JP2009156857A - ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 - Google Patents
ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009156857A JP2009156857A JP2008115844A JP2008115844A JP2009156857A JP 2009156857 A JP2009156857 A JP 2009156857A JP 2008115844 A JP2008115844 A JP 2008115844A JP 2008115844 A JP2008115844 A JP 2008115844A JP 2009156857 A JP2009156857 A JP 2009156857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display panel
- image
- lens system
- imaging
- ccd
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
【課題】ディスプレイパネルの表示ムラの検査を迅速且つ正確に行う。
【解決手段】レンズ系と撮像素子とを具備した撮像手段により、ディスプレイパネルに表示された画像を撮影し、撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査する方法及び装置である。前記撮像手段の前記ディスプレイパネルに対する焦点合わせを行う焦点合わせ手段と、前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散手段とを備えた。前記レンズ系と撮像素子との間には、光学フィルタを装着するフィルタ装着部を備えた。
【選択図】 図1
【解決手段】レンズ系と撮像素子とを具備した撮像手段により、ディスプレイパネルに表示された画像を撮影し、撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査する方法及び装置である。前記撮像手段の前記ディスプレイパネルに対する焦点合わせを行う焦点合わせ手段と、前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散手段とを備えた。前記レンズ系と撮像素子との間には、光学フィルタを装着するフィルタ装着部を備えた。
【選択図】 図1
Description
本発明は、液晶ディスプレイなどのディスプレイパネルの検査に関するものであり、特にディスプレイパネルの表示ムラの検査においてディスプレイパネルに表示された画像を撮影して表示する際のモアレ(干渉縞)及びケラレの発生を抑制した、ディスプレイパネルの検査方法および検査装置に関するものである。
液晶ディスプレイなどのディスプレイパネルの検査において、ディスプレイパネルに表示された画像を、CCDを用いたカメラ(CCDカメラ)で撮影すると、モアレが発生することが知られている。このモアレは、規則的な格子パターンで配列された画素で受光する光の輝度が、少しずつ規則的に変化を繰り返すことにより生じる。即ち、ディスプレイパネル、CCD共に表示画像の単位である画素が規則的な格子パターンで配列されているが、ディスプレイパネルの各画素とCCDの各画素との間での相対的な位置ずれによってCCDの画素で受光するディスプレイパネルの光の輝度が少しずつ規則的に変化を繰り返すことによりモアレが発生するのである。
モアレは大きな濃淡差を持ち、ディスプレイパネルの表示ムラの検査を行う際に障害となるため、このモアレを除去する必要がある。この場合において、理想的(理論的)には、ディスプレイパネルの各画素とCCDの各画素との間の相対的な位置ずれが無ければモアレは発生しないが、この位置ずれをゼロにすることは困難である。このため、通常は、例えば特許文献1,2に記載のように、撮影した画像に発生したモアレに対して、その画像を画像処理することによりモアレの除去を行うものがある。
また、特許文献3,4に記載のように、撮影時にカメラをディスプレイパネルに対して水平に移動させて焦点をわずかにぼかすことによりモアレの発生を防ぐものもある。
さらに、特許文献5に記載のように、カメラとディスプレイパネルとの間に散乱板を挿入することも行われているが、この場合、散乱板によってモアレをぼやけさせることができるが、表示ムラ自体もぼやけてしまう可能性がある。そこで、より簡便な方法として、CCDカメラのレンズ系とディスプレイパネルとの間の距離を調整して焦点合わせ(フロントフォーカス)を行った後、レンズ系をわずかに動かして(いわゆる「焦点をぼかして」)撮影することによりモアレの発生を抑制することも行われている。
また、特許文献6のように、レンズ前面に光学フィルタを配置して不要な光を取り除く処理を行う例もある。例えば、反射光を取り除くPLフィルタや、近赤外線をカットするIRカットフィルタ等をレンズ前面に設けて、不要光を取り除いている。
特開平07−146211号公報
特開平11−352011号公報
特開2005−72816号公報
特開平11−101712号公報
特開平11−6786号公報
特開2003−344761号公報
しかしながら、特許文献1,2の、画像処理によりモアレを除去する方法では、複雑な画像処理プログラムが必要となり、その画像処理に時間がかかって、検査効率が悪いという課題がある。
また、特許文献3,4の方法では、ディスプレイパネルに対して焦点を合わせたままの状態でカメラを正確に水平移動させるための精密な制御が必要となり、そのカメラの水平移動制御に時間がかかって検査効率が悪いと共に、コストが嵩むという課題がある。
また、特許文献5に対して焦点をぼかす方法では、レンズ系を動かした際に光軸ずれが発生したり、焦点位置の再現性が確保し難いと言った理由によってディスプレイパネル毎にカメラとディスプレイパネルとの間に位置ずれが生じたりして、作業性が悪いという課題がある。
また、レンズ前面に光学フィルタを配置する場合、2次元テスタの特性上、広角撮影が必要となるため、画像の四隅が暗くなるケラレ現象を起こしてしまう。このケラレ現象を考慮した設計をすると、フィルタ径自体を大きくする必要がある。また、フィルタ切替機構を設ける場合、フィルタ径に合わせてフィルタ切替機構も大きくなってしまう。そして、ディスプレイパネルの解像度が高くなればなるほど、サイズ、重量、コストの面で不利になってしまう。
本発明は、これら従来技術の課題を解決し、ディスプレイパネルの表示ムラを検査するに際し、簡易かつ効果的にモアレの発生を抑制できると共に、光学フィルタをコンパクトに装着したディスプレイパネルの検査方法および検査装置を提供することを目的とする。
本発明は上述した課題に鑑みてなされたもので、本発明に係るディスプレイパネルの検査方法は、レンズ系と撮像素子とを具備した撮像手段によりディスプレイパネルに表示された画像を撮影し、撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査する方法であって、前記撮像手段の前記ディスプレイパネルに対する焦点合わせを行う焦点合わせ工程と、前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記撮像素子に入射される前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散工程とを備えたことを特徴とする。
本発明に係るディスプレイパネルの検査装置は、ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する撮像手段と、前記撮像手段により撮影された前記ディスプレイパネルの画像を処理する画像処理手段と、前記画像処理手段で処理した画像を表示する画像表示手段とを具備するディスプレイパネルの検査装置において、前記撮像手段が、レンズ系と、撮像素子と、前記レンズ系を移動させて前記ディスプレイパネルの画像に対して焦点合わせを行う焦点合わせ手段と、前記撮像素子を移動させて前記レンズ系と前記撮像素子との距離を調整するバックフォーカス調整手段と、前記焦点合わせ手段及びバックフォーカス調整手段を制御する制御手段とを具備し、前記制御手段が、前記撮像手段で撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査するに際し、前記撮像手段の前記焦点合わせ手段を制御して前記ディスプレイパネルに対して焦点合わせを行う焦点合わせ処理機能と、前記バックフォーカス調整手段を制御して前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記撮像素子に入射される前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散処理機能とを備えたことを特徴とする。
また、前記ディスプレイパネルの検査装置は、前記撮像手段のレンズ系と撮像素子との間に、光学フィルタを装着するフィルタ装着部を備え、前記制御手段が、光学フィルタの装着又は交換に伴って屈折によるフォーカスのズレを修正するために前記バックフォーカス調整手段を制御して前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を微調整する微調整処理機能をさらに備えることが望ましい。前記フィルタ装着部は、複数のフィルタを自動的に切り替えるフィルタ切替機構を備えることが望ましい。
前記撮像素子で受光する前記画像の光を分散させることによって前記モアレ発生を抑制するため、確実に表示ムラの検査を行うことができる。
また、前記フィルタ装着部に要求される機能を備えた光学フィルタを適宜装着又は交換すると共に、前記制御手段で前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を微調整してノイズ光の除去等を行った検査光を前記撮像素子で受光して、高い精度の検査を行うことができる。
以下、図面を参照して本願発明の好適な実施形態について説明する。
[第1実施形態]
以下に、本発明の第1実施形態について説明する。
以下に、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は本発明の実施形態に係るディスプレイパネル検査装置の撮像装置を概略的に示す構成図、図2はディスプレイパネル検査装置を概略的に示す構成図、図3は本発明の実施形態に係る撮像装置のフロントフォーカスとバックフォーカスに関して焦点距離を模式的に示す説明図、図4はディスプレイパネルを撮像装置で撮影したときの、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルの分布を模式的に示すグラフ、図5はモアレが発生している状態でディスプレイパネルを撮像装置で撮影したときの、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルの分布を模式的に示すグラフ、図6は撮像装置のCCD素子及びディスプレイパネルの各画素の対応状態を示す模式図、図7は撮像装置で受光する光をバックフォーカスにより分散させたときの、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルの分布を模式的に示すグラフ、図8はディスプレイパネルに表示ムラが発生しているときの、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルの分布を模式的に示すグラフである。
本発明に係るディスプレイパネルの検査方法および検査装置は、ディスプレイパネルの検査、特に点欠陥等の種々の表示ムラの検査を行うために、ディスプレイパネルに表示された画像(白色表示を含む種々の画像)をカメラ(例えばCCDカメラ)で撮影する際、カメラの焦点合わせを行った後、カメラのレンズ系と撮像素子との間の距離を変化させる(バックフォーカスの調整を行う)ことにより、撮影した画像におけるモアレの発生を抑制するものである。
[ディスプレイパネル検査装置]
まず、本発明のディスプレイパネル検査方法を実施するためのディスプレイパネル検査装置について説明する。
まず、本発明のディスプレイパネル検査方法を実施するためのディスプレイパネル検査装置について説明する。
ディスプレイパネル検査装置1は、図1,2に示すように主に、撮像装置2と、画像処理装置3と、画像表示装置4とから構成されている。
撮像装置2は、検査対象となるディスプレイパネル(液晶ディスプレイパネル)5に表示された画像を撮影する撮像手段である。この撮像装置2は、レンズ系7と、撮像素子8と、焦点合わせ手段9と、バックフォーカス調整手段10と、パネルコントロール部11と、制御手段12とから構成されている。なお、ディスプレイパネル5、レンズ系7及び撮像素子8は、暗室15内に収納され、外光を遮断している。
レンズ系7は、暗室15内において前記ディスプレイパネル5と撮像素子8との間に位置して焦点を調整するための光学装置である。レンズ系7は、1つのレンズ又は複数のレンズ、フィルタ等を組み合わせて構成されている。撮像素子8は、ディスプレイパネル5を上から撮影するための素子である。撮像素子8は具体的にはCCD素子を用いたカメラで構成されている。
焦点合わせ手段9は、前記レンズ系7及び撮像素子8を一体的に移動させて前記ディスプレイパネル5の画像に対して焦点合わせを行う手段である。焦点合わせ手段9は、垂直移動機構13と、レンズ支持部14とから構成されている。
垂直移動機構13は、ディスプレイパネル検査装置1の装置本体側に取り付けられて、レンズ系7及び撮像素子8を一体的に垂直方向に移動させてディスプレイパネル5に対して焦点を合わせるための機構である。この垂直移動機構13は、装置本体側に固定されてレンズ支持部14のスライドを支持する固定部16と、レンズ支持部14に固定された状態で固定部16に上下方向へスライド可能に支持された移動部17とから構成されている。固定部16には、移動部17を垂直方向に移動させる機構(図示せず)が組み込まれており、移動部17を支持して垂直方向に移動させる。移動部17は、レンズ支持部14を支持してこのレンズ支持部14を介してレンズ系7を垂直方向に移動させる。
レンズ支持部14は、レンズ系7を撮像素子8と共に支持するための部材である。レンズ支持部14は、側面形状がL字状に形成された縦板部14Aと、この縦板部14Aの中間位置から水平に延出された横板部14Bとから構成されている。レンズ系7は横板部14Bの下側に、ディスプレイパネル5に向けた状態で支持されている。
バックフォーカス調整手段10は、撮像素子8を移動させてレンズ系7と撮像素子8との間隔を調整するための装置である。バックフォーカス調整手段10は、精密移動機構19と、撮像素子支持部20とから構成されている。精密移動機構19は、レンズ支持部14の縦板部14Aに支持された状態で撮像素子支持部20を支持して精密に移動させるための機構である。この撮像素子支持部20を精密に移動させることで、撮像素子支持部20に支持された撮像素子8の位置を調整してバックフォーカスを微調整する。精密移動機構19は、微細な距離の移動を調整できる直動機構によって構成されている。この直動機構としては、ボールネジ機構、リニアモーター等の、撮像素子8の位置を微調整できる装置全てを用いることができる。撮像素子支持部20は、撮像素子8を直接支持するための部材である。撮像素子支持部20は、撮像素子8を支持した状態で精密移動機構19に支持されて、精密移動機構19でその位置が微調整されることによって前記レンズ系7と前記撮像素子8との間隔が微調整される。
パネルコントロール部11は、LCDパネル用電源22と、LCDパネル駆動信号発生器23とから構成されている。LCDパネル用電源22でディスプレイパネル5に電源が供給され、LCDパネル駆動信号発生器23で発生させた駆動信号によってディスプレイパネル5が駆動される。これにより、ディスプレイパネル5が発光されて、適宜検査用の画像が表示される。
制御手段12は、各部を制御して検査を行うための装置である。制御手段12は、具体的には制御機能を備えたコンピュータによって構成されている。本実施形態では、1つのコンピュータで画像処理装置3と制御手段12の2つの機能を持たせている。なお、制御手段12を1つのコンピュータで、画像処理装置3を他の1つのコンピュータでそれぞれ構成しても良い。また、他の構成でもよい。
制御手段12は少なくとも、焦点合わせ処理機能と、分散処理機能とを備えている。焦点合わせ処理機能は、前記撮像装置2で撮影した画像から前記ディスプレイパネル5の表示ムラを検査するに際し、前記撮像装置2の前記焦点合わせ手段9を制御して前記ディスプレイパネル5に対して焦点合わせを行うための処理機能である。焦点合わせ手段9は、前記レンズ系7及び撮像素子8を一体的に移動させて前記ディスプレイパネル5の画像に対して焦点合わせを行った後は、レンズ系7を動かすことはなく、レンズ系7とディスプレイパネル5の間の距離を一定に保つ。
分散処理機能は、前記バックフォーカス調整手段10を制御して前記レンズ系7と前記撮像素子8との間の距離を調整して前記ディスプレイパネル5からの画像の光を分散させることによりディスプレイパネル5に表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制するための処理機能である。この分散処理機能は具体的には、前記バックフォーカス調整手段10を制御して、前記レンズ系7と前記撮像素子8との距離を調整して、前記ディスプレイパネル5の1個の画素が前記撮像素子8のCCDの複数個(例えば3個)の画素に対応するように前記画像の光を分散させる。
画像処理装置3は、撮像装置2で撮影した画像を処理して、画像表示装置4に表示させるための装置である。画像処理装置3は、具体的には画像処理機能を備えたコンピュータによって構成されている。本実施形態では、上述のように、1つのコンピュータで画像処理装置3と制御手段12の機能を持たせている。また、画像処理装置3には、キーボード24やマウス25が適宜接続される。
画像表示装置4は、撮像装置2で撮影され、画像処理装置3で画像処理された画像データを表示するための装置である。画像表示装置4は、欠陥画像用モニタ27と、操作用モニタ28とから構成さている。欠陥画像用モニタ27は、撮像装置2で撮影して画像処理装置3で分散処理した後のディスプレイパネル5の表面の画像を表示する。操作用モニタ28は、撮像装置2の焦点合わせ等の際にディスプレイパネル5を表示する。オペレータは、この操作用モニタ28を見ながら撮像装置2の焦点合わせ等の操作を行い、欠陥画像用モニタ27を見て、ディスプレイパネル5に表示ムラが無いか検査する。
[ディスプレイパネルの検査方法]
次に、以上の構成のディスプレイパネル検査装置1を用いたディスプレイパネルの検査方法について説明する。
次に、以上の構成のディスプレイパネル検査装置1を用いたディスプレイパネルの検査方法について説明する。
本実施形態のディスプレイパネルの検査方法は、レンズ系7と撮像素子8とを具備した前記ディスプレイパネル検査装置1の撮像装置2を用いて、ディスプレイパネル5に表示された画像を撮影し、撮影した画像から画像処理装置3及び画像表示装置4を用いて、前記ディスプレイパネル5の表示ムラを検査する方法である。
このディスプレイパネルの検査方法は、焦点合わせ工程と、分散工程とから構成されている。
焦点合わせ工程は、前記撮像装置2の前記ディスプレイパネル5に対する焦点合わせを行う工程である。
暗室15内に装着されたディスプレイパネル5に対してレンズ系7を臨ませた状態で、制御手段12が焦点合わせ手段9を制御して移動部17を上下に移動させて、レンズ支持部14を介してレンズ系7の位置を調整し、レンズ系7の焦点をディスプレイパネル5に合わせる。
分散工程は、レンズ系7と撮像素子8との間の距離を調整して前記ディスプレイパネル5の画像の光を分散させる工程である。
分散工程では、前記焦点合わせ工程でレンズ系7の焦点がディスプレイパネル5に合った状態で、前記レンズ系7と前記撮像素子8との間の距離を調整して前記ディスプレイパネル5の画像の光を分散させることにより、ディスプレイパネル5に表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する。この分散工程で、前記レンズ系7と前記撮像素子8との距離であるバックフォーカスを調整して、ディスプレイパネル5の1個の画素が撮像素子8のCCDの3個の画素に対応するように前記画像の光を分散させる。
以下、分散工程でのバックフォーカス調整について詳述する。
一般的に、カメラにおいては、図3に示すように、撮影対象の被写体(ディスプレイパネル5)からレンズ系(レンズ系7)までの距離をa、レンズ系から撮像素子(CCDやフィルムであって本実施形態では撮像素子8)までの距離をb、レンズの焦点距離をfとすると、次の関係式(レンズの公式)が成り立つ。
1/a+1/b=1/f
通常は、被写体からレンズ系までの距離aを調整(フロントフォーカスを調整)することを「焦点合わせ」と呼んでいる。
通常は、被写体からレンズ系までの距離aを調整(フロントフォーカスを調整)することを「焦点合わせ」と呼んでいる。
本実施形態においては、カメラの焦点合わせ、すなわちフロントフォーカス調整によってカメラの焦点を被写体(ディスプレイパネル5)に合わせた後、被写体からレンズ系7までの距離aを固定したまま、レンズ系7から撮像素子8までの距離bを調整するバックフォーカス調整を行うことにより、後述するようにモアレの発生を抑制することとしている。
以下に、本発明におけるモアレ抑制の原理を説明する。
ディスプレイパネル、特にカラー液晶ディスプレイパネルにおいては、赤(R)、緑(G)、青(B)それぞれの色を表示する画素が一つの組となって一つの表示点(ドット)を形成している。
ここで、ディスプレイパネルを白色表示、すなわちRGBの全ての色を表示させた場合であって、ディスプレイパネル5の1個の画素からの光を3個の撮像素子8のCCD素子で検出する場合を考える。もし、ディスプレイパネル5に表示ムラが無ければ、ディスプレイパネル5全体が一つの色で均一に光ることとなる。このとき、ディスプレイパネル5を撮像素子8で撮影すると、ディスプレイパネル5の各画素と撮像素子8のCCD素子の各画素との間に位置ずれが無ければ、図4に示すように、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルは、規則的に変化して、ディスプレイパネル5の画素毎にばらつくことは無くなる筈である。なお図4は、CCD素子の各画素で検出する光の輝度レベルが規則的に変化する状態を模式的に示すものであり、図中の上部に示した山形はディスプレイパネル5から発せられる表示色の光の輝度レベルを示し、図中の下部のヒストグラムはCCDの各画素で検出したディスプレイパネル5からの光の輝度レベルを示すものである。ディスプレイパネル5に表示ムラが存在しなければ、この図4のように、ディスプレイパネル5を白色表示させた場合、ディスプレイパネル5の各画素に対応する全てのCCDの画素に入力される光の輝度レベルに、ディスプレイパネル5の画素毎のばらつきは無くなる筈である。
そして、もしディスプレイパネル5に表示ムラが存在する場合は、表示ムラが生じている画素からの光をこの画素に対応するCCDの画素で検出した時の光の輝度レベルが、表示ムラが生じていない画素からの光を検出する他の画素での輝度レベルとは異なるものとなるので、この輝度レベルの変化からディスプレイパネル5の表示ムラが検出できることとなる。
また、ディスプレイパネル5の各画素と撮像素子8のCCDの各画素との間に位置ずれが無い場合は、CCDの画素で検出する光の輝度レベルの割合が変化することが無く、モアレも発生しないこととなる。
しかしながら、実際にはディスプレイパネル5の各画素と撮像素子8のCCDの各画素との間に位置ずれが存在する場合があり、この場合は図5に示すように、ディスプレイパネル5に表示ムラが存在しなくても撮像素子8のCCDの画素で検出する光の輝度レベルの割合がCCD全体で不均一になってしまい、これがモアレの発生の原因となる。例えば図5の例では左側のグラフで示す画素では明るい縞となり、右側のグラフで示す画素では暗い縞となる。
前述したように、従来はこうしたモアレの発生を画像処理によって除去したり、カメラのフロントフォーカス調整によってモアレを抑制したりしていたが、本発明ではバックフォーカス調整によってモアレを抑制している。
具体的には、一旦撮像装置2のレンズ系7の焦点合わせをした後、バックフォーカス調整手段10の精密移動機構19によって撮像素子8を移動させ、レンズ系7と撮像素子8との間の距離bを変化させている。変化させる量としては、ディスプレイパネル5の画素1個に対して撮像素子8のCCDの画素3個が対応するようになる位置までである。すなわち、図6に示すように、RGBの3画素からなる1ドットの光を9個のCCDで検出する位置まで、距離bを変化させる。換言すれば、ディスプレイパネル5の単色1画素からの光を撮像素子8の3個のCCDに、つまり1ドットを形成するRGB3画素からの光を9個のCCDに分散させて検出させるように撮像素子8を移動させる。
その結果、図7に示すように、ディスプレイパネル5に表示ムラが無く、ディスプレイパネル5全体が均一に白色に光っている場合には、全てのCCDで検出する光の輝度レベルが一定となり、輝度レベルの規則的な変化を抑えられてモアレの発生を抑制する。この結果、モアレによる視覚的な障害なしに、ディスプレイパネル5の表示ムラの有無のみを認識できるようになり、表示ムラが無いことを正しく検出することができる。
一方、ディスプレイパネル5に表示ムラが存在する場合には次のようになる。即ち、図8に示すように、ディスプレイパネル5の表面に表示ムラの欠陥がある場合は、その部分の輝度レベルが他の部分に比べて変化する。しかも、広い範囲(3個のCCD)で輝度レベルが変化するため、表示ムラによるディスプレイパネル5から生じる光の輝度の違いを撮像素子8のCCDで容易に且つ確実に検出することができる。
この撮像素子8のCCDでの検出値に基づいて画像表示装置4の欠陥画像用モニタ27に表示し、検査員の視覚やしきい値との比較による画像処理で表示ムラを検出する。
それによって、複雑で時間のかかる画像処理を行う必要無しに、撮影された画像から確実に表示ムラの検査を行うことができる。
また、フロントフォーカス調整ではなくバックフォーカス調整を行うことから、一度レンズ系7の焦点合わせを行えば、その後レンズ系7を移動させる必要が無いので、カメラ(撮像装置2)の光軸ずれが発生せず、また検査対象となるディスプレイパネル5を交換する度にカメラの焦点合わせを行う必要が無くなり、作業性が向上する。
以上より、ディスプレイパネル5の表示ムラの検査を迅速且つ正確に行うことができるようになる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
本実施形態のディスプレイパネルの検査装置は、前記第1実施形態のディスプレイパネル検査装置1に光学フィルタを追加したものである。全体構成は前記第1実施形態のディスプレイパネル検査装置1と同様であるため、ここでは同一部材には同一符号を付してその説明を省略し、光学フィルタを中心に説明する。
本実施形態のディスプレイパネル検査装置は、図9に示すように、撮像装置2のレンズ系7と撮像素子8との間に、光学フィルタ30を装着するフィルタ装着部31を備えている。
光学フィルタ30は、ディスプレイパネル検査装置に要求される機能を備えたフィルタが用いられる。例えば、近赤外線をカットするIRカットフィルタ、反射光を取り除くPLフィルタやローパスフィルタ等の種々の機能を備えたフィルタの中から、ディスプレイパネル検査装置に必要とされる機能を備えたフィルタを選択して取り付ける。
フィルタ装着部31は、光学フィルタ30を装着するための部分である。フィルタ装着部31は、手動で光学フィルタ30を交換する場合と、自動で光学フィルタ30を交換する場合があり、これらに応じて構成される。フィルタ装着部31は、レンズ支持部14の縦板部14Aに取り付けられて、光学フィルタ30を支持する。
このフィルタ装着部31は、光学フィルタ30を手動で交換する構成の場合、光学フィルタ30に嵌合してこの光学フィルタ30をレンズ系7と撮像素子8との間で支持する部材として構成される。この場合、フィルタ装着部31に新たな光学フィルタ30が装着されたことを検知するスイッチ又はセンサを備え、新たな光学フィルタ30の装着を検知することで、後述する制御手段12の微調整処理機能を作動させるようにしてもよい。
フィルタ装着部31が光学フィルタ30を自動で交換する構成の場合、そのフィルタ装着部31は例えば図10に示すように、フィルタ支持部32と、回転駆動モータ33とからなるフィルタ切替機構34を備えて構成される。フィルタ支持部32は、光学フィルタ30を支持する支持腕部36を3つ設けて構成され、各支持腕部36で同時に3枚の光学フィルタ30を支持する。フィルタ支持部32は、その支持腕部36で支持された光学フィルタ30が、レンズ系7と撮像素子8との間に位置するように配設されている。なお、支持腕部36は4つ以上設けてもよい。回転駆動モータ33は、フィルタ支持部32を適宜回転させる。この回転駆動モータ33は、前記制御手段12に接続されている。この場合、制御手段12は、光学フィルタ30の装着又は交換後に微調整処理機能を自動的に作動させるように設定される。
前記制御手段12は、前記第1実施形態で説明した機能に加えて、レンズ系7と撮像素子8との間の距離を微調整する微調整処理機能をさらに備えている。この微調整処理機能は、光学フィルタ30の装着又は交換に伴って屈折によるフォーカスのズレを修正するために、バックフォーカス調整手段10を制御してレンズ系7と撮像素子8との間の距離を微調整する機能である。さらに、制御手段12は、フィルタ切替機構34の回転駆動モータ33を制御して、所定の光学フィルタ30をレンズ系7と撮像素子8との間に移動させて、ディスプレイパネル検査装置の光学特性を変更するようになっている。即ち、フィルタ装着部31がフィルタ切替機構34を備えて構成される場合は、前記制御手段12は、フィルタ切替機構34の回転駆動モータ33を制御して、フィルタ支持部32の支持腕部36を回転させて、選択された光学フィルタ30をレンズ系7と撮像素子8との間に移動させて支持する。
以上のように構成されたディスプレイパネル検査装置は次のように動作する。
ディスプレイパネル検査装置の全体的な動作は前記第1実施形態のディスプレイパネル検査装置1と同様であるため、ここでは光学フィルタ30の交換作業を中心に説明する。
光学フィルタ30としては、機能の異なるフィルタが複数枚用意される。この複数の光学フィルタ30の中からディスプレイパネル検査装置に要求される機能に対応した光学フィルタ30が選択され、フィルタ装着部31に新たに装着され、又は既存の光学フィルタ30と交換される。
この際、手動で光学フィルタ30を交換する構成のフィルタ装着部31の場合は、作業者が光学フィルタ30をフィルタ装着部31に直接取り付ける。このとき、既存の光学フィルタ30がフィルタ装着部31に取り付けられている場合は、まずそれを取り外し、その後新たな光学フィルタ30をフィルタ装着部31に装着する。
次いで、前記スイッチ又はセンサを備えている場合は自動で、スイッチ等を備えていない場合は手動で、制御手段12の前記微調整処理機能を作動させる。
また、自動で光学フィルタ30を交換する構成のフィルタ装着部31の場合は、制御手段12によるフィルタ切替機構34の制御により回転駆動モータ33が作動されてフィルタ支持部32が回転され、所定の光学フィルタ30をレンズ系7と撮像素子8との間に装着する。次いで、前記微調整処理機能を作動させる。
そして、前記微調整処理機能により、レンズ系7と撮像素子8との間の距離を微調整し、光学フィルタ30の交換作業を終了する。
この後、ディスプレイパネル検査装置による通常の検査が行われる。
以上により、要求される機能を備えた光学フィルタ30を前記フィルタ装着部31に適宜装着又は交換すると共に、制御手段12で前記レンズ系7と前記撮像素子8との間の距離を微調整して、光学フィルタ30の機能に応じてノイズ光の除去等を行った検査光を前記撮像素子8で受光させるため、前記第1実施形態の機能と相まって、高い精度の検査を行うことができる。
また、フィルタ装着部31をレンズ系7と撮像素子8との間に設けて、光学フィルタ30をレンズ系7と撮像素子8との間に装着するため、光学フィルタ30をコンパクトに装着することができる。即ち、光学フィルタ30のサイズを小さくすることができる。しかも光学フィルタ30は、画角の如何に係わらす同じサイズにすることができる。これは、バックフォーカス部が、レンズ系7の内部で一度結像させた像を撮像素子8のサイズに展開しているためである。これにより、ディスプレイパネル検査装置も嵩張らずコンパクトに構成することができる。また、光学フィルタ30が小さくなるため、軽量化及びコスト低減も図ることができる。
[変形例]
前記第1実施形態では、前記分散工程で、コントラストの低下による精度の低下を考慮して、ディスプレイパネル5の1個の画素が撮像装置2のCCDの3個の画素に対応するように前記画像の光を分散させたが、検出精度が確保されれば、2個または4個以上の画素と対応するように前記画像の光を分散させてもよい。即ち、光を分散させる範囲が大きすぎると、隣のアドレスのLCD画素に対応しているCCDにも光が入ってしまい、欠陥自体が分散されてコントラストが低下し、欠陥を検出できない可能性があるため、前記実施形態ではCCDの3個の画素に対応するように光の分散範囲を設定したが、コントラストの低下がなく検出精度が確保されれば、2個または4個以上の画素と対応するように前記画像の光を分散させてもよい。
前記第1実施形態では、前記分散工程で、コントラストの低下による精度の低下を考慮して、ディスプレイパネル5の1個の画素が撮像装置2のCCDの3個の画素に対応するように前記画像の光を分散させたが、検出精度が確保されれば、2個または4個以上の画素と対応するように前記画像の光を分散させてもよい。即ち、光を分散させる範囲が大きすぎると、隣のアドレスのLCD画素に対応しているCCDにも光が入ってしまい、欠陥自体が分散されてコントラストが低下し、欠陥を検出できない可能性があるため、前記実施形態ではCCDの3個の画素に対応するように光の分散範囲を設定したが、コントラストの低下がなく検出精度が確保されれば、2個または4個以上の画素と対応するように前記画像の光を分散させてもよい。
前記第1実施形態では、焦点合わせ工程の次に分散工程を行ったが、ディスプレイパネル5の種類によっては、分散工程の次に焦点合わせ工程を行っても良い。検査対象のディスプレイパネル5によって、このディスプレイパネル5と前記レンズ系7との間の距離及びレンズ系7と前記撮像素子8との間の距離が予め分かっているものもあるため、その場合は焦点合わせ工程と分散工程とを逆にしても良い。即ち、分散工程の次に焦点合わせ工程を行っても良い。
前記第2実施形態では、フィルタ切替機構34を、回転駆動モータ33で支持腕部36を回転させて光学フィルタ30を切り替える構成にしたが、他の構成でも良いことはいうまでもない。例えば、ジュークボックスと同様に、複数の光学フィルタ30を収納する収納部と、この収納部内の光学フィルタ30を自動的に取り出してフィルタ装着部31に搬送して装着する搬送部とから構成しても良い。
1:ディスプレイパネル検査装置、2:撮像装置、3:画像処理装置、4:画像表示装置、5:ディスプレイパネル、7:レンズ系、8:撮像素子、9:焦点合わせ手段、10:バックフォーカス調整手段、11:パネルコントロール部、12:制御手段、13:垂直移動機構、14:レンズ支持部、15:暗室、16:固定部、17:移動部、19:精密移動機構、20:撮像素子支持部、22:LCDパネル用電源、23:LCDパネル駆動信号発生器、27、欠陥画像用モニタ、28:操作用モニタ、30:光学フィルタ、31:フィルタ装着部、32:フィルタ支持部、33:回転駆動モータ、34:フィルタ切替機構、36:支持腕部。
Claims (8)
- レンズ系と撮像素子とを具備した撮像手段によりディスプレイパネルに表示された画像を撮影し、撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査する方法であって、
前記撮像手段の前記ディスプレイパネルに対する焦点合わせを行う焦点合わせ工程と、
前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記撮像素子に入射される前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散工程とを備えたことを特徴とするディスプレイパネルの検査方法。 - 前記撮像素子がCCDであり、
前記分散工程で、前記レンズ系と前記CCDとの距離を調整して、前記ディスプレイパネルの1個の画素が前記CCDの複数個の画素に対応するように前記画像の光を分散させることを特徴とする請求項1記載のディスプレイパネルの検査方法。 - 前記分散工程で、前記ディスプレイパネルの1個の画素が前記CCDの3個の画素に対応するように前記画像の光を分散させることを特徴とする請求項2記載のディスプレイパネルの検査方法。
- ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する撮像手段と、
前記撮像手段により撮影された前記ディスプレイパネルの画像を処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段で処理した画像を表示する画像表示手段とを具備するディスプレイパネルの検査装置において、
前記撮像手段が、レンズ系と、撮像素子と、前記レンズ系を移動させて前記ディスプレイパネルの画像に対して焦点合わせを行う焦点合わせ手段と、前記撮像素子を移動させて前記レンズ系と前記撮像素子との距離を調整するバックフォーカス調整手段と、前記焦点合わせ手段及びバックフォーカス調整手段を制御する制御手段とを具備し、
前記制御手段が、前記撮像手段で撮影した画像から前記ディスプレイパネルの表示ムラを検査するに際し、前記撮像手段の前記焦点合わせ手段を制御して前記ディスプレイパネルに対して焦点合わせを行う焦点合わせ処理機能と、前記バックフォーカス調整手段を制御して前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を調整して前記撮像素子に入射される前記画像の光を分散させることにより前記ディスプレイパネルに表示された画像を撮影する時のモアレ発生を抑制する分散処理機能とを備えたことを特徴とするディスプレイパネルの検査装置。 - 前記撮像手段の前記撮像素子がCCDであり、
前記制御手段が、前記バックフォーカス調整手段を介して前記レンズ系と前記CCDとの距離を調整して、前記ディスプレイパネルの1個の画素が前記CCDの複数個の画素に対応するように前記画像の光を分散させることを特徴とする請求項4記載のディスプレイパネルの検査装置。 - 前記制御手段が、前記ディスプレイパネルの1個の画素が前記CCDの3個の画素に対応するように前記画像の光を分散させることを特徴とする請求項5記載のディスプレイパネルの検査装置。
- 前記撮像手段のレンズ系と撮像素子との間に、光学フィルタを装着するフィルタ装着部を備え、
前記制御手段が、前記光学フィルタの装着又は交換に伴って屈折によるフォーカスのズレを修正するために前記バックフォーカス調整手段を制御して前記レンズ系と前記撮像素子との間の距離を微調整する微調整処理機能をさらに備えたことを特徴とする請求項4記載のディスプレイパネルの検査装置。 - 前記フィルタ装着部が複数のフィルタを自動的に切り替えるフィルタ切替機構を備えたことを特徴とする請求項7記載のディスプレイパネルの検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008115844A JP2009156857A (ja) | 2007-12-05 | 2008-04-25 | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 |
TW097140013A TWI390195B (zh) | 2007-12-05 | 2008-10-17 | 顯示面板之檢查方法及檢查裝置 |
KR1020080111555A KR20090059032A (ko) | 2007-12-05 | 2008-11-11 | 디스플레이 패널의 검사 방법 및 검사 장치 |
CN2008101789442A CN101451909B (zh) | 2007-12-05 | 2008-12-05 | 显示面板的检查方法及检查装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007314920 | 2007-12-05 | ||
JP2008115844A JP2009156857A (ja) | 2007-12-05 | 2008-04-25 | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009156857A true JP2009156857A (ja) | 2009-07-16 |
Family
ID=40734275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008115844A Pending JP2009156857A (ja) | 2007-12-05 | 2008-04-25 | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009156857A (ja) |
KR (1) | KR20090059032A (ja) |
CN (1) | CN101451909B (ja) |
TW (1) | TWI390195B (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009156858A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-07-16 | Micronics Japan Co Ltd | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 |
JP2011130118A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Sharp Corp | 撮像条件決定装置、撮像条件決定方法、撮像条件決定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び上記撮像条件決定装置を備えたムラ補正システム |
JP2012194000A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Micronics Japan Co Ltd | カメラ解像度自動測定方法及び自動調節方法並びに画像検査方法及び装置 |
KR20150050244A (ko) * | 2013-10-31 | 2015-05-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치의 얼룩 검출 방법과 이를 이용한 얼룩 보상 방법 |
US20150377798A1 (en) * | 2013-12-30 | 2015-12-31 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Detection-Evaluation Method and Device for Moire Pattern |
EP3171588A4 (en) * | 2014-07-15 | 2018-01-17 | IIX, Inc. | Image processing method and image processing apparatus executing that image processing method |
CN108918533A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-30 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种Demura多轴全自动检测机构 |
KR101954089B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2019-03-06 | (주)트라이시스 | 표시 패널 얼룩 검사 시스템 |
KR20230068556A (ko) * | 2021-11-11 | 2023-05-18 | 서울대학교산학협력단 | 투과율 측정용 자외선-가시광선-적외선 분광 분석기 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102831870B (zh) * | 2009-08-18 | 2015-05-13 | 夏普株式会社 | 显示装置和显示装置的亮度不均校正方法 |
KR101306289B1 (ko) | 2011-09-15 | 2013-09-09 | (주) 인텍플러스 | 평판 패널 검사방법 |
TWI512277B (zh) * | 2013-01-04 | 2015-12-11 | Taiwan Power Testing Technology Co Ltd | 顯示器之檢測設備 |
CN104867429B (zh) * | 2014-02-25 | 2018-02-06 | 台湾动力检测科技股份有限公司 | 显示器的检测设备 |
CN104111547B (zh) * | 2014-05-23 | 2017-10-27 | 苏州日和科技有限公司 | 一种彩色滤光片自动切换装置 |
CN105654898B (zh) * | 2016-02-25 | 2018-09-21 | 西安诺瓦电子科技有限公司 | 图像采集设备成像摩尔纹抑制方法及其应用 |
CN106292003B (zh) * | 2016-08-16 | 2019-08-16 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种用于光学检测lcd屏幕的自动调整方法、装置及系统 |
CN108254160A (zh) * | 2016-12-29 | 2018-07-06 | 天津梦祥原科技有限公司 | 一种测量显示屏色度的快速测量装置 |
CN106596563A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-04-26 | 镇江苏仪德科技有限公司 | 一种太阳能电池片机器视觉检测平台 |
WO2018176261A1 (zh) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | 深圳配天智能技术研究院有限公司 | 一种检测参数确定方法和检测装置 |
KR102667359B1 (ko) * | 2018-12-04 | 2024-05-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 검사 장치 및 이의 구동 방법 |
CN111182296B (zh) * | 2020-01-03 | 2021-08-27 | 歌尔光学科技有限公司 | 摄像模组的检测装置、检测方法及存储介质 |
-
2008
- 2008-04-25 JP JP2008115844A patent/JP2009156857A/ja active Pending
- 2008-10-17 TW TW097140013A patent/TWI390195B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-11-11 KR KR1020080111555A patent/KR20090059032A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-12-05 CN CN2008101789442A patent/CN101451909B/zh active Active
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009156858A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-07-16 | Micronics Japan Co Ltd | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 |
JP2011130118A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Sharp Corp | 撮像条件決定装置、撮像条件決定方法、撮像条件決定プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、及び上記撮像条件決定装置を備えたムラ補正システム |
JP2012194000A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Micronics Japan Co Ltd | カメラ解像度自動測定方法及び自動調節方法並びに画像検査方法及び装置 |
KR102149480B1 (ko) | 2013-10-31 | 2020-10-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치의 얼룩 보상 방법 및 및 장치 |
KR20150050244A (ko) * | 2013-10-31 | 2015-05-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치의 얼룩 검출 방법과 이를 이용한 얼룩 보상 방법 |
US20150377798A1 (en) * | 2013-12-30 | 2015-12-31 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Detection-Evaluation Method and Device for Moire Pattern |
US9506875B2 (en) * | 2013-12-30 | 2016-11-29 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Detection-evaluation method and device for moiré pattern |
EP3171588A4 (en) * | 2014-07-15 | 2018-01-17 | IIX, Inc. | Image processing method and image processing apparatus executing that image processing method |
CN108918533A (zh) * | 2018-06-27 | 2018-11-30 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种Demura多轴全自动检测机构 |
CN108918533B (zh) * | 2018-06-27 | 2024-04-05 | 武汉精测电子集团股份有限公司 | 一种Demura多轴全自动检测机构 |
KR101954089B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2019-03-06 | (주)트라이시스 | 표시 패널 얼룩 검사 시스템 |
KR20230068556A (ko) * | 2021-11-11 | 2023-05-18 | 서울대학교산학협력단 | 투과율 측정용 자외선-가시광선-적외선 분광 분석기 |
KR102608202B1 (ko) * | 2021-11-11 | 2023-12-01 | 서울대학교산학협력단 | 투과율 측정용 자외선-가시광선-적외선 분광 분석기 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090059032A (ko) | 2009-06-10 |
TW200933134A (en) | 2009-08-01 |
CN101451909B (zh) | 2011-11-16 |
TWI390195B (zh) | 2013-03-21 |
CN101451909A (zh) | 2009-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009156857A (ja) | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 | |
EP3444584B1 (en) | Inspecting device and inspecting method | |
JP2006242821A (ja) | 光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置 | |
JP2009085617A (ja) | 欠陥検出装置及び方法 | |
WO2019105433A1 (zh) | 影像畸变检测方法和系统 | |
JP2007251143A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2009229197A (ja) | 線状欠陥検出方法および線状欠陥検出装置 | |
KR20120101182A (ko) | 광학 필터 및 디스플레이 평가 시스템 | |
JP4967245B2 (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法 | |
JP5200353B2 (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置 | |
JP2006284965A (ja) | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 | |
JP2006242759A (ja) | 周期性パターンのムラ検査方法 | |
JP5499295B2 (ja) | ディスプレイパネルの検査方法および検査装置 | |
JP2008180578A (ja) | 周期性パターンのムラ検査装置 | |
JP2010243212A (ja) | 傾斜検出方法、および傾斜検出装置 | |
JP2005249946A (ja) | 表示装置の欠陥検査装置 | |
JP2006201523A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法および検査装置 | |
JP6142655B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP2008175768A (ja) | 表示パネルの欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2004279282A (ja) | ワ−クの外観検査装置 | |
JP2010008188A (ja) | 表示パネルの検査装置、検査方法及びこれを用いた表示パネルの製造方法 | |
KR100803042B1 (ko) | 영상취득장치 및 방법 | |
US20170132778A1 (en) | Mask inspection device and method thereof | |
JP6196148B2 (ja) | デフォーカス制御装置およびデフォーカス制御方法 | |
JP2009219036A (ja) | 撮影装置および撮影装置の製造方法 |