JP2006184177A - 赤外検査装置及び赤外検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る赤外検査装置は、被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、
被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体ウエハ検査装置1の構成を示すブロック図である。実施の形態1に係る半導体ウエハ検査装置1は、例えば多結晶シリコン基板などを被検体2とする。被検体2は微動台4に支持され微動台4によりその水平位置及び垂直位置が決定される。赤外光源6は被検体2に赤外線を照射する光源である。赤外光源6として、例えば、遠赤外線を照射可能な赤外線ヒータや近赤外線を照射可能なハロゲンランプが利用される。後述のモニタ12上の画像を鮮明にするため赤外光源6の先には可視光線をカットできるフィルタが設けられてもよい。赤外線レンズ8を備える赤外線カメラ10は、被検体2からの赤外線を集光し該赤外線を光電変換して電気信号に変え、赤外線カメラ10に接続するモニタ12にその電気信号を送信する。モニタ12は、赤外線カメラ10からの電気信号を受け赤外線カメラ10が撮像した画像を表示する。被検体2に接触して設置される冷却装置18は、被検体2と熱交換して被検体2を所定の低温度に保持しようとする装置である。冷却装置18は、例えばペルチェ素子を含むペルチェ冷却装置である。また図示していないが、赤外光源6として遠赤外光源を用いる場合には、被検体2との間に、赤外線を拡散する拡散板としてアルミニウム板やセラミックコートの金属板などが設置されるのが好ましい。
次に、上記半導体ウエハ検査装置の全体動作を説明する。赤外光源6から出射された赤外線14は、被検体2の一方の主面から照射される。被検体2は微動台4に支持されており、微動台4を適宜操作することにより、赤外光源6及び赤外線カメラ10に対して被検体2を適切な位置に保持することができる。赤外線カメラ10に備わる赤外線レンズ8は、赤外線カメラ10付属の操作手段(図示せず。)により赤外線カメラ10に対する相対的距離を設定される。従って、赤外光源6と赤外線カメラ10とを結ぶ線上を被検体2と赤外線レンズ8とを適宜平行移動させることにより、赤外線カメラ10のピントを被検体2に合わせることができる。
次に、冷却装置18の役割及び動作を説明する。被検体2がるつぼなどで溶融焼成された多結晶シリコン基板である場合、その基板の中にるつぼの構成材料が異物として混入することがある。また、シリコン基板の内部には微小なクラック(異常部分)が存在している。半導体ウエハ検査装置1は、異物部分・異常部分とその他の部分との赤外線の透過状態の差異を利用して異物・異常の特定を行う。
Claims (16)
- 被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、
被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする赤外検査装置。 - 被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、
前記赤外光源から出射される赤外線の一部のみをスポット状の光線として被検体の一部に出射する絞り部が、前記赤外光源と被検体の間に備わることを特徴とする赤外検査装置。 - 被検体を支持し被検体の位置を決定する微動台が更に備わり、
前記赤外線カメラに、前記赤外線レンズと前記赤外線カメラとの相対的距離を設定する操作手段が備わり、
前記赤外光源と前記赤外線カメラとを結ぶ線上を、前記微動台により被検体が平行移動し、前記操作手段により前記赤外線レンズが平行移動することを特徴とする請求項2に記載の赤外検査装置。 - 被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、
前記赤外光源から出射される赤外線を開放時に被検体に出射し閉鎖時には遮るシャッタが、前記赤外光源と被検体の間に備わることを特徴とする赤外検査装置。 - シャッタの温度を設定温度の近傍に保つ第2の冷却装置を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の赤外検査装置。
- 前記赤外光源から出射される赤外線の一部のみをスポット状の光線として被検体の一部に出射する絞り部が、前記赤外光源と被検体の間に備わることを特徴とする請求項4又は5に記載の赤外検査装置。
- 被検体に赤外線を照射する赤外光源と、
被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、
前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置において、
被検体に対する赤外線の入射の角度、被検体に対する赤外線レンズの光軸の角度、の少なくとも一方の角度を変化させることを特徴とする赤外検査装置。 - 前記赤外線レンズ及び前記赤外線カメラを可視光線も集光し電気信号に変換して出力するものとし、
前記赤外線レンズ及び前記赤外線カメラが可視光線による撮像を更に行い、前記モニタにて赤外線を基にする画像と可視光線を基にする画像とを表示することを特徴とする請求項1に記載の赤外検査装置。 - 赤外光源から被検体に赤外線を照射し、
被検体を透過した赤外線を赤外線レンズで集光し、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を赤外線カメラで取り込んで電気信号に変換して出力し、
前記赤外線カメラの出力する電気信号をモニタに入力して画像信号に変換し画像を表示する赤外検査方法において、
冷却装置により被検体の温度を設定温度の近傍に保つことを特徴とする赤外検査方法。 - 赤外光源から被検体に赤外線を照射し、
被検体を透過した赤外線を赤外線レンズで集光し、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を赤外線カメラで取り込んで電気信号に変換して出力し、
前記赤外線カメラの出力する電気信号をモニタに入力して画像信号に変換し画像を表示する赤外検査方法において、
前記赤外光源から出射される赤外線の一部のみをスポット状の光線として被検体の一部に出射する絞り部を、前記赤外光源と被検体の間に設けることを特徴とする赤外検査方法。 - 前記赤外光源と前記赤外線カメラとを結ぶ線上を、
被検体を支持し被検体の位置を決定する微動台が、被検体を平行移動させ、
前記赤外線カメラに備わり前記赤外線レンズと前記赤外線カメラとの相対的距離を設定する操作手段が、前記赤外線レンズを平行移動させることを特徴とする請求項10に記載の赤外検査方法。 - 赤外光源から被検体に赤外線を照射し、
被検体を透過した赤外線を赤外線レンズで集光し、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を赤外線カメラで取り込んで電気信号に変換して出力し、
前記赤外線カメラの出力する電気信号をモニタに入力して画像信号に変換し画像を表示する赤外検査方法において、
前記赤外光源から出射される赤外線を開放時に被検体に出射し閉鎖時には遮るシャッタを、前記赤外光源と被検体の間に設けることを特徴とする赤外検査方法。 - 第2の冷却装置によりシャッタの温度を設定温度の近傍に保つことを特徴とする請求項12に記載の赤外検査方法。
- 前記赤外光源から出射される赤外線の一部のみをスポット状の光線として被検体の一部に出射する絞り部を、前記赤外光源と被検体の間に設けることを特徴とする請求項12又は13に記載の赤外検査方法。
- 赤外光源から被検体に赤外線を照射し、
被検体を透過した赤外線を赤外線レンズで集光し、
前記赤外線レンズにより集光された赤外線を赤外線カメラで取り込んで電気信号に変換して出力し、
前記赤外線カメラの出力する電気信号をモニタに入力して画像信号に変換し画像を表示する赤外検査方法において、
被検体に対する赤外線の入射の角度、被検体に対する赤外線レンズの光軸の角度、の少なくとも一方の角度を変化させることを特徴とする赤外検査方法。 - 前記赤外線レンズ及び前記赤外線カメラを可視光線も集光し電気信号に変換して出力するものとし、
前記赤外線レンズ及び前記赤外線カメラにより可視光線による撮像を更に行い、前記モニタにより赤外線を基にする画像と可視光線を基にする画像とを表示することを特徴とする請求項9に記載の赤外検査方法。
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