JPH07128240A - 電子写真感光体欠陥検査装置 - Google Patents
電子写真感光体欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH07128240A JPH07128240A JP27577093A JP27577093A JPH07128240A JP H07128240 A JPH07128240 A JP H07128240A JP 27577093 A JP27577093 A JP 27577093A JP 27577093 A JP27577093 A JP 27577093A JP H07128240 A JPH07128240 A JP H07128240A
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- Cleaning In Electrography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 感光体表面に予想される凹凸、色ムラ等すべ
ての欠陥を効率良く適確に検出することを目的とする。 【構成】 駆動装置2により感光体ドラム1を反時計方
向に低速の回転状態とし、高周波蛍光灯4を点灯してド
ラム表面からの正反射光を第1ラインセンサ5で受光し
てその出力する電気信号により画像処理装置7において
色ムラの有無を検出し、同時にドラム表面からの散乱光
を正反射光を受光する角度から3°〜10°傾いた第2ラ
インセンサ6で受光してその出力する電気信号により画
像処理装置8において凹凸の有無を検出するように構成
したことを特徴としている。
ての欠陥を効率良く適確に検出することを目的とする。 【構成】 駆動装置2により感光体ドラム1を反時計方
向に低速の回転状態とし、高周波蛍光灯4を点灯してド
ラム表面からの正反射光を第1ラインセンサ5で受光し
てその出力する電気信号により画像処理装置7において
色ムラの有無を検出し、同時にドラム表面からの散乱光
を正反射光を受光する角度から3°〜10°傾いた第2ラ
インセンサ6で受光してその出力する電気信号により画
像処理装置8において凹凸の有無を検出するように構成
したことを特徴としている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子写真複写機等に使用
される感光体の表面検査に用いられる電子写真感光体欠
陥検査装置に関する。
される感光体の表面検査に用いられる電子写真感光体欠
陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子写真複写機に使用される感光体ドラ
ムは、その表面に疵や感光層の膜厚にムラが存在してい
ると、感光体上に形成される画像に欠陥が生じてその品
質を低下するので、複写機への装着前に厳密な表面検査
を実施して表面状態が完全なもののみが使用される。
ムは、その表面に疵や感光層の膜厚にムラが存在してい
ると、感光体上に形成される画像に欠陥が生じてその品
質を低下するので、複写機への装着前に厳密な表面検査
を実施して表面状態が完全なもののみが使用される。
【0003】表面検査の手段としては、特開昭62-52408
号公報による提案に示されるような干渉縞検出法による
ものや、あるいは特定の複写機に実装して画像出力を行
い、その画像を目視検査することによって判断する等の
方法がとられているが、何れの方法も検査者の個人差に
よって判定にバラツキがあり、また後者の方法には実際
に画像複写を行うことから感光体を消耗したり、着脱に
手間と時間を要する等の難点があった。
号公報による提案に示されるような干渉縞検出法による
ものや、あるいは特定の複写機に実装して画像出力を行
い、その画像を目視検査することによって判断する等の
方法がとられているが、何れの方法も検査者の個人差に
よって判定にバラツキがあり、また後者の方法には実際
に画像複写を行うことから感光体を消耗したり、着脱に
手間と時間を要する等の難点があった。
【0004】このため近年目視による表面検査に替わっ
て機械化、電気化により自動化された検査方法が提案さ
れるに至り、その代表的なものとして特開昭59-13677
号、特開昭59-49573号、特開昭61-142456号および特開
平4-42667号の各公報により電気式検査装置が、また特
開平4-194944号および特開平3-229109号の各公報により
光学式検査装置がそれぞれ開示されている。
て機械化、電気化により自動化された検査方法が提案さ
れるに至り、その代表的なものとして特開昭59-13677
号、特開昭59-49573号、特開昭61-142456号および特開
平4-42667号の各公報により電気式検査装置が、また特
開平4-194944号および特開平3-229109号の各公報により
光学式検査装置がそれぞれ開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし感光体にはピン
ホール、打痕、擦り傷、気泡の巻き込み、クラック、ゴ
ミ等の付着等の欠陥ならびに感光層の膜厚のムラ、液ダ
レや支持体の傷等多種多様な欠陥の生ずる可能性があ
る。
ホール、打痕、擦り傷、気泡の巻き込み、クラック、ゴ
ミ等の付着等の欠陥ならびに感光層の膜厚のムラ、液ダ
レや支持体の傷等多種多様な欠陥の生ずる可能性があ
る。
【0006】検査方法の点から見れば前述した電気式検
査装置では表面電位を測定することによって欠陥を検出
しているため欠陥検出部と感光体表面との間隙の精度が
要求され、電位に現れない欠陥は検出されずまた感光層
の膜厚ムラ等の緩やかな勾配による欠陥では検出精度に
問題があった。
査装置では表面電位を測定することによって欠陥を検出
しているため欠陥検出部と感光体表面との間隙の精度が
要求され、電位に現れない欠陥は検出されずまた感光層
の膜厚ムラ等の緩やかな勾配による欠陥では検出精度に
問題があった。
【0007】一方これまでの光学式検査装置による場合
でも、ピンホール、打痕、擦り傷、ゴミ等の付着による
欠陥の如く表面の凹凸の変化率の大きな欠陥に対しては
高い検出力を発揮することが出来るが、感光層の膜厚ム
ラ等の如く凹凸の変化率の小さい欠陥あるいは支持体の
傷のように感光体表面に凹凸の変化のない欠陥に対して
は検出精度に問題があった。
でも、ピンホール、打痕、擦り傷、ゴミ等の付着による
欠陥の如く表面の凹凸の変化率の大きな欠陥に対しては
高い検出力を発揮することが出来るが、感光層の膜厚ム
ラ等の如く凹凸の変化率の小さい欠陥あるいは支持体の
傷のように感光体表面に凹凸の変化のない欠陥に対して
は検出精度に問題があった。
【0008】本発明はこれ等の点を解決して改良した結
果、特定の欠陥検出に片寄ることなく前述した感光体に
発生すると考えられるすべての欠陥を効率良く適確に検
出することの出来る電子写真感光体欠陥検査装置の提供
を目的としたものである。
果、特定の欠陥検出に片寄ることなく前述した感光体に
発生すると考えられるすべての欠陥を効率良く適確に検
出することの出来る電子写真感光体欠陥検査装置の提供
を目的としたものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的は、感光体に光
を照射し該感光体表面からの反射光を受光手段で受け、
前記反射光の明度情報を電気信号に変換して該電気信号
を閾値と比較することによって欠陥検出する電子写真感
光体欠陥検査装置において、投光手段と受光手段が捕ら
える感光体表面と受光手段とのなす角度の異なる位置に
前記受光手段を複数個備えることを特徴とする電子写真
感光体欠陥検査装置によって達成される。
を照射し該感光体表面からの反射光を受光手段で受け、
前記反射光の明度情報を電気信号に変換して該電気信号
を閾値と比較することによって欠陥検出する電子写真感
光体欠陥検査装置において、投光手段と受光手段が捕ら
える感光体表面と受光手段とのなす角度の異なる位置に
前記受光手段を複数個備えることを特徴とする電子写真
感光体欠陥検査装置によって達成される。
【0010】
【作用】感光体に投光された照射光は、感光体表面Sに
欠陥のない場合には図2(a)に示す如く感光体上の法
線Nを挾む照射光の入射角度の対称の角度に大部分の光
量が正反射される。
欠陥のない場合には図2(a)に示す如く感光体上の法
線Nを挾む照射光の入射角度の対称の角度に大部分の光
量が正反射される。
【0011】これに対して感光体に図2(b)および図
2(c)に示すように凸面あるいは凹面の何れかの欠陥
がある場合には反射光は正反射光を中心とした広い角度
範囲内に分散して散乱光として反射される。
2(c)に示すように凸面あるいは凹面の何れかの欠陥
がある場合には反射光は正反射光を中心とした広い角度
範囲内に分散して散乱光として反射される。
【0012】従って反射光を受光する受光手段を正反射
光を受光する角度より3°〜10°傾いた角度に置いて前
記の反射光を受光したとすると、欠陥のない感光体表面
では散乱光が少ないための受光手段からの電気信号は著
しく小さくなり、欠陥のある感光体表面では散乱光が多
いため受光手段からの入力信号は欠陥のない感光体表面
の場合のようには減少せず、従ってS/N比の高いいわ
ゆる欠陥信号を捕らえることが出来る。
光を受光する角度より3°〜10°傾いた角度に置いて前
記の反射光を受光したとすると、欠陥のない感光体表面
では散乱光が少ないための受光手段からの電気信号は著
しく小さくなり、欠陥のある感光体表面では散乱光が多
いため受光手段からの入力信号は欠陥のない感光体表面
の場合のようには減少せず、従ってS/N比の高いいわ
ゆる欠陥信号を捕らえることが出来る。
【0013】なおこれまでの光学式検査装置で検出精度
に問題があった電荷発生層の膜厚ムラによる欠陥は、電
荷発生層が吸光性を備えているため、膜厚ムラが反射光
の反射率に変化を起こすため、より強い反射光を受光す
る位置すなわち正反射光を受光する位置の受光手段がも
っともS/N比の高い欠陥信号を捕らえることが出来
る。
に問題があった電荷発生層の膜厚ムラによる欠陥は、電
荷発生層が吸光性を備えているため、膜厚ムラが反射光
の反射率に変化を起こすため、より強い反射光を受光す
る位置すなわち正反射光を受光する位置の受光手段がも
っともS/N比の高い欠陥信号を捕らえることが出来
る。
【0014】また支持体の傷のような感光体表面に凹凸
の変化のない欠陥に関しても、支持体上に吸光性を備え
ている電荷発生層が塗布されているため、欠陥部での散
乱光をS/N比高く捕らえることは難しい。このため支
持体の傷のような感光体表面に凹凸の変化のない欠陥に
関しては、正反射光を受光する位置の受光手段により正
反射光の明度差による欠陥信号を捕らえることにより検
出精度を向上させることが出来る。
の変化のない欠陥に関しても、支持体上に吸光性を備え
ている電荷発生層が塗布されているため、欠陥部での散
乱光をS/N比高く捕らえることは難しい。このため支
持体の傷のような感光体表面に凹凸の変化のない欠陥に
関しては、正反射光を受光する位置の受光手段により正
反射光の明度差による欠陥信号を捕らえることにより検
出精度を向上させることが出来る。
【0015】本発明は以上の点に着目してなされたもの
で、受光手段を複数個設置することによって感光体の欠
陥を効率良くかつ適確に検出する装置を提案するもので
ある。
で、受光手段を複数個設置することによって感光体の欠
陥を効率良くかつ適確に検出する装置を提案するもので
ある。
【0016】
【実施例】本発明の一実施例を図1によって説明する。
【0017】1は被検物たる感光体ドラム、2はその駆
動装置であって前記感光体ドラム1は同軸上に固定した
プーリ1Aと駆動装置2のプーリ2Aとの間に張架した
ベルト3の搬送作動により反時計方向に毎分60回転をも
って等速回転される。
動装置であって前記感光体ドラム1は同軸上に固定した
プーリ1Aと駆動装置2のプーリ2Aとの間に張架した
ベルト3の搬送作動により反時計方向に毎分60回転をも
って等速回転される。
【0018】4は投光手段たる第1高周波蛍光灯であっ
て感光体ドラム1の法線Nに対し角度θ1傾斜した位置
においてドラムの軸方向に対し平行に配置されている。
て感光体ドラム1の法線Nに対し角度θ1傾斜した位置
においてドラムの軸方向に対し平行に配置されている。
【0019】5は第1の受光手段たる第1ラインセンサ
であって直線状に配列したフォトトランジスタから構成
され、感光体ドラム1の法線Nに対し前記の角度θ1に
等しい角度θ2傾斜した位置すなわち前記の高周波蛍光
灯4の法線Nに対して対称位置にドラム軸に対し平行に
配置されている。
であって直線状に配列したフォトトランジスタから構成
され、感光体ドラム1の法線Nに対し前記の角度θ1に
等しい角度θ2傾斜した位置すなわち前記の高周波蛍光
灯4の法線Nに対して対称位置にドラム軸に対し平行に
配置されている。
【0020】さらに6は第2の受光手段たる第2ライン
センサであって感光体ドラム1の法線に対し前記の角度
θ1より5°大きい角度θ3傾斜した位置に同じくドラ
ム軸に対し平行に配置されている。
センサであって感光体ドラム1の法線に対し前記の角度
θ1より5°大きい角度θ3傾斜した位置に同じくドラ
ム軸に対し平行に配置されている。
【0021】前記の高周波蛍光灯4は感光体ドラム1よ
り充分長い長さを有していてその中心がほぼ一致するよ
う平行に配置し、その備えるシリンドリカル状のコンデ
ンサレンズ4Aによりドラムの円周方向に集束した照射
光を点Pにおいてドラムの軸方向に平行に投光し、さら
に点Pで反射した反射光を前記のラインセンサ5および
6によってドラムの軸方向に平行に受光されるようにな
っている。
り充分長い長さを有していてその中心がほぼ一致するよ
う平行に配置し、その備えるシリンドリカル状のコンデ
ンサレンズ4Aによりドラムの円周方向に集束した照射
光を点Pにおいてドラムの軸方向に平行に投光し、さら
に点Pで反射した反射光を前記のラインセンサ5および
6によってドラムの軸方向に平行に受光されるようにな
っている。
【0022】感光体ドラム1の回転に応じて高周波蛍光
灯4が点灯してドラム周面への照射光の投光を開始す
る。照射光はドラム表面の点Pにおいて反射して第1お
よび第2のラインセンサ5および6によって受光され、
その信号は各ラインセンサに接続する画像処理装置7お
よび8にそれぞれ入力される。
灯4が点灯してドラム周面への照射光の投光を開始す
る。照射光はドラム表面の点Pにおいて反射して第1お
よび第2のラインセンサ5および6によって受光され、
その信号は各ラインセンサに接続する画像処理装置7お
よび8にそれぞれ入力される。
【0023】ドラム表面に凹凸欠陥のない場合には前記
の反射光は正反射光となることからラインセンサ5によ
って受光され、画像処理装置7に高いレベルの電気信号
が入力し、入力された信号を、予め設定された閾値と比
較することにより2値化処理を行い凹凸欠陥以外の例え
ば感光層の膜厚ムラ等の欠陥の有無を判定することが出
来る。
の反射光は正反射光となることからラインセンサ5によ
って受光され、画像処理装置7に高いレベルの電気信号
が入力し、入力された信号を、予め設定された閾値と比
較することにより2値化処理を行い凹凸欠陥以外の例え
ば感光層の膜厚ムラ等の欠陥の有無を判定することが出
来る。
【0024】一方ドラム表面に凹凸欠陥のある場合に
は、欠陥部において強い散乱光を発し、その散乱光がラ
インセンサ6によって受光され、画像処理装置8にS/
N比の高い電気信号が入力し、入力された信号を、予め
設定された閾値と比較することにより2値化処理を行い
凹凸欠陥の有無を判定することが出来る。
は、欠陥部において強い散乱光を発し、その散乱光がラ
インセンサ6によって受光され、画像処理装置8にS/
N比の高い電気信号が入力し、入力された信号を、予め
設定された閾値と比較することにより2値化処理を行い
凹凸欠陥の有無を判定することが出来る。
【0025】このように点Pに対し角度を異にする2個
所の位置にラインセンサ5および6を設置することによ
り、1つの高周波蛍光灯4からの照射光の投光によって
感光体ドラム1に予想される凹凸、感光層膜厚ムラ等の
すべての欠陥の検査を行うことが可能となる。
所の位置にラインセンサ5および6を設置することによ
り、1つの高周波蛍光灯4からの照射光の投光によって
感光体ドラム1に予想される凹凸、感光層膜厚ムラ等の
すべての欠陥の検査を行うことが可能となる。
【0026】第1ラインセンサ5に対する第2ラインセ
ンサ6の傾きすなわち前記の角度θ3と角度θ2の差
は、本発明者の実施した数多くの実験結果によると凹凸
の検出に関しては3°ないし10°の範囲が好ましく、そ
の角度範囲内から最も高いS/N比の得られる位置を設
定出来ることが確認された。
ンサ6の傾きすなわち前記の角度θ3と角度θ2の差
は、本発明者の実施した数多くの実験結果によると凹凸
の検出に関しては3°ないし10°の範囲が好ましく、そ
の角度範囲内から最も高いS/N比の得られる位置を設
定出来ることが確認された。
【0027】
【発明の効果】本発明は、極めて簡単な装置の構成によ
って感光体表面に予想されるすべての欠陥を高い検出精
度をもって効率良く検知することを可能としたもので、
その結果感光体の品質が安定し高品位の画像の形成を可
能ならしめる電子写真感光体欠陥検査装置が提供される
こととなった。
って感光体表面に予想されるすべての欠陥を高い検出精
度をもって効率良く検知することを可能としたもので、
その結果感光体の品質が安定し高品位の画像の形成を可
能ならしめる電子写真感光体欠陥検査装置が提供される
こととなった。
【図1】本発明の感光体欠陥装置の構成図。
【図2】感光体表面における反射光の説明図。
1 感光体ドラム 2 駆動装置 3 ベルト 4 高周波蛍光灯 4A コンデンサレンズ 5 第1ラインセンサ 6 第2ラインセンサ 7,8 画像処理装置 N 法線
Claims (2)
- 【請求項1】 感光体に光を照射し該感光体表面からの
反射光を受光手段で受け、前記反射光の明度情報を電気
信号に変換して該電気信号を閾値と比較することによっ
て欠陥検出する電子写真感光体欠陥検査装置において、
投光手段と受光手段が捕らえる感光体表面と受光手段と
のなす角度の異なる位置に前記受光手段を複数個備える
ことを特徴とする電子写真感光体欠陥検査装置。 - 【請求項2】 少なくとも照射光の正反射光を受光する
位置と、投光手段と受光手段が捕らえる感光体表面と照
射光の正反射光を受光する受光手段とのなす角度より3
°〜10°傾いた位置に前記受光手段を備えることを特徴
とする請求項1の電子写真感光体欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27577093A JPH07128240A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 電子写真感光体欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27577093A JPH07128240A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 電子写真感光体欠陥検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07128240A true JPH07128240A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17560156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27577093A Pending JPH07128240A (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 電子写真感光体欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07128240A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033492A1 (en) * | 1999-11-03 | 2001-05-10 | General Electric Company | Method of objectively evaluating a surface mark |
JP2001141659A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | 画像撮像装置及び欠陥検出装置 |
EP1271134A1 (en) * | 2001-06-21 | 2003-01-02 | Ricoh Company, Ltd. | Defect detector and method of detecting defect |
JP2005003645A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Inspeck Kk | パターン検査装置 |
JP2007155393A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Univ Of Fukui | 肉厚測定装置及び肉厚測定方法 |
JP2007271510A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tsubakimoto Chain Co | 外観検査方法及び外観検査装置 |
US7362450B2 (en) | 2005-12-23 | 2008-04-22 | Xerox Corporation | Specular surface flaw detection |
WO2016208023A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社ニレコ | ウェブ検出装置及び検出方法 |
JP2022176188A (ja) * | 2021-05-13 | 2022-11-25 | 東洋製罐株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
-
1993
- 1993-11-04 JP JP27577093A patent/JPH07128240A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033492A1 (en) * | 1999-11-03 | 2001-05-10 | General Electric Company | Method of objectively evaluating a surface mark |
JP2001141659A (ja) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | 画像撮像装置及び欠陥検出装置 |
EP1271134A1 (en) * | 2001-06-21 | 2003-01-02 | Ricoh Company, Ltd. | Defect detector and method of detecting defect |
KR100472129B1 (ko) * | 2001-06-21 | 2005-03-08 | 가부시키가이샤 리코 | 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 |
US7099002B2 (en) | 2001-06-21 | 2006-08-29 | Ricoh Company, Ltd. | Defect detector and method of detecting defect |
JP2005003645A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-06 | Inspeck Kk | パターン検査装置 |
JP2007155393A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Univ Of Fukui | 肉厚測定装置及び肉厚測定方法 |
US7362450B2 (en) | 2005-12-23 | 2008-04-22 | Xerox Corporation | Specular surface flaw detection |
JP2007271510A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tsubakimoto Chain Co | 外観検査方法及び外観検査装置 |
WO2016208023A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2016-12-29 | 株式会社ニレコ | ウェブ検出装置及び検出方法 |
JPWO2016208023A1 (ja) * | 2015-06-25 | 2018-04-05 | 株式会社ニレコ | ウェブ検出装置及び検出方法 |
JP2022176188A (ja) * | 2021-05-13 | 2022-11-25 | 東洋製罐株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
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