JP3238141B2 - 回転照射源を用いた基板検査方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は広く検査装置に関
し、特に、暗視野画像技術を用いて基板や基板上のカバ
−ガラスを検査することができる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板のクラックあるいは基板を覆うカバ
−ガラスのクラックは、基板不良あるいは該基板が配置
された装置の故障の原因となることがある。特に、基板
が太陽電池の場合は、太陽電池あるいは該太陽電池を覆
うカバ−ガラスのどちらにクラックが入っても、該クラ
ックがはいった太陽電池パネルの電力出力を甚だしく制
限する可能性がある。カバ−ガラスの小さなクラック
は、例えば、充填剤あるいは接着剤で補修することによ
り、通常は修正可能であるが、太陽電池のクラックは、
通常、修正できない。たいていの場合、クラックの入っ
た太陽電池は取り外して、新しい太陽電池と取り替えて
いる。従って、基板及びカバ−ガラスのクラックを検出
することと、太陽電池のクラックとカバ−ガラスのクラ
ックを見分けることが、重要であり、特に、カバ−ガラ
スのクラックが太陽電池のクラックとほぼ同じ領域に発
生し、太陽電池のクラックを見えにくくする場合は、ク
ラックの識別が重要である。現行の太陽電池検査技術で
は、太陽電池のクラックとカバ−ガラスのクラックを同
時に確実に検出することは不可能で、同じ位置に重なる
クラックも確実に検出することはできない。

【０００３】太陽電池等の基板上のカバ−ガラスに入っ
たクラックを検出するために現在用いられている技術は
目視検査を必要とする。検査作業員は、カバ−ガラスと
太陽電池に、適切に調整した照明光を当てて、カバ−ガ
ラスに欠陥やクラックがあるかどうか、拡大鏡を使って
手作業で調べる。この技術では、基板を十分に検査する
ためには、検査作業員は頭をさまざまの角度に回さなけ
ればならない。この手作業による検査手法は時間のかか
る方法であり、検査作業員の目を疲れさせ、人為ミスで
欠陥を見落とすことが起りうる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って、求められてい
るのは、基板のクラック、特に、太陽電池のクラック及
び太陽電池を覆うカバ−ガラスのクラック、を検出し、
さらに、太陽電池のクラックと該太陽電池上のカバ−ガ
ラスに入ったクラックとを識別する装置と方法であっ
て、ばらつきのないクラックの検出と識別が行え、しか
も人手による検査を必要としない装置と方法である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】従来の技術における前述
及びその他の欠点は、基板のクラックと基板を覆うカバ
−ガラスのクラックを検出する装置及び方法を提供する
本願の第１の発明により対処され、克服される。該装置
は、基板から間隔を置いて配置された電磁放射線源を具
備し、該電磁放射線源は基板に電磁放射線を照射するよ
うに配置されている。電磁放射線源が複数の方位角で基
板を照射するように、方位角を可変する手段が設けられ
ている。該基板は電磁放射線の一部を反射する。電磁放
射線検出器は、該反射された電磁放射線の一部を集め、
その集められた放射線から、クラックを表わす指標を含
む複数の画像を作成する。前記電磁放射線源（５８）
は、固定したリング型放射線源（５８）であり、前記方
位角を可変する手段（６０）は、前記放射線源（５８）
と前記基板（１４）との間に配置された、電磁放射線を
実質上透過しない板（６０）であり、該板（６０）が第
一の開口（６１）を備えていて、前記固定した放射線源
（５８）が、前記開口（６１）を通して前記カバ−ガラ
スと基板とを前記所定の方位角で照射するようになって
いる。

【０００６】本願の第２の発明によれば、前記複数の放
射線源（５２）は第一と第二の放射線源（５２、５２）
から成り、該第一の放射線源（５２）は、第一の方位角
で前記カバ−ガラスと基板とを照射するように配置さ
れ、該第二の放射線源（５２）は、第二の方位角で前記
基板を照射するように配置され、前記第一と第二の方位
角は約１８０度ずれている。本願第３の発明によれば、
前記放射線源と前記電磁放射線検出器との間に位置して
前記検出器を前記電磁放射線源から遮蔽するシールド
（３８、６４）を具備する。本願第４の発明によれば、
電磁放射線検出器（２２）は、所定のスペクトル応答性
（ｓｐｅｃｔｒａｌ ｒｅｓｐｏｎｓｅ）を有するビデ
オカメラであり、前記第一及び第二の放射線源は、それ
ぞれ第一及び第二スペクトル出力を有し、該第一及び第
二のスペクトル出力はビデオカメラの所定のスペクトル
応答性と略一致している。

【０００７】本発明の上記及びさらなる特徴と利点は、
以下の詳細な説明と添付の図面から明らかになる。図面
及び書面による記述において、数字は発明の種々の特徴
を示し、同じ数字は、図面及び書面による記述の全体を
通じて、同じ特徴を示している。

【０００８】

【発明の実施の形態】添付図面に示した好ましい実施の
形態に関して以下に詳細に説明する。図１には、検査装
置１０が示されている。検査装置１０は、基板１４を検
査し、該基板１４を覆うカバ−ガラス１６を検査し、該
基板１４のクラックを検出し、該カバ−ガラス１６のク
ラックを検出し、更に、該基板１４のクラックと該カバ
−ガラス１６のクラックとを識別する。検査装置１０
は、ガラス、珪素、ヒ化ガリウム、ゲルマニウム等の材
料によって形成された基板１４、及び集積回路あるいは
エネルギ−収集装置に用いられる基板の検査に使用可能
であり、更に、基板１４を覆うカバ−ガラス１６の検査
にも使用できる。本発明は、太陽電池１４を覆うカバ−
ガラス１６のクラックを検出するのと、カバ−ガラス１
６のクラックと太陽電池１４のクラックとを識別するの
に使用する時、特に有効である。本発明は、基板１４の
離層型欠陥等の欠陥を検出するのにも有効である。

【０００９】図１に示すように、検査装置１０は、電磁
放射線源１８と、ビデオカメラ等の電磁放射線検出器２
２と、基板１４とカバ−ガラス１６とを照射する方位角
Ψを可変する手段と、方位角Ψの変化に伴って、複数の
画像を作成し表示するビデオモニタ２３等の手段とを具
備する。電磁放射線源１８は、さまざまの方位角Ψで基
板１４とカバ−ガラス１６とを照射するのに利用される
電磁放射線２６を放射する。電磁放射線源１８は、赤外
波長を有する電磁放射線２６を放射するらせん巻ヒ−タ
コイル１８であることが好ましい。あるいは、放射線源
１８は、タングステンハロゲン電球、発光ダイオ−ド
（ＬＥＤ）、ダイオ−ドレ−ザ等でもよく、また、電磁
放射線２６は、紫外から赤外波長までの間の任意の波長
のものでよいが、電磁放射線２６は赤外線であることが
好ましい。

【００１０】基板１４とカバ−ガラス１６とをさまざま
の方位角Ψで照射するために、基板１４とカバ−ガラス
１６、あるいは電磁放射線源１８のどちらかを中心線３
０の周りに回転させる。基板１４とカバ−ガラス１６が
大きな太陽電池に実装されている場合は、放射線源１８
を回転させることが好ましい。そうするためには、放射
線源１８を、開口３５を有する回転可能な支持構造３４
に取り付ける。回転可能な支持構造３４は、中心線３０
を中心に回転させることが好ましく、また、支持構造３
４は、放射線検出器２２が支持構造３４の開口３５を通
して基板１４とカバ−ガラス１６とを見ることができる
ように、配置される。

【００１１】図２を参照すると、回転可能な支持構造３
４は、モ−タ３６と該支持構造３４に連結されたスリッ
プリング３８により機械的に回転されることが好まし
い。電力は電源（図示せず）からスリップリング３８に
供給される。スリップリング３８には金属ブラシ（図示
せず）が備えてあり、支持構造３４がモ−タ３６によっ
て回転される時の放射線源１８への電力伝達を容易にし
ている。開口４０がスリップリング３８に設けられてい
て、検出器２２は、開口４０を通してカバ−ガラス１６
と基板１４とが見えるような位置に配置される。速度制
御装置４２はモ−タ３６に連結され、画像が人間の目で
監視できる速度でモニタ２３に表示されるように、モ−
タ３６の速度を制御するのに用いられる。あるいは、支
持構造３４は手動で回転させ、電池（図示せず）を支持
構造３４に直接取り付けて、放射線源１８に電力を供給
する。

【００１２】図１に戻って、発明の好ましい実施の形態
では、シールドが放射線源１８と検出器２２との間に設
けられ、検出器２２を放射線源１８の直射から遮蔽して
いる。シールドは、別体の装置（図示せず）によって設
けることもできるが、支持構造３４によって設けること
が好ましい。図２に示す発明の実施の形態では、シール
ドは、支持構造３４と共にスリップリング３８によっ
て、放射線源１８と検出器２２との間に設けられてい
る。

【００１３】図１に戻って、基板１４とカバ−ガラス１
６とは、入射電磁放射線２６の一部を反射する。検出器
２２は、反射電磁放射線４４の一部を連続的に集めて、
画像を作成し、これらの画像は、基板１４の欠陥、ある
いはカバ−ガラス１６のクラックを表わす指標があるか
どうか、人間の目で画像を検査できるように、モニタ２
３に表示される。検出器２２は、電磁放射線を検出する
装置ならどのような装置でもよいが、発明の好ましい実
施の形態では、検出器２２はビデオカメラ２２であり、
該ビデオカメラ２２は、基板１４及びカバ−ガラス１６
の表面積の大部分をカメラ２２の視野の中で合焦できる
ように、中心線３０上に設けられ、カバ−ガラス１６の
表面に対してほぼ直角になっている。カメラ２２は、反
射電磁放射線４４の一部を連続的に集めて、基板１４と
カバ−ガラス１６とを照射する方位角Ψの変化に伴っ
て、複数の画像を作成する。基板１４とカバ−ガラス１
６とが完全に平滑で欠陥が無ければ、これらの画像はむ
らなく一様に見え（ただし、基板１４が太陽電池１４の
場合は、画像には格子構造４６が表れる）、且つ、全照
射方位角Ψで変わることなく一様に見える。

【００１４】カバ−ガラス１６にクラックがあると、ク
ラック４８が適切な方位角Ψで照射された時の画像に
は、該クラック４８を表わす指標が含まれる。クラック
の屈折率の不連続は、ガラスのクラックが、このクラッ
クの方位角Ψと９０度異なる方位角Ψで照射された時、
最大になり、最大反射放射線４４を生じる。一方、クラ
ックに沿って照射された時、クラックの屈折率の不連続
は最小になる。従って、方位角Ψの変化に伴って、ガラ
スのクラック４８の画像は、ガラスクラックの方位角Ψ
に対する放射線源１８の方位角Ψの向きに応じて、ちょ
っとの間明るく見え、次に暗くなる。このようにして、
放射線源１８が方位角Ψで１８０度回転し終えると、直
線状及び曲線状のクラックを含む、ガラスに入った全て
のクラックを検出することができる。

【００１５】基板１４にクラックあるいは欠陥がある
と、このクラックあるいは欠陥がいかなる方位角Ψで照
射された場合でも、画像には、該クラックあるいは欠陥
５０を表わす指標が含まれる。この指標５０は、モニタ
２３上では暗い像として現れる。放射線の反射量、ひい
ては、ガラスのクラック４８によって生じる像の強度
は、照射方位角Ψによって変化するが、基板の欠陥ある
いはクラック５０の暗い像は、本質的に照射方位角Ψに
左右されない。方位角Ψを変化させると、ガラスのクラ
ック４８の像は照射方位角Ψの変化に伴って、断続的に
強度が弱まったり、明るくなったりするが、基板のクラ
ック５０の暗い像はそのまま変わらない。このようにし
て、基板のクラック５０を検出し、ガラスのクラック４
８と区別することができる。特に、ガラスのクラックの
下に隠れた基板のクラックを検出し、基板１４を覆うカ
バ−ガラス１６に入ったクラックと区別することができ
る。

【００１６】図３を参照すると、発明の好ましい実施の
形態では、放射線源１８（図１）は２つの放射線素子５
２から成り、これらの放射線素子５２は、回転可能な支
持構造３４上で、中心線３０の両側に方位角Ψで約１８
０度互いに離れて、配置されている。放射線素子５２
は、基板１４とカバ−ガラス１６とに放射線５４、５６
を反対側から方位角ΨとΨ'で照射するために用いられ
る。放射線５４、５６はほぼ同じ強度を有することが好
ましく、Ψ'はΨ＋１８０度にほぼ等しいことが好まし
い。放射線５４、５６は、回転可能な支持構造３４の位
置に依存して、ガラスのクラックに直角あるいは該クラ
ックに沿って同時に入射するように、基板１４とカバ−
ガラス１６の前面を同時に反対側から照射できる。この
結果、より高い強度が得られ、基板１４とカバ−ガラス
１６をより均一に照射でき、且つ反射放射線４４を同相
で集めることができ、これにより、単一の放射線源から
なる図１の実施の形態におけるような基板１４とカバ−
ガラス１６に対する不均一な照射に比べて、ガラスのク
ラックをより良く検出できる。

【００１７】発明の好ましい実施の形態では、該２つの
放射線素子５２は、各々、らせん巻ヒ−タコイルで、各
コイル５２は、直径約０．３８ミリで、ニッケルクロム
等の材料からなる小径電熱線で構成されており、該コイ
ル５２は、らせん状に巻かれ、電源（図示せず）から電
力が供給されて放射線５４、５６が生じるようになって
いる。あるいは、該放射線素子５２は、タングステンハ
ロゲン電球、発光ダイオ−ド、ダイオ−ドレ−ザ等でも
よい。各放射線素子５２は、２つの台碍子５７で支持構
造３４に取り付けることが好ましく、基板１４とカバ−
ガラス１６とを照射するように配置される。反射放射線
４４を良く検出するためには、検出器２２は、該放射線
素子５２のスペクトル出力に合ったスペクトル応答性を
持つことが好ましい。上記のヒ−タコイル放射線素子５
２用のそのような検出器２２の一つに、マサチュセッツ
州ノ−スビレリカにあるインフラマトリックス社製の
“インフラカム"（商標）と呼ばれる、珪化白金赤外線
カメラ２２があり、これは、１〜５ミクロンの波長範囲
にスペクトル応答性を持っている。放射線素子５２とし
てタングステンハロゲン電球、発光ダイオ−ド（ＬＥ
Ｄ）、ダイオ−ドレ−ザ等を用いる発明の別の実施の形
態では、該放射線素子５２のスペクトル出力が、検出器
２２のそれとよく合うように、検出器２２は、シリコン
フォトダイオ−ド検出器、ゲルマニウムフォトダイオ−
ド検出器、インジウムガリウム砒素（ＩｎＧａＡｓ）フ
ォトダイオ−ド検出器等であることが好ましい。

【００１８】図４を参照すると、発明のもう一つの実施
の形態では、放射線源１８（図１）は、電磁放射線５９
を放射する固定した放射線源５８である。放射線源５８
とカバ−ガラス１６との間に、回転板６０が配置されて
いる。回転板６０は、電磁放射線５９を実質上透過せ
ず、一つ以上の開口６１を備えていて、該開口６１は、
放射線源５８から放射された赤外線５９の一部６２が該
開口６１を通過してカバ−ガラス１６と基板１４とに入
射するように、回転板６０上の所定位置に設けられてい
る。回転板６０は、カバ−ガラス１６と基板１４とを複
数の方位角Ψで照射するように、回転される。放射線源
５８と検出器２２との間には、シールド６４が配置され
て、検出器２２を放射線源５８からの直射から遮蔽して
いる。該シールド６４は、電磁放射線５９を透過しない
材料によって形成されていることが好ましく、開口６６
を備えている。該シールド６４は、検出器２２が開口６
６を通してカバ−ガラス１６と基板１４とを見ることが
できるように、配置される。

【００１９】図５を参照すると、発明の別の実施の形態
では、放射線源１８（図１）は複数の放射線素子６８か
ら構成され、各放射線素子６８は、固定した支持構造７
０上にそれぞれ異なった方位角Ψで配置されている。各
放射線素子６８には順次電力（図示せず）が供給され
る。各放射線素子６８は電磁放射線７２を放射し、この
電磁放射線７２は、カバ−ガラス１６と基板１４とを所
定の方位角Ψで照射するのに利用される。一度に１つの
放射線素子６８にだけ電力を供給することにより、カバ
−ガラス１６と基板１４とを照射する方位角Ψを可変す
る手段が得られる。

【００２０】図１乃至図５を参照すると、本発明では、
電磁放射線を用いて基板１４とカバ−ガラス１６とをさ
まざまの方位角Ψで照射し、方位角Ψの変化に伴って、
集められた反射放射線から画像を作成することにより、
基板１４の欠陥及びカバ−ガラス１６のクラックを表わ
す指標を有する画像が得られ、該画像を監視するだけ
で、基板１４とカバ−ガラス１６の検査をすることがで
き、これにより基板１４とカバ−ガラス１６を詳細に目
視検査する必要が無くなる。さらに、本発明は、基板１
４の欠陥を検出し、基板１４とカバ−ガラス１６のクラ
ックを検出し、基板１４のクラックとカバ−ガラス１６
のクラックとを識別する、基板１４とカバ−ガラス１６
の検査方法を提供する。この方法によると、検査作業員
は、基板１４とカバ−ガラス１６とを十分に検査するた
めに頭をさまざまの角度に回す必要がなくなるので、人
為ミスの発生頻度が低く、検査作業員の疲労を軽減する
ことができる。

【００２１】本発明は、以上に図示し説明したところに
限定されず、上述した物理的な実現における寸法にも限
定されないことは当業者によって理解されよう。この発
明の範囲は特許請求の範囲によってのみ限定されるもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による検査装置の等角図
である。

【図２】本発明の第２の実施の形態による検査装置の側
面図である。

【図３】本発明の第３の実施の形態による検査装置の等
角図である。

【図４】本発明の第４の実施の形態による検査装置の等
角図である。

【図５】本発明の第５の実施の形態による検査装置の等
角図である。

【符号の説明】

１０検査装置 １４基板 １６カバ−ガラス １８放射線源 ２２検出器 ２２電磁放射線検出器 ２３ビデオモニタ ２６電磁放射線 ３０中心線 ３４回転可能な支持構造 ３５開口 ３６モ−タ ３８スリップリング ４０開口 ４２速度制御装置 ４４反射電磁放射線 ４６格子構造 ４８ガラスのクラック ５０基板のクラック ５２放射線素子 ５４、５６放射線 ５７台碍子 ５８固定した放射線源 ５９電磁放射線 ６０回転板 ６１開口 ６２赤外線の一部 ６４シールド ６６開口 ６８放射線素子 ７０固定した支持構造 ７２電磁放射線

フロントページの続き (72)発明者 リチャード・エイ・チョズコ アメリカ合衆国カリフォルニア州90275, ランチョ・パロス・ヴァーデス，シャド ウ・ウッド・ドライブ 22636 (56)参考文献 特開 平３−158708（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−222832（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−220008（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−272940（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−124938（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−124504（ＪＰ，Ｕ) 特許3220690（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958 H01L 31/04 - 31/06

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板（１４）の欠陥（５０）及び該基板
   を覆うカバ−ガラス（１６）のクラック（４８）を検出
   する装置であって、 前記カバ−ガラス（１６）と前記基板（１４）とから間
   隔を置いて配置された電磁放射線源（５８）であって、
   前記カバ−ガラスと前記基板とに所定の方位角で電磁放
   射線（６２）を照射するように配置され、前記基板とカ
   バ−ガラスとは前記電磁放射線の一部を反射（４４）す
   るようになっている、前記電磁放射線源（５８）と、 前記電磁放射線源（５８）が複数の方位角で前記基板と
   カバ−ガラスとを照射するように、前記方位角を可変す
   る手段（６０）と、 前記方位角の変化に伴って、前記反射電磁放射線の一部
   を連続的に集めるように配置された電磁放射線検出器
   （２２）と、 前記方位角の変化に伴って、前記集められた反射放射線
   （４４）から複数の画像を作成する手段（２３）であっ
   て、前記複数の画像は前記欠陥と前記クラックを表わす
   指標を含んでいる、前記画像作成手段（２３）とから成
   り、 前記電磁放射線源（５８）は、 固定したリング型放射
   線源（５８）であり、前記方位角を可変する手段（６０）は、 前記放射線源
   （５８）と前記基板（１４）との間に配置された、電磁
   放射線を実質上透過しない板（６０）であり、該板（６
   ０）が第一の開口（６１）を備えていて、前記固定した
   放射線源（５８）が、前記開口（６１）を通して前記カ
   バ−ガラスと基板とを前記所定の方位角で照射するよう
   になっていることを特徴とする装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の装置において、前記基
   板（１４）は、シリコン太陽電池、ヒ化ガリウム（ｇａ
   ｌｌｉｕｍ ａｒｓｅｎｉｄｅ）太陽電池、集積回路、
   及びエネルギ−収集・変換装置であることを特徴とする
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の装置において、前記電
   磁放射線（６２）は、紫外波長から赤外波長までの間の
   波長を有する、ことを特徴とする装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の装置において、前記方
   位角を可変する手段（６０）は、前記カバ−ガラスと基
   板とに電磁放射線を複数の方位角で照射するように前記
   板を回転（６０）させて前記方位角を可変する手段であ
   ることを特徴とする装置。
5. 【請求項５】 基板（１４）の欠陥（５０）及び該基板
   を覆うカバ−ガラス（１６）のクラック（４８）を検出
   する装置であって、 前記カバ−ガラス（１６）と前記基板（１４）とから間
   隔を置いて配置された電磁放射線源（５２）であって、
   前記カバ−ガラスと前記基板とに所定の方位角で電磁放
   射線（５４）を照射するように配置され、前記基板とカ
   バ−ガラスとは前記電磁放射線の一部を反射（４４）す
   るようになっている、前記電磁放射線源（５２）と、 前記電磁放射線源（５２）が複数の方位角で前記基板と
   カバ−ガラスとを照射するように、前記方位角を可変す
   る手段（３４）と、 前記方位角の変化に伴って、前記反射電磁放射線の一部
   を連続的に集めるように配置された電磁放射線検出器
   （２２）と、 前記方位角の変化に伴って、前記集められた反射放射線
   （４４）から複数の画像を作成する手段（２３）であっ
   て、前記複数の画像は前記欠陥と前記クラックを表わす
   指標を含んでいる、前記画像作成手段（２３）とから成
   り、 前記電磁放射線源（５２）は複数の放射線源から成り、 前記複数の放射線源（５２）は第一と第二の放射線源
   （５２、５２）から成り、該第一の放射線源（５２）
   は、第一の方位角で前記カバ−ガラスと基板とを照射す
   るように配置され、該第二の放射線源（５２）は、第二
   の方位角で前記基板を照射するように配置され、前記第
   一と第二の方位角は約１８０度ずれており、 前記第一と
   第二の放射線源は、それぞれ第一と第二のコイル線（５
   ２、５２）であることを特徴とする装置。
6. 【請求項６】 基板（１４）の欠陥（５０）及び該基板
   を覆うカバ−ガラス（１６）のクラック（４８）を検出
   する装置であって、 前記カバ−ガラス（１６）と前記基板（１４）とから間
   隔を置いて配置された電磁放射線源（１８、５８）であ
   って、前記カバ−ガラスと前記基板とに所定の方位角で
   電磁放射線（２６、６２）を照射するように配置され、
   前記基板とカバ−ガラスとは前記電磁放射線の一部を反
   射（４４）するようになっている、前記電磁放射線源
   （１８、５８）と、 前記電磁放射線源（１８、５８）が複数の方位角で前記
   基板とカバ−ガラスとを照射するように、前記方位角を
   可変する手段（３４、６０）と、 前記方位角の変化に伴って、前記反射電磁放射線の一部
   を連続的に集めるように配置された電磁放射線検出器
   （２２）と、 前記方位角の変化に伴って、前記集められた反射放射線
   （４４）から複数の画像を作成する手段（２３）であっ
   て、前記複数の画像は前記欠陥と前記クラックを表わす
   指標を含んでいる、前記画像作成手段（２３）とから成
   り、 更に、前記放射線源と前記電磁放射線検出器との間に位
   置して前記検出器を前記電磁放射線源から遮蔽するシー
   ルド（３８、６４）を具備することを特徴とする装置。
7. 【請求項７】 基板（１４）の欠陥（５０）及び該基板
   を覆うカバ−ガラス（１６）のクラックを検出する装置
   であって、 前記基板から間隔を置いて配置された第一と第二の電磁
   放射線源（５２、５２）であって、前記カバ−ガラスと
   基板とに電磁放射線（５４）をそれぞれ第一と第二の方
   位角で照射するように配置され、該第一と第二の方位角
   は約１８０度ずれており、前記欠陥とクラックとは前記
   電磁放射線の一部を散乱するようになっている、前記第
   一と第二の電磁放射線源（５２、５２）と 前記第一と第
   二の電磁放射線源（５２、５２）に連結された支持構造
   であって、前記第一と第二の電磁放射線源（５２、５
   ２）が複数の第一と第二の方位角で前記基板とカバ−ガ
   ラスとを照射するように、前記第一と第二の方位角を可
   変する回転可能な支持構造（３４）と、 前記第一と第二の方位角の変化に伴って、前記反射赤外
   線の一部を連続的に集めて複数の画像を作成するように
   配置された電磁放射線検出器（２２）と、 前記欠陥と前
   記クラックを表わす指標を含んでいる前記複数の画像を
   表示するモニタ（２３）とから成り、 前記電磁放射線検出器（２２）は、所定のスペクトル応
   答性（ｓｐｅｃｔｒａｌ ｒｅｓｐｏｎｓｅ）を有する
   ビデオカメラであり、前記第一と第二の放射線源は、そ
   れぞれ第一及び第二のスペクトル出力を有し、該第一及
   び第二のスペクトル出力は前記ビデオカメラの所定のス
   ペクトル応答性と略一致していることを特徴とする装
   置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の装置において、前記第
   一及び第二のスペクトル出力と前記ビデオカメラの所定
   のスペクトル応答性とはそれぞれ、紫外から赤外波長の
   間にあることを特徴とする装置。