手段を制御する(ステップA
-9,10)。
モリに画素のドット数に対応した数値データとして書き
込まれる(ステップA-8)。倍率演算手段は2つの数値メ
モリ81,82に書き込まれた画像を比較すると共に、
現在設定されている倍率に基づいて、部品画像が基準枠
に一致する撮影倍率を計算により求め、計算された撮影
倍率に一致するよう倍率調整手段を制御する(ステップA
-9,10)。
【0033】撮影倍率が変更された場合には、検査に入
る前にステップA-1に戻り、適正な倍率に設定された状
態で再度画像を読み込む。
る前にステップA-1に戻り、適正な倍率に設定された状
態で再度画像を読み込む。
【0034】倍率調整が不要な場合、すなわち、同一種
類の部品を連続して検査する場合、あるいは既に倍率が
調整されている場合には、画像メモリ83に書き込まれ
た部品領域の画像が動的2値化処理により2値化され
(ステップA-11)、この2値画像から欠陥等の特徴量が抽
出される(ステップA-12)。
類の部品を連続して検査する場合、あるいは既に倍率が
調整されている場合には、画像メモリ83に書き込まれ
た部品領域の画像が動的2値化処理により2値化され
(ステップA-11)、この2値画像から欠陥等の特徴量が抽
出される(ステップA-12)。
【0035】画像処理装置40は、抽出された結果に基
づいて被検レンズの良否を判定すると共に、判定結果を
モニタディスプレイ50に表示する(ステップA-13,1
4)。ステップA-15では、検査対象となる部品があるか否
かを判断し、部品があれば部品を交換して(ステップA-1
6)ステップA-1からの処理を繰り返し、部品がなければ
検査を終了する。
づいて被検レンズの良否を判定すると共に、判定結果を
モニタディスプレイ50に表示する(ステップA-13,1
4)。ステップA-15では、検査対象となる部品があるか否
かを判断し、部品があれば部品を交換して(ステップA-1
6)ステップA-1からの処理を繰り返し、部品がなければ
検査を終了する。
【0036】図9は、この発明の他の実施例を示す図1
と同様のブロック図である。図9の画像処理装置40a
には、図1の倍率計算手段に代えて画像合成手段46が
設けられており、入力画像に基づいて部品外径のサイズ
を書き込む第1の数値メモリは設けられていない。他の
構成は図1の装置と同様である。
と同様のブロック図である。図9の画像処理装置40a
には、図1の倍率計算手段に代えて画像合成手段46が
設けられており、入力画像に基づいて部品外径のサイズ
を書き込む第1の数値メモリは設けられていない。他の
構成は図1の装置と同様である。
【0037】画像合成手段46は、第2の数値メモリ8
2に書き込まれた基準枠のサイズに基づいて基準枠の画
像を形成すると共に、これを画像メモリ83に書き込ま
れた入力画像と合成してモニタディスプレイ50上に重
ねて合わせて表示する機能を有している。例えば、図1
0に示すように、部品領域Sと基準枠Fとがモニタディ
スプレイ50の画面51上に重ねて表示される。検査者
は、この表示を確認しつつ部品領域Sの外径が基準枠F
に一致するよう倍率調整手段を操作してCCDカメラ3
0の撮影倍率を手動で調整する。
2に書き込まれた基準枠のサイズに基づいて基準枠の画
像を形成すると共に、これを画像メモリ83に書き込ま
れた入力画像と合成してモニタディスプレイ50上に重
ねて合わせて表示する機能を有している。例えば、図1
0に示すように、部品領域Sと基準枠Fとがモニタディ
スプレイ50の画面51上に重ねて表示される。検査者
は、この表示を確認しつつ部品領域Sの外径が基準枠F
に一致するよう倍率調整手段を操作してCCDカメラ3
0の撮影倍率を手動で調整する。
【0038】この場合にも、基準枠自体は予め登録され
たデータに基づいて求められるため、部品領域Sをこの
基準枠に合わせることができれば、検査における判定基
準の均一性を保つことができる。
たデータに基づいて求められるため、部品領域Sをこの
基準枠に合わせることができれば、検査における判定基
準の均一性を保つことができる。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、予め登録されたデータにより客観的な基準に基づい
て検査対象部品に応じて撮影倍率を設定できるため、検
査者の違いによる撮影倍率のバラツキをなくし、検査に
おける判定基準の均一性を保つことができる。
ば、予め登録されたデータにより客観的な基準に基づい
て検査対象部品に応じて撮影倍率を設定できるため、検
査者の違いによる撮影倍率のバラツキをなくし、検査に
おける判定基準の均一性を保つことができる。
【図1】 この発明の実施例にかかる光学部材検査装置
の処理系を示すブロック図である。
の処理系を示すブロック図である。
【図2】 この発明の実施例にかかる光学部材検査装置
の光学系を示す説明図である。
の光学系を示す説明図である。
【図3】 実施例の装置における被検物の形状と拡散手
段の形状とを対比して示す説明図である。
段の形状とを対比して示す説明図である。
【図4】 実施例の装置により撮影される被検レンズに
欠陥がない場合の画像を示す説明図である。
欠陥がない場合の画像を示す説明図である。
【図5】 実施例の装置により撮影される被検レンズに
吸収性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。
吸収性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。
【図6】 実施例の装置により撮影される被検レンズに
散乱性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。
散乱性の欠陥がある場合の画像を示す説明図である。
【図7】 実施例の装置により撮影された画像の1走査
線上の輝度分布の例を示し、(A)が原画像の信号、(B)が
低輝度成分を2値化した信号、(C)が高輝度成分を2値
化した信号である。
線上の輝度分布の例を示し、(A)が原画像の信号、(B)が
低輝度成分を2値化した信号、(C)が高輝度成分を2値
化した信号である。
【図8】 実施例の装置の検査処理全体を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図9】 この発明の他の実施例の処理系を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図10】 図9の実施例の装置によるモニタディスプ
レイ上の表示例を示す説明図である。
レイ上の表示例を示す説明図である。
1 被検レンズ 10 光源 20 拡散手段 30 CCDカメラ 40 画像処理装置 41 部品領域分離手段 42 基準枠計算手段 43 倍率演算手段 44 2値化抽出手段 45 判定手段 46 画像合成手段 50 モニタディスプレイ 60 部品番号入力手段 70 基準値登録メモリ 81 第1の数値メモリ 82 第2の数値メモリ 83 画像メモリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木田 敦 東京都板橋区前野町2丁目36番9号 旭 光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−163137(JP,A) 特開 昭54−87547(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 11/00 - 11/02 G01N 21/84 - 21/958
Claims (7)
- 【請求項1】 光源と、 拡散透過率の高い周辺領域、および拡散透過率の低い中
心領域を有し、前記光源から発した光束を拡散させる拡
散手段と、 該拡散手段を透過して被検物である光学部材を透過した
光束を受光する位置に設けられ、前記光学部材を撮影す
る倍率調整可能な撮影手段と、 該撮影手段により撮影された光学部材の画像を表示する
表示手段と、 光学部材の種類毎に外径の設計値と推奨倍率とが登録さ
れた基準値記憶手段と、 検査対象の光学部材の種類に応じて前記基準値記憶手段
から読み込まれた外径設計値および推奨倍率に基づいて
基準枠を計算する基準枠計算手段と、 撮影された光学部材の外径が、前記基準枠に一致するよ
う前記撮影手段の撮影倍率を求める倍率演算手段と、 求められた倍率に基づいて前記撮影手段の倍率を調整す
る倍率調整手段とを備え、 前記拡散手段の中心領域は、該中心領域から垂直に射出
した光束の範囲が前記被検物にほぼ一致するよう設定さ
れていることを特徴とする光学部材検査装置。 - 【請求項2】 前記倍率演算手段は、撮影された光学部
材の外径サイズを記憶する第1の数値記憶手段と、前記
基準枠のサイズを記憶する第2の数値記憶手段とを備
え、前記第1、第2の数値記憶手段に記憶されたサイズ
を比較して前記撮影倍率を決定することを特徴とする請
求項1に記載の光学部材検査装置。 - 【請求項3】 前記撮影手段から出力される画像信号に
基づいて前記被検物の欠陥を判定する判定手段を備える
ことを特徴とする請求項1に記載の光学部材検査装置。 - 【請求項4】 前記拡散手段は、前記撮影手段の光軸に
対してほぼ垂直な平板状の部材として設けられているこ
とを特徴とする請求項1に記載の光学部材検査装置。 - 【請求項5】 前記拡散手段の周辺領域と中心領域と
は、共に前記被検物の平面形状と相似形であることを特
徴とする請求項2に記載の光学部材検査装置。 - 【請求項6】 光源と、 拡散透過率の高い周辺領域、および拡散透過率の低い中
心領域を有し、前記光源から発した光束を拡散させる拡
散手段と、 該拡散手段を透過して被検物である光学部材を透過した
光束を受光する位置に設けられ、前記光学部材を撮影す
る倍率調整可能な撮影手段と、 光学部材の種類毎に外径の設計値と推奨倍率とが登録さ
れた基準値記憶手段と、 検査対象の光学部材の種類に応じて前記基準値記憶手段
から読み込まれた外径設計値および推奨倍率に基づいて
基準枠を計算する計算手段と、 撮影された光学部材の画像と、前記基準枠とを重ねて表
示する表示手段とを備え、 前記拡散手段の中心領域は、該中心領域から垂直に射出
した光束の範囲が前記被検物にほぼ一致するよう設定さ
れていることを特徴とする光学部材検査装置。 - 【請求項7】 光源からの光束を拡散透過率が低い中心
領域と拡散透過率が高い周辺領域とを有する拡散手段に
より拡散させて被検物に入射させ、該被検物を透過した
光束が達する位置に設けられた撮影手段により前記被検
物を撮影して被検物の欠陥を検査する光学部材検査方法
であって、 前記被検物の画像を入力するステップと、 入力画像から部品領域を分離するステップと、 光学部材の種類に応じて予め登録された外径の設計値と
推奨倍率とに基づいて基準枠を計算するステップと、 撮影された光学部材の外径が前記表示枠に一致するよう
前記撮影手段の撮影倍率を調整するステップと、 調整された倍率により入力された被検物の画像に基づい
て被検物の欠陥を検査するステップとを備えることを特
徴とする光学部材検査方法。
Priority Applications (16)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18479595A JP3222729B2 (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | 倍率調整機能を備えた光学部材検査装置 |
US08/658,549 US6148097A (en) | 1995-06-07 | 1996-06-05 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,661 US6363165B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/579,622 US6788804B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,010 US6349145B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,479 US6476909B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,003 US6427023B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/583,230 US6697513B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/579,804 US6434263B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,045 US6430310B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,044 US6351554B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,746 US6314200B1 (en) | 1995-03-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,363 US6477264B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,278 US6804386B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/580,659 US6535627B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US09/579,706 US6636625B1 (en) | 1995-06-07 | 2000-05-26 | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18479595A JP3222729B2 (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | 倍率調整機能を備えた光学部材検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0915094A JPH0915094A (ja) | 1997-01-17 |
JP3222729B2 true JP3222729B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=16159432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18479595A Expired - Fee Related JP3222729B2 (ja) | 1995-03-07 | 1995-06-28 | 倍率調整機能を備えた光学部材検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3222729B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6142655B2 (ja) * | 2013-05-09 | 2017-06-07 | 株式会社島津製作所 | 外観検査装置及び外観検査方法 |
CN114485431B (zh) * | 2021-12-30 | 2024-03-15 | 上海新力动力设备研究所 | 一种扩散段轮廓/分层界面尺寸快速测量装置 |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP18479595A patent/JP3222729B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0915094A (ja) | 1997-01-17 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |