JPH112611A - シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 - Google Patents
シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置Info
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- JPH112611A JPH112611A JP9153299A JP15329997A JPH112611A JP H112611 A JPH112611 A JP H112611A JP 9153299 A JP9153299 A JP 9153299A JP 15329997 A JP15329997 A JP 15329997A JP H112611 A JPH112611 A JP H112611A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】シート状部材に生じる欠陥の種類を識別して、
欠陥の種類に応じてシートをグレード分けして製造する
シート部材の製造方法の提供。 【解決手段】シート状物質を斜方照明あるいは透過照明
して、照明されたそれぞれの表面を光学的に検出して、
検出した画像を平滑化，２次微分，２値化する画像処理
による欠陥候補の検出と、検出された欠陥候補の画像か
ら、面積Ｓ，周囲長Ｌにもとずき、細長い欠陥と円形状
の欠陥に識別し、斜方照明で検出された画像からは、面
積Ｓの大きい欠陥はすじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断
し、円形状欠陥はへこみ欠陥として識別し、透過照明検
出された画像からは、基材より明るく検出される細長い
欠陥はひび割れ欠陥、円形状欠陥はブローホール欠陥、
また、基材より暗く検出される円形状欠陥は異物欠陥，
空隙欠陥として識別して、欠陥を判定し、該判定結果に
基づいて、良品部分を選択的して裁断し、分別してグレ
ード分けして製造する。
欠陥の種類に応じてシートをグレード分けして製造する
シート部材の製造方法の提供。 【解決手段】シート状物質を斜方照明あるいは透過照明
して、照明されたそれぞれの表面を光学的に検出して、
検出した画像を平滑化，２次微分，２値化する画像処理
による欠陥候補の検出と、検出された欠陥候補の画像か
ら、面積Ｓ，周囲長Ｌにもとずき、細長い欠陥と円形状
の欠陥に識別し、斜方照明で検出された画像からは、面
積Ｓの大きい欠陥はすじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断
し、円形状欠陥はへこみ欠陥として識別し、透過照明検
出された画像からは、基材より明るく検出される細長い
欠陥はひび割れ欠陥、円形状欠陥はブローホール欠陥、
また、基材より暗く検出される円形状欠陥は異物欠陥，
空隙欠陥として識別して、欠陥を判定し、該判定結果に
基づいて、良品部分を選択的して裁断し、分別してグレ
ード分けして製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シート状部材の検
査方法およびその方法による検査を行うための装置に関
し、特に、セラミックス基板等の母材に用いられるグリ
ーンシートの表面や内部に生じる欠陥、あるいは、偏光
フィルム等の透明シート状物質の張り合わせ部に生じる
欠陥等の種類を識別して検査する、欠陥の検出方法に関
する。
査方法およびその方法による検査を行うための装置に関
し、特に、セラミックス基板等の母材に用いられるグリ
ーンシートの表面や内部に生じる欠陥、あるいは、偏光
フィルム等の透明シート状物質の張り合わせ部に生じる
欠陥等の種類を識別して検査する、欠陥の検出方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のシート状物質の検査方法としては
グリーンシートの製造方法および検査方法，検査装置と
して、特開平４−２１６９０４号，特願平−１５０１２
６号、また、透明シートの検査方法として特開平６−２
３５６２４号公報等で開示されている方法がある。
グリーンシートの製造方法および検査方法，検査装置と
して、特開平４−２１６９０４号，特願平−１５０１２
６号、また、透明シートの検査方法として特開平６−２
３５６２４号公報等で開示されている方法がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の対象とする製
品のグリーンシートは、ハイブリッドＩＣ等の製造方法
として、サーキットテクノロジ，Ｖｏｌ４，Ｎｏ３，ｐ
ｐ１５１〜１５５（１９８９）に論じられており、連続
的に送られるキャリアフィルム上にスラリー状のグリー
ンシートを乾燥させながら製造し、所望の大きさに切断
して製品として使用する。
品のグリーンシートは、ハイブリッドＩＣ等の製造方法
として、サーキットテクノロジ，Ｖｏｌ４，Ｎｏ３，ｐ
ｐ１５１〜１５５（１９８９）に論じられており、連続
的に送られるキャリアフィルム上にスラリー状のグリー
ンシートを乾燥させながら製造し、所望の大きさに切断
して製品として使用する。
【０００４】また、偏光フィルム等の透明シートは、電
子材料，１９９１年２月号，ｐｐ３８〜４１に論じられ
ているように、連続送りされる高分子フィルムを延伸
し、粘着剤を塗布して偏光フィルムを貼り付けて製品と
なる。製品の種類としては、ロール状で出荷したり、シ
ート状のものを切断したものであったりする。
子材料，１９９１年２月号，ｐｐ３８〜４１に論じられ
ているように、連続送りされる高分子フィルムを延伸
し、粘着剤を塗布して偏光フィルムを貼り付けて製品と
なる。製品の種類としては、ロール状で出荷したり、シ
ート状のものを切断したものであったりする。
【０００５】上記従来技術では、これらのシートに生じ
る欠陥を、２次微分画像処理後の２値化処理で検出でき
たものすべてを欠陥としており、詳細な欠陥の識別は出
来ない。即ち、ひび割れや、ブローホール，すじ，しわ
等の欠陥から、透過照明で明るく検出されたものはひび
割れ欠陥かブローホール欠陥、暗く検出されたものはす
べて異物混入と判断し、欠陥としている。また、斜方照
明で明るく検出されたものは、すじ欠陥かしわ欠陥かへ
こみ欠陥である。
る欠陥を、２次微分画像処理後の２値化処理で検出でき
たものすべてを欠陥としており、詳細な欠陥の識別は出
来ない。即ち、ひび割れや、ブローホール，すじ，しわ
等の欠陥から、透過照明で明るく検出されたものはひび
割れ欠陥かブローホール欠陥、暗く検出されたものはす
べて異物混入と判断し、欠陥としている。また、斜方照
明で明るく検出されたものは、すじ欠陥かしわ欠陥かへ
こみ欠陥である。
【０００６】この方式ではそれぞれの欠陥に応じて検出
感度を可変して、欠陥の種類に応じて実害となる欠陥を
確実に検出出来ない場合があり、実害とならない形状の
小さい欠陥候補を見逃すことが出来ない場合もあった。
このため、検査結果に応じて、欠陥の多い，少ないの判
断でシートを仕分けすることは出来るが、欠陥の種類に
応じてシートを分別出来ない問題がある。
感度を可変して、欠陥の種類に応じて実害となる欠陥を
確実に検出出来ない場合があり、実害とならない形状の
小さい欠陥候補を見逃すことが出来ない場合もあった。
このため、検査結果に応じて、欠陥の多い，少ないの判
断でシートを仕分けすることは出来るが、欠陥の種類に
応じてシートを分別出来ない問題がある。
【０００７】さらに、欠陥の種類と数量に応じてシート
の致命欠陥領域と良品領域に識別してグレード分けし、
不良シートのみを排除して、良品シートはそれぞれの欠
陥の種類に応じてランク分けして、製品として使用する
ことが出来ない問題もあった。
の致命欠陥領域と良品領域に識別してグレード分けし、
不良シートのみを排除して、良品シートはそれぞれの欠
陥の種類に応じてランク分けして、製品として使用する
ことが出来ない問題もあった。
【０００８】また、上記技術では、透過照明で黒っぽく
検出される欠陥は、すべて異物混入であると判断する。
異物が存在せずに黒っぽく検出される、例えばグリーン
シート内部に生じる空隙欠陥（グリーンシート粒子と空
気との気孔率が正常部に比べて部分的に粗の状態になっ
ている）と異物混入とを識別することができない。上記
方式では、実害となる異物を高感度に検出しようとする
と、小さい空隙欠陥を多く検出し過ぎる問題があり、良
品として使用できる製品を欠陥品とする問題があった。
検出される欠陥は、すべて異物混入であると判断する。
異物が存在せずに黒っぽく検出される、例えばグリーン
シート内部に生じる空隙欠陥（グリーンシート粒子と空
気との気孔率が正常部に比べて部分的に粗の状態になっ
ている）と異物混入とを識別することができない。上記
方式では、実害となる異物を高感度に検出しようとする
と、小さい空隙欠陥を多く検出し過ぎる問題があり、良
品として使用できる製品を欠陥品とする問題があった。
【０００９】また、異物が金属か有機物か等の材料の特
定が出来ないため、欠陥の発生原因の究明や、製造工程
で不具合が生じている製造装置の改善や改良対策に時間
を要する課題もあった。
定が出来ないため、欠陥の発生原因の究明や、製造工程
で不具合が生じている製造装置の改善や改良対策に時間
を要する課題もあった。
【００１０】本発明の第１の目的は、シート状部材に生
じる欠陥候補を検出して欠陥候補の中から欠陥の種類を
識別し、欠陥の種類に応じて欠陥の検出感度を可変し、
実害となる欠陥を検出し、検出結果に基づいて、良品部
を選択的して裁断し、良品シートの中から、検出した欠
陥の種類と数量に応じてシートをグレード分けして製造
することを特徴とする、シート状部材の製造方法を提供
するにある。
じる欠陥候補を検出して欠陥候補の中から欠陥の種類を
識別し、欠陥の種類に応じて欠陥の検出感度を可変し、
実害となる欠陥を検出し、検出結果に基づいて、良品部
を選択的して裁断し、良品シートの中から、検出した欠
陥の種類と数量に応じてシートをグレード分けして製造
することを特徴とする、シート状部材の製造方法を提供
するにある。
【００１１】本発明の第２の目的は、シート状部材に生
じる欠陥候補を検出して欠陥候補の中から欠陥の種類を
識別し、欠陥の種類に応じて欠陥の検出感度を可変し、
実害となる欠陥を確実に検出する検査方法および装置を
提供するにある。
じる欠陥候補を検出して欠陥候補の中から欠陥の種類を
識別し、欠陥の種類に応じて欠陥の検出感度を可変し、
実害となる欠陥を確実に検出する検査方法および装置を
提供するにある。
【００１２】本発明の第３の目的は、シート状部材に生
じる欠陥を透過照明して画像を検出して欠陥の種類を識
別し、欠陥の種類の中から異物の材料を特定し、実害と
なる異物欠陥を確実に検出する検査方法および装置を提
供するにある。
じる欠陥を透過照明して画像を検出して欠陥の種類を識
別し、欠陥の種類の中から異物の材料を特定し、実害と
なる異物欠陥を確実に検出する検査方法および装置を提
供するにある。
【００１３】本発明の第４の目的は、シート状部材に生
じる欠陥を透過照明して画像を検出して欠陥の種類を識
別し、欠陥の種類の中から異物を特定し、異物欠陥を確
実に検出する検査方法および装置を提供するにある。
じる欠陥を透過照明して画像を検出して欠陥の種類を識
別し、欠陥の種類の中から異物を特定し、異物欠陥を確
実に検出する検査方法および装置を提供するにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的は、シー
ト状物質を斜方照明あるいは透過照明して、照明された
それぞれの表面を光学的に検出して、検出した画像を平
滑化，２次微分，２値化する画像処理による欠陥候補の
検出と、検出された欠陥候補の画像から、面積Ｓ，周囲
長Ｌにもとずき、細長い欠陥と円形状の欠陥に識別し、
斜方照明で検出された画像からは、面積Ｓの大きい欠陥
はすじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断し、円形状欠陥はへ
こみ欠陥として識別し、透過照明検出された画像から
は、基材より明るく検出される細長い欠陥はひび割れ欠
陥、円形状欠陥はブローホール欠陥、また、基材より暗
く検出される円形状欠陥は異物欠陥，空隙欠陥として識
別して、欠陥を判定し、該判定結果に基づいて、良品部
分を選択的して裁断し、良品シートの中から、欠陥判定
結果（検出した欠陥の種類と数量）にもとづいて、欠陥
の少ないシート、あるいはひび割れや異物やブローホー
ルがあるシートと該欠陥がないシート等に分別してグレ
ード分けして製造することによって達成される。
ト状物質を斜方照明あるいは透過照明して、照明された
それぞれの表面を光学的に検出して、検出した画像を平
滑化，２次微分，２値化する画像処理による欠陥候補の
検出と、検出された欠陥候補の画像から、面積Ｓ，周囲
長Ｌにもとずき、細長い欠陥と円形状の欠陥に識別し、
斜方照明で検出された画像からは、面積Ｓの大きい欠陥
はすじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断し、円形状欠陥はへ
こみ欠陥として識別し、透過照明検出された画像から
は、基材より明るく検出される細長い欠陥はひび割れ欠
陥、円形状欠陥はブローホール欠陥、また、基材より暗
く検出される円形状欠陥は異物欠陥，空隙欠陥として識
別して、欠陥を判定し、該判定結果に基づいて、良品部
分を選択的して裁断し、良品シートの中から、欠陥判定
結果（検出した欠陥の種類と数量）にもとづいて、欠陥
の少ないシート、あるいはひび割れや異物やブローホー
ルがあるシートと該欠陥がないシート等に分別してグレ
ード分けして製造することによって達成される。
【００１５】上記第２の目的は、シート状物質を斜方照
明あるいは透過照明して、照明されたそれぞれの表面を
光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次微分，
２値化する画像処理による欠陥候補の検出と、検出され
た欠陥候補の画像から、面積Ｓ，周囲長Ｌにもとずき、
細長い欠陥と円形状の欠陥に識別し、斜方照明で検出さ
れた画像からは、細長いあるいは面積Ｓの大きい欠陥は
すじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断し、円形状欠陥はへこ
み欠陥として識別し、透過照明検出された画像からは、
基材より明るく検出される細長い欠陥はひび割れ欠陥、
円形状欠陥はブローホール欠陥、また、基材より暗く検
出される円形状欠陥は異物欠陥，空隙欠陥として識別す
ることによって達成される。
明あるいは透過照明して、照明されたそれぞれの表面を
光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次微分，
２値化する画像処理による欠陥候補の検出と、検出され
た欠陥候補の画像から、面積Ｓ，周囲長Ｌにもとずき、
細長い欠陥と円形状の欠陥に識別し、斜方照明で検出さ
れた画像からは、細長いあるいは面積Ｓの大きい欠陥は
すじ状欠陥又はしわ状欠陥と判断し、円形状欠陥はへこ
み欠陥として識別し、透過照明検出された画像からは、
基材より明るく検出される細長い欠陥はひび割れ欠陥、
円形状欠陥はブローホール欠陥、また、基材より暗く検
出される円形状欠陥は異物欠陥，空隙欠陥として識別す
ることによって達成される。
【００１６】上記第３の目的は、光学的に半透明あるい
は透明なシート状物質を透過照明して、透過照明された
画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次
微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検出し、検
出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検出される
欠陥候補部に、光を照射し、該欠陥候補部の光の吸収に
よる発熱状態の温度変化特性にもとづいて、欠陥の材料
の種類を特定することによって達成される。
は透明なシート状物質を透過照明して、透過照明された
画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次
微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検出し、検
出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検出される
欠陥候補部に、光を照射し、該欠陥候補部の光の吸収に
よる発熱状態の温度変化特性にもとづいて、欠陥の材料
の種類を特定することによって達成される。
【００１７】また、上記第３の目的は、光学的に半透明
あるいは透明なシート状物質を透過照明して、透過照明
された画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑
化，２次微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検
出し、検出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検
出される欠陥候補部に、冷却ガスあるいは加熱ガスを噴
射し、該欠陥候補部の放熱状態あるいは発熱状態の温度
変化特性にもとづいて、欠陥の材料の種類を特定するこ
とによっても達成される。
あるいは透明なシート状物質を透過照明して、透過照明
された画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑
化，２次微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検
出し、検出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検
出される欠陥候補部に、冷却ガスあるいは加熱ガスを噴
射し、該欠陥候補部の放熱状態あるいは発熱状態の温度
変化特性にもとづいて、欠陥の材料の種類を特定するこ
とによっても達成される。
【００１８】上記第４の目的は、光学的に半透明あるい
は透明なシート状物質を透過照明して、透過照明された
画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次
微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検出し、検
出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検出される
欠陥候補部に、光学的に透明な部材を接触加圧しなが
ら、透過照明により接触加圧時の形状変化の画像を検出
し、該欠陥候補画像と比較して、画像面積の変化状態に
もとづいて、欠陥の種類を特定することによって達成さ
れる。
は透明なシート状物質を透過照明して、透過照明された
画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑化，２次
微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検出し、検
出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検出される
欠陥候補部に、光学的に透明な部材を接触加圧しなが
ら、透過照明により接触加圧時の形状変化の画像を検出
し、該欠陥候補画像と比較して、画像面積の変化状態に
もとづいて、欠陥の種類を特定することによって達成さ
れる。
【００１９】また、上記第４の目的は、光学的に半透明
あるいは透明なシート状物質を透過照明して、透過照明
された画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑
化，２次微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検
出し、検出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検
出される欠陥候補部に、圧縮ガスを噴射し、透過照明に
より該圧縮ガスを噴射時の形状変化の画像を検出し、該
欠陥候補画像と比較して、画像面積の変化状態にもとづ
いて、欠陥の種類を特定することによって達成される。
あるいは透明なシート状物質を透過照明して、透過照明
された画像を光学的に検出して、検出した画像を平滑
化，２次微分，２値化する画像処理により欠陥候補を検
出し、検出された欠陥候補の画像から、基材より暗く検
出される欠陥候補部に、圧縮ガスを噴射し、透過照明に
より該圧縮ガスを噴射時の形状変化の画像を検出し、該
欠陥候補画像と比較して、画像面積の変化状態にもとづ
いて、欠陥の種類を特定することによって達成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
１〜図１２により説明する。図１は本発明のシート状部
材の製造方法の１実施例を示すものである。シート３０
１を搬送するローラ３０２ａ，３０２ｂ、シート表面の
画像を検出する表面検査装置３０３、シート内部に生じ
る欠陥を検査する透過照明検査装置３０４、シート表面
にマーキングするマーカー３０５、シートを切断するカ
ッター３０６、切断したシートを収納するケース３０
７、表面検査装置３０３、透過照明検査装置３０４の検
査結果の入力にもとづいて欠陥候補の検出、マーキング
位置、切断位置、シートのグレード分けを行うマイクロ
コンピュター３０８から構成される。
１〜図１２により説明する。図１は本発明のシート状部
材の製造方法の１実施例を示すものである。シート３０
１を搬送するローラ３０２ａ，３０２ｂ、シート表面の
画像を検出する表面検査装置３０３、シート内部に生じ
る欠陥を検査する透過照明検査装置３０４、シート表面
にマーキングするマーカー３０５、シートを切断するカ
ッター３０６、切断したシートを収納するケース３０
７、表面検査装置３０３、透過照明検査装置３０４の検
査結果の入力にもとづいて欠陥候補の検出、マーキング
位置、切断位置、シートのグレード分けを行うマイクロ
コンピュター３０８から構成される。
【００２１】上記構成に置いてシート３０１は連続送り
され、ローラ３０２ａ，３０２ｂ上を矢印Ｓ方向に移動
する。表面検査装置３０３でシート表面の凹凸状のし
わ，すじ，へこみを検出し、透過照明検査装置３０４で
シート内部に生じているひび割れ、シート内部のブロー
ホール，異物や空洞を検出して、それぞれ欠陥候補とし
て抽出する。抽出した結果を基にマイクロコンピュター
３０８で欠陥候補の種類を識別し、それぞれの欠陥に応
じた欠陥判定基準により欠陥候補の中から欠陥を決定す
る。さらに欠陥位置をマーカー３０５に入力してマーキ
ングし、欠陥の種類と数量に応じてシートの裁断位置を
カッターに入力してシートを裁断する。裁断されたシー
トは、欠陥の種類や数量に応じてグレード分けされ、ケ
ース３０７が矢印Ｔ１あるいはＴ２方向に移動してそれ
ぞれの位置に収納される。
され、ローラ３０２ａ，３０２ｂ上を矢印Ｓ方向に移動
する。表面検査装置３０３でシート表面の凹凸状のし
わ，すじ，へこみを検出し、透過照明検査装置３０４で
シート内部に生じているひび割れ、シート内部のブロー
ホール，異物や空洞を検出して、それぞれ欠陥候補とし
て抽出する。抽出した結果を基にマイクロコンピュター
３０８で欠陥候補の種類を識別し、それぞれの欠陥に応
じた欠陥判定基準により欠陥候補の中から欠陥を決定す
る。さらに欠陥位置をマーカー３０５に入力してマーキ
ングし、欠陥の種類と数量に応じてシートの裁断位置を
カッターに入力してシートを裁断する。裁断されたシー
トは、欠陥の種類や数量に応じてグレード分けされ、ケ
ース３０７が矢印Ｔ１あるいはＴ２方向に移動してそれ
ぞれの位置に収納される。
【００２２】本実施例の製造方法では、欠陥の種類を識
別して、それぞれの欠陥候補の種類毎に欠陥判定できる
ため、致命となる欠陥が発生しているシートの部分を確
実に排除し、良品として使用できるシートのみを製品と
して採用できる。また、製品シートにおいてもそれぞれ
グレード分けされているため、製品の使用用途に応じて
使い分けが出来、製品の付加価値も大きくなり、歩留ま
りが向上する効果もある。
別して、それぞれの欠陥候補の種類毎に欠陥判定できる
ため、致命となる欠陥が発生しているシートの部分を確
実に排除し、良品として使用できるシートのみを製品と
して採用できる。また、製品シートにおいてもそれぞれ
グレード分けされているため、製品の使用用途に応じて
使い分けが出来、製品の付加価値も大きくなり、歩留ま
りが向上する効果もある。
【００２３】また、本実施例では、カッター３０６で切
断する場合、不良品領域を決定して切断しているが、一
定間隔で切断するシートの場合についても、それぞれグ
レード分けしてケース３０７に収納できることは明らか
である。また、図１の実施例では、シートをカッター３
０６で裁断後にグレード分けしているが例えば、シート
を切断せずにマーキングした状態でロール状に巻きとり
それぞれ巻とったロール毎にグレード分けしてロール単
位で製品として出荷することもできる。
断する場合、不良品領域を決定して切断しているが、一
定間隔で切断するシートの場合についても、それぞれグ
レード分けしてケース３０７に収納できることは明らか
である。また、図１の実施例では、シートをカッター３
０６で裁断後にグレード分けしているが例えば、シート
を切断せずにマーキングした状態でロール状に巻きとり
それぞれ巻とったロール毎にグレード分けしてロール単
位で製品として出荷することもできる。
【００２４】図２は、本発明の欠陥候補の検出と欠陥の
種類の識別の基本概念を説明するブロック図であり、画
像検出方法は図示していない。
種類の識別の基本概念を説明するブロック図であり、画
像検出方法は図示していない。
【００２５】検出した画像Ｐ１から画像処理Ｐ２によ
り、欠陥候補Ｐ３を抽出する。シート状部材例えばグリ
ーンシートや偏光フィルム等は、微小な凹凸やシート内
部の異物，ブローホール等を欠陥として検出する必要が
あるため、わずかな光のコントラスト変化を確実に捉え
る必要がある。このため、画像処理法としては、検出し
た画像の高周波成分ノイズを取り除くため平滑化処理を
する。
り、欠陥候補Ｐ３を抽出する。シート状部材例えばグリ
ーンシートや偏光フィルム等は、微小な凹凸やシート内
部の異物，ブローホール等を欠陥として検出する必要が
あるため、わずかな光のコントラスト変化を確実に捉え
る必要がある。このため、画像処理法としては、検出し
た画像の高周波成分ノイズを取り除くため平滑化処理を
する。
【００２６】次に、欠陥部の明暗コントラスト変化を強
調する２次微分処理を行い、この２次微分画像を２値化
処理して、欠陥候補を抽出する。この欠陥候補Ｐ３の中
から、以下の方法により欠陥の種類を識別Ｐ４する。
調する２次微分処理を行い、この２次微分画像を２値化
処理して、欠陥候補を抽出する。この欠陥候補Ｐ３の中
から、以下の方法により欠陥の種類を識別Ｐ４する。
【００２７】識別の方法としては、（１）欠陥候補の２
値画像の面積と周囲長を評価する形状の違いによる識別
法Ｐ５により、すじ状欠陥・しわ状欠陥，へこみ欠陥，
ひび割れ欠陥，ブローホール欠陥，異物・空隙欠陥に識
別する。（２）欠陥候補部に光エネルギーを照射、ある
いは冷却ガスまたは加熱ガスを噴射し、欠陥候補部の温
度差の違いによる識別法により金属異物，樹脂異物，空
隙欠陥に識別する。(３）欠陥候補部を加圧し、加圧時
の画像の変化を評価する識別法により、異物欠陥，空隙
欠陥に識別する。
値画像の面積と周囲長を評価する形状の違いによる識別
法Ｐ５により、すじ状欠陥・しわ状欠陥，へこみ欠陥，
ひび割れ欠陥，ブローホール欠陥，異物・空隙欠陥に識
別する。（２）欠陥候補部に光エネルギーを照射、ある
いは冷却ガスまたは加熱ガスを噴射し、欠陥候補部の温
度差の違いによる識別法により金属異物，樹脂異物，空
隙欠陥に識別する。(３）欠陥候補部を加圧し、加圧時
の画像の変化を評価する識別法により、異物欠陥，空隙
欠陥に識別する。
【００２８】上記（１），（２），（３）の少なくとも
一つの方法で欠陥を識別して欠陥を判定し致命欠陥を検
出する。
一つの方法で欠陥を識別して欠陥を判定し致命欠陥を検
出する。
【００２９】次に、本発明の検査装置の実施例について
詳細に説明する。図３はシート状部材に生じる欠陥の形
状の違いを識別して検査する図２のＰ５を実現する検査
装置の構成を示す概略構成図である。
詳細に説明する。図３はシート状部材に生じる欠陥の形
状の違いを識別して検査する図２のＰ５を実現する検査
装置の構成を示す概略構成図である。
【００３０】本実施例はシートが連続的に送られてくる
場合の一実施例でもある。図３において、検査装置はシ
ート１を搬送するローラ、ローラによって送られたシー
ト１の送り量を検出する送り測長器３、シート１を照明
するための透過照明光源４、検出レンズ５，ラインセン
サ６からなる機械的要素と、画像検出回路７，ラインセ
ンサ用画像処理装置８，マイクロコンピュター９，座標
発生装置１０，座標測長回路１１，フロッピーデスク１
２，プリンタ１３からなる電気的要素とから基本的に構
成されている。被検出物体であるシート１は回転するロ
ーラ上に接しながら連続送りされ、ローラ２の外周ある
いは近傍のシート表面に接して設けられた送り測長器３
によってシート１の送り量が測定される。回転するロー
ラ２に接触している偏光シートは透過照明光源４で照明
され、照明光源と対向する方向(図３では上方）に検出
レンズ５とラインセンサ６が配され、シート１表面の画
像を検出する。
場合の一実施例でもある。図３において、検査装置はシ
ート１を搬送するローラ、ローラによって送られたシー
ト１の送り量を検出する送り測長器３、シート１を照明
するための透過照明光源４、検出レンズ５，ラインセン
サ６からなる機械的要素と、画像検出回路７，ラインセ
ンサ用画像処理装置８，マイクロコンピュター９，座標
発生装置１０，座標測長回路１１，フロッピーデスク１
２，プリンタ１３からなる電気的要素とから基本的に構
成されている。被検出物体であるシート１は回転するロ
ーラ上に接しながら連続送りされ、ローラ２の外周ある
いは近傍のシート表面に接して設けられた送り測長器３
によってシート１の送り量が測定される。回転するロー
ラ２に接触している偏光シートは透過照明光源４で照明
され、照明光源と対向する方向(図３では上方）に検出
レンズ５とラインセンサ６が配され、シート１表面の画
像を検出する。
【００３１】上記構成において、シート１を矢印Ｙ方向
に移動させれば、ラインセンサ６からの画像信号は画像
検出回路７でＡ／Ｄ変換処理により多値画像信号として
得られ、ラインセンサ用画像処理装置８に入力される。
ラインセンサ用画像処理装置８には、シェーディング補
正回路，平滑化回路，２次微分回路，２値化回路，２次
元画像メモリ，ラベリング回路，重心算出回路，検査ウ
インドウ回路，面積計数回路，周囲長計数回路を備えて
いる。
に移動させれば、ラインセンサ６からの画像信号は画像
検出回路７でＡ／Ｄ変換処理により多値画像信号として
得られ、ラインセンサ用画像処理装置８に入力される。
ラインセンサ用画像処理装置８には、シェーディング補
正回路，平滑化回路，２次微分回路，２値化回路，２次
元画像メモリ，ラベリング回路，重心算出回路，検査ウ
インドウ回路，面積計数回路，周囲長計数回路を備えて
いる。
【００３２】シェーディング補正回路で照明むら、ライ
ンセンサ６の感度むらをディジタル的に補正し、平滑化
回路でシート表面の微小凹凸のノイズ成分を平均化して
画像信号を滑らかにする平滑化処理を行い、平滑化処理
を行った後、２次微分回路で欠陥部の明暗を画像強調す
る２次微分処理を行い、さらに、２値化回路において２
次微分処理された画像から欠陥部を抽出する２値化処理
を行い、この２値化後の結果を２次元画像メモリに記憶
させる。欠陥候補の２値画像は２次元画像メモリの中で
１（黒）あるいは０（白）の固まりの画像として点在し
ている。
ンセンサ６の感度むらをディジタル的に補正し、平滑化
回路でシート表面の微小凹凸のノイズ成分を平均化して
画像信号を滑らかにする平滑化処理を行い、平滑化処理
を行った後、２次微分回路で欠陥部の明暗を画像強調す
る２次微分処理を行い、さらに、２値化回路において２
次微分処理された画像から欠陥部を抽出する２値化処理
を行い、この２値化後の結果を２次元画像メモリに記憶
させる。欠陥候補の２値画像は２次元画像メモリの中で
１（黒）あるいは０（白）の固まりの画像として点在し
ている。
【００３３】ラベリング回路ではこれらの塊の画像を、
それぞれ一つの塊毎にラベル付けをする。重心算出回路
ではラベル付けされた画像の塊からそれぞれ重心を算出
して、その重心位置をもとめる。次に該重心位置を基準
にして、ウインドウ設定回路では２次元メモリ内でそれ
ぞれの欠陥候補２値画像を含む検査領域を設定して、そ
れぞれの検査領域毎に、２値画像の面積，周囲長を算出
してその結果をマイクロコンピュター９に入力する。
それぞれ一つの塊毎にラベル付けをする。重心算出回路
ではラベル付けされた画像の塊からそれぞれ重心を算出
して、その重心位置をもとめる。次に該重心位置を基準
にして、ウインドウ設定回路では２次元メモリ内でそれ
ぞれの欠陥候補２値画像を含む検査領域を設定して、そ
れぞれの検査領域毎に、２値画像の面積，周囲長を算出
してその結果をマイクロコンピュター９に入力する。
【００３４】座標発生回路１０では、画像検出回路７を
介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ８の走
査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標が作成さ
れ、一方では、送り測長器３からのＹ方向移動量に基づ
いて座標測長回路１１により、ラインセンサ６によるシ
ート１上での実検査位置座標が検出されるようになって
いる。この検出された実検査位置座標からマイクロコン
ピュター１９は、その時点での実検査位置を知る。
介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ８の走
査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標が作成さ
れ、一方では、送り測長器３からのＹ方向移動量に基づ
いて座標測長回路１１により、ラインセンサ６によるシ
ート１上での実検査位置座標が検出されるようになって
いる。この検出された実検査位置座標からマイクロコン
ピュター１９は、その時点での実検査位置を知る。
【００３５】すなわち、実際のシートの検査において
は、シート１は連続送りされながらその全面が検出さ
れ、ラインセンサ用画像処理装置８で２次微分後に２値
化された各座標での結果と、２値化後の画像を画像メモ
リに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像の重心
座標位置の結果が、マイクロコンピュター９に入力され
る。マイクロコンピュター９では、２値画像の重心座標
位置を実検査位置座標に変換して、例えば、ひび割れ欠
陥がある場合「１Ａ」、ブローホール欠陥がある場合
「１Ｂ」、欠陥候補がある場合「１」、というように、
欠陥候補の重心座標毎に判定され、フロピーディスク１
２あるいは、プリンタ１３に出力される。
は、シート１は連続送りされながらその全面が検出さ
れ、ラインセンサ用画像処理装置８で２次微分後に２値
化された各座標での結果と、２値化後の画像を画像メモ
リに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像の重心
座標位置の結果が、マイクロコンピュター９に入力され
る。マイクロコンピュター９では、２値画像の重心座標
位置を実検査位置座標に変換して、例えば、ひび割れ欠
陥がある場合「１Ａ」、ブローホール欠陥がある場合
「１Ｂ」、欠陥候補がある場合「１」、というように、
欠陥候補の重心座標毎に判定され、フロピーディスク１
２あるいは、プリンタ１３に出力される。
【００３６】図４は図３の検査装置で検出する場合の欠
陥識別の方法および欠陥判定例を示すものである。図４
は透過照明で検出されるひび割れ欠陥，ブローホール欠
陥，異物欠陥，空隙欠陥の判定に係わるものである。ひ
び割れ欠陥，ブローホール欠陥は透過照明で画像を検出
すると、シート基材より明るく検出されるため、２次微
分後の２値化しきい値ＶH1で得られる２値画像は白、異
物欠陥，空隙欠陥はシート基材より暗く検出されるた
め、２次微分後の２値化しきい値ＶH2で得られる２値画
像は黒となる。
陥識別の方法および欠陥判定例を示すものである。図４
は透過照明で検出されるひび割れ欠陥，ブローホール欠
陥，異物欠陥，空隙欠陥の判定に係わるものである。ひ
び割れ欠陥，ブローホール欠陥は透過照明で画像を検出
すると、シート基材より明るく検出されるため、２次微
分後の２値化しきい値ＶH1で得られる２値画像は白、異
物欠陥，空隙欠陥はシート基材より暗く検出されるた
め、２次微分後の２値化しきい値ＶH2で得られる２値画
像は黒となる。
【００３７】この結果から、白と検出されたものはひび
割れ欠陥か、ブローホール欠陥であり、また、黒と検出
されたものは異物欠陥か空隙欠陥である。白欠陥のうち
ひび割れは、細長い形状であり、ブローホールはシート
基材周囲から均等な圧力を受けるため円形の形状にな
る。異物欠陥は形状の特徴はあまり明確でない。空隙欠
陥は、ブローホール欠陥より気孔部が小さいがやはり球
形に近い形状をしている。
割れ欠陥か、ブローホール欠陥であり、また、黒と検出
されたものは異物欠陥か空隙欠陥である。白欠陥のうち
ひび割れは、細長い形状であり、ブローホールはシート
基材周囲から均等な圧力を受けるため円形の形状にな
る。異物欠陥は形状の特徴はあまり明確でない。空隙欠
陥は、ブローホール欠陥より気孔部が小さいがやはり球
形に近い形状をしている。
【００３８】従ってそれぞれの欠陥の識別は、検出した
２次微分画像の２値化しきい値ＶH1で得られる２値画像
の面積ＳH1，周囲長Ｌ1、および２次微分画像の２値化
しきい値ＶH2で得られる２値画像の面積ＳH2，周囲長Ｌ
2、から ひび割れ欠陥： ＳH1／ Ｌ1 2 ＜１／４π ブローホール欠陥： ＳH1／ Ｌ1 2 ≒１／４π、 ＳH1≦ ＳH10 異物欠陥： ＳH2／ Ｌ2 2 ≠１／４π、 ＳH2≦ ＳH20 空隙欠陥： ＳH2／ Ｌ2 2 ≒１／４π、 ＳH2≦ ＳH20 と判定される。
２次微分画像の２値化しきい値ＶH1で得られる２値画像
の面積ＳH1，周囲長Ｌ1、および２次微分画像の２値化
しきい値ＶH2で得られる２値画像の面積ＳH2，周囲長Ｌ
2、から ひび割れ欠陥： ＳH1／ Ｌ1 2 ＜１／４π ブローホール欠陥： ＳH1／ Ｌ1 2 ≒１／４π、 ＳH1≦ ＳH10 異物欠陥： ＳH2／ Ｌ2 2 ≠１／４π、 ＳH2≦ ＳH20 空隙欠陥： ＳH2／ Ｌ2 2 ≒１／４π、 ＳH2≦ ＳH20 と判定される。
【００３９】この方式では、異物欠陥は形状が一定でな
く円形に近い形状でない異物は識別できるが、異物で円
形のものは空隙欠陥として検出する可能性がある。ま
た、２値画像面積が基準値ＳH10，ＳH20より大きい場合
は異常欠陥として出力することで、他の欠陥と識別す
る。
く円形に近い形状でない異物は識別できるが、異物で円
形のものは空隙欠陥として検出する可能性がある。ま
た、２値画像面積が基準値ＳH10，ＳH20より大きい場合
は異常欠陥として出力することで、他の欠陥と識別す
る。
【００４０】図５にシート表面に生じる欠陥を識別する
本発明の検査装置の実施例を示す。図５は図３の実施例
における透過照明光源４を斜方照明光源１４に置換した
もので、その他の構成，動作は図３の各部と同様であ
る。
本発明の検査装置の実施例を示す。図５は図３の実施例
における透過照明光源４を斜方照明光源１４に置換した
もので、その他の構成，動作は図３の各部と同様であ
る。
【００４１】すなわち、図５の実施例では、斜方照明光
源１４の照明光を、シート表面に照明し、シート表面の
反射光を検出レンズ５，ラインセンサ６上に結像して画
像を検出するようになっている。図５の実施例の検出方
式では、表面の凹凸形状の検出感度が高い。
源１４の照明光を、シート表面に照明し、シート表面の
反射光を検出レンズ５，ラインセンサ６上に結像して画
像を検出するようになっている。図５の実施例の検出方
式では、表面の凹凸形状の検出感度が高い。
【００４２】図６は図５の検査装置で検出する場合の欠
陥識別の判定例を示すものである。図６は斜方照明で検
出されるすじ欠陥，しわ欠陥，へこみ欠陥、の判定に係
わるものである。これらの欠陥は斜方からの照明で、凹
凸部の突起部の斜面に光が照射されるため、欠陥画像の
特徴としてはシートの基材より明るく検出される。この
ため、２次微分後の２値化しきい値ＶH3で得られる２値
画像は白、となる。
陥識別の判定例を示すものである。図６は斜方照明で検
出されるすじ欠陥，しわ欠陥，へこみ欠陥、の判定に係
わるものである。これらの欠陥は斜方からの照明で、凹
凸部の突起部の斜面に光が照射されるため、欠陥画像の
特徴としてはシートの基材より明るく検出される。この
ため、２次微分後の２値化しきい値ＶH3で得られる２値
画像は白、となる。
【００４３】白欠陥のうちすじ欠陥，しわ欠陥は、細長
い形状でしかも連続して発生する特徴があり、検出面積
が異常に大きくなる。また、へこみ欠陥ブローホール欠
陥と同様に円形の形状になる。従ってそれぞれの欠陥の
識別は、検出した２次微分画像の２値化しきい値ＶH3で
得られる２値画像の面積ＳH3，周囲長Ｌ3、から すじ欠陥： ＳH3＞ ＳH30 しわ欠陥： ＳH3＞ ＳH30 へこみ欠陥： ＳH3／ Ｌ3 2 ≒１／４π、 ＳH3≦
ＳH30 と判定される。
い形状でしかも連続して発生する特徴があり、検出面積
が異常に大きくなる。また、へこみ欠陥ブローホール欠
陥と同様に円形の形状になる。従ってそれぞれの欠陥の
識別は、検出した２次微分画像の２値化しきい値ＶH3で
得られる２値画像の面積ＳH3，周囲長Ｌ3、から すじ欠陥： ＳH3＞ ＳH30 しわ欠陥： ＳH3＞ ＳH30 へこみ欠陥： ＳH3／ Ｌ3 2 ≒１／４π、 ＳH3≦
ＳH30 と判定される。
【００４４】本実施例の場合、すじ欠陥，しわ欠陥が発
生する場合は、製造工程の異常として捉えることができ
る。例えばグリーンシートのキャスティング工程では、
すじ状欠陥はシートの厚みを制御する、ドクターブレー
ドといわれる、ブレードに異物を挟み、すじ欠陥が数ｍ
も連続して発生することがある。また、しわ欠陥の場合
は、キャスティング工程で乾燥むらが生じ、この場合も
連続して発生する。このため、２次微分後の２値画像面
積が異常に大きい場合は、前工程不良として警報を示す
ような出力をしても良い。
生する場合は、製造工程の異常として捉えることができ
る。例えばグリーンシートのキャスティング工程では、
すじ状欠陥はシートの厚みを制御する、ドクターブレー
ドといわれる、ブレードに異物を挟み、すじ欠陥が数ｍ
も連続して発生することがある。また、しわ欠陥の場合
は、キャスティング工程で乾燥むらが生じ、この場合も
連続して発生する。このため、２次微分後の２値画像面
積が異常に大きい場合は、前工程不良として警報を示す
ような出力をしても良い。
【００４５】図３，図５の実施例はそれぞれ連続送りさ
れるシートについて説明しているが、シート切断後でも
同様の効果得られる。また、図３は透過照明で画像検出
した場合、図５は斜方照明で画像検出した場合について
それぞれ独立した形態について説明しているが、透過照
明検出して欠陥検出後に、斜方照明して欠陥を検出する
ように、図３の検査装置と、図５の検査装置をシリーズ
に設ければ（図１の検査順を置換）、図３および図５に
示した欠陥がそれぞれ識別できることは明らかである。
れるシートについて説明しているが、シート切断後でも
同様の効果得られる。また、図３は透過照明で画像検出
した場合、図５は斜方照明で画像検出した場合について
それぞれ独立した形態について説明しているが、透過照
明検出して欠陥検出後に、斜方照明して欠陥を検出する
ように、図３の検査装置と、図５の検査装置をシリーズ
に設ければ（図１の検査順を置換）、図３および図５に
示した欠陥がそれぞれ識別できることは明らかである。
【００４６】図７は図２に示す検査方式の概念図のＰ６
の温度差による欠陥の識別を実現する、検査装置の１実
施例である。図７において、本実施例は、切断後のシー
トを検査する場合についての実施例である。図７の検査
装置は、シート１０１を保持する透明ホルダー１０２、
透明ホルダー１０２を矢印Ｙ１方向に往復移動する送り
ねじ１０３ａが連結されているパルスモータ１０３、シ
ート１０１を透過照明する透過照明ユニット１０４、検
出レンズ１０５、ラインセンサ１０６、シート表面に光
エネルギーを照射する赤外光源１２１、光エネルギー照
射部の温度を計測する、放射温度計１２２、赤外光源１
２１と放射温度計１２２を連結する連結ユニット１２
３、連結ユニット１２３を矢印Ｘ方向に往復移動する送
りネジ１２４ａが連結されているパルスモータ１２４、
からなる機械的要素と画像検出回路１０７、ラインセン
サ用画像処理装置１０８、マイクロコンピュター１０
９、座標発生装置１１０、座標測長回路１１１、フロッ
ピーデスク１１２、プリンタ１１３、温度計測コントロ
ーラ１２５、モータコントローラ１２６からなる電気的
要素とから基本的に構成されている。
の温度差による欠陥の識別を実現する、検査装置の１実
施例である。図７において、本実施例は、切断後のシー
トを検査する場合についての実施例である。図７の検査
装置は、シート１０１を保持する透明ホルダー１０２、
透明ホルダー１０２を矢印Ｙ１方向に往復移動する送り
ねじ１０３ａが連結されているパルスモータ１０３、シ
ート１０１を透過照明する透過照明ユニット１０４、検
出レンズ１０５、ラインセンサ１０６、シート表面に光
エネルギーを照射する赤外光源１２１、光エネルギー照
射部の温度を計測する、放射温度計１２２、赤外光源１
２１と放射温度計１２２を連結する連結ユニット１２
３、連結ユニット１２３を矢印Ｘ方向に往復移動する送
りネジ１２４ａが連結されているパルスモータ１２４、
からなる機械的要素と画像検出回路１０７、ラインセン
サ用画像処理装置１０８、マイクロコンピュター１０
９、座標発生装置１１０、座標測長回路１１１、フロッ
ピーデスク１１２、プリンタ１１３、温度計測コントロ
ーラ１２５、モータコントローラ１２６からなる電気的
要素とから基本的に構成されている。
【００４７】シート１０１はモータ１０３により矢印Ｙ
１方向に移動し、ラインセンサ１０６により順次画像を
検出する。矢印Ｙ１方向に移動するとき透過照明１０４
で照明し、ひび割れ，ブローホール，異物，空隙を検出
する。
１方向に移動し、ラインセンサ１０６により順次画像を
検出する。矢印Ｙ１方向に移動するとき透過照明１０４
で照明し、ひび割れ，ブローホール，異物，空隙を検出
する。
【００４８】上記構成において、シート１０１を矢印Ｙ
１方向に移動させれば、ラインセンサ１０６からの画像
信号は画像検出回路１０７でＡ／Ｄ変換処理により多値
画像信号として得られ、ラインセンサ用画像処理装置１
０８に入力される。ラインセンサ用画像処理装置１０８
は図３のラインセンサ用画像処理装置８と同様の構成，
機能を有しており、シェーディング補正回路，平滑化回
路，２次微分回路，２値化回路，２次元画像メモリ，ラ
ベリング回路，重心算出回路，検査ウインドウ回路，面
積計数回路，周囲長計数回路で、それぞれ欠陥毎に、２
値画像の面積，周囲長を算出してその結果をマイクロコ
ンピュター９に入力する。
１方向に移動させれば、ラインセンサ１０６からの画像
信号は画像検出回路１０７でＡ／Ｄ変換処理により多値
画像信号として得られ、ラインセンサ用画像処理装置１
０８に入力される。ラインセンサ用画像処理装置１０８
は図３のラインセンサ用画像処理装置８と同様の構成，
機能を有しており、シェーディング補正回路，平滑化回
路，２次微分回路，２値化回路，２次元画像メモリ，ラ
ベリング回路，重心算出回路，検査ウインドウ回路，面
積計数回路，周囲長計数回路で、それぞれ欠陥毎に、２
値画像の面積，周囲長を算出してその結果をマイクロコ
ンピュター９に入力する。
【００４９】座標発生回路１１０では、画像検出回路１
０７を介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ
１０６の走査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標
が作成され、一方では、パルスモータ１０３のパルス数
からのＹ１方向移動量にもとづき、座標測長回路１１１
により、ラインセンサ１０６によるシート１０１上での
実検査位置座標が検出されるようになっている。この検
出された実検査位置座標からマイクロコンピュター１０
９は、その時点での実検査位置を知る。
０７を介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ
１０６の走査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標
が作成され、一方では、パルスモータ１０３のパルス数
からのＹ１方向移動量にもとづき、座標測長回路１１１
により、ラインセンサ１０６によるシート１０１上での
実検査位置座標が検出されるようになっている。この検
出された実検査位置座標からマイクロコンピュター１０
９は、その時点での実検査位置を知る。
【００５０】すなわち、実際のシートの検査において
は、シート１０１は連続送りされながらその全面が検出
され、ラインセンサ用画像処理装置１０８で２次微分後
に２値化された各座標での結果と、２値化後の画像を画
像メモリに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像
の重心座標位置の結果が、マイクロコンピュター１０９
に入力される。
は、シート１０１は連続送りされながらその全面が検出
され、ラインセンサ用画像処理装置１０８で２次微分後
に２値化された各座標での結果と、２値化後の画像を画
像メモリに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像
の重心座標位置の結果が、マイクロコンピュター１０９
に入力される。
【００５１】マイクロコンピュター１０９では、２値画
像の重心座標位置を実検査位置座標に変換して、例え
ば、ひび割れ欠陥は「２Ａ」、ブローホール欠陥は「２
Ｂ」、異物欠陥は「２Ｃ」、空隙欠陥は「２Ｄ」、欠陥
候補の場合「２」、というように、欠陥候補の重心座標
毎に判定され、マイクロコンピュター１０９のハードデ
ィスクやフロピーディスク１２あるいは、プリンタ１３
に出力される。
像の重心座標位置を実検査位置座標に変換して、例え
ば、ひび割れ欠陥は「２Ａ」、ブローホール欠陥は「２
Ｂ」、異物欠陥は「２Ｃ」、空隙欠陥は「２Ｄ」、欠陥
候補の場合「２」、というように、欠陥候補の重心座標
毎に判定され、マイクロコンピュター１０９のハードデ
ィスクやフロピーディスク１２あるいは、プリンタ１３
に出力される。
【００５２】この出力された結果をもとに、マイクロコ
ンピュター１０９はモーターコントローラ１２６を介し
て、パルスモータ１０３によりシート１０１をＹ１又は
Ｙ２方向に、パルスモータ１２４により連結ユニット１
２３をＸ方向に移動させ、放射温度計１２２の直下に、
異物欠陥「２Ｃ」あるいは空隙欠陥「２Ｄ」を位置合わ
せする。赤外線光源１２１と放射温度計１２２はあらか
じめ光軸合わせされている。
ンピュター１０９はモーターコントローラ１２６を介し
て、パルスモータ１０３によりシート１０１をＹ１又は
Ｙ２方向に、パルスモータ１２４により連結ユニット１
２３をＸ方向に移動させ、放射温度計１２２の直下に、
異物欠陥「２Ｃ」あるいは空隙欠陥「２Ｄ」を位置合わ
せする。赤外線光源１２１と放射温度計１２２はあらか
じめ光軸合わせされている。
【００５３】この状態で赤外光源１２１を照射してその
照射部の温度を放射温度計で計測し、温度計測コントロ
ーラに入力され、照射時間に対する温度変化が算出さ
れ、この結果をマイクロコンピュター１０９に入力す
る。図８は照射時間に対する異物の要因となる金属，有
機物，空隙の温度変化を示したものである。照射時間に
対する温度を比較すると比熱の大きい金属は急激に温度
上昇し、基材と同じ材料の空隙は温度上昇しにくい。こ
の特徴を捉えることによって、これらの材料を特定する
ことが出来る。
照射部の温度を放射温度計で計測し、温度計測コントロ
ーラに入力され、照射時間に対する温度変化が算出さ
れ、この結果をマイクロコンピュター１０９に入力す
る。図８は照射時間に対する異物の要因となる金属，有
機物，空隙の温度変化を示したものである。照射時間に
対する温度を比較すると比熱の大きい金属は急激に温度
上昇し、基材と同じ材料の空隙は温度上昇しにくい。こ
の特徴を捉えることによって、これらの材料を特定する
ことが出来る。
【００５４】本実施例では、異物や空隙の大きさを画像
面積として計測できるため、異物や空隙の大きさと温度
変化の関係をあらかじめ測定しておき、この測定結果を
判定基準に用いれば、金属の種類などの特定も可能であ
る。すなわち、シート１０１を製造する工程に用いられ
る例えば、アルミニュームや鉄やステンレスの金属を、
それぞれ大きさの異なるサンプルでの温度変化を測定し
て基準データとしてマイクロコンピュター１０９に入力
し、この結果と測定した温度変化を比較して、一致した
場合に金属の種類を特定できる。
面積として計測できるため、異物や空隙の大きさと温度
変化の関係をあらかじめ測定しておき、この測定結果を
判定基準に用いれば、金属の種類などの特定も可能であ
る。すなわち、シート１０１を製造する工程に用いられ
る例えば、アルミニュームや鉄やステンレスの金属を、
それぞれ大きさの異なるサンプルでの温度変化を測定し
て基準データとしてマイクロコンピュター１０９に入力
し、この結果と測定した温度変化を比較して、一致した
場合に金属の種類を特定できる。
【００５５】このようにすると、シート１０１の製造工
程の異物発生作業や異物発生原因を追究しやすくなる効
果もある。以上述べた本発明によれば、図１の（１）形
状による識別とＰ５、（２）温度差による識別Ｐ６を実
現することが出来るため、ひび割れ欠陥，ブローホール
欠陥，異物欠陥，空隙欠陥，しわ欠陥，へこみ欠陥を識
別できるほか、異物欠陥の種類（金属か樹脂）、あるい
は金属の種類の特定を出来る。
程の異物発生作業や異物発生原因を追究しやすくなる効
果もある。以上述べた本発明によれば、図１の（１）形
状による識別とＰ５、（２）温度差による識別Ｐ６を実
現することが出来るため、ひび割れ欠陥，ブローホール
欠陥，異物欠陥，空隙欠陥，しわ欠陥，へこみ欠陥を識
別できるほか、異物欠陥の種類（金属か樹脂）、あるい
は金属の種類の特定を出来る。
【００５６】図９は図２の温度差による識別の他の実施
例を示す図である。図９で欠陥候補を検出するまでの動
作，機能は図７と同様であるため、同じ機能，動作をす
るものについては同一符号を付してある。
例を示す図である。図９で欠陥候補を検出するまでの動
作，機能は図７と同様であるため、同じ機能，動作をす
るものについては同一符号を付してある。
【００５７】図９において図７の赤外光源１２１をガス
ノズル１３１に置換し、冷却ガス源１３２からの冷却ガ
スをガスパイプ１３３により、電磁バルブ１３４を介し
てガスノズル１３３に供給出来る構造になっている。電
磁バルブはマイクロコンピュター１０９の指令に基づき
開閉されるように構成されている。
ノズル１３１に置換し、冷却ガス源１３２からの冷却ガ
スをガスパイプ１３３により、電磁バルブ１３４を介し
てガスノズル１３３に供給出来る構造になっている。電
磁バルブはマイクロコンピュター１０９の指令に基づき
開閉されるように構成されている。
【００５８】図９では図７と同様の動作により異物欠
陥，空隙欠陥が検出されると、ガスノズル１３１、放射
温度計１２２の直下にこれらの欠陥が位置決めされ、欠
陥部を冷却ガスにより急冷する。この時の温度変化分布
を放射温度計１２２で計測することにより、図８に示し
た温度特性の逆の出力となりそれぞれの欠陥を識別する
ことが出来る。本実施例では冷却ガスで説明したが、加
熱ガスを用いても同様の効果が得られ、図８に示した温
度特性と同様な出力となる。
陥，空隙欠陥が検出されると、ガスノズル１３１、放射
温度計１２２の直下にこれらの欠陥が位置決めされ、欠
陥部を冷却ガスにより急冷する。この時の温度変化分布
を放射温度計１２２で計測することにより、図８に示し
た温度特性の逆の出力となりそれぞれの欠陥を識別する
ことが出来る。本実施例では冷却ガスで説明したが、加
熱ガスを用いても同様の効果が得られ、図８に示した温
度特性と同様な出力となる。
【００５９】次に加圧による識別を実現する検査装置の
１実施例を図１０を用いて説明する。図１０で欠陥候補
を検出するまでの動作、機能は図７と同様であるため、
同じ機能，動作をするものについては同一符号を付して
ある。
１実施例を図１０を用いて説明する。図１０で欠陥候補
を検出するまでの動作、機能は図７と同様であるため、
同じ機能，動作をするものについては同一符号を付して
ある。
【００６０】図１０において図７の赤外光源１２１，放
射温度計１２２，温度計測コントローラ１２５等の温度
検出系を、透明ガラス２０１，検出レンズ２０２，ＴＶ
カメラ２０３，透過照明装置２０４、透明ガラス２０１
と検出レンズ２０２を連結するホルダ２０５、ホルダー
２０５を矢印Ｘ方向に往復移動する送りネジ２０６ａが
連結されているパルスモータ２０６、ホルダー２０５を
矢印Ｚ方向に往復移動する送りネジ２０７ａが連結され
ているパルスモータ２０７からなる、機械的要素と、Ｔ
Ｖカメラ画像処理装置２０８に置換した構成としたもの
で、上記以外の構成は図７と同じである。
射温度計１２２，温度計測コントローラ１２５等の温度
検出系を、透明ガラス２０１，検出レンズ２０２，ＴＶ
カメラ２０３，透過照明装置２０４、透明ガラス２０１
と検出レンズ２０２を連結するホルダ２０５、ホルダー
２０５を矢印Ｘ方向に往復移動する送りネジ２０６ａが
連結されているパルスモータ２０６、ホルダー２０５を
矢印Ｚ方向に往復移動する送りネジ２０７ａが連結され
ているパルスモータ２０７からなる、機械的要素と、Ｔ
Ｖカメラ画像処理装置２０８に置換した構成としたもの
で、上記以外の構成は図７と同じである。
【００６１】シート１０１を矢印Ｙ３方向に移動させれ
ば、図７の動作と同様にラインセンサ１０６からの画像
信号は画像検出回路１０７でＡ／Ｄ変換処理により多値
画像信号として得られ、ラインセンサ用画像処理装置１
０８に入力される。ラインセンサ用画像処理装置１０８
は図２のラインセンサ用画像処理装置８と同様の構成，
機能を有しており、シェーディング補正回路，平滑化回
路，２次微分回路，２値化回路，２次元画像メモリ，ラ
ベリング回路，重心算出回路，検査ウインドウ回路，面
積計数回路，周囲長計数回路で、それぞれ欠陥毎に、２
値画像の面積，周囲長を算出してその結果をマイクロコ
ンピュター９に入力する。
ば、図７の動作と同様にラインセンサ１０６からの画像
信号は画像検出回路１０７でＡ／Ｄ変換処理により多値
画像信号として得られ、ラインセンサ用画像処理装置１
０８に入力される。ラインセンサ用画像処理装置１０８
は図２のラインセンサ用画像処理装置８と同様の構成，
機能を有しており、シェーディング補正回路，平滑化回
路，２次微分回路，２値化回路，２次元画像メモリ，ラ
ベリング回路，重心算出回路，検査ウインドウ回路，面
積計数回路，周囲長計数回路で、それぞれ欠陥毎に、２
値画像の面積，周囲長を算出してその結果をマイクロコ
ンピュター９に入力する。
【００６２】座標発生回路１１０では、画像検出回路１
０７を介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ
１０６の走査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標
が作成され、一方では、パルスモータ１０３のパルス数
からのＹ３方向移動量にもとづき、座標測長回路１１１
により、ラインセンサ１０６によるシート１０１上での
実検査位置座標が検出されるようになっている。この検
出された実検査位置座標からマイクロコンピュター１０
９は、その時点での実検査位置を知る。
０７を介し、現に画像検出に係わっているラインセンサ
１０６の走査クロックに基づいてＸ方向の走査位置座標
が作成され、一方では、パルスモータ１０３のパルス数
からのＹ３方向移動量にもとづき、座標測長回路１１１
により、ラインセンサ１０６によるシート１０１上での
実検査位置座標が検出されるようになっている。この検
出された実検査位置座標からマイクロコンピュター１０
９は、その時点での実検査位置を知る。
【００６３】すなわち、実際のシートの検査において
は、シート１０１は連続送りされながらその全面が検出
され、ラインセンサ用画像処理装置１０８で２次微分後
に２値化された各座標での結果と、２値化後の画像を画
像メモリに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像
の重心座標位置の結果が、マイクロコンピュター１０９
に入力される。
は、シート１０１は連続送りされながらその全面が検出
され、ラインセンサ用画像処理装置１０８で２次微分後
に２値化された各座標での結果と、２値化後の画像を画
像メモリに記憶する領域と、ラベリング後の各２値画像
の重心座標位置の結果が、マイクロコンピュター１０９
に入力される。
【００６４】本実施例では、ラインセンサ用画像処理装
置１０８とマイクロコンピュター１０９で異物欠陥「２
Ｃ」、空隙欠陥「２Ｄ」と判断された座標位置に、パル
スモータ１０３によりシート１０１をＹ３又はＹ４方向
に、パルスモータ１２４により連結ホルダ２０５をＸ方
向に移動させ、ＴＶカメラ２０３，検出レンズ２０２を
位置合わせする。透過照明装置２０４をライン状のもの
を用いれば、シート１０１をパルスモータ１０３でＹ方
向に移動できるため、ＴＶカメラ２０３，検出レンズ２
０２はＸ方向に移動できるようにしておけば、ＸＹ面内
の欠陥存在位置の上方に、位置合わせすることが出来
る。
置１０８とマイクロコンピュター１０９で異物欠陥「２
Ｃ」、空隙欠陥「２Ｄ」と判断された座標位置に、パル
スモータ１０３によりシート１０１をＹ３又はＹ４方向
に、パルスモータ１２４により連結ホルダ２０５をＸ方
向に移動させ、ＴＶカメラ２０３，検出レンズ２０２を
位置合わせする。透過照明装置２０４をライン状のもの
を用いれば、シート１０１をパルスモータ１０３でＹ方
向に移動できるため、ＴＶカメラ２０３，検出レンズ２
０２はＸ方向に移動できるようにしておけば、ＸＹ面内
の欠陥存在位置の上方に、位置合わせすることが出来
る。
【００６５】この位置合わせが完了した状態で、パルス
モータ２０７によって、透明ガラスをシート表面に押し
つけると、異物欠陥「２Ｃ」は形状に変化が見られない
が、空隙欠陥「２Ｄ」は図１１に示すように下圧時には
スポンジ状の状態が押しつぶされるようになり、透過照
明で検出した画像は面積が大きくなる。このため、加圧
前の画像と加圧後の画像を比較することにより、空隙欠
陥を異物欠陥と識別することが可能となる。
モータ２０７によって、透明ガラスをシート表面に押し
つけると、異物欠陥「２Ｃ」は形状に変化が見られない
が、空隙欠陥「２Ｄ」は図１１に示すように下圧時には
スポンジ状の状態が押しつぶされるようになり、透過照
明で検出した画像は面積が大きくなる。このため、加圧
前の画像と加圧後の画像を比較することにより、空隙欠
陥を異物欠陥と識別することが可能となる。
【００６６】すなわち検出した画像をＴＶカメラ画像処
理装置を用いて図４に示すような処理を施し、２次微分
後の２値画像を比較することにより異物欠陥と空隙欠陥
が識別できる。
理装置を用いて図４に示すような処理を施し、２次微分
後の２値画像を比較することにより異物欠陥と空隙欠陥
が識別できる。
【００６７】図１０の本発明の実施例では、ひび割れ欠
陥，ブローホール欠陥，異物欠陥，空隙欠陥，しわ欠
陥，へこみ欠陥を識別出来る。
陥，ブローホール欠陥，異物欠陥，空隙欠陥，しわ欠
陥，へこみ欠陥を識別出来る。
【００６８】図１２は圧縮ガス噴射による識別を実現す
る検査装置の一実施例を示すものである。図１２で欠陥
候補を検出するまでの動作，機能は図１０と同様である
ため、同じ機能，動作をするものについては同一符号を
付してある。
る検査装置の一実施例を示すものである。図１２で欠陥
候補を検出するまでの動作，機能は図１０と同様である
ため、同じ機能，動作をするものについては同一符号を
付してある。
【００６９】図１２において図１０の透明ガラス２０１
が、圧縮ガスノズル２２１，ガス源２２２，配管２２
３，電磁バルブ２２４に置換され、ガス源２２２からの
圧縮ガスを配管２２３により、マイクロコンピュター１
０９の指令に基づき開閉される電磁バルブ２２４を介し
て圧縮ガスノズル２２１に供給出来る構造になってい
る。
が、圧縮ガスノズル２２１，ガス源２２２，配管２２
３，電磁バルブ２２４に置換され、ガス源２２２からの
圧縮ガスを配管２２３により、マイクロコンピュター１
０９の指令に基づき開閉される電磁バルブ２２４を介し
て圧縮ガスノズル２２１に供給出来る構造になってい
る。
【００７０】図１２の実施例では、検出した異物欠陥や
空隙欠陥に圧縮ガスを噴射することにより、欠陥部表面
が押しつけられるため、図１１で示したように空隙欠陥
のスポンジ状の状態が押しつぶされるようになり、透過
照明で検出した画像は面積が大きくなり、空隙欠陥の識
別が可能となる。
空隙欠陥に圧縮ガスを噴射することにより、欠陥部表面
が押しつけられるため、図１１で示したように空隙欠陥
のスポンジ状の状態が押しつぶされるようになり、透過
照明で検出した画像は面積が大きくなり、空隙欠陥の識
別が可能となる。
【００７１】図７，図９，図１０，図１２の実施例で
は、切断後のシートについて欠陥を識別する方式につい
て述べたが、図１の製造方法においては、いずれの方式
でも欠陥位置と欠陥の種類が分かっているため、例えば
図１のマーカー３０５の直前に、図７の光エネルギーを
照射する赤外光源１２１、光エネルギー照射部の温度を
計測する、放射温度計１２２、赤外光源１２１と放射温
度計１２２を連結する連結ユニット１２３、連結ユニッ
ト１２３を矢印Ｘ方向に往復移動する送りネジ１２４ａ
が連結されているパルスモータ１２４、温度計測コント
ローラ１２５や図９のガスノズル１３１や、冷却ガス源
１３２、ガスパイプ１３３、電磁バルブ１３４等の温度
計測系を、また、図１０の透明ガラス２０１，検出レン
ズ２０２，ＴＶカメラ２０３，透過照明装置２０４、透
明ガラス２０１と検出レンズ２０２を連結するホルダー
２０５、ホルダー２０５を矢印Ｘ方向に往復移動する送
りネジ２０６ａが連結されているパルスモータ２０６、
ホルダー２０５を矢印Ｚ方向に往復移動する送りネジ２
０７ａが連結されているパルスモータ２０７からなる、
機械的要素、ＴＶカメラ画像処理装置２０８や、図１２
の圧縮ガスノズル２２１，ガス源２２２，配管２２３，
電磁バルブ２２４等をあらかじめ設けておけば、連続送
りされるシートについても欠陥の種類を識別して欠陥判
定できることは明らかである。
は、切断後のシートについて欠陥を識別する方式につい
て述べたが、図１の製造方法においては、いずれの方式
でも欠陥位置と欠陥の種類が分かっているため、例えば
図１のマーカー３０５の直前に、図７の光エネルギーを
照射する赤外光源１２１、光エネルギー照射部の温度を
計測する、放射温度計１２２、赤外光源１２１と放射温
度計１２２を連結する連結ユニット１２３、連結ユニッ
ト１２３を矢印Ｘ方向に往復移動する送りネジ１２４ａ
が連結されているパルスモータ１２４、温度計測コント
ローラ１２５や図９のガスノズル１３１や、冷却ガス源
１３２、ガスパイプ１３３、電磁バルブ１３４等の温度
計測系を、また、図１０の透明ガラス２０１，検出レン
ズ２０２，ＴＶカメラ２０３，透過照明装置２０４、透
明ガラス２０１と検出レンズ２０２を連結するホルダー
２０５、ホルダー２０５を矢印Ｘ方向に往復移動する送
りネジ２０６ａが連結されているパルスモータ２０６、
ホルダー２０５を矢印Ｚ方向に往復移動する送りネジ２
０７ａが連結されているパルスモータ２０７からなる、
機械的要素、ＴＶカメラ画像処理装置２０８や、図１２
の圧縮ガスノズル２２１，ガス源２２２，配管２２３，
電磁バルブ２２４等をあらかじめ設けておけば、連続送
りされるシートについても欠陥の種類を識別して欠陥判
定できることは明らかである。
【００７２】
【発明の効果】以上、説明したように、請求項１〜１３
項による場合は、シート状部材のシート表面やシート内
部に生じる欠陥候補を検出し、検出された欠陥候補から
欠陥の種類を特定し、該それぞれの欠陥の種類に応じて
欠陥検出感度を可変して検査し、検査結果に基づいて、
シートをグレード分けして製造するシート状部材の製造
方法を与える。
項による場合は、シート状部材のシート表面やシート内
部に生じる欠陥候補を検出し、検出された欠陥候補から
欠陥の種類を特定し、該それぞれの欠陥の種類に応じて
欠陥検出感度を可変して検査し、検査結果に基づいて、
シートをグレード分けして製造するシート状部材の製造
方法を与える。
【００７３】請求項１４，１９，２５による場合は、欠
陥候補部の形状の特徴から欠陥の種類を特定して、欠陥
の種類の応じて欠陥検出感度を可変して欠陥を検出する
検査方法および装置が、請求項１５，１６，２０，２１
による場合は、欠陥候補部の温度変化の特徴から欠陥の
種類を特定して、欠陥の種類の応じて欠陥検出感度を可
変して欠陥を検出する検査方法および装置が、請求項１
７，１８，２２，２３による場合は、欠陥候補部を加圧
した場合の画像変化の特徴から欠陥の種類を特定して、
欠陥の種類の応じて欠陥検出感度を可変して欠陥を検出
する検査方法および装置が、それぞれ得られる。
陥候補部の形状の特徴から欠陥の種類を特定して、欠陥
の種類の応じて欠陥検出感度を可変して欠陥を検出する
検査方法および装置が、請求項１５，１６，２０，２１
による場合は、欠陥候補部の温度変化の特徴から欠陥の
種類を特定して、欠陥の種類の応じて欠陥検出感度を可
変して欠陥を検出する検査方法および装置が、請求項１
７，１８，２２，２３による場合は、欠陥候補部を加圧
した場合の画像変化の特徴から欠陥の種類を特定して、
欠陥の種類の応じて欠陥検出感度を可変して欠陥を検出
する検査方法および装置が、それぞれ得られる。
【図１】本発明の第１の実施例に係わるシート状部材の
製造方法を示す概略構成図。
製造方法を示す概略構成図。
【図２】本発明の欠陥候補の検出と欠陥の種類の識別の
基本概念を説明するブロック図。
基本概念を説明するブロック図。
【図３】本発明の第２の実施例に係わるシート状部材の
検査装置の構成を示す概略構成図。
検査装置の構成を示す概略構成図。
【図４】本発明の第２の実施例の検査装置の欠陥候補の
検出、欠陥の種類の識別、欠陥判定を説明する概略図。
検出、欠陥の種類の識別、欠陥判定を説明する概略図。
【図５】本発明の第３の実施例に係わるシート状部材の
検査装置の構成を示す概略構成図。
検査装置の構成を示す概略構成図。
【図６】本発明の第３の実施例の検査装置の欠陥候補の
検出、欠陥の種類の識別、欠陥判定を説明する概略図。
検出、欠陥の種類の識別、欠陥判定を説明する概略図。
【図７】本発明の第４の実施例に係わるシート状部材の
検査装置の構成を示す概略構成図。
検査装置の構成を示す概略構成図。
【図８】本発明の第４の実施例の欠陥の種類の識別、欠
陥判定を説明する概略図。
陥判定を説明する概略図。
【図９】本発明の第５の実施例に係わるシート状部材の
検査装置の構成を示す概略構成図。
検査装置の構成を示す概略構成図。
【図１０】本発明の第６の実施例に係わるシート状部材
の検査装置の構成を示す概略構成図。
の検査装置の構成を示す概略構成図。
【図１１】本発明の第６の実施例の欠陥の種類の識別、
欠陥判定を説明する概略図。
欠陥判定を説明する概略図。
【図１２】本発明の第６の実施例に係わるシート状部材
の検査装置の構成を示す概略構成図。
の検査装置の構成を示す概略構成図。
３０１…シート、３０２ａ，３０２ｂ…ローラ、３０３
…表面検査装置、３０４…透過照明検査装置、３０５…
マーカー、３０６…カッター、３０７…ケース、３０８
…マイクロコンピュター、１…シート、２…ローラ、３
…送り測長器、４…透過照明光源、５…検出レンズ、６
…ラインセンサ、７…画像検出回路、８…ラインセンサ
用画像処理装置。
…表面検査装置、３０４…透過照明検査装置、３０５…
マーカー、３０６…カッター、３０７…ケース、３０８
…マイクロコンピュター、１…シート、２…ローラ、３
…送り測長器、４…透過照明光源、５…検出レンズ、６
…ラインセンサ、７…画像検出回路、８…ラインセンサ
用画像処理装置。
Claims (25)
- 【請求項１】シート状部材の製造方法において、シート
の光学画像を検出し、該光学画像から、シート表面やシ
ート内部に生じる欠陥候補を検出し、該検出された欠陥
候補の形状の特徴から欠陥の種類を特定し、該それぞれ
の欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変して検査し、
検査結果に基づいて、シートをグレード分けして製造す
ることを特徴とするシート状部材の製造方法。 - 【請求項２】シート状部材の製造方法において、シート
の光学画像を検出し、該光学画像から、シート表面やシ
ート内部に生じる欠陥候補を検出し、該検出された欠陥
候補部の温度変化特性を検出して欠陥の種類を特定し、
該それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変し
て検査し、検査結果に基づいて、シートをグレード分け
して製造することを特徴とするシート状部材の製造方
法。 - 【請求項３】シート状部材の製造方法において、シート
の光学画像を検出し、該光学画像から、シート表面やシ
ート内部に生じる欠陥候補を検出し、該検出された欠陥
候補部を加圧し、加圧時の形状変化にもとづいて欠陥の
種類を特定し、該それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検
出感度を可変して検査し、検査結果に基づいて、シート
をグレード分けして製造することを特徴とするシート状
部材の製造方法。 - 【請求項４】連続送りされるシート状部材の製造方法に
おいて、シートの光学画像を検出し、該光学画像から、
シート表面やシート内部に生じる欠陥候補を検出し、該
検出された欠陥候補の形状の特徴から欠陥の種類を特定
し、該それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可
変して検査し、検査結果に基づいて、シートの良品領域
を決定してシートを切断し、切断後のシートの欠陥の種
類と欠陥の数量から、切断後のシート毎に品質のランク
付けをして、シートをグレード分けして製造することを
特徴とするシート状部材の製造方法。 - 【請求項５】連続送りされるシート状部材の製造方法に
おいて、シートの光学画像を検出し、該光学画像から、
シート表面やシート内部に生じる欠陥候補を検出し、該
検出された欠陥候補の形状の特徴から欠陥の種類を特定
し、該それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可
変して検査し、検査結果に基づいて、適当な間隔で切断
された切断後のシート毎に品質のランク付けをして、シ
ートをグレード分けして製造することを特徴とするシー
ト状部材の製造方法。 - 【請求項６】シート状部材の表面を反射する光あるいは
シート内部を透過する光を照射し、光照射によって明る
さの変化が生じている光学像を検出し、検出した光学画
像を平滑化して２次微分処理し、２次微分処理した画像
から、欠陥候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値
に基づいて、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部の２次
微分処理後の２値画像の、面積Ｓと周囲長Ｌおよび面積
Ｓと周囲長Ｌ2の比の円形度にもとづいて、欠陥の種類
を特定し、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度
を可変して検査し、検査結果に基づいて、シートをグレ
ード分けして製造することを特徴とする請求項１，４，
５記載のシート状部材の製造方法。 - 【請求項７】シート状部材の表面を反射する光あるいは
透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が生
じている光学画像を検出し、検出した光学画像を平滑化
して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥
候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に赤外光を照射
し、該赤外光の吸収による発熱状態の温度変化特性にも
とづいて、欠陥の種類を特定し、それぞれの欠陥の種類
に応じて欠陥検出感度を可変して検査し、検査結果に基
づいて、シートをグレード分けして製造することを特徴
とする請求項２記載のシート状部材の製造方法。 - 【請求項８】シート状部材の表面を反射する光あるいは
透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が生
じている光学画像を検出し、検出した光学画像を平滑化
して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥
候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に冷却ガスある
いは加熱ガスを噴射し、該欠陥候補部の放熱状態あるい
は発熱状態の温度変化特性にもとづいて、欠陥の種類を
特定し、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を
可変して検査し、検査結果に基づいて、シートをグレー
ド分けして製造することを特徴とする請求項２記載のシ
ート状部材の製造方法。 - 【請求項９】シート状部材の表面を反射する光あるいは
透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が生
じている光学像を検出し、検出した光学画像を平滑化し
て２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥候
補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて、
シートの欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に光学的に
透明な部材を接触加圧し、該透明な部材の接触加圧時の
形状変化にもとづいて、欠陥の種類を特定し、それぞれ
の欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変して検査し、
シートをグレード分けして製造することを特徴とする請
求項３記載のシート状部材の製造方法。 - 【請求項１０】シート状部材の表面を反射する光あるい
は透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が
生じている光学像を検出し、検出した光学画像を平滑化
して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥
候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、シートの欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に圧縮
ガスを噴射し、該圧縮ガスを噴射時の形状変化にもとづ
いて、欠陥の種類を特定し、それぞれの欠陥の種類に応
じて欠陥検出感度を可変して検査し、シートをグレード
分けして製造することを特徴とする請求項３記載のシー
ト状部材の製造方法。 - 【請求項１１】シート状部材が、粉体凝固，液体固化，
積層により製造され、波長０．３μｍ〜２０μｍ範囲で
光学的に１％以上透過する物質である請求項１〜１０の
いずれかに記載のシート状部材の製造方法。 - 【請求項１２】前記シート状部材の欠陥はセラミックス
等の母材となるグリーンシートに生じる、ひび割れ，ブ
ローホール（空洞あるいは気泡を含む），へこみ，す
じ，しわ，異物混入，空隙の少なくともいずれかである
請求項１〜１０のいずれかに記載のシート状部材の製造
方法。 - 【請求項１３】前記シート状部材の欠陥は偏光フィルム
等の透明シート状物質の張り合わせ部に生じる、ブロー
ホール（空洞あるいは気泡を含む），異物混入、あるい
はシート表面に生じるへこみ，すじ，しわの少なくとも
いずれかである請求項１〜９のいずれかに記載のシート
状部材の製造方法。 - 【請求項１４】シート状部材の表面を反射する光あるい
はシート内部を透過する光を照射し、光照射によって明
るさの変化が生じている光学画像を検出し、検出した光
学画像を平滑化して２次微分処理し、２次微分処理した
画像から、欠陥候補部に対応した明暗部分抽出用のしき
い値に基づいて、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部の
２次微分処理後の２値画像の、面積Ｓと周囲長Ｌおよび
面積Ｓと周囲長Ｌ2の比の円形度にもとづいて、欠陥の
種類を特定し、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出
感度を可変して検査することを特徴とするシート部材の
欠陥検査方法。 - 【請求項１５】シート状部材の表面を反射する光あるい
はシート内部を透過する光を照射し、光照射によって明
るさの変化が生じている光学画像を検出し、検出した光
学画像を平滑化して２次微分処理し、２次微分処理した
画像から、欠陥候補部に対応した明暗部分抽出用のしき
い値に基づいて、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に
赤外光を照射し、該赤外光の吸収による発熱状態の温度
変化特性にもとづいて、欠陥の種類を特定し、それぞれ
の欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変して検査する
ことを特徴とするシート部材の欠陥検査方法。 - 【請求項１６】シート状部材の表面を反射する光あるい
は透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が
生じている光学画像を検出し、検出した光学画像を平滑
化して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠
陥候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に冷却ガスある
いは加熱ガスを噴射し、該欠陥候補部の放熱状態あるい
は発熱状態の温度変化特性にもとづいて、欠陥の種類を
特定し、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を
可変して検査することを特徴とするシート部材の欠陥検
査方法。 - 【請求項１７】シート状部材の表面を反射する光あるい
は透過する光を照射し、光照射によって明るさの変化が
生じている光学像を検出し、検出した光学画像を平滑化
して２次微分処理し、２次微分処理した画像から、欠陥
候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、シートの欠陥候補部を検出し、該欠陥候補部に光学
的に透明な部材を接触加圧し、該透明な部材の接触加圧
時の形状変化にもとづいて、欠陥の種類を特定し、それ
ぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変して検査
することを特徴とするシート部材の欠陥検査方法。 - 【請求項１８】欠陥候補部を加圧する方法は、シート状
部材の表面を反射する光あるいは透過する光を照射し、
光照射によって明るさの変化が生じている光学像を検出
し、検出した光学画像を平滑化して２次微分処理し、２
次微分処理した画像から、欠陥候補部に対応した明暗部
分抽出用のしきい値に基づいて、シートの欠陥候補部を
検出し、該欠陥候補部に圧縮ガスを噴射し、該圧縮ガス
を噴射時の形状変化にもとづいて、欠陥の種類を特定
し、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変
して検査することを特徴とするシート部材の欠陥検査方
法。 - 【請求項１９】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段と、該検出された欠陥候補の形状
の特徴から欠陥の種類を特定する手段と、該それぞれの
欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変する手段を含む
ことを特徴とするシート状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２０】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段と、該検出された欠陥候補部に光
エネルギーを照射する手段と、該欠陥候補部の温度変化
特性を検出する手段と、該温度変化特性により欠陥の種
類を特定する手段と、該特定した欠陥の種類に応じて欠
陥検出感度を可変する手段を含むことを特徴とするシー
ト状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２１】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段と、該検出された欠陥候補部に冷
却ガスあるいは加熱ガスを噴射する手段と、該欠陥候補
部の放熱状態あるいは発熱状態の温度変化特性に欠陥の
種類を特定する手段と、該特定した欠陥の種類に応じて
欠陥検出感度を可変する手段を含むことを特徴とするシ
ート状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２２】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段と、該検出された欠陥候補部を加
圧する手段と、加圧時の形状変化にもとづいて欠陥の種
類を特定する手段と、該特定した欠陥の種類に応じて欠
陥検出感度を可変する手段を含むことを特徴とするシー
ト状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２３】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段と、該検出された欠陥候補部に圧
縮ガスを噴射する手段と、該圧縮ガスを噴射時の形状変
化にもとづいて欠陥の種類を特定する手段と、該特定し
た欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を可変する手段を含
むことを特徴とするシート状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２４】シート状部材の光学画像を検出する手段
と、該光学画像からシート表面やシート内部に生じる欠
陥候補を検出する手段は、シート状部材の表面を反射す
る光を照射する手段と、該照射手段により照射された光
がシート表面を反射する光学画像を検出する手段と、あ
るいはシート内部を透過する光を照射する手段と、該照
射手段により照射された光がシート内部を透過する光学
画像を検出する手段と、検出する手段によって検出した
光学画像を平滑化する手段と、平滑化する手段によって
平滑化された画像を２次微分処理する手段と、２次微分
処理する手段によって処理された画像から、シートの欠
陥候補部に対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づい
て、欠陥候補部を検出する手段を含む、請求項１９〜２
３のいずれかに記載のシート状部材の欠陥検査装置。 - 【請求項２５】シート状部材の表面を反射する光を照射
する手段と、該照射手段により照射された光がシート表
面を反射する光学画像を検出する手段と、あるいはシー
ト内部を透過する光を照射する手段と、該照射手段によ
り照射された光がシート内部を透過する光学画像を検出
する手段と、検出する手段によって検出した光学画像を
平滑化する手段と、平滑化する手段によって平滑化され
た画像を２次微分処理する手段と、２次微分処理する手
段によって処理された画像から、シートの欠陥候補部に
対応した明暗部分抽出用のしきい値に基づいて、欠陥候
補部を検出する手段と、該欠陥候補部の２次微分処理後
の２値画像の、面積Ｓと周囲長Ｌおよび面積Ｓと周囲長
Ｌ2の比の円形度にもとづいて、欠陥の種類を特定する
手段と、それぞれの欠陥の種類に応じて欠陥検出感度を
可変する手段を含むことを特徴とするシート状部材の欠
陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9153299A JPH112611A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9153299A JPH112611A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112611A true JPH112611A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15559449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9153299A Pending JPH112611A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112611A (ja) |
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