JP3469714B2 - 感光体表面検査方法および感光体表面検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，電子写真複写機等
に使用される感光体の表面検査に用いられる感光体表面
検査方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複写機やプリンタ等の電子写真装置に用
いられる感光体ドラムは，製造工程においてその表面に
傷，異物，塗工ムラ等の欠陥が生じることがあり，最終
工程でこれらの欠陥についての検査を実施している。そ
の検査方法としては，検査員による目視検査が一般的で
あるが，自視検査では検査能力の限界や検査員による検
査能力のばらつきを生ずることがあることから，目視検
査にかわる各種の自動検査方法および検査装置が提唱さ
れている。

【０００３】ところで，感光体ドラムの場合，直径や感
光材料の異なる数種類の感光体ドラムを一つの生産ライ
ンで混合生産するような場合がある。直径や感光材料が
相違すれば，当然発生する欠陥の種類や判定しきし値も
変化する。これらの欠陥を１台の自動検査機でおこなう
ことができれば理想的である。そのためには，各被検物
に発生する欠陥に対応して，再現性のある方法で光学系
を調整し最適化する必要がある。また，処理工程の煩雑
さを考慮すると，調整しなければならない箇所はできる
だけ少ない方がよい。

【０００４】上記欠陥検査をおこなう従来技術として，
感光体ドラム表面からの正反射光を受光し，その出力す
る電気信号により検査をおこなう検査装置がある（たと
えば，特開平７−１２８２４０号公報，または，特開平
７−１２２８２４１号公報）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記従
来の検査装置によれば，２つの光源あるいは２つのＣＣ
Ｄカメラを使用しており，さらにそのために２画面の画
像処理が必要となるため，装置全体が複雑化するという
問題点があった。

【０００６】この発明は上記に鑑みてなされたものであ
って，１対の等受光系により感光体ドラムを撮像し，感
光体ドラム直径や感光材料に合わせ再現性のある方法で
光学系を調整し最適化する機能を備え，凹凸欠陥および
濃度差欠陥の両方を検出する感光体表面検査方法および
装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに，請求項１に係る感光体表面検査方法は，所定の角
度をもって円筒状の感光体の表面へ投光し，投光され前
記感光体の表面によって反射あるいは拡散される光を受
光する受光手段の受光面を前記感光体の表面上の投光位
置における接面と平行に配置し，前記受光面に平行でか
つ前記感光体の長手方向に対し垂直方向に前記受光手段
を移動させながら前記受光手段により受光される受光量
を検出し、前記受光手段が移動する位置の変化量に対し
て、検出される前記受光量が変化する受光変化量の比の
極値を算出し、算出された前記極値を与える位置に基づ
いて前記受光手段の検査位置を決定し、決定された前記
検査位置へ前記受光手段を移動し、移動された前記検査
位置を基準にして前記受光手段により受光された光に基
づいて前記感光体の表面を検査する感光体表面検査方法
を提供するものである。

【０００８】すなわち，所定の角度をもって円筒状の感
光体の表面へ投光し，投光され前記感光体の表面によっ
て反射あるいは拡散される光を受光する受光手段の受光
面を前記感光体の表面上の投光位置における接面と平行
に配置し，前記受光面に平行でかつ前記感光体の長手方
向に対し垂直方向に前記受光手段を移動させながら前記
受光手段により受光される受光量を検出し、前記受光手
段が移動する位置の変化量に対して、検出される前記受
光量が変化する受光変化量の比の極値を算出し、算出さ
れた前記極値を与える位置に基づいて前記受光手段の検
査位置を決定し、決定された前記検査位置へ前記受光手
段を移動し、移動された前記検査位置を基準にして前記
受光手段により受光された光に基づいて前記感光体の表
面を検査することができるので、感光体の直径値にかか
わらずほぼ一定値をとる受光変化量と移動変化量の比に
基づいて的確に受光手段の検査位置を決定して、有効な
表面検査ができる。

【０００９】また，請求項２に係る感光体表面検査方法
は，所定の角度をもって円筒状の感光体の表面へ投光
し，投光され前記感光体の表面によって反射あるいは拡
散される光を受光する受光手段の受光面を前記感光体の
表面上の投光位置における接面と平行に配置し，前記感
光体の長手方向を軸として前記受光手段を回動させなが
ら前記受光手段により受光される受光量を検出し、前記
受光手段が回動する回動角度の変化量に対して、検出さ
れる前記受光量が変化する受光変化量の比の極値を算出
し、算出された前記極値を与える回動角度に基づいて前
記受光手段の回動角度を決定し、決定された前記回動角
度に前記受光手段を回動し、回動された前記回動角度を
基準にして前記受光手段により受光された光に基づいて
前記感光体の表面を検査する感光体表面検査方法を提供
するものである。

【００１０】すなわち，所定の角度をもって円筒状の感
光体の表面へ投光し，投光され前記感光体の表面によっ
て反射あるいは拡散される光を受光する受光手段の受光
面を前記感光体の表面上の投光位置における接面と平行
に配置し，前記感光体の長手方向を軸として前記受光手
段を回動させながら前記受光手段により受光される受光
量を検出し、前記受光手段が回動する回動角度の変化量
に対して、検出される前記受光量が変化する受光変化量
の比の極値を算出し、算出された前記極値を与える回動
角度に基づいて前記受光手段の回動角度を決定し、決定
された前記回動角度へ前記受光手段を回動し、回動され
た前記回動角度を基準にして回動された前記受光手段に
より受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査す
ることができるので、感光体の直径値にかかわらずほぼ
一定値をとる受光変化量と回動角度変化量の比に基づい
て的確に受光手段の検査角度を決定して、有効な表面検
査ができる。

【００１１】また，請求項３に係る感光体表面検査方法
は，前記受光手段の位置あるいは角度を調整することに
より，明視野法を用いて欠陥を検出する感光体表面検査
方法を提供するものである。

【００１２】すなわち，前記受光手段の位置あるいは角
度を調整することにより，明視野法を用いて欠陥を検出
することができる。

【００１３】また，請求項４に係る感光体表面検査方法
は，前記受光手段の位置あるいは角度を調整することに
より，暗視野法および拡散光受光法を用いて欠陥を検出
する感光体表面検査方法を提供するものである。

【００１４】すなわち，前記受光手段の位置あるいは角
度を調整することにより，暗視野法および拡散前記受光
手段光受光法を用いて欠陥を検出することができる。

【００１５】また，請求項５に係る感光体表面検査方法
は，前記受光手段の位置あるいは角度を調整することに
より，暗視野法を用いて欠陥を検出する感光体表面検査
方法を提供するものである。

【００１６】すなわち，前記受光手段の位置あるいは角
度を調整することにより，暗視野法を用いて欠陥を検出
することができる。

【００１７】また，請求項６に係る感光体表面検査方法
は，前記感光体の径に基づいて前記受光手段を移動また
は回動させる感光体表面検査方法を提供するものであ
る。

【００１８】すなわち，前記感光体の径に基づいて前記
受光手段を移動または回動させることができる。

【００１９】また，請求項７に係る感光体表面検査装置
は，所定の角度をもって円筒状の感光体の表面へ投光す
る投光手段と，前記感光体の表面上の投光位置における
接面と平行に受光面を配置し，前記投光手段により投光
され前記感光体の表面によって反射あるいは拡散される
光を受光する受光手段と，前記受光面に平行でかつ前記
感光体の長手方向に対し垂直方向に前記受光手段を移動
させる移動手段と，前記受光手段が移動する位置の変化
量に対して、前記受光手段によって検出される前記受光
量が変化する受光変化量の比の極値を算出し、算出され
た前記極値を与える位置に基づいて検査位置を決定する
前記受光手段の検査位置決定手段と、前記検査位置決定
手段によって決定された前記検査位置へ、前記移動手段
によって移動された前記受光手段により受光された光に
基づいて前記感光体の表面を検査する検査手段とを備え
た感光体表面検査装置を提供するものである。

【００２０】すなわち，投光手段が所定の角度をもって
円筒状の感光体の表面へ投光し，受光手段が前記感光体
の表面上の投光位置における接面と平行に受光面を配置
し，前記投光手段により投光され前記感光体の表面によ
って反射あるいは拡散される光を受光し，移動手段が前
記受光面に平行でかつ前記感光体の長手方向に対し垂直
方向に前記受光手段を移動させ，位置決定手段が、前記
受光手段が移動する位置の変化量に対して、前記受光手
段によって検出される前記受光量が変化する受光変化量
の比の極値を算出し、算出された前記極値を与える位置
に基づいて検査位置を決定し、検査手段が前記移動手段
により決定された前記検査位置へ移動された前記受光手
段により受光された光に基づいて前記感光体の表面を検
査することができるので、感光体の直径値にかかわらず
ほぼ一定値をとる受光変化量と移動変化量の比に基づい
て的確に受光手段の検査位置を決定して、有効な表面検
査ができる。

【００２１】また，請求項８に係る感光体表面検査装置
は，所定の角度をもって円筒状の感光体の表面へ投光す
る投光手段と，前記感光体の表面上の投光位置における
接面と平行に受光面を配置し，前記投光手段により投光
され前記感光体の表面によって反射あるいは拡散される
光を受光する受光手段と，前記感光体の長手方向を軸と
して前記受光手段を回動させる回動手段と，前記受光手
段が回動する角度の変化量に対して、前記受光手段によ
って検出される前記受光量が変化する受光変化量の比の
極値を算出し、算出された前記極値を与える回動角度に
基づいて前記受光手段の回動角度を決定する検査角度決
定手段と、前記検査角度決定手段によって決定された前
記回動角度へ、前記回動手段によって回動された前記受
光手段により受光された光に基づいて前記感光体の表面
を検査する検査手段とを備えた感光体表面検査装置を提
供するものである。

【００２２】すなわち，投光手段が所定の角度をもって
円筒状の感光体の表面へ投光し，受光手段が前記感光体
の表面上の投光位置における接面と平行に受光面を配置
し，前記投光手段により投光され前記感光体の表面によ
って反射あるいは拡散される光を受光し，回動手段が前
記感光体の長手方向を軸として前記受光手段を回動さ
せ，検査角度決定手段が、前記受光手段が回動する角度
の変化量に対して、前記受光手段によって検出される前
記受光量が変化する受光変化量の比の極値を算出し、算
出された前記極値を与える回動角度に基づいて回動角度
を決定し、検査手段が前記回動手段により決定された前
記回動角度に、前記回動手段によって回動された前記受
光手段により受光された光に基づいて前記感光体の表面
を検査するので、感光体の直径値にかかわらずほぼ一定
値をとる受光変化量と回動角度の変化量の比に基づいて
的確に受光手段の検査角度を決定して、有効な表面検査
ができる。

【００２３】また，請求項９に係る感光体表面検査装置
は，正反射光を遮光するための遮光版を備えた感光体表
面検査装置を提供するものである。

【００２４】すなわち，遮光版が正反射光を遮光するこ
とができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下，この発明に係る装置の一実
施の形態について，〔実施の形態１〕，〔実施の形態
２〕，〔実施の形態３〕，〔実施の形態４〕，〔実施の
形態５〕，〔実施の形態６〕，〔実施の形態７〕の順で
図面を参照して詳細に説明する。

【００２６】〔実施の形態１〕 （感光体表面検査装置の構成）図１は，実施の形態１に
係る感光体表面検査装置の光学系の概要を示す説明図で
ある。また，図２は，図１に示す感光体表面検査装置の
光学系の概要を示す説明図を別の角度から見た図であ
る。図１，図２において，感光体表面検査装置の光学系
は，半径ｒ＝５０ｍｍ，長さ６０ｍｍである感光体ドラ
ム１０１と，光源としてのハロゲンランプ光源１０２と
光ファイバー１０３とライン光源１０４と，ライン光源
１０４から出射され，感光体ドラム１０１に反射あるい
は拡散した光を受光するためのカメラ１０５と，カメラ
１０５のレンズ１０６と，カメラ１０５内のＣＣＤライ
ンセンサ１０７とからなる。

【００２７】レンズ１０６は，Ｆ１．４，ｆ＝３５ｍｍ
のものを用いる。ただし，Ｆ４に絞るようにする。した
がって，レンズの入射瞳直径Ｄ＝ｆ／Ｆ＝３５／４＝
８．７５ｍｍとなる。また，ＣＣＤラインセンサ１０７
は，画素数が２０４８であり，１画素のサイズが１４×
１４μｍ（ＸＹ平面内での受光面幅２ｔ＝１４μｍ）で
あり，受光素子長が２８．６７ｍｍである。なお，ＣＣ
Ｄラインセンサ１０７の出力に基づいて図示しない欠陥
検査系が感光体１０１の表面上の欠陥の検査をおこなう
ものである。

【００２８】物体距離はＬ０＝５４０ｍｍとする。ま
た，光源Ａ０と感光体ドラム１０１の表面上の光源の照
射位置である原点Ｓ０との距離をＬ１＝６０ｍｍとし，
ライン光源１０４から出射された光が感光体ドラム１０
１に照射される際の入射角度をγ＝１８゜とする。した
がって，光源の位置Ａ０は， ｓ＝Ｌ１ｃｏｓγ＝６０ｃｏｓ１８゜＝５７．ｌｍｍ ｙ＝Ｌ１ｓｉｎγ＝６０ｓｉｎ１８゜＝１８．５ｍｍ となる。

【００２９】また，カメラ１０５の光軸方向にＸ軸を設
け，感光体ドラム１０１の円筒状被検物軸方向，すなわ
ち，ＣＣＤラインセンサ１０７のスキャン方向にＺ軸を
設ける。さらに，上記Ｘ軸およびＹ軸の２軸に直行する
方向にＹ軸を設ける。

【００３０】なお，カメラ１０５の移動は，図示しない
駆動手段（たとえば，サーボモータ等）によりおこなわ
れる。

【００３１】（強度分布の測定）はじめに，光源出射光
の２次元的な強度分布を測定する。図３は，光源出射光
の２次元的な強度分布の測定方法を示す説明図である。
図３において，３０１は光源であり，３０２はＣＣＤラ
インセンサである。光源３０１を中心にＣＣＤラインセ
ンサ３０２を１度ずつ回転させ，任意の１画素の出力を
確認する。

【００３２】図４は，光源出射光の２次元的な強度分布
の測定結果を示すグラフである。図４において，横軸に
は相対出力中心方向からのＣＣＤラインセンサ３０２の
角度δをとり，縦軸には相対出力ｙをとる。相対出力ｙ
は，最大強度を１００として，その相対強度をとるよう
にする。このグラフから明確なように，光源３０１には
一般的に広がりを有していることがわかる。

【００３３】（感光体表面検査装置の動作）図５，図
６，図７は，実施の形態１に係る感光体表面検査装置の
光学系の動作を示す説明図である。図５，図６，図７に
おいて，感光体ドラム１０１の表面を理想的な鏡面状態
と仮定して，ＸＹ平面内においてカメラ１０５の位置を
Ｙ軸方向にＨｍｍだけ変化させたときのカメラ１０５の
出力を考える。図５，図６，図７においては，Ｙ軸の下
方向を正方向とする。また，ここでは，ＸＹ平面内のみ
での光線を考えており，Ｚ軸方向の光の広がりは考慮し
ない。カメラ１０５の位置の移動には，たとえば，１軸
の光学ステージ等を用いる。さらに，レンズ１０６のフ
ォーカスは常にＹ軸に合わせておくようにする。

【００３４】図５に示すように，カメラ１０５の位置が
Ｈ＝０ｍｍとなるように配置をする。図５において，ラ
イン光源１０４の方向から角度δである１方向に出射し
た光は，感光体ドラム１０１の上のｈ１’で正反射して
レンズ１０６の入射瞳の上端へ向かう。この場合，レン
ズ１０６による横倍率βは，式（１）に示すようにな
る。

【００３５】 レンズによる横倍率β＝ラインセンサ受光素子長／視野範囲 （１） ＝２８．６７ｍｍ／３９０ｍｍ ＝０．０７３５１

【００３６】つぎに，受光面幅２ｔ＝１４μｍとする
と，式（１）より，レンズ１０６による横倍率β＝０．
０７３５１であるから，受光面内に結像できる反射光の
像高をＹ軸上で考えた場合に，その高さを±Ｔとする
と，式（２）のようになる。

【００３７】β＝ｔ／Ｔ （２） Ｔ＝ｔ／β ＝０．００７／０．０７３５１ ＝０．０９５２２ｍｍ ≒９５．２μｍ

【００３８】したがって，Ｙ軸上においてレンズ１０６
の光軸高さから±９５μｍの範囲を通過した反射光でな
ければ受光面内に結像できないことになる。すなわち，
図５において，カメラ１０５の位置がＨ＝０ｍｍである
場合，被検物上ｈｌ’からｈ２’の範囲で正反射した光
がＹ軸を横切る像高は，レンズ光軸が（Ｙ＝０）±９５
μｍから大きく外れているので，これらの正反射光は受
光面内に結像することができないものである。

【００３９】つぎに，図６に示すように，カメラ１０５
を移動して，カメラ１０５の位置がＨ＝−５．６０ｍｍ
となるように配置をする。図６において，感光体ドラム
１０１上ｈ１’からｈ２’の範囲で正反射した光がＹ軸
を横切る像高は，レンズ１０６の光軸が（Ｙ＝０）±９
５μｍの範囲に入っているため，これらの正反射光は受
光面内に結像することができる。

【００４０】さらに，図７に示すように，カメラ１０５
を再び移動して，カメラ１０５の位置がＨ＝−２０ｍｍ
となるように配置をした場合に，再び感光体ドラム１０
１上ｈ１’からｈ２’の範囲で正反射した光がＹ軸を横
切る像高は，レンズ１０６の光軸（Ｙ＝０）±９５μｍ
から大きく外れてしまい，これらの正反射光は受光面内
に結像することができない。

【００４１】以上のように感光体ドラム１０１の表面を
理想的な鏡面状態と考えると，Ｙ軸に平行にカメラ１０
５を移動させた場合，反射光を受光できる範囲は非常に
狭い範囲であることがわかる。

【００４２】図８は，カメラ１０５の位置による相対出
力のシュミレーション結果を示すグラフである。図８に
おいて，横軸にはカメラ１０５の位置Ｈをとり，縦軸に
は相対出力ｌをとる。比較をするために，感光体ドラム
１０１の半径がｒ＝５０ｍｍの場合とｒ＝１３ｍｍの場
合の結果を示す。出力が得られる範囲は，ｒ＝５０ｍｍ
の場合は０．４８ｍｍの範囲であり，一方，ｒ＝１３ｍ
ｍの場合は０．２９ｍｍと非常に狭い範囲となる。ま
た，ｒ＝５０ｍｍに比べｒ＝１３ｍｍの場合は，最大強
度が低くなり，またその最大強度を示すカメラ１０５の
位置Ｈが原点に接近している。

【００４３】しかしながら，最大強度付近での出力変化
勾配を比較すると，ｒ＝５０ｍｍの場合の勾配はｍｌ＝
−５２６．３となり，一方，ｒ＝１３ｍｍのときの勾配
はｍ２＝−５３０となるので，両者にはあまり大差は生
じない。この勾配は感光体ドラム表面上の凹凸に対する
感度を示すものであり，その差が生じないということ
は，感光体ドラム１０１の径が変化しても凹凸に対する
感度変化が生じないことを示している。

【００４４】図９は，カメラ１０５の位置による出力変
化を測定した結果を示すグラフである。図９において，
横軸にはカメラ１０５の位置Ｈをとり，縦軸には相対出
力ｌをとる。測定は，ｒ＝５０ｍｍとｒ＝１３ｍｍの２
種類の感光体ドラム１０１を用いておこない，それぞれ
の感光体ドラム１０１におけるカメラ１０５の位置によ
る出力変化を測定した。ここでは，ｒ＝５０ｍｍでの最
大強度を１００とし，その相対値で示す。

【００４５】なお，Ｈ＝−１３ｍｍ以下において出力値
が急激に降下している。これは，カメラ１０５の位置Ｈ
をマイナス方向に移動していった場合に，図１の説明図
から明確なように，実際の配置では光源それ自身あるい
は取りつけ治具等が光路を遮ってしまうことが原因とな
る。したがって，実際にはピーク位置を中心にほぼ左右
対称になっているものである。

【００４６】相対出力ｌ＝１のときに仮想出力が１０Ｖ
となり，相対出力ｌ＝０．１のときに仮想出力が１Ｖと
なるように光量を調節したとすると，カメラ１０５の位
置がＨ＝０ｍｍから８ｍｍぐらいまでの範囲は出力が２
〜３Ｖ（飽和出力は５Ｖ）の間でほぼ一定になっている
ことがわかる。

【００４７】感光体ドラム１０１の半径がｒ＝１３ｍｍ
の場合は，カメラ１０５の位置がＨ＝１３ｍｍでほぼ出
力が０になる。これは，この位置までカメラ１０５を移
動するとＯＰＣがカメラ視野から外れてしまうためであ
り，その直前まで一定の出力が得られるものである。ま
た，シミュレーション結果と異なりこのように出力の得
られる範囲が裾広に広がっているのは，感光体ドラム１
０１の表面が理想的な鏡面状態ではなく拡散性を有して
いるためである。

【００４８】拡散性による出力を無視して最大強度付近
での広がりだけに着目した場合に，シミュレーションで
は，感光体ドラム１０１の半径がｒ＝５０ｍｍのときは
出力が得られる範囲は０．４８ｍｍであり，感光体ドラ
ム１０１の半径がｒ＝１３ｍｍのときは出力が得られる
範囲は０．２９ｍｍである。これに対し，測定結果にお
いては，共にｌｍｍ程度であり，出力が得られる範囲は
シュミレーションのが場合よりも広くなる。これはシミ
ュレーションでは感光体ドラムの軸方向の光の広がりを
考えていないためであると考えられる。

【００４９】つぎに，感光体ドラム１０１の径による違
いを考察すると，ｒ＝５０ｍｍの最大強度を示すカメラ
１０５の位置（Ｈ＝−３．９ｍｍ）の方が，ｒ＝１３ｍ
ｍの最大強度を示すカメラ１０５の位置（Ｈ＝−１．２
ｍｍ）よりも原点から離れている。また，その最大強度
はｒ＝５０ｍｍの方が高くなっているが，最大強度付近
での出力変化勾配はほぼ等しい。これはシミュレーショ
ンで得られた結果と同じ傾向である。但し，シミュレー
ションで予想されたピーク位置とのずれは，カメラ１０
５の角度のセッティング等の機械的な設置誤差が原因で
あると考えられる。

【００５０】以上のシミュレーションおよび測定結果
を，シミュレーション結果である図８と，測定結果であ
る図９のｒ＝５０ｍｍの結果を用いて比較検討する。測
定結果における最大強度付近での急激な出力変化はシミ
ュレーションで考えた正反射光の方向性によるものであ
る。さらに測定結果では，その両側に出力がほぼフラッ
トである部分が続いている。これはショミュレーション
では考慮に入れなかった感光体ドラム表面の拡散性によ
るものである。

【００５１】上述のシミュレーション結果と測定結果を
総合的に判断すると図１０に示しようになる。図１０
は，カメラ１０５の位置による相対出力の変化を示す説
明図である。図１０において，横軸にはカメラ１０５の
位置Ｈをとり，縦軸にはカメラ１０５の出力をとる。カ
メラ１０５の位置により，正反射光受光領域と拡散光受
光領域の２つに大きく分類できる。正反射光受光領域で
はシミュレーション結果とほぼ同じ挙動を示し，カメラ
１０５の位置の変化が微小であっても出力が大きく変化
する。一方，シミュレーションでは考慮しなかった拡散
光受光領域では出力の変動が小さい。また，最大強度を
示す位置はマイナス側に存在し，原点からその位置まで
の距離および最大強度は感光体ドラム直径が大きいほど
大きいが，出力変化勾配はドラム直径が異なってもあま
り変化しない。さらに，シミュレーション結果によると
正反射光受光領域の幅も感光体ドラム直径が大きいほど
大きいが，測定の結果でｌｍｍ程度であり，それほど大
きな差は生じない。

【００５２】また，カメラ１０５の位置プラス方向では
感光体ドラムがカメラ視野領域から外れてしまうＨ＝ｒ
で出力が０になり，マイナス方向では照明治具等により
反射光が遮られてしまうＨ＝−１５ｍｍ辺りで出力が０
になる。

【００５３】（実施の形態１の効果）前述したように実
施の形態１に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，カメラ１０５の位置を移動させることによりその出
力が変化する。これはカメラの設定位置により欠陥の検
出方法や検出能力が異なることを意味する。このよう
に，カメラ１０５の位置を調整することにより，各被検
物である感光体ドラムに適した光学系をセッティングす
ることができる。また，カメラ１０５の位置の移動はＹ
軸ステージのみによる調整であるので簡便であり，高い
再現性を得ることができる。

【００５４】〔実施の形態２〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態２
は，実施の形態１の構成においてカメラ１０５の位置を
移動させるかわりに，カメラ１０５の角度を回動させる
ことにより，実施の形態１と同様の作用効果を得るもの
である。なお，基本的な構成は実施の形態１と同様であ
り，同一符号は共通の構成を示すため，ここでは異なる
部分のみを説明する。

【００５５】図１１は，実施の形態２に係る感光体表面
検査装置の光学系の概要を示す説明図である。図１１に
おいて，カメラ１０５を感光体ドラム１０１の長手方向
を軸としてカメラ１０５が回転するような構成を備えた
回転ステージ等でカメラ１０５を回動させることによ
り，カメラ１０５のカメラ角度αを変化させた場合，式
（３）に従ってカメラ１０５の位置Ｈを変化させたこと
と等価的になる。すなわち，αとＨの関係を，αの変化
量を△α，Ｈの変化量を△Ｈとして，

【００５６】 △Ｈ＝Ｌ０ｔａｎ△α （３） ＝５４０ｔａｎ△α

【００５７】と考えると，カメラ１０５の角度αを変化
させた場合にもカメラ位置Ｈを変化させたときと同じ傾
向を示すことが考えられる。そこで，カメラ角度を変化
させたときの出力を，シュミレーションは省略して，実
験のみで確認をおこなった。

【００５８】なお，カメラ１０５の角度を変化させるた
めのカメラ１０５の回動は，図示しない駆動手段（たと
えば，サーボモータ等）によりおこなわれる。

【００５９】図１２は，カメラ１０５の角度による相対
出力を測定した結果を示すグラフである。図１２におい
て，横軸にはカメラ１０５の角度αをとり，縦軸には相
対出力ｌをとる。測定はｒ＝５０ｍｍとｒ＝１３ｍｍの
感光体ドラム１０１を用いておこない，それぞれの感光
体ドラム１０１におけるカメラ１０５の角度αによる出
力変化を測定した。ここでは，ｒ＝５０ｍｍでの最大強
度を１００としその相対値で示す。

【００６０】図１２の測定の結果から，カメラ１０５の
位置Ｈを変化させた場合の結果である図９の測定結果と
同様の傾向であることがわかる。このことから，カメラ
１０５の角度αを変化させる場合も，その調整により各
被検物に適した光学系をセッティングできることにな
る。

【００６１】（実施の形態２の効果）前述したように実
施の形態２に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，カメラ１０５の位置を調整するかわりにカメラ角度
を調整することにより，各被検物である感光体ドラム１
０１に適した光学系をセッティングすることができる。

【００６２】〔実施の形態３〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態３
における基本的な構成は，実施の形態１，実施の形態２
と同様であり，同一符号は共通の構成を示す。また，実
施の形態３においては，図１０におけるカメラ１０５の
位置がＨ＝ａ，すなわち，カメラ１０５の位置が正反射
光受光量域内に存在している場合について考える。

【００６３】図１３は，カメラ１０５の位置がＨ＝ａの
場合の明視野法の概要を示す説明図である。この方法
は，被検面からの正反射光を受光する方法であり，この
方法を用いることにより，第１および第２の２つの情報
を得ることができる。

【００６４】まず，第１の情報は正反射光の指向性ある
いは散乱性である。かりに，被検面である感光体ドラム
１０１の表面上にきず等による凹凸欠陥がある場合は，
正反射光の向きが変化し受光器であるカメラ１０５によ
っては受光されなくなるため，あるいは，欠陥により入
射光が散乱されるため，正常部よりも出力が低くなる。

【００６５】一方，被検面上に凹凸がなく正反射光が受
光器によって正しく受光された場合，その出力値が示す
ものは被検面の正反射率である。この正反射率が第２の
情報であり，この情報も検知することができる。この正
反射率は反射面の屈折率等に依存するため，欠陥があれ
ば当然その部分の屈折率が欠陥のない正常部分とは異な
るものである。

【００６６】正反射光の受光領域内にカメラ１０５をお
いた場合に，図１０から明確なように，カメラ１０５の
位置がわずかに変化しただけでも出力は大きく変化す
る。これは，感光体ドラム１０１上の凹凸に対する感度
が高いことを示している。すなわち，本実施の形態にお
ける明視野法は，凹凸欠陥に対する感度が高い検査方法
である。

【００６７】このように，明視野法を用いることによ
り，正反射光の指向性あるいは散乱性，および，正反射
率の２つの情報を検知することができ，正反射光の指向
性あるいは散乱性の違いから，凹凸欠陥やきず等の欠陥
を検査することができ，また，正反射の違いから，濃度
差欠陥，ムラ，汚れ，白ポチ，白斑点，黒ポチ等の欠陥
を検査することができる。

【００６８】（実施の形態３の効果）前述したように実
施の形態３に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，明視野法により感光体表面の検査をおこなうので，
凹凸欠陥等に対する高い感度による検査をおこなうこと
ができる。

【００６９】〔実施の形態４〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態４
における基本的な構成は，実施の形態１，実施の形態２
と同様であり，同一符号は共通の構成を示す。また，実
施の形態４においては，図１０におけるカメラ１０５の
位置がＨ＝ｂ，すなわち，カメラ１０５の位置が，拡散
光受光領域内における正反射光受光領域に近い場合につ
いて考える。

【００７０】図１４は，カメラ１０５の位置がＨ＝ｂの
場合の拡散光受光法の概要を示す説明図であり，図１５
は，カメラ１０５の位置がＨ＝ｂの場合の暗視野法の概
要を示す説明図である。図１４において，拡散光受光法
にあっては，正反射光の影響，すなわち，表面光沢の影
響を受けることなく，表面の拡散反射率（色）を測定す
ることができる。したがって，この方法ではムラや汚れ
さらには白ポチ，白斑点，男ポチ等の濃度差欠陥を正常
部分との濃度差という観点から検知することができる。
この方法は，拡散性のある被検物にのみ適用でき，ま
た，指向性のない（あるいは全方向性の）拡散光を受光
する方法であるので，正反射光さえ遮ることができれ
ば，どの方向からでも同じように観測することが可能で
あり，被検物自体の形状による影響も少ない。また，こ
の領域での出力のフラットネスは主に表面の拡散性によ
って決定する。すなわち，拡散性が強いほどフラットに
なるものである。

【００７１】また，図１５において，暗視野法にあって
は，正反射光の指向性あるいは散乱性を判断するもので
あり，表面の凹凸の有無を検知することができる。正常
部分では受光器が光を受光することはないが，きず等が
あると正反射光が受光器の方へ偏向されるため，あるい
は，入射光が散乱されるため，欠陥出力が得られる。凹
凸欠陥に対する感度は最大強度位置での出力変化勾配ｍ
および最大強度位置からカメラ１０５の設定位置までの
間隔によって決定する。

【００７２】実施の形態３の方法にあっては，凹凸欠陥
に対する検出感度は非常に高く，その反面，指向性の高
い正反射光を利用しているので回転軸振れ，感光体ドラ
ム１０１の表面の振動の影響を大きく受けるものであ
る。そのためシステム設計の段階でそれらの影響を取り
除くために，感光体ドラム１０１の回転駆動系，集光方
法，光源の改良等に関する工夫が必要となる。

【００７３】一方，本実施の形態の方法にあっては，カ
メラ１０５の位置を調整し，それら回転軸振れ，感光体
ドラム１０１の表面の振動の悪影響を受けない範囲でカ
メラ１０５の位置を最大強度位置に接近させることによ
り暗視野法による凹凸欠陥に対する感度を持たせつつ，
さらに，拡散光受光法により濃度差欠陥を検出する。

【００７４】（実施の形態４の効果）前述したように実
施の形態４に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，拡散光受光法および暗視野法により感光体表面の検
査をおこなうので，カメラ１０５の位置を調整し，回転
軸振れ，感光体ドラム１０１の表面の振動等の悪影響を
受けない範囲でカメラ１０５の位置を正反射光受光量域
内に接近させることにより暗視野法による凹凸欠陥に対
する感度を持たせつつ，さらに拡散光受光法により濃度
差欠陥も検出することができる。

【００７５】〔実施の形態５〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態５
における基本的な構成は，実施の形態１，実施の形態２
と同様であり，同一符号は共通の構成を示す。また，実
施の形態５においては，図１０におけるカメラ１０５の
位置がＨ＝ｃ，すなわち，カメラ１０５の位置が，正反
射光受光領域から遠い場合について考える。

【００７６】図１６は，カメラ１０５の位置がＨ＝ｃの
場合の拡散光受光法の概要を示す説明図である。図１６
において，本実施の形態における拡散光受光法にあって
は，実施の形態４における拡散受光方法と比較した場合
に，受光器の位置が正反射光受光位置から離れるため，
被検面上の凹凸に対する感度は低くなり，実施の形態４
において明るく光っていたきず等が光らなくなる。すな
わち，凹凸欠陥による正反射光あるいは散乱光は受光で
きなくなり，被検物からの拡散光のみを受光することに
なる。したがって，濃度差欠陥のみを検出できる。一
方，凹凸欠陥を正反射光の指向性あるいは散乱性という
観点からは検出できなくなる。しかし，屈折率等の差が
あれば濃度差欠陥として検出は可能である。

【００７７】また，この方法では回転軸振れ，感光体ド
ラム１０１表面の振動の悪影響を受ける可能性がなくな
り，システム設計時の負担が低減する。さらに，拡散光
受光法では図１６において出力がフラットな部分であれ
ば濃度差欠陥に対する感度に大差はないため，カメラ１
０５の位置の微妙な調整も必要ない。したがって，濃度
差欠陥のみを検出する場合，この方法が最適である。

【００７８】（実施の形態５の効果）前述したように実
施の形態５に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，正反射光受光領域からカメラ１０５の位置を遠ざけ
て感光体ドラム１０１の表面からの拡散光のみを受光す
ることにより，濃度差欠陥に対して高い検出感度を持た
せることができる。

【００７９】〔実施の形態６〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態６
における基本的な構成は，実施の形態１と同様であり，
同一符号は共通の構成を示す。

【００８０】実施の形態１において述べた結果より，感
光体ドラム１０１の径が異なる径（半径ｒｌおよび半径
ｒ２，ｒ１＞ｒ２）である場合に，それぞれの径のカメ
ラ１０５の位置による出力変化は図１７および図１８の
ようになる。図１７は，感光体ドラム１０１の半径がｒ
＝ｒ１の場合のカメラ１０５の位置による相対出力の変
化を示す説明図であり，図１８は，感光体ドラム１０１
の半径がｒ＝ｒ２の場合のカメラ１０５の位置による相
対出力の変化を示す説明図である。図１７および図１８
において，横軸にはカメラ１０５の位置Ｈをとり，縦軸
にはカメラ１０５の出力をとる。

【００８１】ここで，半径ｒｌの被検物に対して，実施
の形態４における検査方法を適用する。すなわち，図１
７に示すように，半径ｒｌの場合，最大強度位置をｄと
し，カメラ設定位置をｅとし，その間隔をｋｌとし，勾
配をｍｒｌとする。同様に，図１８に示すように，半径
ｒ２の場合，最大強度位置をｆとし，カメラ設定位置を
ｇとし，その間隔をｋ２とし，勾配をｍｒ２とする。

【００８２】カメラ１０５の位置では，まず，正反射光
の指向性から凹凸欠陥を検出することができる。その凹
凸欠陥に対する感度は，最大強度位置での出力変化勾配
が大きいほど高く，最大強度を示す位置とカメラ１０５
の設定位置の間隔が小さいほど高い。また，最大強度位
置での出力変化勾配は被検物の直径が変化しても差が生
じない。

【００８３】したがって，カメラ１０５の設定位置ｅ，
ｇを調節して最大強度位置とカメラ１０５の設定位置の
間隔を同一にする，すなわち，ｋｌ＝ｋ２とすれば，感
光体ドラム１０１の径に関わらず，凹凸欠陥に対する検
出能力を同じにすることができるものである。

【００８４】また，濃度差欠陥に対する検出能力は，表
面の性質によるものであり，感光体ドラム１０１自体の
形状にはあまり影響されないため，感光体ドラム１０１
の径が変化しても検出能力は同程度である。したがっ
て，感光体ドラム１０１の径に対応させてカメラ１０５
の位置を調整することにより，同程度の検出感度に設定
することが可能である。

【００８５】（実施の形態６の効果）前述したように実
施の形態６に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，感光体ドラム１０１の径に対応させてカメラ１０５
の位置を調整することにより，感光体ドラム１０１の径
に関係なく常に同等の検出感度に設定することができ
る。

【００８６】〔実施の形態７〕 （感光体表面検査装置の構成および動作）実施の形態７
の基本的な構成は，実施の形態１，実施の形態２と同様
であり，同一符号は共通の構成を示すため，ここでは異
なる部分のみを説明する。図１９は，実施の形態７に係
る感光体表面検査装置の光学系を示す説明図である。図
１９において，１９０１は，正反射光を遮光するための
遮光版である。

【００８７】実施の形態４または実施の形態５における
検査方法を用いる場合のカメラ１０５の配置では正反射
光は受光されることはない。しかし，回転軸振れが生じ
た場合，あるいは，感光体ドラム１０１の表面の振動が
生じた場合，原点Ｓ０における正常部からの正反射光が
受光面内に結像されてしまうおそれがあり，結像された
正反射光が凹凸欠陥として検出されてしまうという問題
点が生じる。この問題点を防止するために，正反射光を
遮光する位置に遮光版１９０１を設置する。これにより
正常部からの正反射光が受光されることがなくなり，欠
陥信号のコントラストを向上させることができる。

【００８８】（実施の形態７の効果）前述したように実
施の形態７に係る感光体表面検査方法および装置によれ
ば，正常部からの正反射光を遮るための遮光版１９０１
を設置することにより，回転軸振れが生じた場合，ある
いは，感光体ドラム１０１の表面に振動が生じた場合で
あっても，欠陥検出精度を向上させることができる。特
に，暗視野法および拡散光受光法において効果を有す
る。

【００８９】

【発明の効果】以上説明したように，本発明の感光体表
面検査方法（請求項１）にあっては，所定の角度をもっ
て円筒状の感光体の表面へ投光し，投光され前記感光体
の表面によって反射あるいは拡散される光を受光する受
光手段の受光面を前記感光体の表面上の投光位置におけ
る接面と平行に配置し，前記受光面に平行でかつ前記感
光体の長手方向に対し垂直方向に前記受光手段を移動さ
せ，前記受光手段が移動する位置の変化量に対して、検
出される前記受光量が変化する受光変化量の比の極値を
算出し、算出された前記極値を与える位置に基づいて前
記受光手段の検査位置を決定し、決定された前記検査位
置へ前記受光手段を移動し、移動された前記検査位置を
基準にして前記受光手段により受光された光に基づいて
前記感光体の表面を検査し、感光体の直径値にかかわら
ずほぼ一定値をとる受光変化量と移動変化量の比に基づ
いて的確に受光手段の検査位置を決定して、有効な表面
検査することができるので，受光手段を１軸上に移動さ
せるだけで簡易に各被検物である感光体ドラムに適した
的確に光学系をセッティングすることができる。

【００９０】また，本発明の感光体表面検査方法（請求
項２）にあっては，所定の角度をもって円筒状の感光体
の表面へ投光し，投光され前記感光体の表面によって反
射あるいは拡散される光を受光する受光手段の受光面を
前記感光体の表面上の投光位置における接面と平行に配
置し，前記感光体の長手方向を軸として前記受光手段を
回動させ，前記受光手段が回動する回動角度の変化量に
対して、検出される前記受光量が変化する受光変化量の
比の極値を算出し、算出された前記極値を与える回動角
度に基づいて前記受光手段の回動角度を決定し、決定さ
れた前記回動角度へ前記受光手段を回動し、回動された
前記回動角度を基準にして回動された前記受光手段によ
り受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査し、
感光体の直径値にかかわらずほぼ一定値をとる受光変化
量と回動角度変化量の比に基づいて的確に受光手段の検
査位置を決定して、有効な表面検査することができるの
で，受光手段を回動させるだけで，各被検物である感光
体ドラムに適した光学系を的確にセッティングすること
ができる。

【００９１】また，本発明の感光体表面検査方法（請求
項３）にあっては，前記受光手段の位置あるいは角度を
調整することにより，明視野法を用いて欠陥を検出する
ことができるので，凹凸欠陥等に対する高い感度による
検査をおこなうことができる。

【００９２】また，本発明の感光体表面検査方法（請求
項４）にあっては，前記受光手段の位置あるいは角度を
調整することにより，暗視野法および拡散前記受光手段
光受光法を用いて欠陥を検出することができるので，カ
メラ１０５の位置を調整し，回転軸振れ，感光体ドラム
の表面の振動等の悪影響を受けない範囲でカメラの位置
を正反射光受光量域内に接近させ，凹凸欠陥に対する感
度を持たせつつ，濃度差欠陥を検出することができる。

【００９３】また，本発明の感光体表面検査方法（請求
項５）にあっては，前記受光手段の位置あるいは角度を
調整することにより，暗視野法を用いて欠陥を検出する
ことができるので，正反射光受光領域からカメラの位置
を遠ざけて感光体ドラムの表面からの拡散光のみを受光
することにより，濃度差欠陥に対して高い検出感度を持
たせることができる。

【００９４】また，本発明の感光体表面検査方法（請求
項６）にあっては，前記感光体の径に基づいて前記受光
手段を移動または回動させることができるので，感光体
ドラムの径に関係なく常に同等の検出感度に設定するこ
とができる。

【００９５】また，本発明の感光体表面検査装置（請求
項７）にあっては，投光手段が所定の角度をもって円筒
状の感光体の表面へ投光し，受光手段が前記感光体の表
面上の投光位置における接面と平行に受光面を配置し，
前記投光手段により投光され前記感光体の表面によって
反射あるいは拡散される光を受光し，移動手段が前記受
光面に平行でかつ前記感光体の長手方向に対し垂直方向
に前記受光手段を移動させ，位置決定手段が、前記受光
手段が移動する位置の変化量に対して、前記受光手段に
よって検出される前記受光量が変化する受光変化量の比
の極値を算出し、算出された前記極値を与える位置に基
づいて検査位置を決定し、検査手段が前記移動手段によ
り決定された前記検査位置へ移動された前記受光手段に
より受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査
し、感光体の直径値にかかわらずほぼ一定値をとる受光
変化量と移動変化量の比に基づいて的確に受光手段の検
査位置を決定して、有効な表面検査することができるの
で，受光手段を１軸上に移動させるだけで的確に簡易に
各被検物である感光体ドラムに適した光学系を的確にセ
ッティングすることができる。

【００９６】また，本発明の感光体表面検査装置（請求
項８）にあっては，投光手段が所定の角度をもって円筒
状の感光体の表面へ投光し，受光手段が前記感光体の表
面上の投光位置における接面と平行に受光面を配置し，
前記投光手段により投光され前記感光体の表面によって
反射あるいは拡散される光を受光し，回動手段が前記感
光体の長手方向を軸として前記受光手段を回動させ，検
査角度決定手段が、前記受光手段が回動する角度の変化
量に対して、前記受光手段によって検出される前記受光
量が変化する受光変化量の比の極値を算出し、算出され
た前記極値を与える回動角度に基づいて回動角度を決定
し、検査手段が前記回動手段により決定された前記回動
角度へ、前記回動手段によって回動された前記受光手段
により受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査
し、感光体の直径値にかかわらずほぼ一定値をとる受光
変化量と移動変化量の比に基づいて的確に受光手段の検
査位置を決定して、有効な表面検査することができるの
で，受光手段を回動させることにより，各被検物である
感光体ドラムに適した光学系を的確にセッティングする
ことができる。

【００９７】また，本発明の感光体表面検査装置（請求
項９）にあっては，遮光版が正反射光を遮光することが
できるので，回転軸振れが生じた場合，あるいは，感光
体ドラム表面に振動が生じた場合であっても，欠陥検出
精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１に係る感光体表面検査装置の光学
系の概要を示す説明図である。

【図２】図１に示す感光体表面検査装置の光学系の概要
を示す説明図を別の角度から見た図である。

【図３】光源出射光の２次元的な強度分布の測定方法を
示す説明図である。

【図４】光源出射光の２次元的な強度分布の測定結果を
示すグラフである。

【図５】実施の形態１に係る感光体表面検査装置の光学
系の概要を示す別の説明図である。

【図６】実施の形態１に係る感光体表面検査装置の光学
系の概要を示す別の説明図である。

【図７】実施の形態１に係る感光体表面検査装置の光学
系の概要を示す別の説明図である。

【図８】カメラの位置による相対出力のシュミレーショ
ン結果を示すグラフである。

【図９】カメラの位置による相対出力を測定した結果を
示すグラフである。

【図１０】カメラの位置による相対出力の変化を示す説
明図である。

【図１１】実施の形態２に係る感光体表面検査装置の光
学系の概要を示す説明図である。

【図１２】カメラの角度による相対出力を測定した結果
を示すグラフである。

【図１３】カメラの位置がＨ＝ａの場合の明視野法の概
要を示す説明図である。

【図１４】カメラの位置がＨ＝ｂの場合の拡散光受光法
の概要を示す説明図である。

【図１５】カメラの位置がＨ＝ｂの場合の暗視野法の概
要を示す説明図である。

【図１６】カメラの位置がＨ＝ｃの場合の拡散光受光法
の概要を示す説明図である。

【図１７】感光体ドラムの半径がｒ＝ｒ１の場合のカメ
ラの位置による相対出力の変化を示す説明図である。

【図１８】感光体ドラムの半径がｒ＝ｒ２の場合のカメ
ラの位置による相対出力の変化を示す説明図である。

【図１９】実施の形態７に係る感光体表面検査装置の光
学系を示す説明図である。

【符号の説明】

１０１ 感光体ドラム １０２ ハロゲンランプ光源 １０３ 光ファイバー １０４ ライン光源 １０５ カメラ １０６ レンズ １０７ ＣＣＤラインセンサ ３０１ 光源 ３０２ ＣＣＤラインセンサ １９０１ 遮光版

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の角度をもって円筒状の感光体の表
   面へ投光し， 投光され前記感光体の表面によって反射あるいは拡散さ
   れる光を受光する受光手段の受光面を前記感光体の表面
   上の投光位置における接面と平行に配置し，前記受光面
   に平行でかつ前記感光体の長手方向に対し垂直方向に前
   記受光手段を移動させながら前記受光手段により受光さ
   れる受光量を検出し、 前記受光手段が移動する位置の変化量に対して、検出さ
   れる前記受光量が変化する受光変化量の比の極値を算出
   し、算出された前記極値を与える位置に基づいて前記受
   光手段の検査位置を決定し、 決定された前記検査位置へ前記受光手段を移動し、移動
   された前記検査位置を基準にして 前記受光手段により受
   光された光に基づいて前記感光体の表面を検査すること
   を特徴とする感光体表面検査方法。
2. 【請求項２】 所定の角度をもって円筒状の感光体の表
   面へ投光し， 投光され前記感光体の表面によって反射あるいは拡散さ
   れる光を受光する受光手段の受光面を前記感光体の表面
   上の投光位置における接面と平行に配置し，前記感光体
   の長手方向を軸として前記受光手段を回動させながら前
   記受光手段により受光される受光量を検出し、 前記受光手段が回動する回動角度の変化量に対して、検
   出される前記受光量が変化する受光変化量の比の極値を
   算出し、算出された前記極値を与える回動角度に基づい
   て前記受光手段の回動角度を決定し、 決定された前記回動角度に前記受光手段を回動し、回動
   された前記回動角度を基準にして 前記受光手段により受
   光された光に基づいて前記感光体の表面を検査すること
   を特徴とする感光体表面検査方法。
3. 【請求項３】 請求項１あるいは２記載の感光体表面検
   査方法において，前記受光手段の位置あるいは角度を調
   整することにより，明視野法を用いて欠陥を検出するこ
   とを特徴とする感光体表面検査方法。
4. 【請求項４】 請求項１あるいは２記載の感光体表面検
   査方法において，前記受光手段の位置あるいは角度を調
   整することにより，暗視野法および拡散光受光法を用い
   て欠陥を検出することを特徴とする感光体表面検査方
   法。
5. 【請求項５】 請求項１あるいは２記載の感光体表面検
   査方法において，前記受光手段の位置あるいは角度を調
   整することにより，暗視野法を用いて欠陥を検出するこ
   とを特徴とする感光体表面検査方法。
6. 【請求項６】 請求項４記載の記載の感光体表面検査方
   法において，前記感光体の径に基づいて前記受光手段を
   移動または回動させることを特徴とする感光体表面検査
   方法。
7. 【請求項７】 所定の角度をもって円筒状の感光体の表
   面へ投光する投光手段と， 前記感光体の表面上の投光位置における接面と平行に受
   光面を配置し，前記投光手段により投光され前記感光体
   の表面によって反射あるいは拡散される光を受光する受
   光手段と， 前記受光面に平行でかつ前記感光体の長手方向に対し垂
   直方向に前記受光手段を移動させる移動手段と，前記受光手段が移動する位置の変化量に対して、前記受
   光手段によって検出される前記受光量が変化する受光変
   化量の比の極値を算出し、算出された前記極値を与える
   位置に基づいて検査位置を決定する前記受光手段の検査
   位置決定手段と、 前記検査位置決定手段によって決定された前記検査位置
   へ、前記移動手段によって 移動された前記受光手段によ
   り受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査する
   検査手段とを備えたことを特徴とする感光体表面検査装
   置。
8. 【請求項８】 所定の角度をもって円筒状の感光体の表
   面へ投光する投光手段と， 前記感光体の表面上の投光位置における接面と平行に受
   光面を配置し，前記投光手段により投光され前記感光体
   の表面によって反射あるいは拡散される光を受光する受
   光手段と， 前記感光体の長手方向を軸として前記受光手段を回動さ
   せる回動手段と，前記受光手段が回動する角度の変化量に対して、前記受
   光手段によって検出される前記受光量が変化する受光変
   化量の比の極値を算出し、算出された前記極値を与える
   回動角度に基づいて前記受光手段の回動角度を決定する
   検査角度決定手段と、 前記検査角度決定手段によって決定された前記回動角度
   へ、前記回動手段によって 回動された前記受光手段によ
   り受光された光に基づいて前記感光体の表面を検査する
   検査手段とを備えたことを特徴とする感光体表面検査装
   置。
9. 【請求項９】 請求項７または８記載の感光体表面検査
   装置において，正反射光を遮光するための遮光版を備え
   たことを特徴とする感光体表面検査装置。