JPH0354438A - ドラム状物体の表面検査装置 - Google Patents
ドラム状物体の表面検査装置Info
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- JPH0354438A JPH0354438A JP19080389A JP19080389A JPH0354438A JP H0354438 A JPH0354438 A JP H0354438A JP 19080389 A JP19080389 A JP 19080389A JP 19080389 A JP19080389 A JP 19080389A JP H0354438 A JPH0354438 A JP H0354438A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はドラム状物体の表面検査装置に関する．〔わ１
東の技術〕 屯１゛写真複写機の各種プリンターに用レ゛１られる感
光体 ラムはその表面、特に外周面にごみ、傷などの欠
陥があると，即、画像品質の低下をきたすので，予め欠
陥の有無及びその程度の検査が行なわれる。
東の技術〕 屯１゛写真複写機の各種プリンターに用レ゛１られる感
光体 ラムはその表面、特に外周面にごみ、傷などの欠
陥があると，即、画像品質の低下をきたすので，予め欠
陥の有無及びその程度の検査が行なわれる。
感光体ドラムに感光体を塗布した最終検査は目視で行な
われているのが現状である。感光体ドラムの欠陥として
は、■ごみが付着したまま感光体を塗布したため起きる
感光層の盛り上り、感光体のビンホール、塗布厚のむら
など、■感光体ドラム素管の傷による塗布むら、■塗布
後に発生する傷，■塗布工程で発生する塗布むら、■そ
の他の欠陥など、１０数種類の欠陥が確認されている。
われているのが現状である。感光体ドラムの欠陥として
は、■ごみが付着したまま感光体を塗布したため起きる
感光層の盛り上り、感光体のビンホール、塗布厚のむら
など、■感光体ドラム素管の傷による塗布むら、■塗布
後に発生する傷，■塗布工程で発生する塗布むら、■そ
の他の欠陥など、１０数種類の欠陥が確認されている。
一方、この種の検査手段として従来、次の方法が知られ
ている。
ている。
（′Ｄオブティ力ルフラットを用いて、感光体ドラムと
の干渉縞で検査する方法（特開昭６２−５２４０８号公
報参照）． （■レーザー光をポリゴンミラーで走査して、ごろなど
の異物を検出する方法で、主として半導体焼付１１のレ
チクル面上に存在するごみを検出する方法（特開昭６１
− ２４３３４７号公報参照）。
の干渉縞で検査する方法（特開昭６２−５２４０８号公
報参照）． （■レーザー光をポリゴンミラーで走査して、ごろなど
の異物を検出する方法で、主として半導体焼付１１のレ
チクル面上に存在するごみを検出する方法（特開昭６１
− ２４３３４７号公報参照）。
（釦回転円板の表面にビームを照射し、反射光の空間的
強度分布を検出することにより検査する方法（特開昭６
３−４２４５３号公報参照）。
強度分布を検出することにより検査する方法（特開昭６
３−４２４５３号公報参照）。
（′２Ｄテレビカメラで物体形状を入力し、画像処理に
よって欠陥を検出する方法（特開昭６１−７４０６号公
報参照）． 〔発明が解決しようとする課題〕 前記した各従来技術は、■については、干渉縞を目視で
検査するため，効率上の問題があり、また，感光体ドラ
ムとオプティ力ルフラットの間隔を数１００μ一にしな
ければ傷をつけやすい，■については、ごみの有無は検
査できるものの散乱光を検知しているため感光体ドラム
の感光層の塗布むらを検知しにくい、■については，■
と同様に感光体ドラムの感光層の塗布むらを検知しにく
い、■については，カメラの深度、画角の点で感光体ド
ラムの如き曲率表面を有する物体の表面状態の入力が困
難であるなど個々に問題がある他、前記■〜■までの欠
陥の全てを前記■〜■の方法で検査することは困難であ
る。
よって欠陥を検出する方法（特開昭６１−７４０６号公
報参照）． 〔発明が解決しようとする課題〕 前記した各従来技術は、■については、干渉縞を目視で
検査するため，効率上の問題があり、また，感光体ドラ
ムとオプティ力ルフラットの間隔を数１００μ一にしな
ければ傷をつけやすい，■については、ごみの有無は検
査できるものの散乱光を検知しているため感光体ドラム
の感光層の塗布むらを検知しにくい、■については，■
と同様に感光体ドラムの感光層の塗布むらを検知しにく
い、■については，カメラの深度、画角の点で感光体ド
ラムの如き曲率表面を有する物体の表面状態の入力が困
難であるなど個々に問題がある他、前記■〜■までの欠
陥の全てを前記■〜■の方法で検査することは困難であ
る。
本発明は、前記■〜■の全ての欠陥を検査できると共に
前記《Ｄ〜■における問題も解消することのできるドラ
ム状物体の表面検査装置を提供することを目的としてい
る． 〔課題を解決するたるの手段〕 上記目的を達成するために、本発明の表面検査装置にお
いては，ドラム状被検物を回転させる回転手段と、被検
物表面の反射強度を読み取るセンサーアレイと，センサ
ーアレイの出力信号を処理して被検物表面の欠陥を検出
する画像処理手段を有することとした。
前記《Ｄ〜■における問題も解消することのできるドラ
ム状物体の表面検査装置を提供することを目的としてい
る． 〔課題を解決するたるの手段〕 上記目的を達成するために、本発明の表面検査装置にお
いては，ドラム状被検物を回転させる回転手段と、被検
物表面の反射強度を読み取るセンサーアレイと，センサ
ーアレイの出力信号を処理して被検物表面の欠陥を検出
する画像処理手段を有することとした。
機械的に駆動される被検物表面からの反射光がセンサに
受光され、その出力が画像処理されて検査情報に供され
る。
受光され、その出力が画像処理されて検査情報に供され
る。
本発明に係る表面検査装置の一例を説明した第１図にお
いて、被検物たるドラム状の感光体ｌは駆動モーター７
でベルト８を介して矢印で示す１方向に適当な速度で回
転するようになっている。
いて、被検物たるドラム状の感光体ｌは駆動モーター７
でベルト８を介して矢印で示す１方向に適当な速度で回
転するようになっている。
而して、藺動モーター７及びベルト８は本発明にいう回
転手段の一例である。
転手段の一例である。
また、感光体Ｉの表面は照明装置４で照明されるように
なっており、さらにこの照明による感光体からの反射光
は等倍結像素子２を介してセンサ一アレイ３に表面状態
を示す情報として結像されるようになっている．ここで
、照明装Ｉｔ４としては螢光灯，ハロゲンランプ．ＬＥ
Ｄアレイなどから任意のものを用いる。また、等倍結像
素子は屈折率分布型のレンズアレイ，レンズアレイとル
ーフミラーより構成されるルーフミラーレンズアレイな
どから任意のものを用いる． さて，感光体１を回転中に照明装置４を発光させると，
センサーアレイ３は感光体ｌからの反射光を受光する。
なっており、さらにこの照明による感光体からの反射光
は等倍結像素子２を介してセンサ一アレイ３に表面状態
を示す情報として結像されるようになっている．ここで
、照明装Ｉｔ４としては螢光灯，ハロゲンランプ．ＬＥ
Ｄアレイなどから任意のものを用いる。また、等倍結像
素子は屈折率分布型のレンズアレイ，レンズアレイとル
ーフミラーより構成されるルーフミラーレンズアレイな
どから任意のものを用いる． さて，感光体１を回転中に照明装置４を発光させると，
センサーアレイ３は感光体ｌからの反射光を受光する。
受光された信号は画像処理装置５で後述するような方法
で画像処理されて感光体表面の欠陥が検知され表示装置
６に出力される。
で画像処理されて感光体表面の欠陥が検知され表示装置
６に出力される。
次に，第２図により画像処理装置５における画像処理の
手順について説明する． ステップ（１）でセンサーアレイ３に信号入力があった
とする．すると１ラインずつ読み取られた情報は感光体
ｌが１回転する分だけメモリー（図示されず）に貯えら
れる。そして、ステップ（２）で，予め欠陥のない部分
で読み取ってあった基準信号と．＠に感光体ｌの回転で
読み取られた情報信号との差をとることにより照度むら
が補正される。
手順について説明する． ステップ（１）でセンサーアレイ３に信号入力があった
とする．すると１ラインずつ読み取られた情報は感光体
ｌが１回転する分だけメモリー（図示されず）に貯えら
れる。そして、ステップ（２）で，予め欠陥のない部分
で読み取ってあった基準信号と．＠に感光体ｌの回転で
読み取られた情報信号との差をとることにより照度むら
が補正される。
欠に．ステップ（３）のフィルター処理により、エッジ
強調を行なう。エッジ強調フィルターとしては第３図（
ａ）． （ｂ）に示すようなｌ次微分フィルター或いは
第３図（Ｃ）に示すような２次微分フィルターがある。
強調を行なう。エッジ強調フィルターとしては第３図（
ａ）． （ｂ）に示すようなｌ次微分フィルター或いは
第３図（Ｃ）に示すような２次微分フィルターがある。
なお，エッジ強調の具体的な手法については周知であり
、例えば画像処理ハンドブック２８０頁〜２８４頁（昭
晃堂刊）による。
、例えば画像処理ハンドブック２８０頁〜２８４頁（昭
晃堂刊）による。
これらのエッジ強調フィルターで欠陥が強調された画像
はステップ（４）で２値化され，欠陥のみが検出される
。
はステップ（４）で２値化され，欠陥のみが検出される
。
さらに，ステップ（５）の画像解析計算処理においてそ
れぞれの欠陥の大きさ、長さなどが計算され，規定の大
きさより大きい場合は欠陥として抽出される。
れぞれの欠陥の大きさ、長さなどが計算され，規定の大
きさより大きい場合は欠陥として抽出される。
そして，これらの結果は表示装置６に表示される。
本発明によれば，ドラム状感光体の周面部の欠陥が自動
的に測定でき，検査の効率が向上する。
的に測定でき，検査の効率が向上する。
また、検査の精度が高いので、従来，目視で見逃がされ
ていた欠陥も検出できる。
ていた欠陥も検出できる。
第ｌ図は本発明に係る表面検査装置の構或を説明した図
、第２図は画像処理の工程図，第３図はエノシ検出用の
マスクパターンを例示した図である。 ｌ・・・・感光体、３・・・・センサーアレイ，５・・
・・画像処理装置、７・・・・駆動モーターｂ ４ 図
、第２図は画像処理の工程図，第３図はエノシ検出用の
マスクパターンを例示した図である。 ｌ・・・・感光体、３・・・・センサーアレイ，５・・
・・画像処理装置、７・・・・駆動モーターｂ ４ 図
Claims (1)
- ドラム状被検物を回転させる回転手段と、被検物表面の
反射強度を読み取るセンサーアレイと、センサーアレイ
の出力信号を処理して被検物表面の欠陥を検出する画像
処理手段を有することを特徴とするドラム状物体の表面
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19080389A JPH0354438A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ドラム状物体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19080389A JPH0354438A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ドラム状物体の表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354438A true JPH0354438A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16264004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19080389A Pending JPH0354438A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ドラム状物体の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0354438A (ja) |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP19080389A patent/JPH0354438A/ja active Pending
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