JP7480915B2 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
図1~図8を参照して、第1実施形態による欠陥検査装置100の構成について説明する。
第1実施形態による欠陥検査装置100は、図1に示すように、振動子1、レーザ照明2および測定部3を備えている。なお、振動子1は、請求の範囲の「励振部」の一例であり、レーザ照明2は、請求の範囲の「照明部」の一例である。
測定部3は、検査対象物8の表面80から反射する第1光路21を経るレーザ光の干渉光を、イメージセンサ36における受光領域30の領域30a(図4参照)において受光することにより、第1干渉画像71を取得するように構成されている。また、測定部3は、検査対象物8の表面80から反射する第2光路22を経るレーザ光の各々の干渉光を、イメージセンサ36における受光領域30の領域30b(図4参照)において受光することにより、第2干渉画像72を取得するように構成されている。
Φj=-arctan{(Ij3-Ij1)/(Ij2-Ij0)}・・・(1)
光位相Φjに対して、最小二乗法により正弦波近似を行い、式(2)における近似係数A、θ、Cを求める。
Φj=Acos(θ+jπ/4)+C=Bexp(jπ/4)+C・・・(2)
ただし、Bは、複素振幅であり、式(3)のように、表される。
B=Aexp(iθ):複素振幅・・・(3)
ここで、複素振幅Bは、検査対象物8の測定領域における振動の状態を表す動画像(振動状態の空間分布画像)を出力するための基となる画像情報(複素振幅の二次元空間情報)である。式(2)から定数項Cを除いた近似式より、振動の各位相時刻ξ(0≦ξ<2π)における光位相変化を表示する動画像(30~60フレーム)が構成され、検査対象物8の測定領域における振動の状態を表す動画像(振動状態の空間分布画像)として出力される。振動の状態を表す動画像(振動状態の空間分布画像)出力するための画像は、干渉画像70(第1干渉画像71および第2干渉画像72)を用いてもよいし、合成画像73を用いてもよい。また、制御部5は、第1干渉画像71および第2干渉画像72の各々を用いて、振動の状態を表す動画像(振動状態の空間分布画像)をそれぞれ出力し、第1干渉画像71および第2干渉画像72の各々を用いて出力した2種類の振動の状態を表す動画像(振動状態の空間分布画像)を合成処理してもよい。
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
図9~図14を参照して、第2実施形態による欠陥検査装置200の構成について説明する。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。図9は、第1光路221に沿った方向に反射する光の撮像に関わる光の収束および発散状態の一例を示している。また、図10は、第2光路222に沿った方向に反射する光の撮像に関わる光の収束および発散状態の一例を示している。
第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
図15~図20を参照して、第3実施形態による欠陥検査装置300の構成について説明する。なお、図中において、上記第1および第2実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
第3実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
図21~図24を参照して、第4実施形態による欠陥検査装置400の構成について説明する。なお、図中において、上記第1~第3実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。
図25~図31を参照して、第5実施形態による欠陥検査装置500の構成について説明する。なお、図中において、上記第1~第4実施形態と同様の構成の部分には、同一の符号を付している。そして、図25は、第1光路521に沿った方向に反射する光の撮像に関わる光の収束および発散状態の一例を示している。また、図26は、第2光路522に沿った方向に反射する光の撮像に関わる光の収束および発散状態の一例を示している。
第5実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
検査対象物に弾性波振動を付与して励起する励振部と、
前記励振部により弾性波振動が励起された状態の前記検査対象物にレーザ光を照射する照射部と、
前記検査対象物により反射された前記レーザ光の位相を変化させ、位相変化前後の前記レーザ光同士を干渉させるとともに、干渉光を測定する測定部と、を備え、
前記測定部は、前記照射部から照射され、前記検査対象物から前記測定部に向かって反射する第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記照射部から照射され、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、欠陥検査装置。
前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光する光学系をさらに備え、
前記測定部は、前記光学系を介さずに前記検査対象物から直接前記測定部に向かって反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記光学系によって前記測定部に向かって導光される前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、項目1に記載の欠陥検査装置。
前記測定部は、前記検査対象物から前記測定部に向かって反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光と、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射し、前記光学系によって前記測定部に向かって導光される前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光とを撮像する共通の撮像部を含む、項目2に記載の欠陥検査装置。
前記測定部は、前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う正面方向に向かって前記検査対象物から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記正面方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記検査対象物の表面に対して斜め方向に向かって反射する前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記斜め方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、項目1~3のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
前記測定部は、前記光学系を介さずに前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う正面方向に向かって前記検査対象物から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記正面方向から見た振動状態を表す第1干渉画像を取得するとともに、前記レーザ光が前記測定部に向かう前記第1光路に向かって反射する前記検査対象物の表面と共通の表面に対して、前記第1光路とは異なり、斜め方向に向かって反射する前記第2光路を経て、前記光学系によって導光されることにより前記測定部に向かって導光される前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記斜め方向から見た振動状態を表す第2干渉画像を取得するように構成されている、項目3に記載の欠陥検査装置。
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路以外の位置に設けられ、前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記検査対象物の共通の表面から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光および前記第2光路を経る前記レーザ光の各々の干渉光を、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に対応して複数に分割された前記受光領域の複数の領域のそれぞれにおいて受光することにより、前記第1干渉画像および前記第2干渉画像を同時に取得するように構成されている、項目5に記載の欠陥検査装置。
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記測定部は、前記撮像部の前記受光領域の共通の領域において受光する前記レーザ光の干渉光を、前記検査対象物の共通の表面から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光のそれぞれに切り替えることにより、前記第1干渉画像および前記第2干渉画像のそれぞれを取得するように構成されている、項目5に記載の欠陥検査装置。
前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う前記正面方向から見た振動状態を表す前記第1干渉画像と、前記検査対象物の測定領域における前記検査対象物の表面に対して斜め方向から見た振動状態を表す前記第2干渉画像とを合成処理した合成画像を取得するように構成されている画像処理部をさらに備える、項目5~7のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
前記画像処理部は、前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う前記正面方向から見た振動状態を表す前記第1干渉画像と、前記検査対象物の測定領域における前記検査対象物の表面に対して前記斜め方向から見た振動状態を表す前記第2干渉画像とのうち、少なくとも前記第2干渉画像のひずみを補正するように構成されている、項目8に記載の欠陥検査装置。
前記検査対象物は、曲面を有する対象物であり、
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路以外の位置に設けられ、前記レーザ光が前記測定部に向かう前記第1光路に向かって反射する前記曲面を有する前記検査対象物の測定領域とは異なる測定領域から反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記検査対象物の互いに異なる測定領域から反射される前記第1光路を経る前記レーザ光および前記第2光路を経る前記レーザ光の各々の干渉光を、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に対応して複数に分割された前記撮像部の前記受光領域の複数の領域のそれぞれにおいて受光することにより、前記曲面を有する前記検査対象物の互いに異なる測定領域の振動状態を表す干渉画像を同時に取得するように構成されている、項目3に記載の欠陥検査装置。
前記検査対象物は、曲面を有する対象物であり、
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路を経る前記レーザ光が前記測定部に向かって反射する前記曲面を有する前記検査対象物の測定領域とは異なる測定領域から反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記撮像部の前記受光領域の共通の領域において受光する前記レーザ光の干渉光を、前記曲面を有する前記検査対象物の互いに異なる測定領域から反射される、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光のそれぞれに切り替えることにより、異なる測定領域の前記曲面を有する前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像をそれぞれ取得するように構成されている、項目3に記載の欠陥検査装置。
前記検査対象物の前記曲面の曲率に基づいて、取得した前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像の少なくとも前記検査対象物の前記曲面に沿った方向における長さを補正するように構成されている画像処理部をさらに備える、項目10または11に記載の欠陥検査装置。
前記測定部は、前記検査対象物の複数の測定領域において、振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されており、
前記画像処理部は、前記検査対象物の前記曲面に沿った方向において、複数の測定領域における振動状態を表す干渉画像を連続的に連結するように構成されている、項目12に記載の欠陥検査装置。
検査対象物に弾性波振動を付与して励起し、
弾性波振動が励起された状態の前記検査対象物にレーザ光を照射し、
前記検査対象物により反射された前記レーザ光の位相を変化させ、位相変化前後の前記レーザ光同士を干渉させるとともに、干渉光を測定する測定部に向かって反射する第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得する、欠陥検査方法。
2 レーザ照明(照射部)
3 測定部
4、204、304、504 光学系
5 制御部(画像処理部)
8、308 検査対象物
21、221、321、421、521 第1光路
22、222、322、422、522 第2光路
30、230、330、430、530 受光領域
30a、30b、330a、330b、430a、430b、430c、430d 領域
36、236、336、436、536 イメージセンサ(撮像部)
70、370、470 干渉画像
71、271 第1干渉画像
72、272 第2干渉画像
73、273 合成画像
80 (検査対象物の)表面
100、200、300、400、500、600 欠陥検査装置
380 (検査対象物の)曲面
371、372、471、472、473、474、571、572 干渉画像
Claims (14)
- 検査対象物に弾性波振動を付与して励起する励振部と、
前記励振部により弾性波振動が励起された状態の前記検査対象物にレーザ光を照射する照射部と、
前記検査対象物により反射された前記レーザ光の位相を変化させ、位相変化前後の前記レーザ光同士を干渉させるとともに、干渉光を測定する測定部と、を備え、
前記測定部は、前記照射部から照射され、前記検査対象物から前記測定部に向かって反射する第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記照射部から照射され、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、欠陥検査装置。 - 前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光する光学系をさらに備え、
前記測定部は、前記光学系を介さずに前記検査対象物から直接前記測定部に向かって反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記光学系によって前記測定部に向かって導光される前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、請求項1に記載の欠陥検査装置。 - 前記測定部は、前記検査対象物から前記測定部に向かって反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光と、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射し、前記光学系によって前記測定部に向かって導光される前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光とを撮像する共通の撮像部を含む、請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記測定部は、前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う正面方向に向かって前記検査対象物から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記正面方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記検査対象物の表面に対して斜め方向に向かって反射する前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記斜め方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されている、請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記測定部は、前記光学系を介さずに前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う正面方向に向かって前記検査対象物から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記正面方向から見た振動状態を表す第1干渉画像を取得するとともに、前記レーザ光が前記測定部に向かう前記第1光路に向かって反射する前記検査対象物の表面と共通の表面に対して、前記第1光路とは異なり、斜め方向に向かって反射する前記第2光路を経て、前記光学系によって導光されることにより前記測定部に向かって導光される前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記斜め方向から見た振動状態を表す第2干渉画像を取得するように構成されている、請求項3に記載の欠陥検査装置。
- 前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路以外の位置に設けられ、前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記検査対象物の共通の表面から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光および前記第2光路を経る前記レーザ光の各々の干渉光を、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に対応して複数に分割された前記受光領域の複数の領域のそれぞれにおいて受光することにより、前記第1干渉画像および前記第2干渉画像を同時に取得するように構成されている、請求項5に記載の欠陥検査装置。 - 前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記測定部は、前記撮像部の前記受光領域の共通の領域において受光する前記レーザ光の干渉光を、前記検査対象物の共通の表面から反射する前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光のそれぞれに切り替えることにより、前記第1干渉画像および前記第2干渉画像のそれぞれを取得するように構成されている、請求項5に記載の欠陥検査装置。 - 前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う前記正面方向から見た振動状態を表す前記第1干渉画像と、前記検査対象物の測定領域における前記検査対象物の表面に対して斜め方向から見た振動状態を表す前記第2干渉画像とを合成処理した合成画像を取得するように構成されている画像処理部をさらに備える、請求項5に記載の欠陥検査装置。
- 前記画像処理部は、前記検査対象物の表面と直交する方向に沿って前記測定部に向う前記正面方向から見た振動状態を表す前記第1干渉画像と、前記検査対象物の測定領域における前記検査対象物の表面に対して前記斜め方向から見た振動状態を表す前記第2干渉画像とのうち、少なくとも前記第2干渉画像のひずみを補正するように構成されている、請求項8に記載の欠陥検査装置。
- 前記検査対象物は、曲面を有する対象物であり、
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路以外の位置に設けられ、前記レーザ光が前記測定部に向かう前記第1光路に向かって反射する前記曲面を有する前記検査対象物の測定領域とは異なる測定領域から反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記検査対象物の互いに異なる測定領域から反射される前記第1光路を経る前記レーザ光および前記第2光路を経る前記レーザ光の各々の干渉光を、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に対応して複数に分割された前記撮像部の前記受光領域の複数の領域のそれぞれにおいて受光することにより、前記曲面を有する前記検査対象物の互いに異なる測定領域の振動状態を表す干渉画像を同時に取得するように構成されている、請求項3に記載の欠陥検査装置。 - 前記検査対象物は、曲面を有する対象物であり、
前記撮像部は、前記測定部が干渉させた前記レーザ光の干渉光を受光する受光領域を有しており、
前記光学系は、前記第1光路を経る前記レーザ光が前記測定部に向かって反射する前記曲面を有する前記検査対象物の測定領域とは異なる測定領域から反射する前記第2光路を経る前記レーザ光を前記測定部に向かって導光するように構成されており、
前記測定部は、前記撮像部の前記受光領域の共通の領域において受光する前記レーザ光の干渉光を、前記曲面を有する前記検査対象物の互いに異なる測定領域から反射される、前記第1光路を経る前記レーザ光の干渉光および前記第2光路を経る前記レーザ光の干渉光のそれぞれに切り替えることにより、異なる測定領域の前記曲面を有する前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像をそれぞれ取得するように構成されている、請求項3に記載の欠陥検査装置。 - 前記検査対象物の前記曲面の曲率に基づいて、取得した前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像の少なくとも前記検査対象物の前記曲面に沿った方向における長さを補正するように構成されている画像処理部をさらに備える、請求項10に記載の欠陥検査装置。
- 前記測定部は、前記検査対象物の複数の測定領域において、振動状態を表す干渉画像を取得するように構成されており、
前記画像処理部は、前記検査対象物の前記曲面に沿った方向において、複数の測定領域における振動状態を表す干渉画像を連続的に連結するように構成されている、請求項12に記載の欠陥検査装置。 - 検査対象物に弾性波振動を付与して励起し、
弾性波振動が励起された状態の前記検査対象物にレーザ光を照射し、
前記検査対象物により反射された前記レーザ光の位相を変化させ、位相変化前後の前記レーザ光同士を干渉させるとともに、干渉光を測定する測定部に向かって反射する第1光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第1光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得するとともに、前記検査対象物から前記第1光路とは異なる方向に向かって反射する第2光路を経る前記レーザ光の干渉光に基づいて、前記第2光路に沿った方向から見た前記検査対象物の振動状態を表す干渉画像を取得する、欠陥検査方法。
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