JP6160255B2 - 太陽電池セル検査装置および太陽電池セル検査装置の画像位置補正方法 - Google Patents
太陽電池セル検査装置および太陽電池セル検査装置の画像位置補正方法 Download PDFInfo
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x=αX(X−X0)cosθ−αY(Y−Y0)sinθ+x0
y=αX(X−X0)sinθ+αY(Y−Y0)cosθ+y0
x=αX(X−X0)cosθ−αY(Y−Y0)sinθ+x0
y=αX(X−X0)sinθ+αY(Y−Y0)cosθ+y0
y=αX(X−X0)sinθ+αY(Y−Y0)cosθ+y0
そして、第1CCDカメラ31と第2CCDカメラ32により撮影した画像の位置と倍率とを一致させることで、図5に示すように、太陽電池セル100を透過した透過画像に基づいて太陽電池セル100におけるマイクロクラック103の画像と結晶粒界102の画像とを検出するとともに、太陽電池セル100の反射画像に基づいて太陽電池セル100の結晶粒界101の画像を検出し、これらの画像を利用することによりマイクロクラック103の画像のみを抽出する場合においても、正確にマイクロクラック103の画像のみを抽出することができる。また、同様に、上述した内部欠陥検査、形状欠陥検査、表面欠陥検査および膜厚測定の結果を相関的に正確に認識して、正確な太陽電池セル100の検査を実行することが可能となる。
12 第2光照射部
13 第3光照射部
14 第4光照射部
21 フレネルレンズ
22 拡散反射板
23 開口部
31 第1CCDカメラ
32 第2CCDカメラ
33 ビームスプリッタ
41 青色光源
42 緑色光源
43 赤色光源
44 反射型拡散板
45 開口部
51 LED素子
52 LED素子
53 LED素子
60 制御部
61 内部欠陥判定部
62 形状欠陥判定部
63 表面欠陥判定部
64 膜厚測定部
65 算出部
66 補正部
100 太陽電池セル
101 結晶粒
102 結晶粒界
103 マイクロクラック
200 基準板
Claims (3)
- 太陽電池セルを撮影することにより太陽電池セルの検査を行う太陽電池セル検査装置であって、
前記太陽電池セルの裏面に向けて赤外光を照射する赤外光照射部と、
前記赤外光照射部から照射され前記太陽電池セルを透過した赤外光による画像を撮影する第1カメラと、
前記太陽電池セルの表面に向けて可視光を照射する可視光照射部と、
前記可視光照射部から照射され前記太陽電池セルの表面で反射した可視光による画像を撮影する第2カメラと、
多数の基準マークを有する基準板を、前記第1カメラおよび前記第2カメラにより撮影したときに、前記第1カメラにより撮影した画像における前記各基準マークの位置と、前記第2カメラにより撮影した画像における前記各基準マークの位置とに対して最小二乗法を適用することにより、前記第1カメラにより撮影した多数の基準マークのX方向の重心X0、前記第1カメラにより撮影した多数の基準マークのY方向の重心Y0、前記第2カメラにより撮影した多数の基準マークのX方向の重心x0、前記第2カメラにより撮影した多数の基準マークのY方向の重心y0、前記第1カメラと前記第2カメラとの角度差θ、前記第1カメラと前記第2カメラのX方向の倍率の比αX、前記第1カメラと前記第2カメラのY方向の倍率の比αY、を算出する算出部と、
標準補正計算式に、前記X0、Y0、x0、y0、θ、αX、αYの値を代入することにより、前記第2カメラにより撮影した画像の位置を前記第1カメラにより撮影した画像の位置に対応させて補正する補正部と、
を備えたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。 - 請求項1に記載の太陽電池セル検査装置において、
前記標準補正計算式は、前記第1カメラの座標をX、Yとし、前記第2カメラの座標をx、yとしたときに、下記の式で表される太陽電池セル検査装置。
x=αX(X−X0)cosθ−αY(Y−Y0)sinθ+x0
y=αX(X−X0)sinθ+αY(Y−Y0)cosθ+y0 - 第1カメラおよび第2カメラで太陽電池セルを撮影することにより太陽電池セルの検査を行う太陽電池セル検査装置の画像位置補正方法であって、
多数の基準マークを有する基準板を検査を行う太陽電池セルの設置場所に設置する設置工程と、
前記基準板の裏面に向けて赤外光を照射し、前記基準板を透過した赤外光を前記第1カメラで測定することにより、前記基準板における多数の基準マークを前記第1カメラで撮影するとともに、前記基準板の表面に向けて可視光を照射し、前記基準板の表面で反射した可視光を第2カメラで測定することにより、前記基準板における多数の基準マークを前記第2カメラで撮影する基準マーク撮影工程と、
前記第1カメラにより撮影した画像における前記各基準マークの位置と、前記第2カメラにより撮影した画像における前記各基準マークの位置とに対して最小二乗法を適用することにより、前記第1カメラにより撮影した多数の基準マークのX方向の重心X0、前記第1カメラにより撮影した多数の基準マークのY方向の重心Y0、前記第2カメラにより撮影した多数の基準マークのX方向の重心x0、前記第2カメラにより撮影した多数の基準マークのY方向の重心y0、前記第1カメラと前記第2カメラとの角度差θ、前記第1カメラと前記第2カメラのX方向の倍率の比αX、前記第1カメラと前記第2カメラのY方向の倍率の比αY、を算出する算出工程と、
前記第1カメラの座標をX、Yとし、前記第2カメラの座標をx、yとしたときに、前記X0、Y0、x0、y0、θ、αX、αYの値を下記の標準補正計算式に代入することにより、前記第2カメラにより撮影した画像の位置を前記第1カメラにより撮影した画像の位置に対応させて補正する補正工程と、
を備えたことを特徴とする太陽電池セル検査装置の画像位置補正方法。
x=αX(X−X0)cosθ−αY(Y−Y0)sinθ+x0
y=αX(X−X0)sinθ+αY(Y−Y0)cosθ+y0
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