JP2000088761A - 円筒状被検物の表面検査装置 - Google Patents
円筒状被検物の表面検査装置Info
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Abstract
品種の感光体ドラムについて、端部表面の凸欠陥を簡単
な構成、簡便な操作で検出する。 【解決手段】 感光体ドラムを回転自在にセットし、回
転自在に設けた接触ローラの表面を所定圧力で感光体ド
ラムの表面に接触させ、該ドラム表面の凸欠陥に対応す
る接触ローラの変位量を測定する検査ユニットを備えた
表面検査装置において、検査ユニット10を接触ローラ
15の変位方向Abに平行なAa方向に前後動させるス
ライド機構20を設ける。感光体ドラム1(直径が
大)、2(直径が小)の凸欠陥を検出する場合には、ス
ライド機構20により検査ユニット10をリニアガイド
24と一体で感光体ドラム側に前進させ、接触ローラ1
5を所定の圧力で感光体ドラムに接触させる。この装置
によれば、接触ローラ15の変位量から直接、凸欠陥の
高さを判定することができる。
Description
面検査装置に関し、特に、電子写真方式の画像形成装置
を構成する感光体ドラム表面の凸欠陥の検出装置に関す
るものである。
機の構造および、これによる複写プロセスについて図8
を基に説明する。この複写機の基本構成は良く知られて
おり、201は感光体ドラム、202は露光器、203
はトナーボックス、204はトナー供給ローラ、205
は現像ローラ、206は現像剤攪拌ローラ、207はト
ナーセンサ、208は固定ガイド、209は現像器、2
10はコロナ帯電器、211は除電器、212はクリー
ナ、213は転写器、214は分離器、215は定着器
である。さらに、216はトナー、217はキャリア、
218は記録紙である。
ナ帯電器210で感光体ドラム201表面(外周面)を
均一に帯電させる。次に、露光器202により画像部以
外のところに光を当て、光の当たった帯電電荷を除去
し、画像部に電荷を残した静電潜像を形成する。現像部
では、静電潜像と逆極性に帯電した着色微粒子であるト
ナーを潜像に付着させて可視画像とする。続いて記録紙
218をこのトナー像に付着させて、記録紙218の裏
側からコロナ帯電器210でトナーの帯電極性とは逆極
性の電荷を記録紙218に与え、静電力によりトナー像
を記録紙218に転写する。転写されたトナー像に熱あ
るいは圧力を与え、記録紙218に融着させて永久像と
する。一方、転写されずに感光体ドラム201に残った
残留トナーはクリーナ212で除去される。また、感光
体ドラム201上の潜像電荷は光により除去される。こ
の帯電から除電に至る一連のプロセスを繰り返すことに
より連続的に印写が行われる。
正しく付着されるためには、現像ローラ205と感光体
ドラム201とのギャップを一定に保つ必要がある。そ
のため、例えば図8に示すように、現像ローラ205に
上記固定ガイド208を設け、このガイド208に感光
体ドラム201を両端を突き当てて回転させるような機
構が用いられる。この際、感光体ドラム201の両端1
0mm程度が固定ガイド208に当接するガイド部にな
っていれば充分である。
いる感光体ドラム201は、図9(a)(b)に示すよ
うに、両端部表面のうち10mm程度の部分が金属面2
01aになっており、この面には感光体が塗布されてい
ない。もしも、この部分に凸欠陥(突起状欠陥)がある
とギャップ量が変化して良好な転写ができなくなるた
め、このような感光体ドラムは使用するべきでない。
金属面201aを含む長さ17.5mmの範囲は実際に
は非画像領域であるため、機能上は濃淡欠陥(色ムラ、
白ポチ、白斑点、黒ポチ等)があってもかまわない。実
際に、金属面201aと感光体塗布面201bとの境界
部から数mm程度の部分には、良品であっても図9
(b)のように色ムラがある。しかし、前述のように、
残留トナーを除去するクリーナ212の先端部を傷つけ
る可能性のある凸欠陥があってはならない。つまり、感
光体ドラム両端部の非画像領域では凸欠陥の有無を検出
し、その凸欠陥の高さによって良否判定する必要があ
る。なお工程上、凸欠陥は金属面201aと感光体塗布
面201bとの境界部に最も発生しやすい。
置として、特開平2−201142号公報(発明の名
称:感光層表面の異常検出方法)や、特開平4−169
840号公報(発明の名称:円周表面傷検査方法および
装置)に開示されているものがある。特開平2−201
142号公報の装置では、図10に示すように光源31
1からのレーザ光を回転多面鏡313を介して感光体ド
ラム330の長手方向に順次走査する。この走査光は感
光体ドラム330の感光層表面においてその長手方向に
対して所定角度で反射し、受光器320に進入し、光電
子倍増管322によって光強度が検出され、所定の演算
処理装置に入力される。このような動作が順次繰り返さ
れることにより、感光体ドラム330の全面にレーザ光
が走査されて、その表面の異状が検出される。なお、図
10において318,319は反射鏡、315はステッ
ピングモータ、316はステージである。
置では、図11に示すように、ハロゲン光源等を備えた
投光器401から感光体ドラム403へ向けてスリット
光402が投射される。感光体ドラム403の表面欠陥
によって散乱した散乱光はレンズ404によって集光さ
れ、ラインセンサ405で受光される。405aはライ
ンセンサ405の画素列、406はラインセンサ405
の受光範囲である。
いずれにおいても、受光量の変化によって表面欠陥を検
出するものであるため、欠陥の大きさ(面積)は計算で
きるが、欠陥の高さに関する情報を得ることはできない
という問題がある。また、これらの装置は、欠陥のない
正常部は均一であることが前提である。したがって、図
9の感光体ドラムの両端のように表面形状が異なるもの
や、良品であっても不均一な領域が存在する被検物に対
しては、検出そのものが不可能であったり、検出できた
としても良品との区別ができなかったりする問題もあ
る。
明の名称:被測定体の凹凸測定法)に開示された装置
(図略)では変位計を直接、円筒状被検物に接触させ
て、その真円度や凹凸量を測定するように構成され、変
位計の幅で測定領域が限定されている。しかしながら、
上記感光体ドラム端部の凸欠陥検査にこの装置を応用す
る場合、変位計を感光体ドラムの長手方向に移動させな
がら何周分も測定しなければならず、検査時間が非常に
長くなってしまう。そこで渦電流式、静電容量式のよう
にある程度の幅を測定できる変位計を用いることが考え
られるが、この場合にも、凸欠陥のような直径数十μm
程度の測定対象に対しては正しい変位量が測定できな
い。この装置はあくまで、円筒状被検物の真円度や回転
振れを測定するためのものにすぎず、欠陥を検出するた
めに適したものとは言えない。
陥、特に感光体ドラムの両端部表面の凸欠陥を確実に検
出することができる装置として、図12(a)(b)に
示すものを検討中である。この凸欠陥検出装置500で
は、底板501の一端部に固定板502が固着され、底
板501上にはリニアガイド(スライドガイド)503
が固定され、このガイド503上に変位測定板504が
前後動可能に設けられ、この変位測定板504の片側に
接触ローラ505が自由回転可能に設けられている。5
04aは変位測定板504の下端部に固着したスライダ
である。
502に固定され、他端部が変位測定板504に固定さ
れている。また、固定板502には距離変位計507が
固定されている。この距離変位計507は、変位測定板
504・固定板502間の距離を測定するためのもので
ある。一方、感光体ドラム510の両端部は図13のよ
うにチャック511,512で固定され、チャック51
1にはカップリング513を介して回転モータ514が
連結されている。
の表面と感光体ドラム510の端部表面とを適当な圧力
で接触させ、圧縮ばね506がある程度縮んだ状態に維
持する。ここで回転モータ514によって感光体ドラム
510を回転させると、接触ローラ505が連れ回る。
この状態で感光体ドラム510を1回転させ、固定板5
02と変位測定板504との距離を距離変位計507で
測定する。
10の表面に凸欠陥があれば、接触ローラ505がその
凸欠陥により図12(a)(b)中、左向きに微小距離
だけ押されるため、結果的に固定板502と変位測定板
504との距離が近くなる。また、凸欠陥がなくなれ
ば、圧縮ばね506の弾性力で変位測定板504が元の
位置に戻るので、変位測定板504のこれら微小変位量
を距離変位計507で測定し、記録する。
検出結果の一例を示すグラフであり、縦軸(変位)の
「近い」は、凸欠陥があるため変位測定板504が固定
板502に対して、凸欠陥のない正常な場合に比べて、
より近い位置にあることを示ている。また、図14の
「変位」量に適当な閾値を設定することで凸欠陥を検出
することが可能であり、上記グラフ中の「谷」の部分は
凸欠陥信号を示している。換言すると、感光体ドラムと
しては、図14のグラフが横軸に平行な直線になるもの
が望ましい。
ムの生産ラインでは、電子写真方式の画像形成装置(例
えば複写機)の様々な仕様に対応して、長さ・直径や、
端部凸欠陥の検査幅(「幅」とは、感光体ドラムの軸方
向の寸法を意味する)が種々に異なる感光体ドラムが数
日単位で生産される場合がしばしば生じる。しかしなが
ら、上記図12の凸欠陥検出装置では、このような多品
種の感光体ドラムに対応することができない。
査装置の問題点に鑑みなされたもので、その目的は円筒
状被検物表面の凹凸、特に感光体ドラム表面の凸欠陥、
あるいは円筒状被検物の真円度を簡単な構成、簡便な操
作で検出することができ、特に複数品種の感光体ドラム
に的確に対応することができる、円筒状被検物の表面検
査装置を提供することにある。
検物の表面検査装置は、円筒状の被検物を回転自在にセ
ットし、回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被
検物の表面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する
上記ローラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円
筒状被検物の表面検査装置において、上記検査ユニット
を上記ローラの変位方向(被検物の軸直角断面の中心点
と、ローラの軸直角断面の中心点とを結ぶ線分の方向)
に平行な方向に移動させる移動機構を設けたことを特徴
とするものである。
置は、円筒状の被検物を回転自在にセットし、回転自在
に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表面に接触
させ、該被検物表面の形状に対応する上記ローラの変位
量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検物の表面
検査装置において、上記検査ユニットを上記ローラの軸
直角断面において該ローラの変位方向と交差する方向に
移動させる移動機構を設けたことを特徴とする。
置は、円筒状の被検物を回転自在にセットし、回転自在
に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表面に接触
させ、該被検物表面の形状に対応する上記ローラの変位
量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検物の表面
検査装置において、上記検査ユニットを上記ローラの中
心軸線に平行な方向(被検物の長手方向)に移動させる
移動機構を設けたことを特徴とする。
置は、請求項1,2または3において上記検査ユニット
が上記ローラを着脱自在に備えていることを特徴とす
る。
置は、請求項3において、上記ローラの幅を検査規格が
最大の被検物に対応させたことを特徴とする。
置は、円筒状の被検物を回転自在にセットし、回転自在
に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表面に接触
させ、該被検物表面の形状に対応する上記ローラの変位
量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検物の表面
検査装置において、上記検査ユニットを上記ローラの変
位方向に平行な方向に移動させる第1の移動機構と、上
記検査ユニットを上記ローラの中心軸線に平行な方向に
移動させる第2の移動機構とが設けられ、上記検査ユニ
ットは上記ローラを着脱自在に備えていることを特徴と
する。
置は、請求項1〜6のいずれか一つの項において、被検
物の外観検査を行う光学的検査機構を設けたことを特徴
とする。
面を参照しながら説明する。 実施の形態1(請求項1に係るもの) 図1は円筒状被検物の表面検査装置の構成を示すもの
で、(a)は平面図、(b)は正面図である。この装置
は感光体ドラムの両端部表面の凸欠陥を検出するための
ものである。この装置では、図12に示す凸欠陥検出装
置500と実質的に同一構造の装置を検査ユニット(凸
欠陥検出ユニット)10とする。すなわち図1におい
て、検査ユニット10を底板11、固定板12、スライ
ドガイド13、変位測定板14、スライダ14a、接触
ローラ15、圧縮ばね16および距離変位計17を設け
て構成する。
の変位方向(感光体ドラム1または2の軸直角断面の中
心点と、接触ローラ15の軸直角断面の中心点とを結ぶ
線分の方向Ac)に平行な方向に移動させる移動機構と
してスライド機構20を設けたものである。このような
構成の表面検査装置を感光体ドラムの両端に対応して2
つ並列に配備する。なお、以下説明の便宜上、感光体ド
ラムの両端部のうち図面上側の端部を「上端」と呼び、
下側の端部を「下端」ということがある。
ジ23を連結した正逆転可能なモータ22をベースプレ
ート21上に固定する。ボールネジ23にリニアガイド
24を螺合させ、このリニアガイド24上に検査ユニッ
ト10を取り付ける。ボールネジ23は、その中心軸線
が上記方向Acに平行になるように設ける。
(直径が大)、2(直径が小)の端部凸欠陥を検出する
場合には、回転モータ22でボールネジ23を回転させ
ることにより、検査ユニット10をリニアガイド24と
一体で感光体ドラム側に前進させ、接触ローラ15を所
定の圧力で感光体ドラムに接触させる。このとき、リニ
アガイド24の前進方向Aaと、接触ローラ15の前進
方向Abと、方向Acとは互いに平行(同一方向)であ
る。
が小さい感光体ドラム2の場合の接触ローラ15の前進
距離を、直径が大きい感光体ドラム1の場合よりも適宜
に長くすることで、上記接触圧を同一に設定することが
できるため、検出感度を同一に保つことが可能となり、
また接触ローラ15の変位量から直接、凸欠陥の高さを
判定することができる。したがって、直径が種々に異な
る感光体ドラムに対応することができる。
を示す平面図である。この表面検査装置は、図1の装置
を改変したものである。図1の装置ではこの図の左右方
向に大きなスペースが必要となり、結果的に検査装置の
大型化につながる不具合がある。そこで、図2の検査装
置ではスライド機構20として、接触ローラ15の軸直
角断面において該ローラの変位方向Abと交差するAd
方向に検査ユニット10を移動させるものを設けた点に
特徴がある。その他の構成は図1と同様で、直径が種々
に異なる感光体ドラムに対応することができる。
体ドラム1について凸欠陥を検出する場合には、図2
(a)のように方向Abが方向Acに平行になる。直径
が小さい感光体ドラム2の場合には、スライド機構20
により検査ユニット10をAd方向に前進させて、接触
ローラ15を感光体ドラム2に接触させるため、図2
(b)のように方向Abが方向Acと交差する。図2
(a)の場合には、方向Abが方向Acに平行であるた
め、接触ローラ15の変位そのものを凸欠陥の高さと判
断でき、また凸欠陥による接触ローラ15の動きが最も
滑らかになる。これに対し図2(b)の場合には、接触
ローラ15の変位を適正に換算して凸欠陥の高さとする
必要があるが、充分な検出感度を容易に得ることができ
る。
図である。この装置では、感光体ドラム3下端の凸欠陥
を検出するための下端用検査ユニット10aを直接ベー
スプレート31上に設ける(検査ユニット10aは上下
に移動しない)。また、感光体ドラム3上端の凸欠陥を
検出するための上端用検査ユニット10bは、ベースプ
レート31上に垂設した支柱32に設けるとともに、検
査ユニット10bを支柱32の長手方向に平行に昇降自
在に設けることにより、検査ユニット10bを接触ロー
ラ15の中心軸線に平行方向に移動自在とする。すなわ
ち、支柱32にリニアガイド(スライドガイド)33
と、その上に図略の昇降機構により昇降自在のスライダ
34と、その上に断面L字型の支持板35とを設け、こ
の支持板35上に上端用検査ユニット10bを設ける。
検査ユニット10a,10bの構成は図1の検査ユニッ
ト10と同一とする。
陥検出に際しては、図3に示すように感光体ドラム3
を、下端用検査ユニット10aの接触ローラ15aに対
する感光体ドラム3下端位置の接触高さを同一にしてセ
ットする。また、上端用検査ユニット10bは、上記昇
降機構で適宜位置に昇降させることにより、接触ローラ
15bを感光体ドラム3の上端に接触させる。このよう
に、この表面検査装置では、上端用検査ユニット10b
を昇降させて高さ位置を適正に設定することで、長さが
種々に異なる感光体ドラムに対応することができる。
成を示す正面図である。この装置は、端部凸欠陥検査幅
が種々に異なる感光体ドラムに対応できるように構成し
たもので、検査ユニットが、接触ローラとその支持部材
とからなる接触ローラユニットを着脱自在に備えている
点に特徴がある。図4(a)に示す検査ユニット41a
は、感光体ドラム4の検査幅Waに対応して幅の大きい
接触ローラ15cを設けた接触ローラユニット42aを
備え、図4(b)の検査ユニット41bは感光体ドラム
4の検査幅Wb(ただし、Wa>Wb)に対応して、幅
の小さい接触ローラ15dを設けた接触ローラユニット
42bを備えている。ただし、これらの検査ユニットの
全体構成は、図1の検査ユニット10と同一である。こ
の表面検査装置では、検査幅がWaの場合には接触ロー
ラユニット42aを取り付けて検査ユニット41aを構
成し、検査幅がWbの場合には接触ローラユニット42
bを取り付けて検査ユニット41bとする。
成する上端用検査ユニット51bを示す正面図である。
この表面検査装置は図3の装置を改変し、端部凸欠陥検
査幅が種々に異なる感光体ドラムに対応できるように構
成したものである。すなわち接触ローラ15の幅を、端
部凸欠陥検査幅の最大値Wmに設定するとともに、上端
用検査ユニット51bを適宜高さに移動させるための昇
降機構を設けたものである。なお、図示されていない下
端用検査ユニットの接触ローラも同じように構成され、
かつこの下端用検査ユニットも昇降自在である。
ラムについて上記装置により検査を行う場合には、図5
(a)に示すように、上端用検査ユニット51bの接触
ローラ15の上端位置を感光体ドラム4の上端位置に合
わせる。また、感光体ドラムの端部凸欠陥検査幅が最大
値Wmより小さいWnの場合には、図5(b)のよう
に、接触ローラ15をWmとWnの差だけ上昇させる。
これに対し下端用検査ユニットでは、検査幅が最大値W
mの感光体ドラムについて検査を行う場合には、上記と
逆に接触ローラの下端位置を感光体ドラムの下端位置に
合わせ、検査幅がWnの場合には接触ローラをWmとW
nの差だけ下降させる。
図である。この装置は、直径・長さ・端部凸欠陥検査幅
が種々に異なる感光体ドラムに対応できるようにしたも
ので、図1、図3、図4にそれぞれ示す表面検査装置の
構成要素を組み合わせて構成されている。
を設け、これらをスライド機構20により一体的に前後
動自在とする。接触ローラ15aを着脱自在に設けた下
端用検査ユニット10aをリニアガイド24上に固着す
る。また、接触ローラ15bを着脱自在に設けた上端用
検査ユニット10bを支柱32に、図示されない昇降機
構により昇降自在に設ける。スライド機構20が上記第
1の移動機構に相当し、支柱32に設けた上記昇降機構
が上記第2の移動機構に相当する。図6に示す検査装置
の作用効果については、図1,3,4に示す装置につい
ての説明から明らかであろう。
要素を適宜に組み合わせることで、例えば下記のように
種々の形態の表面検査装置を構成することができる。 (1)図1、図3の各装置の構成要素を組み合わせたも
の、(2)図1、図3、図5の各装置の構成要素を組み
合わせたもの、(3)図2、図3の各装置の構成要素を
組み合わせたもの、(4)図2、図4の各装置の構成要
素を組み合わせたもの、(5)図2、図5の各装置の構
成要素を組み合わせたもの。そして、(1)の装置によ
れば、直径・長さが種々に異なる感光体ドラムに対応す
ることができ、(2)の装置は直径・長さ・検査幅が異
なる感光体ドラムに対応でき、(3)の装置は、直径・
長さが異なる感光体ドラムに対応できるうえ、装置を小
型化することが可能となり、(4)(5)の装置では、
直径・検査幅が異なる感光体ドラムに対応できうえ、装
置の小型化が可能となる。
平面図である。この装置は、図1〜6の装置に感光体ド
ラムの外観検査を行う光学的検査機構を設けたものであ
る。図7において61は感光体ドラム5の長手方向に伸
びるランイ光源、62はレンズ、63はラインセンサカ
メラである。感光体ドラム5は、図13に示すような回
転駆動機構(図示せず)により回転自在である。この表
面検査装置では、感光体ドラム5を上記回転駆動機構で
回転させながらランイ光源61から感光体ドラム5の塗
布面に光を照射し、反射光をレンズ62を介してライン
センサカメラ63で受光する。これにより、感光体ドラ
ム5の端部凸欠陥検査と、ドラム全面にわたる塗布面の
外観検査とを同時に行うことができる。
凸欠陥検査用の装置に係るものであるが、本発明に係る
円筒状被検物の表面検査装置はこれに限らず、各種円筒
体外周面の凹凸状態や傷の検出、またはその真円度の測
定するための装置として構成することもできる。
よれば以下の効果が得られる。 (1)請求項1 この円筒状被検物の表面検査装置では、接触ローラと円
筒状被検物との接触による該接触ローラの変位方向に平
行な方向に検査ユニットを移動させる移動機構を設けた
ため、直径が種々に異なる被検物について凸欠陥検査、
凹凸状態や傷の検出、またはその真円度の測定を行うこ
とができ、種々の直径の被検物に的確に対応することが
可能である。
直角断面においてこの接触ローラの変位方向と交差する
方向に移動させる移動機構を設けたため、請求項1の表
面検査装置による上記効果に加えて、この請求項1に比
べて装置全体を小型化することができる効果がある。
心軸線に平行な方向に移動させる移動機構を設けたた
め、長さが種々に異なる被検物に対応することができ
る。
脱自在に備えているため、幅が大、小に異なる接触ロー
ラを交換取付けすることで、検査幅が種々に異なる被検
物に対応することができる。
大の被検物(検査幅が最大)に対応させるとともに、検
査ユニットを接触ローラの中心軸線に平行な方向に移動
させる移動機構を設けたため、検査幅が種々に異なる被
検物に対応することができる。
位方向に平行な方向に移動させる第1の移動機構と、検
査ユニットを接触ローラの中心軸線に平行な方向に移動
させる第2の移動機構とを設け、さらに接触ローラを検
査ユニットに着脱自在としたため、直径・長さ・検査幅
が種々に異なる被検物に対応することができる。
に、被検物の外観検査を行う光学的検査機構を併設した
ため、被検物表面の凸欠陥検査などと、表面の外観検査
とを同時に行うことができる。
状被検物表面の凸欠陥などを簡単な構成、簡便な操作で
的確に検査することができる効果がある。
(a)は平面図、(b)は正面図である。
る。
る。
る。
る。
る。
である。
である。
を示すもので、(a)は正面図、(b)は(a)の一部
拡大図である。
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
の凸欠陥検出装置の構成を示すもので、(a)は平面
図、(b)は正面図である。
感光体ドラム支持回転装置の構成を示す概略説明図であ
る。
すグラフである。
Claims (7)
- 【請求項1】 円筒状の被検物を回転自在にセットし、
回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表
面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する前記ロー
ラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検
物の表面検査装置において、前記検査ユニットを前記ロ
ーラの変位方向に平行な方向に移動させる移動機構を設
けたことを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項2】 円筒状の被検物を回転自在にセットし、
回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表
面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する前記ロー
ラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検
物の表面検査装置において、前記検査ユニットを前記ロ
ーラの軸直角断面において該ローラの変位方向と交差す
る方向に移動させる移動機構を設けたことを特徴とする
円筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項3】 円筒状の被検物を回転自在にセットし、
回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表
面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する前記ロー
ラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検
物の表面検査装置において、前記検査ユニットを前記ロ
ーラの中心軸線に平行な方向に移動させる移動機構を設
けたことを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項4】 請求項1,2または3において、前記検
査ユニットは前記ローラを着脱自在に備えていることを
特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項5】 請求項3において、前記ローラの幅を検
査規格が最大の被検物に対応させたことを特徴とする円
筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項6】 円筒状の被検物を回転自在にセットし、
回転自在に設けたローラの表面を所定圧力で被検物の表
面に接触させ、該被検物表面の形状に対応する前記ロー
ラの変位量を測定する検査ユニットを備えた円筒状被検
物の表面検査装置において、前記検査ユニットを前記ロ
ーラの変位方向に平行な方向に移動させる第1の移動機
構と、前記検査ユニットを前記ローラの中心軸線に平行
な方向に移動させる第2の移動機構とが設けられ、前記
検査ユニットは前記ローラを着脱自在に備えていること
を特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれか一つの項におい
て、被検物の外観検査を行う光学的検査機構を設けたこ
とを特徴とする円筒状被検物の表面検査装置。
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