JP2006284965A - 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 - Google Patents
顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006284965A JP2006284965A JP2005105455A JP2005105455A JP2006284965A JP 2006284965 A JP2006284965 A JP 2006284965A JP 2005105455 A JP2005105455 A JP 2005105455A JP 2005105455 A JP2005105455 A JP 2005105455A JP 2006284965 A JP2006284965 A JP 2006284965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- axis direction
- sample
- imaging
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
【課題】 走査時の撮像位置のずれにかかわらず、試料の撮像を高品質で、迅速に行なうことができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 顕微鏡装置100は、駆動部2と、顕微鏡3と、顕微鏡3で拡大した試料を走査して撮像するラインセンサ4と、ラインセンサ4の撮像画像から試料の拡大画像を作成する制御コンピュータ150とを備える。制御コンピュータ150は、駆動部2を制御して、1回の走査が終了する度にラインセンサ4のY軸方向の位置を変更しながら、試料1をX軸方向に走査する。制御コンピュータ150は、各撮像位置で試料1を撮像する際に、ラインセンサ4の撮像位置のY軸方向のずれを求めて記録する。制御コンピュータ150は、各部分画像を合成する際に、記録しておいたずれ量を考慮して、位置合わせして合成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 顕微鏡装置100は、駆動部2と、顕微鏡3と、顕微鏡3で拡大した試料を走査して撮像するラインセンサ4と、ラインセンサ4の撮像画像から試料の拡大画像を作成する制御コンピュータ150とを備える。制御コンピュータ150は、駆動部2を制御して、1回の走査が終了する度にラインセンサ4のY軸方向の位置を変更しながら、試料1をX軸方向に走査する。制御コンピュータ150は、各撮像位置で試料1を撮像する際に、ラインセンサ4の撮像位置のY軸方向のずれを求めて記録する。制御コンピュータ150は、各部分画像を合成する際に、記録しておいたずれ量を考慮して、位置合わせして合成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、イメージセンサによって試料を走査しつつ撮像する顕微鏡装置と拡大画像生成方法に関する。
顕微鏡による様々な観察・検査が頻繁に行われている。また、近時のディジタル画像技術の進歩に伴って、拡大画像をCCDカメラなどで撮影して表示するタイプの顕微鏡も広く用いられるようになっており、例えば、ラインCCDカメラを用いた顕微鏡装置が特許文献1に開示されている。
特許文献1に開示されているような顕微鏡装置を用いて観察・測定対象の試料の画像を取得する際、試料をX−Yステージ上に載置し、X−Yステージを操作しながら試料を順次撮影する。
X−Yステージを駆動する駆動部には所謂ガタが存在し、また、駆動時に振動が発生するため、ラインCCDのライン方向の撮影位置が一定しない。このため、図12(a)に示すように、各撮像画像が相対的に変位してしまい、図12(b)に模式的に示すように、合成した際に、継目がずれて画質が低下してしまうという問題がある。
このような問題を解決できる撮像装置が特許文献2に開示されている。この特許文献には、ラインセンサの走査方向と平行に基準ラインを設け、基準ラインを撮像することによりラインセンサのライン方向の位置のずれ量を測定し、感光ドラムの記録位置を補正する技術が開示されている。しかし、この手法は、1回の走査で走査領域全体を走査できるコピー機等には適用できるが、特許文献1に開示されているようなX−YステージをY軸方向にシフトしつつ走査領域を複数回走査することによりに撮像を行う顕微鏡には適用困難である。
また、特許文献3には、撮像時の走査位置のずれを検出して補正することができる顕微鏡装置が開示されている。しかし、この顕微鏡装置は、光源スポットをラスタスキャンするタイプのものであり、特許文献1に開示されているX−Yステージを駆動するタイプの顕微鏡にそのまま適用することはできない。
また、試料の表面に凹凸があるため、明瞭な撮像画面を得るためには、焦点距離も正しく設定する必要があるが、走査しながらの焦点距離の設定は困難である。
特開2003−295063号公報
特開2001−144913号公報
特開2000−39560号公報
そこで本発明の目的は、試料の撮像を高鮮明度で行なうことができる顕微鏡装置と拡大画像生成方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、簡単な構成で試料の撮像を迅速に行なうことができる顕微鏡装置と拡大画像生成方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、簡単な構成で試料の撮像を迅速に行なうことができる顕微鏡装置と拡大画像生成方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る顕微鏡装置は、
試料を載置し、X軸方向及び該X軸方向に交差するY軸方向に移動するX−Yステージと、
前記X−Yステージ上に載置された試料の像を拡大する顕微鏡と、
前記顕微鏡により拡大された像を撮像する撮像手段と、
前記X−YステージをX軸方向に移動して、前記撮像手段により前記試料をX軸方向に走査して撮像することにより複数の分割画像を生成し、X軸方向の走査終了後、前記X−YステージをY軸方向に移動することによりY軸方向の位置を変更するとともに前記X−YステージをX軸方向に移動してX軸方向の走査を開始するように前記X−Yステージと前記撮像手段とを制御する制御手段と、
前記X−YステージのY軸方向の位置を検出してY軸方向の位置情報を出力するY位置検出手段と、
Y軸方向の位置情報に基づいて、前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像のY軸方向の位置を補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする。
試料を載置し、X軸方向及び該X軸方向に交差するY軸方向に移動するX−Yステージと、
前記X−Yステージ上に載置された試料の像を拡大する顕微鏡と、
前記顕微鏡により拡大された像を撮像する撮像手段と、
前記X−YステージをX軸方向に移動して、前記撮像手段により前記試料をX軸方向に走査して撮像することにより複数の分割画像を生成し、X軸方向の走査終了後、前記X−YステージをY軸方向に移動することによりY軸方向の位置を変更するとともに前記X−YステージをX軸方向に移動してX軸方向の走査を開始するように前記X−Yステージと前記撮像手段とを制御する制御手段と、
前記X−YステージのY軸方向の位置を検出してY軸方向の位置情報を出力するY位置検出手段と、
Y軸方向の位置情報に基づいて、前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像のY軸方向の位置を補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする。
前記X−YステージのX軸方向の位置を検出するX位置検出手段を配置し、前記X位置検出手段で検出されたX軸方向の位置情報に基づいて、前記制御手段が前記撮像手段を制御して前記複数の分割画像を生成するようにしてもよい。
例えば、前記X位置検出手段と前記Y位置検出手段とは、それぞれ、エンコーダから構成されている。
例えば、前記撮像手段により1つの分割画像を撮像している間に、前記X位置検出手段を構成するエンコーダからパルスが出力される度に前記制御手段が前記Y位置検出手段によるY軸方向の位置情報を取得し、当該Y軸方向の位置情報の平均値からY軸方向の分割画像の補正量を求める。
前記撮像手段により1つの分割画像を撮像している間に、前記制御手段が前記Y位置検出手段によるY軸方向の位置情報を1回取得し、この位置情報に基づいてY軸方向の分割画像の補正量を求める、画像処理手段は、この補正量に基づいて、各分割画像の合成位置を調整して合成する。
前記制御手段には、撮像手段の出力画像データに基づいて、前記撮像手段の走査中に前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点位置調整手段が設けられていてもよい。
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る拡大画像生成方法は、
試料の像を顕微鏡で拡大し、
前記試料に対して撮像手段を所定の走査方向に相対的に走査しつつ当該撮像手段によって前記試料の像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする。
試料の像を顕微鏡で拡大し、
前記試料に対して撮像手段を所定の走査方向に相対的に走査しつつ当該撮像手段によって前記試料の像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係るコンピュータプログラムは、 コンピュータに、
試料が載置されたステージと撮像手段とを相対的に移動することにより、試料を前記撮像手段により所定の走査方向に走査して前記試料の拡大像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
処理を実行させる。
試料が載置されたステージと撮像手段とを相対的に移動することにより、試料を前記撮像手段により所定の走査方向に走査して前記試料の拡大像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
処理を実行させる。
上記構成によれば、走査中位置を検出して、合成時に位置を補正して合成するので、走査位置の変位により撮像位置がぶれても、適切に補正して画像を合成することが可能となる。
以下、図1〜図10を参照しつつ、本発明の実施の形態にかかる顕微鏡装置100を説明する。
顕微鏡装置100は、図1に示すように、顕微鏡部110と制御コンピュータ150とから構成されている。
図2に詳細に示すように、顕微鏡部110は、染色された細胞やプラスチックで形成された固体飛跡検出器等の試料1を移動させる移動部2と、試料1の像を拡大する顕微鏡3と、顕微鏡3により拡大された試料の像を撮像するラインセンサ4と、を備える。移動部2と顕微鏡3とは、L字型の架台7によって、それぞれ支持されている。
移動部2は、架台7の水平部に設置されており、試料1を、左右及び前後方向(X−Y軸方向)に水平移動させるX−Yステージ21を備える。X−Yステージ21は、図示せぬ駆動用のモータ(図5を参照して後述するX軸モータ131とY軸モータ132)により駆動される。モータは、制御コンピュータ150によってコントロールされ、所定の位置に試料1を移動させる。
X−Yステージ21の上には、試料台22が配置されている。試料台22には、例えば、プレパレートにセットされた試料1が配置され、X−Y21の動きに合わせて試料1も移動する。試料台22の下には、コンデンサレンズ23が配置されている。また、X−Yステージ21の近傍にはエンコーダ24(図5に示すXエンコーダ24X及びYエンコーダ24Y)が配置されており、X−Yステージ21のX軸方向及びY軸方向の移動量に対応するパルスを制御コンピュータ150に供給する。また、ラインセンサ4によって取得したライン画像のY軸方向の位置補正(ずれ補正)は、Yエンコーダ24Yの出力に基づいて行われる。
顕微鏡3は、光学顕微鏡から構成されており、対物レンズ31と、試料1を照射する落射照明部32と、制御用撮像ユニット33と、鏡筒34と、目視観察用の接眼レンズ35と、顕微鏡3の位置を上下方向(Z軸方向)に調整する(移動する)Z軸制御部36と、から構成される。
対物レンズ31は、例えば、10倍及び20倍のレンズから構成され、レボルバ37によって、切り替え可能に構成されている。
落射照明部32は、内蔵する光源からの光を、顕微鏡3の光軸に沿うよう屈曲させて試料1に照射し、試料1からの反射光を得る。また、透過照明も照射できるように架台7には、外部光源からの光を導入する光ファイバ8が設けられている。
制御用撮像ユニット33は、2次元CCDセンサ331を備え、比較的広いエリアの画像を撮像して、制御コンピュータ150に出力する。2次元CCDセンサ331の画像を用いて、ラインセンサ4を走査して高解像度の画像を取得する範囲や、おおよそのフォーカス位置(ラインセンサ4の位置)などを簡便に設定可能である。
2次元CCDセンサ331は、例えば、縦横640 × 480 = 約31万画素の比較的小容量のものである。2次元CCDセンサ331は、図3に示すように、試料1の表面であって、ラインセンサ4の撮像範囲Cを挟む比較的広い範囲Eを撮像する。
鏡筒34は、目視観察用の接眼レンズ35と、ラインセンサ4とを支持する。
鏡筒34の側部は、Z軸制御部36を介して、L字型架台7の直立部分に取り付けられている。Z軸制御部36は、架台7に固定されたスライド板36aと鏡筒34に固定されたスライド板36bと、Z軸モータ361とを備える。
図4に示すように、スライド板36aと36bとの一方には、Z軸モータ361と、Z軸モータ361の回転軸362に固定されたピニオンギア363と、回転軸362と共軸に構成された操作つまみ364とを備える。また、スライド板36aと36bとの他方には、ラック365が形成されており、ラック365にピニオンギア363が係合して、ラックアンドピニオン機構を構成している。モータ361の回転駆動及び操作つまみ364の回転駆動により、ピニオンギア363が回転し、ラック365を駆動する。このため、架台7に固定されているスライド板36aに対してスライド板36bが上下方向にスライドして、鏡筒34が上下(Z軸方向)に移動する。
目視観察用の接眼レンズ35は、対物レンズ31からの光軸をプリズムで傾けて、目視観察が容易になるようにしている。
ラインセンサ4はケースに収納されており、このケースは、鏡筒34の先端に着脱可能に装着される。装着部は、例えば、Fマウントを採用する。
ラインセンサ4は、例えば、1辺が7マイクロメートルの電荷結合素子を1個ずつ、直線状に約4000(1×(4000+α))個(αは一例として96個)配列して構成されたラインCCDから構成されている。後述するように、本実施の形態においては、ラインセンサ4のY軸方向のずれ量を検出して画像合成の際にこれを補正する。この補正する使用するため、画素数は、画像合成に使用する4000個に対してα個だけ余裕をもっている。
ラインセンサ4は、撮像倍率が10倍の場合は、幅(dX)が、7マイクロメートル ÷ 10 = 0.7マイクロメートル、長さ(dY)が、7マイクロメートル × 約4000個 ÷ 10 = 約2.8ミリメートルの範囲(図3の範囲C)を、一度に撮像することができる。
ラインセンサ4は、撮像倍率が10倍の場合は、幅(dX)が、7マイクロメートル ÷ 10 = 0.7マイクロメートル、長さ(dY)が、7マイクロメートル × 約4000個 ÷ 10 = 約2.8ミリメートルの範囲(図3の範囲C)を、一度に撮像することができる。
ラインセンサ4は、移動部2によってX軸方向に移動する試料1を、この範囲毎に順次撮像し、各々のライン画像データを連結コード(図示せず)を介して、制御コンピュータ150に伝達する。即ち、ラインセンサ4は、試料1に対して相対運動を行って、顕微鏡3により拡大された試料1の像を走査(スキャン)し、対応する画像データを制御コンピュータ150に供給する。なお、撮像の際、X−Yステージ21を移動すると、振動などにより、X−Yステージ21は本来の位置からラインセンサ4のライン方向(図3のY軸方向)にもわずかにずれて移動してしまう。このため、顕微鏡装置100は、このY軸方向のずれを検出して、撮像画像を合成する際に位置を補正する機能を有する。
図1に示す制御コンピュータ150は、コンピュータ装置から構成され、図1に示すように、演算処理部51、表示部52、画像データを記録する画像記録装置53、を備える。演算処理部51は、例えば、試料1の撮像領域の設定、移動部2のX軸方向及びY軸方向への移動と位置制御、オートフォーカスのためのZ軸方向の調整、ラインセンサ4への撮像実行指示、ラインセンサ4からのライン画像データの取り込み、ライン画像データから撮像領域の全体画像を作成する処理などを行う。
図5に演算処理部51を中心とした回路ブロック図を示す。
図に示すように、演算処理部51には、移動部2、Z軸制御部36、撮像部123、画像RAM124、画像記録装置53、データ通信部125などが接続される。
図に示すように、演算処理部51には、移動部2、Z軸制御部36、撮像部123、画像RAM124、画像記録装置53、データ通信部125などが接続される。
移動部2は、X軸駆動部121、Y軸駆動部122、X軸エンコーダ24X,Y軸エンコーダ24Y、を備える。
X駆動部121は、演算処理部51の制御に従ってX軸モータ131を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に移動する。
Y駆動部122は、演算処理部51の制御下に、Y軸モータ132を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に直交するY軸方向に移動する。
X駆動部121は、演算処理部51の制御に従ってX軸モータ131を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に移動する。
Y駆動部122は、演算処理部51の制御下に、Y軸モータ132を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に直交するY軸方向に移動する。
X軸エンコーダ24Xは、リニアエンコーダ等から構成され、X−Yステージ21がX軸方向に動くと、その向きと移動距離に応じたパルス列を出力する。演算処理部51は、パルス数及び位相等を判別することにより、X−Yステージ21のX軸方向の移動方向と移動距離とを判別する。
Y軸エンコーダ24Yは、リニアエンコーダ等から構成され、X−Yステージ21がY軸方向に動くと、その向きと移動距離に応じたパルス列を出力する。演算処理部51は、パルス数及び位相等を判別することにより、X−Yステージ21のY軸方向の移動方向と移動距離とを判別する。
Z軸制御部36は、前述のZ軸モータ361と、Z駆動部132及びZ軸エンコーダ363とから構成される。Z駆動部362は、演算処理部51の制御下に、Z軸モータ361を駆動して、顕微鏡3をZ軸方向(上下方向)に移動する。Z軸エンコーダ363は、リニアエンコーダ等から構成され、顕微鏡3がZ軸方向に動くと、その向きと移動距離に応じたパルス列を出力する。演算処理部51は、パルス数及び位相等を判別することにより、顕微鏡3の移動方向と移動距離とを判別する。
撮像部123は、前述の2次元エリアCCDセンサ331とラインセンサ4を備え、画像を取得して演算処理部51に供給する。
画像RAM124は、演算処理部51が様々な処理のワークメモリとして使用する。
画像記録部53は、大容量記憶装置等から構成され、撮像した画像を記録する。
データ通信部125は、外部装置との間で様々な通信を行う。
データ通信部125は、外部装置との間で様々な通信を行う。
次に、図1〜図10を参照して、本実施の形態の顕微鏡装置100の動作を説明する。
顕微鏡装置100を用いて試料を測定・観察などする場合には、図6に概略的に示すように、まず、観察対象の試料1を、試料台22の上面にセットする(ステップS11)。次に、試料1の測定領域11を設定する(ステップS12)。
顕微鏡装置100を用いて試料を測定・観察などする場合には、図6に概略的に示すように、まず、観察対象の試料1を、試料台22の上面にセットする(ステップS11)。次に、試料1の測定領域11を設定する(ステップS12)。
測定領域11は、図7に示すように、試料1の表面上の撮像対象の矩形形状の範囲である。この範囲を確定することにより、ラインセンサ4で順次撮像するライン画像の撮像の、始点11aと終点11bとを設定することができる。
測定領域11は、目視観察用の接眼レンズ35を見ながら設定可能である。また、2次元CCDセンサ331の撮像領域E(図3参照)を表示部52に表示させ、表示画像上で測定領域11を指定するようにしてもよい。例えば、2次元CCDセンサ331により、図7に示すほぼ矩形形状をした試料1の対角線上にある一端の角部近傍の位置11a周辺を表示部52に表示させて、ラインセンサ4による撮像開始点を設定し、次に対角線上にある角部近傍の位置11b周辺を表示させて撮像終了点を設定し、それらの位置をパソコンに登録する。これにより、位置11aと11bのXY座標が、移動部2の移動始点と終点位置に対応する情報として、演算処理部51に記録される。
測定領域11のY軸方向をラインセンサ4の長さdYで区分した帯が、ラインセンサ4の1回の走査で撮像できる領域である。従って、ラインセンサ4によって試料1を撮像する場合には、演算処理部51からの指示によって、X軸モータ131及びY軸モータ132を駆動し、撮像位置を最初の撮像位置である内側位置11aから、最後の撮像位置である水平方向位置11bまで順次移動させる。
測定領域11の設定が終わると、2次元CCDセンサ331の映像に基づいて、焦点距離を自動設定する。例えば、2次元CCDセンサ331の撮像画像のエッジ部分と背景部分とがはっきりしている、すなわち鮮鋭度の高い焦点位置をピントのあった位置として設定する(ステップS13)。具体的には、Z軸モータ133を駆動して、鏡筒34を上下に移動し、フォーカスレベルが最も高くなる位置に鏡筒34の位置を設定する。
続いて、ラインセンサ4で測定領域11をスキャンして撮像を行い(ステップS14)、その結果を表示する(ステップS15)。
次に図8と図9を参照しつつ、ラインセンサ4で測定領域11を走査して、試料1を撮像するステップS14の手順を説明する。
この撮像は、演算処理部51に内蔵してあるプログラムによって制御される。
この撮像は、演算処理部51に内蔵してあるプログラムによって制御される。
演算処理部51は、Y軸方向の撮影位置(走査数)を指定するポインタmに1を設定する(ステップS21)。
続いて、X軸方向の撮影位置(1走査中のライン画像の番号)を指定するポインタnに1を設定する(ステップS22)。
続いて、ラインセンサ4の撮影位置(初期位置)が(X,Y)=(dX・(n−1),dY ・(m−1))となるように、移動部2を制御して、X−Yステージ21を移動する。当初は、(X,Y)=(0,0)の位置にラインセンサ4の撮像範囲が位置するように、エンコーダ24(24X,24Y)の出力を監視しつつモータ131,132を駆動して、試料台21を移動することにより、試料1を移動させる(ステップS23)。このXY座標(0、0)位置は、図7に示す測定領域11の左下隅11aであり、この点が撮像を開始する始点となる。
続いて、X軸方向の撮影位置(1走査中のライン画像の番号)を指定するポインタnに1を設定する(ステップS22)。
続いて、ラインセンサ4の撮影位置(初期位置)が(X,Y)=(dX・(n−1),dY ・(m−1))となるように、移動部2を制御して、X−Yステージ21を移動する。当初は、(X,Y)=(0,0)の位置にラインセンサ4の撮像範囲が位置するように、エンコーダ24(24X,24Y)の出力を監視しつつモータ131,132を駆動して、試料台21を移動することにより、試料1を移動させる(ステップS23)。このXY座標(0、0)位置は、図7に示す測定領域11の左下隅11aであり、この点が撮像を開始する始点となる。
続いて、オートフォーカス処理(焦点位置の自動調整)を開始させる(ステップS24)。オートフォーカス処理については、図9と図10を参照して後述する。
続いて、第nライン目の撮像を行い、画像を画像RAM124に記憶する(ステップS25)。即ち、位置(X,Y)=(0,0)=(dX・(n−1),dY・(m−1))を、ラインセンサ4で撮像し、その画像(ライン画像)を第nのライン画像として記録する。
続いて、X軸モータ131を駆動して、X−Yステージ21をX軸方向に一定の速度Vxで移動させる処理を開始させる(ステップS26)。即ち、ラインセンサ4による試料1のX軸方向の走査を開始させる。以後、移動部2は指示があるまで、一定速度VxでステージをX軸方向に移動する。
次に、演算処理部51は、ポインタnを+1する(ステップS27)。
さらに、X軸エンコーダ131からのパルスをカウントするXエンコーダパルスカウンタのカウント値を0にリセットする(ステップS28)。
さらに、X軸エンコーダ131からのパルスをカウントするXエンコーダパルスカウンタのカウント値を0にリセットする(ステップS28)。
続いて、演算処理部51は、X軸エンコーダ131から供給されるパルスの数をカウントするX軸エンコーダパルスカウンタを監視し、このパルス数が所定値pに達するまで待機する(ステップS29)。所定値pは、X−Yステージ21が、ラインセンサ4の幅dXだけ移動したときに、X軸エンコーダ131が出力するパルス数に等しい。
X−Yステージ21が、X軸方向にラインセンサ4の1撮像幅dX分だけ移動すると、カウント値がpに達し、ステップS29でYesと判別され、その位置でのラインセンサ4からの画像(1ライン画像)を記録する(ステップS30)。即ち、2番目、3番目...の計測位置(dX,dY・(m−1))、(2・dX,dY・(m−1))...におけるラインセンサ4からのライン画像を記録する。
さらに、Y軸エンコーダ132が示す変位量ΔYを変位量S(n)として記憶する。これは、座標(0,dY・(m−1))の各走査の開始位置のY軸方向の位置基準として、撮像位置がY軸方向にどの程度ずれたかを示す値である。換言すれば、m=1の場合であれば、本来(dX,0)、(2・dX,0)...の位置にあるべき撮像位置が、実際には、(dX,S(2))、(2・dX,S(3))....の位置にあり、Y軸方向にS(2)、S(3)....だけずれていることを示す。
演算処理部51は、ステップS30で取り込んだ第nのライン画像とステップS31で求めた変位量S(n)を対応付けて記録する。
演算処理部51は、n=Lであるか否か、即ち、ラインセンサ4が図7に示す測定領域11の右下隅に到達したか否かを判別し(ステップS32)、到達していなければ(ステップS32;No)、ステップS27にリターンし、
ステップS27〜S31の処理を繰り返して、第nライン画像とそのライン画像のY軸方向のずれ量S(n)とを対応付けて順次記録する。
ステップS27〜S31の処理を繰り返して、第nライン画像とそのライン画像のY軸方向のずれ量S(n)とを対応付けて順次記録する。
一方、ステップS32で、ラインセンサ4が長さdX・Lだけ走査して、ラインセンサ4の撮像領域が測定領域11の右下隅に到達したと判別すると(ステップS32;Yes)、即ち、Y座標=dY・(m−1)の1列について撮像データの取り込みが完了すると、演算処理部51は、オートフォーカス処理の終了を指示すると共に移動部2に移動の停止を指示する(ステップS33)。
続いて、演算制御部51は、今回取得した1走査分の画像を合成する処理を開始する。
まず、ステップS34において、ライン画像の番号を示すポインタiを1にセットする。
次に、第iの画像を読み出し、その画像のY軸方向の位置をS(i)分だけ補正して合成する。なお、S(0)=0である。即ち、画像の座標位置を(dx・i,S(i))という、実際の撮影位置とした上で、画像を合成する(ステップS35)。このとき、図12(c)のようにラインCCDには4000個の有効画素(アドレス範囲1〜4000番地)の前後に合計α個のマージン部分を設けておき、ずれ量に伴う画素数の減少を回避している。図12(c)で、斜線部分は、ライン画像の合成時に用いられないデータを表す。図12(c)の例では、1ライン目でアドレス範囲1〜4000番地のデータを合成し、2ライン目で2〜4001番地のデータを合成している。即ち、第2ライン目以降では、第1ライン目のアドレス範囲1〜4000の位置に対応する画素の画像を抽出(切り出して)合成する。換言すれば、各ラインの画像をそのまま合成し、第1ライン目のマージン領域に相当する部分を削除する。なお、マージン部分を越える補正量S(i)が設定された場合には、想定外の振動や衝突がおきたと考えられ、エラー表示をして撮像を中止する。
続いて、ポインタiを+1し(ステップS36)、iがLより大きいか否かを判別することにより、1走査分の画像合成が終了したか否かを判別する(ステップS37)。
1走査分の画像合成が終了していないと判別した場合(ステップS37;No)、ステップS35にリターンして、次にライン画像について同様の合成処理を実行する。
1走査分の画像合成が終了したと判別した場合(ステップS37;Yes)、ステップS38に進み、走査数を示すポインタmを+1し(ステップS38)、mがRより大きいか否かを判別することにより、全撮像領域11についての処理が終了したか否かを判別する(ステップS39)。
mがR以下であれば(ステップS39;No)、次の1走査分の画像を処理するため、ステップS22にリターンし、n=1として(ステップS22)、X=0、Y=(m−1)・dYの位置に、移動部2によって測定位置を移動させる(ステップS23)。この位置は、図6に示す測定領域11の左下隅11aと、同一のX座標で、ラインセンサ4の長さdY分だけY軸方向に移動した位置である。
そして、Y座標=dYの位置において、測定領域11の左端から右端まで走査して、順次ライン画像を取り込む。このようにして、試料1の画像を左から右へ走査しながら記録し、1回の走査が終了する度に、走査位置をY軸方向にdYだけ移動して走査を行う。そして、m>Rに達すると(ステップS39;Yes)、測定領域11の全領域を撮像したと判断して、撮像処理を終了し、メインルーチンにリターンし、合成した画像を表示部52へ表示させる(図6;ステップS15)。
このような構成・動作によれば、ライン画像を撮影する際に、撮像位置のY軸方向のずれΔYをS(n)として記録して、各ライン画像を際に実際の位置に合成する。従って、例えば、撮像位置が図12(a)に示す様な位置関係にあるライン画像が複数取得できた場合に、図12(b)に示すように合成するのではなく、図12(c)に示すように合成する。即ち、そのままに画像を合成し、する。従って、元の画像を忠実に再現することができ、X−Yステージ21のガタや振動による位置ずれの影響を軽減することができる。
上述のようにして試料1をラインセンサ4で走査及び撮影している間、制御部5は、図10に模式的に示すように、試料1の表面の凹凸に追従してその位置をZ軸方向で移動し、焦点位置が試料1の表面に位置するように制御する。
この焦点位置を制御する動作を説明する。
まず、図8のステップS23で、オートフォーカスの開始の指示があると、図9の処理を開始する。
まず、モータ361を制御して、ステップS12で求めておいたおおよその焦点位置にラインセンサ4の位置を移動する(ステップS41)。
まず、図8のステップS23で、オートフォーカスの開始の指示があると、図9の処理を開始する。
まず、モータ361を制御して、ステップS12で求めておいたおおよその焦点位置にラインセンサ4の位置を移動する(ステップS41)。
次に、ラインセンサ4の位置調整方向を上方向(+Z軸方向)に設定する(ステップS42)。
次に、所定ライン数(任意の自然数m)の画像が取得できたか否かを判別し(ステップS43)、jライン分の画像が得られるまで待機する。
jライン数分のライン画像が取得できると、合焦点(焦点が合致しているか否かを示す指数)を計算する(ステップS44)。即ち、直近jライン分のライン画像(サイズj・dX×dYの画像)から、例えば、輝度信号の鮮鋭度など画像のエッジがはっきりしている等の焦点が合っている程度を示す指標を求める。
続いて、ステップS44で求めた合焦点をレジスタRAに記録する(ステップS45)。
続いて、モータ361を駆動して、所定量dZだけラインセンサ4をDirの方向(上方向)に移動する(ステップS46)。
続いて、直前のj画像ライン分の画像を取得し(ステップS47)、合焦点を計算する(ステップS48)。
続いて、今回のライン画像の中に、試料1の画像中に予定されている色の成分が含まれているか否かを判別する(ステップS49)。例えば、試料1が細胞などの場合、観察のために染料で染めることが通常行われている。そこで、取得した画像内にこの染料の色に相当する色の成分が存在すれば、試料1を観察していることになるが、その色成分がなければ、試料の画像がふくまれていないことになる。
指定色の情報がなければ、今回のライン画像は試料1以外の画像であるので、その画像を処理せずにステップS47に戻って、同様の処理を繰り返す。
一方、指定色の情報があれば、レジスタRAに格納されている直前の合焦点と今回計算した合焦点とを比較する(ステップS50)。
一方、指定色の情報があれば、レジスタRAに格納されている直前の合焦点と今回計算した合焦点とを比較する(ステップS50)。
レジスタRAに格納されている直前の合焦点の方が今回求めた合焦点よりも優れていれば(フォーカスレベルが高ければ)、即ち、今回の合焦点の度合いが直前よりも悪く(低く)なっていれば、Dirの方向(ラインセンサ4の移動方向)を現在の値と逆方向に指定する(ステップS51)。その後、ステップS45にリターンし、ステップS48で計算した合焦点でレジスタRAを更新し、ラインセンサのZ軸方向の位置をdZだけ更新したDirの方向に修正する。
一方、ステップS50で今回の合焦点の方が優れているか直前の合焦点と等しい(今回の画像のフォーカスレベルが直前の画像のフォーカスレベルよりも高いか等しい)と判別された場合には、Dirの方向はそのままで、ステップS45に戻って、ステップS48で計算した合焦点でレジスタRAを更新し、ラインセンサのZ軸方向の位置をdZだけ従前と同一のDirの方向に修正する。
図8の撮像動作と図9のオートフォーカス動作とは、同期して実行されるものではないが、撮像動作を実行している間、オートフォーカスを続けることにより、図10に模式的に示すように、試料1の表面の凹凸に追従して焦点位置にラインセンサ4が配置され、ライン画像が取得される。
また、今回撮影した画像が所定の色の情報を含むか否かを判別して、合焦点の調整を行っているので、例えば、試料以外の部分を撮影している際に、不要な追従動作を行う必要がない。
なお、上述の例では、フォーカスレベルの判定の際、鮮鋭度を用いたが、このほか、コントラスト(画像の最大輝度/最小輝度)や輝度の分散を用いてもよい。また、上述の例で直前の合焦点と今回の合焦点の値が等しい場合にDirの方向をそのままとしたが、逆方向としてもよい。
また、上述の例では、ラインセンサ4による撮影を図6の図面左から右の列方向(+X軸方向)にスキャンしたが、ジグザグ(交互)に行うようにしてもよい。例えば、奇数番目のラインでは、左から右(+X軸方向)に、偶数番目のラインでは右から左(−X軸方向)にスキャンして画像を取得するようにしてもよい。
上記実施の形態では、1回の撮像について、1回Y軸方向の変位量S(n)を求めたが、変位量の求め方は任意である。例えば、図11に示すように、Xエンコーダ131からパルスが出力される度にその時点でのずれ量ΔYを累算し(ステップS53)、最後に累算値をpで除算して(ステップS54)、S(n)の平均値を求め、この平均値で、撮像画像の合成位置を補正する等してもよい。
また、上述の例では、ラインセンサ4を固定して移動部2により試料1を移動することにより、ラインセンサ4で試料1を走査したが、ラインセンサ4と試料1とを相対運動できれば、その構成自体は任意であり、試料1を固定して、対物レンズ31を移動する構成としてもよい。
上述の例では、Z軸駆動部36をラックアンドピニオン方式で構成したが、これに限らず、ボールねじ等他の駆動機構を用いてもよい。
また、上述の例では、ラインセンサ4のZ軸方向の調整量dZを固定値としたが、可変量としてもよい。例えば、レジスタRAに格納されている前回の合焦点を示す指標It-1と今回の合焦点を示す指標Itとの差分ΔIを求め、この差分に応じてdZを調整するようにしてもよい。例えば、Z軸方向を正として、dZ=k1・ΔI+k2∫ΔI+k3dΔI/dt (k1,k2,k3は定数) から、焦点位置のZ軸上の調整方向と調整量とを求めてもよい。上式の右辺の1項又は2項のみを用いてdZを決定してもよい。
なお、ラインセンサ4の構成は任意であり、CCDを1個づつ約4000個配列する場合に限らない。より短く或いは長く配列してもよい。さらに、ラインセンサではなく、2次元CCDを使用することも可能である。2次元CCDを使用する場合には、例えば、2次元CCDで試料1をX軸方向に走査し、2次元CCDがX軸方向にその幅(dX)分移動する度に、撮像を行って、今回の撮像画像のコントラストと前回の撮像画像のコントラストとを比較する。
また、ラインセンサ4の各々の画素のサイズは、小さい方が解像度の良い画像を撮像できるが、大きいサイズの画素を使用する場合には、撮像の拡大率を大きくすれば、解像度の良い画像を撮像することができる。
なお、撮像装置として、CCDセンサを使用する例を示したが、CMOSセンサ等でもよい。また、上述の例では、オートフォーカス用ラインセンサは撮像用ラインセンサ4と共通の構成としたが、別々の構成としても良い。
一般のコンピュータに、図8〜図11等を参照して説明した顕微鏡の制御動作を行わせるためのコンピュータプログラム及びデータをCD−ROM等の記録媒体に格納して配布したり、搬送波に重畳して通信回線を介して送信及び配布したりしてもよい。これらのプログラムは任意のコンピュータにダウンロード・インストールされる。この場合、該コンピュータは、上述の制御部5と同様の機能を備えるものとなる。
1 試料
2 移動部
3 顕微鏡
4 ラインセンサ
5 制御部
7 架台
11 測定領域
2 移動部
3 顕微鏡
4 ラインセンサ
5 制御部
7 架台
11 測定領域
Claims (8)
- 試料を載置し、X軸方向及び該X軸方向に交差するY軸方向に移動するX−Yステージと、
前記X−Yステージ上に載置された試料の像を拡大する顕微鏡と、
前記顕微鏡により拡大された像を撮像する撮像手段と、
前記X−YステージをX軸方向に移動して、前記撮像手段により前記試料をX軸方向に走査して撮像することにより複数の分割画像を生成し、X軸方向の走査終了後、前記X−YステージをY軸方向に移動することによりY軸方向の位置を変更するとともに前記X−YステージをX軸方向に移動してX軸方向の走査を開始するように前記X−Yステージと前記撮像手段とを制御する制御手段と、
前記X−YステージのY軸方向の位置を検出してY軸方向の位置情報を出力するY位置検出手段と、
Y軸方向の位置情報に基づいて、前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像のY軸方向の位置を補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する画像処理手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。 - さらに、前記X−YステージのX軸方向の位置を検出するX位置検出手段を備え、
前記X位置検出手段で検出されたX軸方向の位置情報に基づいて、前記制御手段が前記撮像手段を制御して前記複数の分割画像を生成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。 - 前記X位置検出手段と前記Y位置検出手段とは、それぞれ、エンコーダから構成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡装置。
- 前記撮像手段により1つの分割画像を撮像している間に、前記X位置検出手段を構成するエンコーダからパルスが出力される度に前記制御手段が前記Y位置検出手段によるY軸方向の位置情報を取得し、当該Y軸方向の位置情報の平均値からY軸方向の分割画像の補正量を求める、ことを特徴とする請求項1,2又は3に記載の顕微鏡装置。
- 前記撮像手段により1つの分割画像を撮像している間に、前記制御手段が前記Y位置検出手段によるY軸方向の位置情報を1回取得し、この位置情報に基づいてY軸方向の分割画像の補正量を求める、ことを特徴とする請求項1,2又は3に記載の顕微鏡装置。
- 前記制御手段には、撮像手段の出力画像データに基づいて、前記撮像手段の走査中に前記撮像手段の焦点位置を調整する焦点位置調整手段が設けられている、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の顕微鏡装置。
- 試料の像を顕微鏡で拡大し、
前記試料に対して撮像手段を所定の走査方向に相対的に走査しつつ当該撮像手段によって前記試料の像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へ相対的にシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した前記複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
ことを特徴とする拡大画像生成方法。 - コンピュータに、
試料が載置されたステージと撮像手段とを相対的に移動することにより、試料を前記撮像手段により所定の走査方向に走査して前記試料の拡大像の分割撮像を繰り返すとともに、1回の走査が終了すると、走査対象範囲を前記走査方向に直交する方向へシフトして、走査する処理を繰り返して実行し、
走査中の前記撮像手段の前記走査方向に直交する方向への前記撮像手段の変位量を測定し、
前記撮像手段で撮像した複数の分割画像の合成位置を前記撮像手段で測定した変位量に基づいて補正して、前記複数の分割画像を合成して前記試料の拡大画像を作成する、
処理を実行させるコンピュータプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005105455A JP2006284965A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005105455A JP2006284965A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006284965A true JP2006284965A (ja) | 2006-10-19 |
Family
ID=37406959
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005105455A Pending JP2006284965A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006284965A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009175661A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-08-06 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
JP2011186305A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Olympus Corp | バーチャルスライド作成装置 |
WO2012086628A1 (ja) * | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 住友化学株式会社 | 防眩処理用金型の検査装置 |
WO2013118903A1 (en) * | 2012-02-07 | 2013-08-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus and control method for the same |
WO2013179723A1 (ja) | 2012-05-28 | 2013-12-05 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム及び顕微鏡システム |
WO2014006964A1 (ja) | 2012-07-04 | 2014-01-09 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム及び顕微鏡システム |
US8791427B2 (en) | 2007-12-26 | 2014-07-29 | Olympus Corporation | Biological-specimen observation apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09281405A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡システム |
JP2000039560A (ja) * | 1998-05-21 | 2000-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JP2001069380A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Nec Corp | 2軸駆動機構とそれを利用した画像入力装置及び光投射装置 |
JP2002101318A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003295063A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Natl Inst Of Radiological Sciences | 顕微鏡装置 |
-
2005
- 2005-03-31 JP JP2005105455A patent/JP2006284965A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09281405A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡システム |
JP2000039560A (ja) * | 1998-05-21 | 2000-02-08 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型顕微鏡 |
JP2001069380A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Nec Corp | 2軸駆動機構とそれを利用した画像入力装置及び光投射装置 |
JP2002101318A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Canon Inc | 撮像装置 |
JP2003295063A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Natl Inst Of Radiological Sciences | 顕微鏡装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009175661A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-08-06 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
US8791427B2 (en) | 2007-12-26 | 2014-07-29 | Olympus Corporation | Biological-specimen observation apparatus |
JP2011186305A (ja) * | 2010-03-10 | 2011-09-22 | Olympus Corp | バーチャルスライド作成装置 |
US8837676B2 (en) | 2010-03-10 | 2014-09-16 | Olympus Corporation | Virtual-slide creating device |
WO2012086628A1 (ja) * | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 住友化学株式会社 | 防眩処理用金型の検査装置 |
WO2013118903A1 (en) * | 2012-02-07 | 2013-08-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus and control method for the same |
US20140362205A1 (en) * | 2012-02-07 | 2014-12-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Image forming apparatus and control method for the same |
WO2013179723A1 (ja) | 2012-05-28 | 2013-12-05 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム及び顕微鏡システム |
US11307399B2 (en) | 2012-05-28 | 2022-04-19 | Sony Corporation | Information processing device, information processing method, program, and microscope system |
WO2014006964A1 (ja) | 2012-07-04 | 2014-01-09 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム及び顕微鏡システム |
US10955655B2 (en) | 2012-07-04 | 2021-03-23 | Sony Corporation | Stitching images based on presence of foreign matter |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4917331B2 (ja) | 画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラム | |
CN109417602B (zh) | 图像处理方法、图像处理装置、摄像装置及摄像方法 | |
JP4917329B2 (ja) | 画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラム | |
JP2004101871A (ja) | 顕微鏡画像撮影装置 | |
JP2006284965A (ja) | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 | |
JP2010256530A (ja) | 顕微鏡装置 | |
US9871964B2 (en) | Photographing apparatus, photographing controller, photographing control method, and photographing control program | |
JP4786207B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JPH09196621A (ja) | 合焦面検出方法及び画像入出力装置 | |
JP6136019B2 (ja) | 動画像撮影装置、および、動画像撮影装置の合焦方法 | |
JP6619315B2 (ja) | 観察装置および方法並びに観察装置制御プログラム | |
JP2007060520A (ja) | 撮像装置 | |
JPH1132251A (ja) | 画像処理装置 | |
JP4574758B2 (ja) | 顕微鏡画像観察装置 | |
JP2000275534A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP2017032650A (ja) | 投射型表示装置及び投射型表示システム | |
JP4197898B2 (ja) | 顕微鏡、三次元画像生成方法、三次元画像を生成する制御をコンピュータに行わせるプログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 | |
JP2007102102A (ja) | 共焦点顕微鏡及び合焦カラー画像の生成方法 | |
JP2006189510A (ja) | 顕微鏡装置及び拡大画像生成方法 | |
JP2012147044A (ja) | デジタル顕微鏡 | |
JP2004184699A (ja) | 共焦点顕微鏡装置 | |
JPH1032743A (ja) | 画像加算装置 | |
JP2003295063A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP6068010B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
JPH11225291A (ja) | 画像読み取り装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100506 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100928 |