JP5939442B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
10…撮像装置
11…第1の撮像装置
12…第2の撮像装置
20…画像処理装置
30…画像表示装置
40…調整機構
41…第1の調整装置
42…第2の調整装置
50…光学装置
60…ステージ
100…ワーク
101…撮影対象面
150…キャリパー
151…アライメントマーク
Claims (6)
- 同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影する複数の撮像装置と、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成する画像処理装置と、
前記ブレンド画像を表示する画像表示装置と、
前記複数の撮像装置の配置を調整する調整機構と
を備え、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記調整機構によって前記複数の撮像装置の配置が調整され、
前記複数の撮像装置によって撮影された検査対象の太陽電池セルの複数の画像を用いて前記太陽電池セルの粒界がキャンセルされた画像が生成され、前記粒界がキャンセルされた画像を用いて前記太陽電池セルが検査される
ことを特徴とする検査装置。 - 同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影する複数の撮像装置と、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成する画像処理装置と、
前記ブレンド画像を表示する画像表示装置と、
前記複数の撮像装置の配置を調整する調整機構と
を備え、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記調整機構によって前記複数の撮像装置の配置が調整され、
表面にアライメントマークが配置され、検査対象の太陽電池セルと同等の外形を有するキャリパーが前記撮影対象物として使用され、前記複数の撮像装置によりそれぞれ撮影された画像の前記アライメントマークが前記ブレンド画像において重なるように前記複数の撮像装置の配置が調整されることを特徴とする検査装置。 - 同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影する複数の撮像装置と、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成する画像処理装置と、
前記ブレンド画像を表示する画像表示装置と、
前記複数の撮像装置の配置を調整する調整機構と
を備え、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記調整機構によって前記複数の撮像装置の配置が調整され、
前記撮影対象物として表面にアライメントマークが配置されたキャリパーが使用され、前記複数の撮像装置により前記キャリパーの反射光を用いてそれぞれ撮影された画像の前記アライメントマークが前記ブレンド画像において重なるように前記複数の撮像装置の配置が調整されることを特徴とする検査装置。 - 複数の撮像装置を用いて、同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影するステップと、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成するステップと、
前記ブレンド画像を画像表示装置に表示するステップと、
前記画像表示装置に表示された前記ブレンド画像を確認しながら、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない、若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記複数の撮像装置の配置を調整するステップと、
前記適正ブレンド画像が得られた配置の前記複数の撮像装置により撮影された検査対象物の画像を用いて、前記検査対象物の検査を行うステップと
を含み、
前記複数の撮像装置によって撮影された検査対象の太陽電池セルの複数の画像を用いて前記太陽電池セルの粒界がキャンセルされた画像が生成され、前記粒界がキャンセルされた画像を用いて前記太陽電池セルが検査されることを特徴とする検査方法。 - 複数の撮像装置を用いて、同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影するステップと、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成するステップと、
前記ブレンド画像を画像表示装置に表示するステップと、
前記画像表示装置に表示された前記ブレンド画像を確認しながら、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない、若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記複数の撮像装置の配置を調整するステップと、
前記適正ブレンド画像が得られた配置の前記複数の撮像装置により撮影された検査対象物の画像を用いて、前記検査対象物の検査を行うステップと
を含み、
表面にアライメントマークが配置され、検査対象の太陽電池セルと同等の外形を有するキャリパーが前記撮影対象物として使用され、前記複数の撮像装置によりそれぞれ撮影された画像の前記アライメントマークが前記ブレンド画像において重なるように前記複数の撮像装置の配置が調整されることを特徴とする検査方法。 - 複数の撮像装置を用いて、同一方向から見た撮影対象物の同一領域の画像を同時にそれぞれ撮影するステップと、
前記複数の撮像装置によってそれぞれ撮影された前記画像を重ね合わせるブレンド処理をリアルタイムで実行してブレンド画像を作成するステップと、
前記ブレンド画像を画像表示装置に表示するステップと、
前記画像表示装置に表示された前記ブレンド画像を確認しながら、前記ブレンド画像に重ね合わせの位置ずれがない、若しくは該位置ずれが許容範囲内である適正ブレンド画像が得られるまで、前記複数の撮像装置の配置を調整するステップと、
前記適正ブレンド画像が得られた配置の前記複数の撮像装置により撮影された検査対象物の画像を用いて、前記検査対象物の検査を行うステップと
を含み、
前記撮影対象物として表面にアライメントマークが配置されたキャリパーが使用され、前記複数の撮像装置により前記キャリパーの反射光を用いてそれぞれ撮影された画像の前記アライメントマークが前記ブレンド画像において重なるように前記複数の撮像装置の配置が調整されることを特徴とする検査方法。
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JP2012231349A JP5939442B2 (ja) | 2012-10-19 | 2012-10-19 | 検査装置及び検査方法 |
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