JP2000214100A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、簡単な構成で、被検物の表面の突
起状欠陥部を確実に精度良く検査できる欠陥検出装置を
提供することを目的とする。 【解決手段】 円筒状または円柱状の被検物（１）の表
面に接し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように
設置されたローラ（２）と、該ローラ（２）の径方向の
変位量を測定する測定手段（６，７）と、ローラ（２）
と被検物（１）を相対的に走査させる走査手段（５）と
を有する。
起状欠陥部を確実に精度良く検査できる欠陥検出装置を
提供することを目的とする。 【解決手段】 円筒状または円柱状の被検物（１）の表
面に接し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように
設置されたローラ（２）と、該ローラ（２）の径方向の
変位量を測定する測定手段（６，７）と、ローラ（２）
と被検物（１）を相対的に走査させる走査手段（５）と
を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は欠陥検査装置に関
し、詳細には主として複写機及びプリンタなどに使用さ
れる電子写真用感光体やゴムローラの表面の突起状欠陥
部を検出する欠陥検査装置に関する。
し、詳細には主として複写機及びプリンタなどに使用さ
れる電子写真用感光体やゴムローラの表面の突起状欠陥
部を検出する欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の円筒状被検物の欠陥検査方法とし
て、被検物に光を当ててその反射光又は拡散光をカメラ
で撮像して検査する方法が特開平９−３２５１２０号公
報（以下従来例１と称す）に、また一平面内を伝播する
平行光又はスリット光を光源から照射して円筒状被検物
を透過してくる光による稜線の像をＣＣＤラインセンサ
上に結像レンズにより形成して被検物を撮像し、ＣＣＤ
ラインセンサの各画素において受光する光量の分布に応
じる出力信号から、稜線の変化として現れる被検物の凹
凸欠陥を検出する方法が特開平９−２１６２８号公報
（以下従来例２と称す）に各々開示されている。
て、被検物に光を当ててその反射光又は拡散光をカメラ
で撮像して検査する方法が特開平９−３２５１２０号公
報（以下従来例１と称す）に、また一平面内を伝播する
平行光又はスリット光を光源から照射して円筒状被検物
を透過してくる光による稜線の像をＣＣＤラインセンサ
上に結像レンズにより形成して被検物を撮像し、ＣＣＤ
ラインセンサの各画素において受光する光量の分布に応
じる出力信号から、稜線の変化として現れる被検物の凹
凸欠陥を検出する方法が特開平９−２１６２８号公報
（以下従来例２と称す）に各々開示されている。
【０００３】ここで、従来例２を図面に基づいて以下に
説明する。図９は従来の欠陥検査装置の構成を示す概略
図である。同図において、先ず、被検物９１として外径
８０ｍｍ、長さ３６０ｍｍの電子写真用感光体を把持具
９２で把持し、モータ９３で被検物９１を１０ｒｐｍで
矢印方向Ａに回転させる。ライン光源９４から被検物９
１の稜線９５に向けて光を照射し、ＣＣＤラインセンサ
９６に結像レンズ９７を介して稜線９５からの光像９８
を撮像し、ＣＣＤラインセンサ９６の出力信号から被検
物９１の凹凸の検出を行う。
説明する。図９は従来の欠陥検査装置の構成を示す概略
図である。同図において、先ず、被検物９１として外径
８０ｍｍ、長さ３６０ｍｍの電子写真用感光体を把持具
９２で把持し、モータ９３で被検物９１を１０ｒｐｍで
矢印方向Ａに回転させる。ライン光源９４から被検物９
１の稜線９５に向けて光を照射し、ＣＣＤラインセンサ
９６に結像レンズ９７を介して稜線９５からの光像９８
を撮像し、ＣＣＤラインセンサ９６の出力信号から被検
物９１の凹凸の検出を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例１によれば、撮像された平面画像を処理して検査し
ているため、被検物の表面の凹凸と色ムラの区別が付き
にくく、表面の凹凸だけが検査対象となるような被検物
では過剰な検査項目まで検査することとなり検査効率が
悪くなっていた。また、上記従来例２によれば、アルミ
基体を使用している電子写真用感光体のように金属面が
露出しているものを検査すると正反射光が強く従来例２
のような光学系を用いた方法では検査しづらく、被検物
がゴムローラであっても回転する被検物の偏心で稜線の
位置が動いて被検物の表面の突起を確実に検出すること
ができない。
来例１によれば、撮像された平面画像を処理して検査し
ているため、被検物の表面の凹凸と色ムラの区別が付き
にくく、表面の凹凸だけが検査対象となるような被検物
では過剰な検査項目まで検査することとなり検査効率が
悪くなっていた。また、上記従来例２によれば、アルミ
基体を使用している電子写真用感光体のように金属面が
露出しているものを検査すると正反射光が強く従来例２
のような光学系を用いた方法では検査しづらく、被検物
がゴムローラであっても回転する被検物の偏心で稜線の
位置が動いて被検物の表面の突起を確実に検出すること
ができない。
【０００５】本発明はこれらの問題点を解決するための
ものであり、簡単な構成で、被検物の表面の突起状欠陥
部を確実に精度良く検査できる欠陥検出装置を提供する
ことを目的とする。
ものであり、簡単な構成で、被検物の表面の突起状欠陥
部を確実に精度良く検査できる欠陥検出装置を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記問題点を解
決するために、円筒状または円柱状の被検物の表面に接
し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように設置さ
れたローラと、該ローラの径方向の変位量を測定する測
定手段と、ローラと被検物を相対的に走査させる走査手
段とを有することに特徴がある。よって、これらの手段
を有する本発明によれば、走査手段によりローラを被検
物の表面を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量
を前記測定手段によって測定することにより、被検物の
表面の突起状欠陥部の有無を簡易に検出できる。
決するために、円筒状または円柱状の被検物の表面に接
し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように設置さ
れたローラと、該ローラの径方向の変位量を測定する測
定手段と、ローラと被検物を相対的に走査させる走査手
段とを有することに特徴がある。よって、これらの手段
を有する本発明によれば、走査手段によりローラを被検
物の表面を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量
を前記測定手段によって測定することにより、被検物の
表面の突起状欠陥部の有無を簡易に検出できる。
【０００７】また、別の発明としての欠陥検査装置は、
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、軸線が被検
物の軸線と平行になるように設置されたローラと、該ロ
ーラの径方向の変位量を測定する測定手段と、該測定手
段により測定された測定値を演算処理する演算手段と、
ローラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有す
ることに特徴がある。よって、これらの手段を有する別
の発明によれば、走査手段によりローラを被検物の表面
を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量を測定手
段によって測定し、測定した測定値を演算手段により演
算処理することにより、被検物の表面の突起状欠陥部の
大きさ及び位置を簡易に検出できる。
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、軸線が被検
物の軸線と平行になるように設置されたローラと、該ロ
ーラの径方向の変位量を測定する測定手段と、該測定手
段により測定された測定値を演算処理する演算手段と、
ローラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有す
ることに特徴がある。よって、これらの手段を有する別
の発明によれば、走査手段によりローラを被検物の表面
を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量を測定手
段によって測定し、測定した測定値を演算手段により演
算処理することにより、被検物の表面の突起状欠陥部の
大きさ及び位置を簡易に検出できる。
【０００８】更に、ローラ及び測定手段を複数対とする
ことにより、被検物の表面をより細かく検査でき、検査
精度を上げることができると共に、段付きの被検物の検
査も簡単に行うことができる。
ことにより、被検物の表面をより細かく検査でき、検査
精度を上げることができると共に、段付きの被検物の検
査も簡単に行うことができる。
【０００９】また、１個のローラに対して測定手段を複
数設けることにより、正確にローラの変位量を測定でき
る。
数設けることにより、正確にローラの変位量を測定でき
る。
【００１０】更に、ローラを複数設けて各ローラに測定
手段を複数設けることにより、被検物の表面をより細か
く、かつ正確に検査できる。
手段を複数設けることにより、被検物の表面をより細か
く、かつ正確に検査できる。
【００１１】また、被検物が円筒状の電子写真用感光体
である場合、被検物に光を照射する照射手段を設けたこ
とにより、ローラの走査によって被検物の表面が帯電す
ることを防ぎ、埃等の付着による誤検査を防ぐことがで
きる。
である場合、被検物に光を照射する照射手段を設けたこ
とにより、ローラの走査によって被検物の表面が帯電す
ることを防ぎ、埃等の付着による誤検査を防ぐことがで
きる。
【００１２】
【発明の実施の形態】円筒状または円柱状の被検物の表
面に接し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように
設置されたローラと、該ローラの径方向の変位量を測定
する測定手段と、ローラと被検物を相対的に走査させる
走査手段とを有する。
面に接し、かつ軸線が被検物の軸線と平行になるように
設置されたローラと、該ローラの径方向の変位量を測定
する測定手段と、ローラと被検物を相対的に走査させる
走査手段とを有する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の第１の実施例に係る欠陥検査装
置の構成を示す概略図である。同図に示すように、被検
物１としては表面に異物の付着による高さ約２０μｍの
突起欠陥部がある、外径３０ｍｍ、長さ３６０ｍｍの電
子写真用感光体を上把持具３と下把持具４で把持する。
そして、外径３０ｍｍ、長さ３５０ｍｍ、ポリアセター
ル樹脂製のローラ２を被検物１の表面に当てローラ２の
径方向の変位量を測定するために、てこ式電子マイクロ
メータ６をローラ２の中央部に当てる。このような状態
で被検物１をモータ５で１０ｒｐｍで回転させることに
より被検物１の表面をローラ２が走査する。走査させた
結果、被検物１の表面の突起状欠陥部でローラ２の変位
が急激に変化し、その変位量を測定器７で測定して突起
状欠陥部の有無を検査する。更に、測定器７によって測
定された測定値とモータからの回転データに基づいて演
算部８によって被検物１とローラ２の偏心及び変形を考
慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置を正確に検出す
る。なお、ローラ２の変位量を測定する機器として、て
こ式電子マイクロメータの他には、過電流式変位センサ
やレーザマイクロメータなどがある。
明する。図１は本発明の第１の実施例に係る欠陥検査装
置の構成を示す概略図である。同図に示すように、被検
物１としては表面に異物の付着による高さ約２０μｍの
突起欠陥部がある、外径３０ｍｍ、長さ３６０ｍｍの電
子写真用感光体を上把持具３と下把持具４で把持する。
そして、外径３０ｍｍ、長さ３５０ｍｍ、ポリアセター
ル樹脂製のローラ２を被検物１の表面に当てローラ２の
径方向の変位量を測定するために、てこ式電子マイクロ
メータ６をローラ２の中央部に当てる。このような状態
で被検物１をモータ５で１０ｒｐｍで回転させることに
より被検物１の表面をローラ２が走査する。走査させた
結果、被検物１の表面の突起状欠陥部でローラ２の変位
が急激に変化し、その変位量を測定器７で測定して突起
状欠陥部の有無を検査する。更に、測定器７によって測
定された測定値とモータからの回転データに基づいて演
算部８によって被検物１とローラ２の偏心及び変形を考
慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置を正確に検出す
る。なお、ローラ２の変位量を測定する機器として、て
こ式電子マイクロメータの他には、過電流式変位センサ
やレーザマイクロメータなどがある。
【００１４】図２は本発明の第２の実施例に係る欠陥検
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、ローラ２
の長さを２００ｍｍとした２つローラ２を、被検物１の
対角線となる上部と下部の位置に設置し、各ローラ２の
中央部にてこ式マイクロメータ６を当てた点である。こ
のような構成を有する本実施例によれば、被検物１の表
面の突起状欠陥部でいずれかのローラ２の径方向の変位
が急激に変化し、その変位量を測定器７で測定して突起
状欠陥部の有無を検査する。更に、２つの測定器７によ
って測定された各測定値とモータからの回転データに基
づいて演算部８によって被検物１とローラ２の偏心及び
変形を考慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置を正確に
検出する。
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、ローラ２
の長さを２００ｍｍとした２つローラ２を、被検物１の
対角線となる上部と下部の位置に設置し、各ローラ２の
中央部にてこ式マイクロメータ６を当てた点である。こ
のような構成を有する本実施例によれば、被検物１の表
面の突起状欠陥部でいずれかのローラ２の径方向の変位
が急激に変化し、その変位量を測定器７で測定して突起
状欠陥部の有無を検査する。更に、２つの測定器７によ
って測定された各測定値とモータからの回転データに基
づいて演算部８によって被検物１とローラ２の偏心及び
変形を考慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置を正確に
検出する。
【００１５】図３は本発明の第３の実施例に係る欠陥検
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、ローラ２
の上部と下部の両端部に、てこ式マイクロメータ６を当
てた点である。このような構成を有する本実施例によれ
ば、被検物１の表面の突起状欠陥部でローラ２の径方向
の変位が急激に変化し、その変位量を各測定器７で測定
して突起状欠陥部の有無を検査する。更に、２つの測定
器７によって測定された各測定値とモータからの回転デ
ータに基づいて演算部８によって被検物１とローラ２の
偏心及び変形を考慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置
を正確に検出する。このように複数のてこ式マイクロメ
ータ６を用いることによりローラ２の姿勢変化による測
定誤差を軽減できる。なお、本実施例を第２の実施例に
適用する、つまりローラ２を複数設けて、各ローラ２に
おいて複数のてこ式マイクロメータ６を設けた場合も同
様な効果が得られることは言うまでもない。
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、ローラ２
の上部と下部の両端部に、てこ式マイクロメータ６を当
てた点である。このような構成を有する本実施例によれ
ば、被検物１の表面の突起状欠陥部でローラ２の径方向
の変位が急激に変化し、その変位量を各測定器７で測定
して突起状欠陥部の有無を検査する。更に、２つの測定
器７によって測定された各測定値とモータからの回転デ
ータに基づいて演算部８によって被検物１とローラ２の
偏心及び変形を考慮して突起状欠陥部の大きさ及び位置
を正確に検出する。このように複数のてこ式マイクロメ
ータ６を用いることによりローラ２の姿勢変化による測
定誤差を軽減できる。なお、本実施例を第２の実施例に
適用する、つまりローラ２を複数設けて、各ローラ２に
おいて複数のてこ式マイクロメータ６を設けた場合も同
様な効果が得られることは言うまでもない。
【００１６】図４は本発明の第４の実施例に係る欠陥検
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、被検物１
に光を照射する蛍光灯９を設置した点である。このよう
な構成を有する本実施例によれば、検査中に蛍光灯９を
点灯して電子写真用感光体である被検物１の表面に光を
照射することにより蛍光灯８の光で電子写真用感光体で
ある被検物１の表面の電位が除電され、空気中の埃等の
付着がなくなり、良好に検査できる。なお、被検物１の
表面に照射させる手段として、蛍光灯８の他には、電子
写真用感光体である被検物が感度域を持つ波長を含む光
を発する光源であれば何でも良く、例えば発光ダイオー
ドが採用できる。
査装置の構成を示す概略図である。同図に示すように、
本実施例と第１の実施例と比べて異なる点は、被検物１
に光を照射する蛍光灯９を設置した点である。このよう
な構成を有する本実施例によれば、検査中に蛍光灯９を
点灯して電子写真用感光体である被検物１の表面に光を
照射することにより蛍光灯８の光で電子写真用感光体で
ある被検物１の表面の電位が除電され、空気中の埃等の
付着がなくなり、良好に検査できる。なお、被検物１の
表面に照射させる手段として、蛍光灯８の他には、電子
写真用感光体である被検物が感度域を持つ波長を含む光
を発する光源であれば何でも良く、例えば発光ダイオー
ドが採用できる。
【００１７】図５〜図８は第１の実施例における各測定
例を示す特性図である。なお、各図において、縦軸はロ
ーラ２の変位量、横軸は時間をそれぞれ示すものとす
る。図５に示す特性例は、図１のローラ２の外径を３０
ｍｍとした場合つまり第１の実施例の場合の演算部８に
よって演算されたものである。図６に示す特性例は、図
１のローラ２の外径を４０ｍｍとした場合の演算部８に
よって演算されたものである。また、図７に示す特性例
は、図１のローラ２の外径を６０ｍｍとした場合の演算
部８によって測定されたものである。更に、図８に示す
特性例は、図１のローラ２の外径を１５ｍｍとした場合
の演算部８によって演算されたものである。すなわち、
図５に示す特性例は被検物１とローラ２の外径を同じ
に、図６に示す特性例はローラ２の外径を被検物１の外
径の約１．３４倍に、図７に示す特性例はローラ２の外
径を被検物１の外径の２倍に、そして図８に示す特性例
はローラ２の外径を被検物１の外径の０．５倍に、それ
ぞれ設定した場合である。これら各図からわかるよう
に、図５、図７及び図８に示す特性例によれば、被検物
１とローラ２の偏心及び変形に起因するローラ２の変位
量のうねり及び突起状欠陥部部の急激な変位が周期的に
現れ、信号処理が非常に容易にできる。一方、図６に示
す特性例によれば、ローラ２の変位量のうねり及び突起
状欠陥部の急激な変位が不規則に現れ、信号処理が行い
づらい。よって、ローラの外径を被検物の外径の整数倍
もしくは（１／整数）倍とすることは、信号処理を行う
際に望ましいことがわかる。
例を示す特性図である。なお、各図において、縦軸はロ
ーラ２の変位量、横軸は時間をそれぞれ示すものとす
る。図５に示す特性例は、図１のローラ２の外径を３０
ｍｍとした場合つまり第１の実施例の場合の演算部８に
よって演算されたものである。図６に示す特性例は、図
１のローラ２の外径を４０ｍｍとした場合の演算部８に
よって演算されたものである。また、図７に示す特性例
は、図１のローラ２の外径を６０ｍｍとした場合の演算
部８によって測定されたものである。更に、図８に示す
特性例は、図１のローラ２の外径を１５ｍｍとした場合
の演算部８によって演算されたものである。すなわち、
図５に示す特性例は被検物１とローラ２の外径を同じ
に、図６に示す特性例はローラ２の外径を被検物１の外
径の約１．３４倍に、図７に示す特性例はローラ２の外
径を被検物１の外径の２倍に、そして図８に示す特性例
はローラ２の外径を被検物１の外径の０．５倍に、それ
ぞれ設定した場合である。これら各図からわかるよう
に、図５、図７及び図８に示す特性例によれば、被検物
１とローラ２の偏心及び変形に起因するローラ２の変位
量のうねり及び突起状欠陥部部の急激な変位が周期的に
現れ、信号処理が非常に容易にできる。一方、図６に示
す特性例によれば、ローラ２の変位量のうねり及び突起
状欠陥部の急激な変位が不規則に現れ、信号処理が行い
づらい。よって、ローラの外径を被検物の外径の整数倍
もしくは（１／整数）倍とすることは、信号処理を行う
際に望ましいことがわかる。
【００１８】また、本発明の別の実施例として、ローラ
２の材質をステンレス鋼とし、かつ当該ステンレス鋼を
接地する。このような構成を有する本実施例によれば、
ステンレス鋼からなるローラ２と接する被検物１の表面
に静電気が蓄積しない。よって空気中の埃等の付着を防
げ、良好な検査ができる。なお、ローラ２の材質とし
て、ステンレス鋼の他には、鉄、アルミニウム、銅等の
金属、炭素繊維、金属粉を混ぜた導電製樹脂などの導電
性物質でもよい。
２の材質をステンレス鋼とし、かつ当該ステンレス鋼を
接地する。このような構成を有する本実施例によれば、
ステンレス鋼からなるローラ２と接する被検物１の表面
に静電気が蓄積しない。よって空気中の埃等の付着を防
げ、良好な検査ができる。なお、ローラ２の材質とし
て、ステンレス鋼の他には、鉄、アルミニウム、銅等の
金属、炭素繊維、金属粉を混ぜた導電製樹脂などの導電
性物質でもよい。
【００１９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲内に記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
のではなく、特許請求の範囲内に記載であれば多種の変
形や置換可能であることは言うまでもない。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、かつ軸線が
被検物の軸線と平行になるように設置されたローラと、
該ローラの径方向の変位量を測定する測定手段と、ロー
ラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有するこ
とに特徴がある。よって、これらの手段を有する本発明
によれば、走査手段によりローラを被検物の表面を相対
的に走査させ、ローラの径方向の変位量を前記測定手段
によって測定することにより、被検物の表面の突起状欠
陥部の有無を簡易に検出できる。
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、かつ軸線が
被検物の軸線と平行になるように設置されたローラと、
該ローラの径方向の変位量を測定する測定手段と、ロー
ラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有するこ
とに特徴がある。よって、これらの手段を有する本発明
によれば、走査手段によりローラを被検物の表面を相対
的に走査させ、ローラの径方向の変位量を前記測定手段
によって測定することにより、被検物の表面の突起状欠
陥部の有無を簡易に検出できる。
【００２１】また、別の発明としての欠陥検査装置は、
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、軸線が被検
物の軸線と平行になるように設置されたローラと、該ロ
ーラの径方向の変位量を測定する測定手段と、該測定手
段により測定された測定値を演算処理する演算手段と、
ローラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有す
ることに特徴がある。よって、これらの手段を有する別
の発明によれば、走査手段によりローラを被検物の表面
を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量を測定手
段によって測定し、測定した測定値を演算手段により演
算処理することにより、被検物の表面の突起状欠陥部の
大きさ及び位置を簡易に検出できる。
円筒状または円柱状の被検物の表面に接し、軸線が被検
物の軸線と平行になるように設置されたローラと、該ロ
ーラの径方向の変位量を測定する測定手段と、該測定手
段により測定された測定値を演算処理する演算手段と、
ローラと被検物を相対的に走査させる走査手段とを有す
ることに特徴がある。よって、これらの手段を有する別
の発明によれば、走査手段によりローラを被検物の表面
を相対的に走査させ、ローラの径方向の変位量を測定手
段によって測定し、測定した測定値を演算手段により演
算処理することにより、被検物の表面の突起状欠陥部の
大きさ及び位置を簡易に検出できる。
【００２２】更に、ローラ及び測定手段を複数対とする
ことにより、被検物の表面をより細かく検査でき、検査
精度を上げることができると共に、段付きの被検物の検
査も簡単に行うことができる。
ことにより、被検物の表面をより細かく検査でき、検査
精度を上げることができると共に、段付きの被検物の検
査も簡単に行うことができる。
【００２３】また、１個のローラに対して測定手段を複
数設けることにより、正確にローラの変位量を測定でき
る。
数設けることにより、正確にローラの変位量を測定でき
る。
【００２４】更に、ローラを複数設けて各ローラに測定
手段を複数設けることにより、被検物の表面をより細か
く、かつ正確に検査できる。
手段を複数設けることにより、被検物の表面をより細か
く、かつ正確に検査できる。
【００２５】また、被検物が円筒状の電子写真用感光体
である場合、被検物に光を照射する照射手段を設けたこ
とにより、ローラの走査によって被検物の表面が帯電す
ることを防ぎ、埃等の付着による誤検査を防ぐことがで
きる。
である場合、被検物に光を照射する照射手段を設けたこ
とにより、ローラの走査によって被検物の表面が帯電す
ることを防ぎ、埃等の付着による誤検査を防ぐことがで
きる。
【図１】本発明の第１の実施例に係る欠陥検査装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係る欠陥検査装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図３】本発明の第３の実施例に係る欠陥検査装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図４】本発明の第４の実施例に係る欠陥検査装置の構
成を示す概略図である。
成を示す概略図である。
【図５】第１の実施例における測定例を示す特性図であ
る。
る。
【図６】第１の実施例における測定例を示す特性図であ
る。
る。
【図７】第１の実施例における測定例を示す特性図であ
る。
る。
【図８】第１の実施例における測定例を示す特性図であ
る。
る。
【図９】従来の欠陥検査装置の構成を示す概略図であ
る。
る。
１ 被検物 ２ ローラ ３ 上把持具 ４ 下把持具 ５ モータ ６ てこ式電子マイクロメータ ７ 測定器 ８ 演算部 ９ 蛍光灯
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 BC07 CA04 CB01 CB05 CD05 CD07 DA08 2H035 CA07 CB01 CZ00 2H068 AA54 EA41 EA43
Claims (6)
- 【請求項１】 円筒状または円柱状の被検物の表面に接
し、かつ軸線が前記被検物の軸線と平行になるように設
置されたローラと、 該ローラの径方向の変位量を測定する測定手段と、 前記ローラと前記被検物を相対的に走査させる走査手段
とを有し、 前記走査手段により前記ローラを前記被検物の表面を相
対的に走査させ、前記ローラの径方向の変位量を前記測
定手段によって測定することにより、前記被検物の表面
の突起状欠陥部の有無を検出することを特徴とする欠陥
検査装置。 - 【請求項２】 円筒状または円柱状の被検物の表面に接
し、軸線が前記被検物の軸線と平行になるように設置さ
れたローラと、 該ローラの径方向の変位量を測定する測定手段と、 該測定手段により測定された測定値を演算処理する演算
手段と、 前記ローラと前記被検物を相対的に走査させる走査手段
とを有し、 前記走査手段により前記ローラを前記被検物の表面を相
対的に走査させ、前記ローラの径方向の変位量を前記測
定手段によって測定し、測定した測定値を演算手段によ
り演算処理することにより、前記被検物の表面の突起状
欠陥部の大きさ及び位置を検出することを特徴とする欠
陥検査装置。 - 【請求項３】 前記ローラ及び前記測定手段を複数対と
する請求項１又は２に記載の欠陥検査装置。 - 【請求項４】 １個の前記ローラに対して前記測定手段
を複数設ける請求項１又は２に記載の欠陥検査装置。 - 【請求項５】 前記ローラを複数設け、前記各ローラに
前記測定手段を複数設ける請求項１又は２に記載の欠陥
検査装置。 - 【請求項６】 前記被検物を円筒状の電子写真用感光体
とし、前記被検物に光を照射する照射手段を設けた請求
項１〜５のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1924999A JP2000214100A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1924999A JP2000214100A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000214100A true JP2000214100A (ja) | 2000-08-04 |
Family
ID=11994152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1924999A Pending JP2000214100A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000214100A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7263876B2 (en) | 2001-09-19 | 2007-09-04 | Ricoh Company Limited | Apparatus and method of detecting surface convexity of members, and method of producing the members |
| CN105951416A (zh) * | 2014-12-31 | 2016-09-21 | 泉州市中研智能机电研究院有限公司 | 摩擦辊验布机的控制方法 |
| CN111929319A (zh) * | 2020-10-14 | 2020-11-13 | 天津文洲机械有限公司 | 一种间接式高精度丝网破损视觉检测机 |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP1924999A patent/JP2000214100A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7263876B2 (en) | 2001-09-19 | 2007-09-04 | Ricoh Company Limited | Apparatus and method of detecting surface convexity of members, and method of producing the members |
| CN105951416A (zh) * | 2014-12-31 | 2016-09-21 | 泉州市中研智能机电研究院有限公司 | 摩擦辊验布机的控制方法 |
| CN106087373A (zh) * | 2014-12-31 | 2016-11-09 | 泉州市中研智能机电研究院有限公司 | 摩擦辊验布机的检验方法 |
| CN111929319A (zh) * | 2020-10-14 | 2020-11-13 | 天津文洲机械有限公司 | 一种间接式高精度丝网破损视觉检测机 |
| CN111929319B (zh) * | 2020-10-14 | 2021-04-09 | 天津文洲机械有限公司 | 一种间接式高精度丝网破损视觉检测机 |
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