JP5383034B2 - 被検査物の温度制御機能を有するx線検査装置 - Google Patents
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Description
<加熱手段の構成>
先ず、試料の上下面の温度差を低減するための加熱手段の構成について説明する。
<冷却手段の構成>
次に、試料の冷却機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
<加熱ユニット内部の観察機能に係る構成>
次に、加熱ユニット内部の観察機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
<X線源及びX線検出器の保護に係る構成>
次に、X線源とX線検出器を熱的及び機械的に保護するための加熱ユニットの構成について、図2(A)を参照して説明する。
<吸煙手段の構成>
次に、吸煙機能を備えた加熱ユニットの構成について説明する。
<X線検査装置の全体構成と制御系の構成>
次に、本発明に係るX線検査装置の全体構成について説明する。
10 X線検査装置本体
11 X線源
11a ターゲット
12 X線検出器
13 ステージ
20 加熱ユニット
20a 観察エリア
21 第1加熱手段(エアヒータ)
21a 温風機構
21b ノズル
21c 温風噴出口
22 第2加熱手段(ハロゲンランプ)
22a,22b 熱光源
22c 反射鏡
23 冷却手段(エアクーラ)
23a 冷却機構
23b 冷風噴出口
23c 冷風ガイド壁
24 温度検出手段
25 耐熱ガラス
26 外観観察用カメラ
27 吸煙手段(吸煙装置)
28a,28b 遮蔽部材
29 強制空冷手段
30 温度調節器
30a N2ガス
30b 圧縮空気
31 調温制御系
31a 第1加熱制御系
31b 温風制御電源
31c レギュレータ
31d 流量計
31e 電磁弁
32a 第2加熱制御系
32b ハロゲン制御電源
33a 冷却制御系
33b レギュレータ
33c 流量計
33d 電磁弁
40 制御コンピュータ
41 設定温度
50 画像処理装置
50a 映像分配器
60 録画装置
70 加熱動画モニタ
80 操作用モニタターミナル
Claims (4)
- X線源とX線検出器との間の観察エリア上に載置された被検査物を加熱して前記被検査物の熱変化の状態を前記X線検出器で撮像したX線透過像に基づいて検査する機能を有するX線検査装置であって、
前記X線源と前記観察エリアとの間の微小間隙部側方に熱風噴出口が配置され、前記熱風噴出口から前記観察エリア上の被検査物上部に熱風を噴出して前記被検査物をその上面側から加熱する第1加熱手段と、前記観察エリアと前記X線検出器との間に加熱源が配設され、前記加熱源から前記観察エリアに向けて熱を放射して前記被検査物をその下面側から加熱する第2加熱手段と、前記被検査物の上面側の現在温度と下面側の現在温度とをそれぞれ遂次検出する温度検出手段と、温度プロファイルのデータを記憶する記憶手段と、前記被検査物の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように前記温度検出手段により検出された前記上面側の現在温度と下面側の現在温度とに基づいて前記被検査物の上面側の目標温度信号を前記第1加熱手段に与えると共に前記被検査物の下面側の目標温度信号を前記第2加熱手段に与えることによって前記第1及び第2加熱手段による各加熱量を協調制御しながら、前記温度プロファイルに従って前記被検査物を昇温させる温度制御手段と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。 - 前記微小間隙部側方に冷風噴出口が配置され、前記冷風噴出口から前記観察エリア上の被検査物に向けて冷風を噴出して前記被検査物を冷却する冷却手段を更に備えた請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記冷却手段による冷却と、前記第1及び第2加熱手段による各加熱量の協調制御とによって、前記被検査物の検出温度及び前記温度プロファイルの設定データに基づいて前記被検査物を前記温度プロファイルに従って降温させる降温制御機能を有する請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記温度プロファイルに従って前記被検査物を加熱又は降温させた後に前記被検査物を所定温度まで急速冷却する急冷制御機能とを有する請求項3に記載のX線検査装置。
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