JPH03218045A - 太陽電池セル検査装置 - Google Patents
太陽電池セル検査装置Info
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- JPH03218045A JPH03218045A JP2013915A JP1391590A JPH03218045A JP H03218045 A JPH03218045 A JP H03218045A JP 2013915 A JP2013915 A JP 2013915A JP 1391590 A JP1391590 A JP 1391590A JP H03218045 A JPH03218045 A JP H03218045A
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- Japan
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 47
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Processing Or Creating Images (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は太陽電池セル検査装置、特に太陽電池セル表面
のクラック欠陥の存在を判定する太陽電池セル検査装置
に関する。
のクラック欠陥の存在を判定する太陽電池セル検査装置
に関する。
従来、この種の太陽電池セル検査は、目視により長時間
かけて太陽電池セルの表面にクラック欠陥の有無の判定
を行なう方法をとっている。
かけて太陽電池セルの表面にクラック欠陥の有無の判定
を行なう方法をとっている。
上述した太陽電池セル検査は、長時間に亘る目視検査に
よるため、疲労による欠陥の見落し、判定のミス等によ
り安定なクラック欠陥の検出ができにくいという問題が
ある。
よるため、疲労による欠陥の見落し、判定のミス等によ
り安定なクラック欠陥の検出ができにくいという問題が
ある。
本発明の太陽電池セル検査装置は、検査対象となる太陽
電池セルの表面の画像を撮像するＩＴＶカメラと、この
ＩＴＶカメラによる撮像時の光源として用いる斜光照明
および落射照明と、この斜光照明と落射照明とを切換え
て前記ＩＴＶカメラによる撮像入力を行なう画像入力コ
ントロール手段と、前記斜光照明時に入力した画像デー
タを記憶する斜光照明画像メモリと、前記落射照明時に
入力した画像データを記憶する落射照明画像メモリと、
前記斜光照明画像メモリ内の画像データから前記落射照
明画像メモリ内の画像データを減算する画像データ減算
手段と、この画像データ減算手段から得られる画像デー
タに２値化を施す２値化手段と、この２値化手段から得
られる画像データから表面のクラック欠陥の有無を判定
する欠陥判定手段とを有することにより構成される。
電池セルの表面の画像を撮像するＩＴＶカメラと、この
ＩＴＶカメラによる撮像時の光源として用いる斜光照明
および落射照明と、この斜光照明と落射照明とを切換え
て前記ＩＴＶカメラによる撮像入力を行なう画像入力コ
ントロール手段と、前記斜光照明時に入力した画像デー
タを記憶する斜光照明画像メモリと、前記落射照明時に
入力した画像データを記憶する落射照明画像メモリと、
前記斜光照明画像メモリ内の画像データから前記落射照
明画像メモリ内の画像データを減算する画像データ減算
手段と、この画像データ減算手段から得られる画像デー
タに２値化を施す２値化手段と、この２値化手段から得
られる画像データから表面のクラック欠陥の有無を判定
する欠陥判定手段とを有することにより構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第２図は本発明の検査環境の外観斜視図で、非検査対象
である太陽電池セル１０の置かれた検査ステージ１１に
対して真上に画像入力用のＩＴＶカメラ３と、太陽電池
セル１０に真上から照明を当てる落射照明２と、太陽電
池セル１０に斜め方向から照明を当てる複数の斜光照明
１とが設置された構成となっている。
である太陽電池セル１０の置かれた検査ステージ１１に
対して真上に画像入力用のＩＴＶカメラ３と、太陽電池
セル１０に真上から照明を当てる落射照明２と、太陽電
池セル１０に斜め方向から照明を当てる複数の斜光照明
１とが設置された構成となっている。
第１図は本発明の一実施例のブロック図で、斜光照明１
、落射照明２、ＩＴＶカメラ３、画像入力コントロール
部４、斜光照明画像メモリ５、落射照明画像メモリ６、
画像データ減算回路７、２値化回路８、欠陥判定部９と
から構成される。
、落射照明２、ＩＴＶカメラ３、画像入力コントロール
部４、斜光照明画像メモリ５、落射照明画像メモリ６、
画像データ減算回路７、２値化回路８、欠陥判定部９と
から構成される。
以上の構成において、先ず画像入力コントロール部４は
斜光照明１を点灯させ、ＩＴＶカメラ３により太陽電池
セル１０の表面の画像ａを入力し、画像データｂとして
斜光照明画像メモリ５に格納する。続いて画像入力コン
トロール部４は斜光照明１を滅灯して落射照明２を点灯
させ、■ＴＶカメラ３により太陽電池セル１０の表面の
画像Ｃを入力し、画像データｄとして落射照明画像メモ
リ６に格納する。
斜光照明１を点灯させ、ＩＴＶカメラ３により太陽電池
セル１０の表面の画像ａを入力し、画像データｂとして
斜光照明画像メモリ５に格納する。続いて画像入力コン
トロール部４は斜光照明１を滅灯して落射照明２を点灯
させ、■ＴＶカメラ３により太陽電池セル１０の表面の
画像Ｃを入力し、画像データｄとして落射照明画像メモ
リ６に格納する。
第３図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ斜光照明画像メモ
リ５に格納される画像データｂおよび落射照明画像メモ
リ６に格納される画像データｄの一例の模式図で、第３
図（ａ）の斜光照明時のセル表面の画像には、セル上に
存在する電極部１２の縞模様とクラック欠陥１３とが出
現している。
リ５に格納される画像データｂおよび落射照明画像メモ
リ６に格納される画像データｄの一例の模式図で、第３
図（ａ）の斜光照明時のセル表面の画像には、セル上に
存在する電極部１２の縞模様とクラック欠陥１３とが出
現している。
一方、第３図（ｂ）の落射照明時のセル表面の画像には
電極部１２の縞模様だけが出現している。
電極部１２の縞模様だけが出現している。
これは斜光照明に対しては電極部１２およびクラック欠
陥１３のどちらも反射光が真上のＩＴＶカメラ３に放出
されるが、落射照明に対してはクラック欠陥１３の反射
光が真上のＩＴＶカメラ３に放出されるものが殆んどな
く、特定の一定の方向へと反射されてしまうという違い
が原因となっている。
陥１３のどちらも反射光が真上のＩＴＶカメラ３に放出
されるが、落射照明に対してはクラック欠陥１３の反射
光が真上のＩＴＶカメラ３に放出されるものが殆んどな
く、特定の一定の方向へと反射されてしまうという違い
が原因となっている。
次いで、画像データ減算回路７により斜光照明画像メモ
リ５の画像データｂから落射照明画像メモリ６の画像デ
ータｄの減算を行なって、両画像データの差をとり、２
値化回路８で予め設定した閾値により２値化し、クラッ
ク欠陥１３を示す部分を“１”、他を“０”とした２値
画像データを．欠陥判定部９に出力する。第４図は２値
化回路８から出力されるクラック欠陥の模式図で、欠陥
判定部９ではクラック欠陥部に対応する値“１′”のも
のの数を計数して、判定基準数より大きな場合にはクラ
ック欠陥ありとし、判定結果信号ｅを出力する。
リ５の画像データｂから落射照明画像メモリ６の画像デ
ータｄの減算を行なって、両画像データの差をとり、２
値化回路８で予め設定した閾値により２値化し、クラッ
ク欠陥１３を示す部分を“１”、他を“０”とした２値
画像データを．欠陥判定部９に出力する。第４図は２値
化回路８から出力されるクラック欠陥の模式図で、欠陥
判定部９ではクラック欠陥部に対応する値“１′”のも
のの数を計数して、判定基準数より大きな場合にはクラ
ック欠陥ありとし、判定結果信号ｅを出力する。
以上説明したように本発明は、従来、目視検査により太
陽電池セルの表面上のクラック欠陥を検出していた代り
に、斜光照明および落射照明を切換えてＩＴＶカメラに
より入力した画像の画像差をとりクラック欠陥部を検出
する装置構成をとることにより、従来の長時間に亘る検
査で起る欠陥の見落し、誤検出がなくなり、安定した欠
陥の検出ができるという効果がある。
陽電池セルの表面上のクラック欠陥を検出していた代り
に、斜光照明および落射照明を切換えてＩＴＶカメラに
より入力した画像の画像差をとりクラック欠陥部を検出
する装置構成をとることにより、従来の長時間に亘る検
査で起る欠陥の見落し、誤検出がなくなり、安定した欠
陥の検出ができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は本発
明の検査環境の外観斜視図、第３図（ａ）および（ｂ）
はそれぞれ斜光照明による画像データおよび落射照明に
よる画像データの一例の模式図、第４図は第１図の画像
データ減算回路からの出力データの一例の模式図である
。 １・・・斜光照明、２・・・落射照明、３・・・ＩＴＶ
カメラ、４・・・画像入力コントロール部、５・・・斜
光照明画像メモリ、６・・・落射照明画像メモリ、７・
・・画像データ減算回路、８・・・２値化回路、９・・
・欠陥判定部。
明の検査環境の外観斜視図、第３図（ａ）および（ｂ）
はそれぞれ斜光照明による画像データおよび落射照明に
よる画像データの一例の模式図、第４図は第１図の画像
データ減算回路からの出力データの一例の模式図である
。 １・・・斜光照明、２・・・落射照明、３・・・ＩＴＶ
カメラ、４・・・画像入力コントロール部、５・・・斜
光照明画像メモリ、６・・・落射照明画像メモリ、７・
・・画像データ減算回路、８・・・２値化回路、９・・
・欠陥判定部。
Claims (1)
- 検査対象となる太陽電池セルの表面の画像を撮像するＩ
ＴＶカメラと、このＩＴＶカメラによる撮像時の光源と
して用いる斜光照明および落射照明と、この斜光照明と
落射照明とを切換えて前記ＩＴＶカメラによる撮像入力
を行なう画像入力コントロール手段と、前記斜光照明時
に入力した画像データを記憶する斜光照明画像メモリと
、前記落射照明時に入力した画像データを記憶する落射
照明画像メモリと、前記斜光照明画像メモリ内の画像デ
ータから前記落射照明画像メモリ内の画像データを減算
する画像データ減算手段と、この画像データ減算手段か
ら得られる画像データに２値化を施す２値化手段と、こ
の２値化手段から得られる画像データから表面のクラッ
ク欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを有することを
特徴とする太陽電池セル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013915A JPH03218045A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 太陽電池セル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013915A JPH03218045A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 太陽電池セル検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218045A true JPH03218045A (ja) | 1991-09-25 |
Family
ID=11846466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013915A Pending JPH03218045A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 太陽電池セル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03218045A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008135593A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の検査方法及び検査装置 |
| JP2009194016A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Orbotech Ltd | 半導体基板の検査装置 |
| WO2010052884A1 (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-14 | 株式会社アルバック | 太陽電池の製造方法及び製造装置 |
| CN102983089A (zh) * | 2011-09-06 | 2013-03-20 | 株式会社岛津制作所 | 太阳电池单元检查装置 |
| TWI447827B (zh) * | 2007-12-28 | 2014-08-01 | Nisshin Spinning | 太陽電池檢查裝置以及太陽電池缺陷判定方法 |
| JP2016059232A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-21 | 東京電力株式会社 | 太陽光パネルの破損判断方法 |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP2013915A patent/JPH03218045A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008135593A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Kyocera Corp | 太陽電池素子の検査方法及び検査装置 |
| TWI447827B (zh) * | 2007-12-28 | 2014-08-01 | Nisshin Spinning | 太陽電池檢查裝置以及太陽電池缺陷判定方法 |
| JP2009194016A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Orbotech Ltd | 半導体基板の検査装置 |
| WO2010052884A1 (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-14 | 株式会社アルバック | 太陽電池の製造方法及び製造装置 |
| JP5193309B2 (ja) * | 2008-11-04 | 2013-05-08 | 株式会社アルバック | 太陽電池の製造方法及び製造装置 |
| CN102983089A (zh) * | 2011-09-06 | 2013-03-20 | 株式会社岛津制作所 | 太阳电池单元检查装置 |
| JP2013053973A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Shimadzu Corp | 太陽電池セル検査装置 |
| JP2016059232A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-21 | 東京電力株式会社 | 太陽光パネルの破損判断方法 |
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