JPWO2020129209A1 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図1を参照して、第一実施形態による欠陥検査装置100の構成について説明する。
Φj=−arctan{(Ij3−Ij1)/(Ij2−Ij0)}・・・(1)
光位相Φjに対して、最小二乗法により正弦波近似を行い、式(2)における近似係数A、θ、Cを求める。
Φj=Acos(θ+jπ/4)+C=Bexp(jπ/4)+C・・・(2)
ただし、Bは、複素振幅であり、式(3)のように、表される。
B=Aexp(iθ):複素振幅・・・(3)
ここで、複素振幅Bは、振動状態を表す画像61を出力するための基となる画像情報(複素振幅の二次元空間情報)である。式(2)から定数項Cを除いた近似式より、振動の各位相時刻ξ(0≦ξ<2π)における光位相変化を表示する動画像(30〜60フレーム)を構成し、振動状態を表す画像61として出力する。なお、上記過程において、ノイズ除去のため複素振幅Bについて適宜空間フィルタが適用されてもよい。また、位相シフト量やレーザ照射タイミングのステップ(上記例ではそれぞれλ/4およびT/8、ただしTは振動の周期)はこれに限らない。この場合、計算式は上記式(1)〜式(3)とは異なる式になる。
次に図2〜4を参照して、各画像と表示部6の表示について、説明する。
次に、図5を参照して、第一実施形態の欠陥検査装置100による欠陥種類特定処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、欠陥種類特定処理は、制御部4により、行われる。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
2 レーザ照明(照明部)
3 スペックル・シェアリング干渉計(測定部)
4 制御部
6 表示部
7 被検査物体
61 振動状態を表す画像
62 欠陥の形状
63 欠陥種類表示
621 欠陥の形状を示す画像
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
2 レーザ照明(照射部)
3 スペックル・シェアリング干渉計(測定部)
4 制御部
6 表示部
7 被検査物体
61 振動状態を表す画像
62 欠陥の形状
63 欠陥種類表示
621 欠陥の形状を示す画像
Claims (7)
- 被検査物体に弾性波を励起する励振部と、
前記励振部により弾性波が励起された状態の前記被検査物体の測定領域にレーザ光を照射する照射部と、
前記測定領域の互いに異なる位置において反射された前記レーザ光を干渉させるとともに、干渉光を測定する測定部と、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記測定領域における前記被検査物体の振動状態を表す画像を取得し、前記振動状態を表す画像から前記測定領域における振動状態の不連続部を欠陥として検出し、検出した欠陥の形状および欠陥部の振動状態のうち少なくとも1つに基づいて、欠陥の種類を特定する制御部と、を備える、欠陥検査装置。 - 前記制御部は、前記振動状態を表す画像から振動状態が不連続になっている領域を前記欠陥の形状として抽出し、前記欠陥の形状が線状の場合には、前記欠陥の種類を亀裂と特定し、前記欠陥の形状が面状の場合には、前記欠陥の種類を剥離と特定する、請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、抽出された前記欠陥の形状の面積と周囲の長さとに基づいて、前記欠陥の種類を特定する、請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、抽出された前記欠陥の形状の面積と周囲の長さとの比に基づいて、前記欠陥の種類を特定する、請求項3に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部により特定された前記欠陥の種類を示す欠陥種類表示を表示する表示部をさらに備え、
前記表示部は、前記欠陥の形状を示す画像および前記振動状態を表す画像のうち少なくとも一方の画像と前記欠陥種類表示とを併せて表示する、請求項1〜4いずれか1項に記載の欠陥検査装置。 - 前記振動状態を表す画像は、振動の変位の経時変化が表示される動画像である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 被検査物体に弾性波を励起し、
弾性波が励起された状態の前記被検査物体の測定領域にレーザ光を照射し、
前記測定領域の互いに異なる位置において反射された前記レーザ光を干渉させるとともに、干渉光を測定し、
測定結果に基づいて、前記測定領域における前記被検査物体の振動状態を表す画像を取得し、前記振動状態を表す画像から前記測定領域における振動状態の不連続部を欠陥として検出し、検出した欠陥の形状および欠陥部の振動状態のうち少なくとも1つに基づいて、欠陥の種類を特定する、欠陥検査方法。
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