JPH06294749A - 板ガラスの欠点検査方法 - Google Patents

板ガラスの欠点検査方法

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JPH06294749A
JPH06294749A JP8289193A JP8289193A JPH06294749A JP H06294749 A JPH06294749 A JP H06294749A JP 8289193 A JP8289193 A JP 8289193A JP 8289193 A JP8289193 A JP 8289193A JP H06294749 A JPH06294749 A JP H06294749A
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JP
Japan
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glass
defect
optical system
plate glass
brightness
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Application number
JP8289193A
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English (en)
Inventor
Naoki Noguchi
直樹 野口
Masaru Tanaka
優 田中
Mikio Kida
幹夫 木田
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Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 板ガラスの内部欠点のみを効率よく迅速に検
査することができる板ガラスの欠点検査方法を提供する
こと。 【構成】 板ガラス(1)の側端面からガラス内部に照
明を当て、板ガラス(1)の表面側から板ガラス(1)
の表面を撮像光学系(3)により撮像して一定面積当た
りの画像の明るさを検出し欠点判定を行なうようにし
た。また、板ガラス(1)の側端面からガラス内部に照
明を当て、板ガラス(1)の表面側から板ガラス(1)
の表面を撮像光学系(3)により撮像した画像の明るさ
と、表面を直接照明したときの画像の明るさとの比によ
って欠点判定を行なう。さらに板ガラス(1)の側端面
からガラス内部に照明を当て、板ガラス(1)の表面側
から板ガラス(1)の表面を撮像光学系(3)により撮
像して一定面積当たりの画像の明るさから欠点部分の位
置を検出し、当該検出位置を拡大光学系(5)にて精査
して欠点判定させた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、板ガラスの欠点、特
に、板ガラスの内部に存在する泡や異物等による欠点を
検査する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】板ガラスの欠点には、泡や異物等の内部
欠点と、キズ、凹凸、ダスト等の付着といった外部欠点
とがあり、これらの欠点のうち、外部欠点については、
洗浄や研磨などを行なうことにより良品として再生させ
ることができる。しかし、内部欠点については、再生が
不可能な場合が多い。そこで、内部欠点か外部欠点かを
区別して検査する必要がある。
【0003】従来提供されている板ガラスの欠点検査装
置としては、例えば、特開昭51−1184号公報に記
載のように、板ガラスの表面から法線に対して所定の入
射角でレーザビームを投射させて表面を走査させ、一方
の面側に反射光用受光器を設置し、他方の面側に透過光
用受光器を設置して、反射光または透過光を検出するこ
とにより板ガラスの欠点を自動的に検査する方式のもの
が多い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の如く反射光また
は透過光を検出する方式は、板ガラスの内部欠点のみな
らず表面に付着しているダスト等の外部欠点をも検出す
ることになり、これらを区別することができないという
問題点があった。
【0005】本発明は、従来技術の上記問題点に鑑みて
提案されたもので、その目的とするところは、板ガラス
の内部欠点と外部欠点とを区別して、特に内部欠点を効
率よく迅速に検査することができる板ガラスの欠点検査
方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願の第1発明は、板ガラスの側端面からガラス内
部に照明を当て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラ
スを撮像光学系により撮像して一定面積当たりの画像の
明るさを検出して欠点を判定するようにしたものであ
る。
【0007】また、本願の第2発明は、板ガラスの側端
面からガラス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側
から当該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積
当たりの画像の明るさを検出し、これとは別に、当該板
ガラスの表面に照明を当て、この状態での当該板ガラス
を撮像光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明
るさを検出し、両者の検出値の比によって欠点を判定す
るようにしたものである。
【0008】さらに、本願の第3発明は、板ガラスの側
端面からガラス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面
側から当該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面
積当たりの画像の明るさから欠点部分の位置を検出し、
当該検出位置を上記撮像光学系よりも倍率の大きい撮像
光学系により撮像して欠点を判定するようにしたもので
ある。
【0009】本願の第4発明は、板ガラスの側端面から
ガラス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側から当
該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当たり
の画像の明るさを検出し、これとは別に、当該板ガラス
の表面に照明を当て、この状態での当該板ガラスを撮像
光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを
検出し、両者の検出値の比によって欠点部分の位置を検
出し、当該検出位置を上記撮像光学系よりも倍率の大き
い撮像光学系により撮像して欠点を判定するようにした
ものである。
【0010】本願の第5発明は、板ガラスの表面に照明
を当て、その透過光画像を撮像光学系により撮像して、
一定面積当たりの画像の明るさから欠点の有無を検出
し、欠点の存在により、当該板ガラスの側端面からガラ
ス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側から当該板
ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当たりの画
像の明るさから欠点を判定するようにしたものである。
【0011】本願の第6発明は、板ガラスの表面に照明
を当て、その透過光画像を撮像光学系により撮像して、
一定面積当たりの画像の明るさから欠点の有無を検出
し、欠点の存在により、当該板ガラスの側端面からガラ
ス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側から当該板
ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当たりの画
像の明るさを検出し、これとは別に、当該板ガラスの表
面に照明を当て、この状態での当該板ガラスを撮像光学
系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを検出
し、両者の検出値の比によって欠点を判定するようにし
たものである。
【0012】本願の第7発明は、板ガラスの表面をレー
ザービームで走査し、欠点からの散乱光を光検出器で検
出して、欠点の有無を検出し、欠点の存在により、当該
板ガラスの側端面からガラス内部に照明を当て、当該板
ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像光学系により撮
像して一定面積当たりの画像の明るさを検出して欠点を
判定するようにしたものである。
【0013】本願の第8発明は、板ガラスの表面をレー
ザービームで走査し、欠点からの散乱光を光検出器で検
出して、欠点の有無を検出し、欠点の存在により、当該
板ガラスの側端面からガラス内部に照明を当て、当該板
ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像光学系により撮
像して一定面積当たりの画像の明るさを検出し、これと
は別に、当該板ガラスの表面に照明を当て、この状態で
の当該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当
たりの画像の明るさを検出し、両者の検出値の比によっ
て欠点を判定するようにしたものである。
【0014】
【作用】板ガラスの側端面からガラス内部に照明を当て
ると、光は板ガラス内外の媒質差によりその境界面とな
る上下面で略全反射しながら他端に向けて伝播し、途中
に泡や異物等の内部欠点があると、そこで光が乱反射す
るため、これを板ガラスの表面側から観測すると、明る
く輝いて見える。板ガラスの表面に外部欠点(ダスト、
キズ、凹凸等)が存在する場合、板ガラスの側端面から
の照明が漏洩光となり外部欠点も光って見えるが、明る
さを比較する一定面積以下の範囲内では内部欠点の明る
さに比べて暗く見える。
【0015】そこで、第1発明は、板ガラスを側端面か
ら照射して一定面積当たりの明るさを検知して欠点判定
を行なうものである。
【0016】第2発明は、同一欠点を側端面からの照明
で撮像した撮像画像の明るさと、表面を直接照明したと
きの撮像画像の明るさとの比を比べると、外部欠点の場
合は非常に小さく、内部欠点の場合は大きい。この比の
大きさが一定値以上あるかどうかで内部欠点か外部欠点
かの判定を行なうものである。
【0017】第3発明は、始めに側端面から照明を当
て、板ガラスの表面側から撮像光学系により撮像して、
一定面積当たりの画像の明るさが一定値をこえる部分を
精査する欠点として検出して、その検出位置を拡大光学
系により撮像して、欠点の大きさや形状等についての精
確な検査を行なうものである。
【0018】第4発明は、第2発明の方法で欠点部分の
位置を検出し、その検出位置を拡大光学系により撮像し
て、欠点の寸法や形状等についての精確な検査を行なう
ものである。
【0019】第5発明は、板ガラスの表面に照明を当
て、その透過光画像を撮像光学系により撮像して一定面
積当たりの画像の明るさから欠点の有無を先ず検出し、
欠点の存在により第1発明の方法で欠点判定を行なうも
のである。
【0020】第6発明は、板ガラスの表面から照明を当
て、その透過光画像を撮像光学系により撮像して一定面
積当たりの画像の明るさから欠点の有無を先ず検出し、
欠点の存在により第2発明の方法で欠点判定を行なうも
のである。
【0021】第7発明は、板ガラスの表面をレーザービ
ームで走査し、欠点からの散乱光を光検出器で検出し
て、欠点の有無を検出し、欠点の存在により、第1発明
の方法で欠点判定を行なうものである。
【0022】第8発明は、板ガラスの表面をレーザービ
ームで走査し、欠点からの散乱光を光検出器で検出し
て、欠点の有無を検出し、欠点の存在により、第2発明
の方法で欠点判定を行なうものである。
【0023】
【実施例】図1は本願の第1発明の検査方法説明図、図
2は本願の第2発明の検査方法説明図、図3は本願の第
3発明の検査方法説明図、図4は本願の第4発明の検査
方法説明図、図5は本願の第5発明の検査方法説明図、
図6は本願の第6発明の検査方法説明図、図7は本願の
第7発明の検査方法説明図、図8は本願の第8発明の検
査方法説明図、図9は内部欠点の検査原理説明図、図1
0は一定面積当たりの内部欠点と外部欠点であるダスト
との明るさの比較説明用グラフである。
【0024】先ず、本願の第1発明は、図1に示すよう
に、板ガラス(1)の側端面からガラス内部に照射光源
(2)によって照明を当て、板ガラス(1)の表面側か
ら板ガラス(1)の表面を撮像光学系(3)により撮像
してその画像信号を処理し、一定面積当たり例えば、3
00μm四角以下の明るさを比較する一定面積当たりの
欠点部分の明るさが、ある一定値以上であるかどうかで
欠点判定を行なうようにしたものである。照射光源
(2)は、図9に示すように、例えば、ハロゲンランプ
(2a)が使用され、板ガラス(1)の側端面以外への
光の漏洩を防止するため遮光スリットまたは遮光カバー
(2b)が設置されている。このように板ガラス(1)
の側端面から照明を当てると、光(a)は、板ガラス
(1)の内外の媒質差によりその境界面となる上下面で
略全反射しながら他端に向けて伝播する。しかし、途中
に泡や異物等の内部欠点(b)があると、そこで光
(a)が乱反射するため、この乱反射光の一部が板ガラ
ス(1)の上下面から外部に出る。これを撮像光学系
(3)により撮像する。この撮像光学系(3)は、30
0μm四角以下の解像限界を持つ撮像系例えば、CCD
カメラを使用する。この画像信号を処理し、300μm
四角以下の明るさを比較する一定面積当たりの明るさが
一定値以上の部分があるか否かを検出させ、無ければ良
品とし、有れば不良品と判定する。上記300μm四角
以下の一定面積当たりの明るさで判定する理由は次の通
りである。即ち、側端面からの照明の場合でも、板ガラ
ス(1)の表面上の外部欠点であるダストもガラス内外
の洩れた光のためにある程度は光る。特に、ダストの面
積が大きい場合はダストにより乱反射する散乱光総量は
内部欠点からの散乱光総量を上回ることもある。
【0025】しかし、このようなダストも例えば、30
0μm四角以下の面積に分けて一定面積当たりの明るさ
で比較すると、内部欠点(b)よりも暗くなる。この明
るさを比較する一定面積の大きさを測定対象としている
内部欠点(b)の光っている部分の大きさにまで小さく
してやると、図10に示すように、明るさのもっとも大
きな差が得られ判別が容易となる。しかし、この明るさ
比較のための一定面積を小さくすることは、撮像光学系
(3)の倍率を高くする、即ち、光学系の視野を狭くす
ることとなり、多数の撮像光学系(3)を並べる必要が
出てくる。このことはコストを高くするため、必要以上
に比較面積を小さくすることは望ましくない。
【0026】従って、明るさを比較する一定面積をいく
らにするかは、欠点判定すべき対象により選ぶべきであ
る。例えば、 対象欠点 明るさ比較の一定面積 100μm以上の欠点 200〜300μm四角 50μm以上の欠点 100〜200μm四角 対象欠点がさらに小さくなれば、明るさ比較のための一
定面積はさらに小さくしなければならない。
【0027】以上が本願の第1発明である。
【0028】上述のように、判定すべき欠点対象が小さ
くなると明るさ比較のための一定面積が小さくなりすぎ
て、撮像光学系(3)の配置等に困難を生じる。
【0029】このようなとき、側端面からの照明による
撮像画像の明るさと、表面に照明を当てることによる反
射画像の明るさとの比を欠点判定に用いると、撮像光学
系(3)の分解能を上げずに済む。
【0030】第2発明では、図2に示すように、板ガラ
ス(1)の側端面から照明して板ガラス(1)内部に光
(a)を導入する照明系、即ち、照射光源(2)と、板
ガラス(1)の表面を直接照明する照明系(4)と、ま
た、板ガラス(1)の表面を撮像する光学系(3)を用
意する。そして、側端面照明のみによる撮像画像の一定
面積当たりの像の明るさと、側端面照明をせずに板ガラ
ス(1)の表面を直接照射して同一または同様の撮像光
学系(3)にて撮像した反射光画像の一定面積当たりの
像の明るさとの比が一定値以上あるかどうかで欠点判定
を行なう方法である。
【0031】即ち、表面上のダストの場合、側端面から
板ガラス(1)の内部を照明したときに得られる撮像画
像の明るさは、洩れ光に基づくものであるので、板ガラ
ス(1)の表面を直接照明したときに得られる撮像画像
に比べると極めて暗い。一方、板ガラス(1)内部の欠
点の場合、側端面から板ガラス(1)の内部を照明した
ときに得られる撮像画像の明るさは、板ガラス(1)の
表面を直接照明したときに得られる撮像画像の明るさと
比べてもあまり変わらない。
【0032】従って、同一欠点を側端面からの照明で撮
像した撮像画像の明るさと、表面を直接照明したときの
撮像画像の明るさとの比を比べると、外部欠点であるダ
ストの場合は非常に小さく、内部欠点(b)の場合は大
きい。この比の大きさが一定値以上あるかどうかで内部
欠点か外部欠点かを判定することができる。
【0033】この方法の場合は、第1発明と異なり感度
さえあれば、明るさを比較する面積の大きさにはあまり
依存しない。従って、撮像光学系(3)に要求される分
解能は、第1発明に比べると粗い物でよい。但し、照明
系は2ついるが、撮像光学系(3)の数は少なくて済
む。
【0034】次に、欠点の検査の場合には、欠点の種類
とともにその大きさや形状を検査する必要がある場合が
ある。例えば、泡、異物等は、その大きさで良否の判定
が異なる。こうした欠点の大きさや形状を精確に検査す
るには、その大きさに対応した拡大光学系(顕微鏡系)
が必要であるが、大きな板ガラス(1)の全面をこの拡
大光学系で走査することは多くの時間を必要とする。
【0035】そこで、第3発明では、図3に示すよう
に、第1段階で始めに板ガラス(1)の側端面から照明
を当て、表面側から撮像光学系(3)により撮像して、
その画像の一定面積当たりの明るさが一定値をこえる部
分を精査する欠点として検出して、次に第2段階でその
検出位置を拡大光学系(5)により撮像して精確な検査
を行なう。この場合、板ガラス(1)の反対側に照射光
源(6)を設置し、透過光に基づく画像を処理すること
により検出させるものである。また、上記第1段階での
撮像光学系(3)の撮像画像を処理して精査する必要の
ある欠点部分の位置を検出し、この位置へ第2段階の拡
大光学系(5)と板ガラス(1)の何れかをサーボモー
タ等により2次元的に制御移動させるものである。第1
段階の撮像光学系(3)の倍率は、例えば、1/10と
され、第2段階の拡大光学系(5)の倍率は、例えば、
5倍とされる。
【0036】また、第4発明は、図4に示すように、板
ガラス(1)の側端面からガラス内部に照明を当て、当
該板ガラス(1)の表面側から当該板ガラス(1)を撮
像光学系(3)により撮像して一定面積当たりの画像の
明るさを検出し、これとは別に、当該板ガラス(1)の
表面に照明を当て、この状態での当該板ガラス(1)を
撮像光学系(3)により撮像して一定面積当たりの画像
の明るさを検出し、両者の検出値の比によって精査すべ
き欠点部分の位置を検出し、当該検出位置を上記撮像光
学系(3)よりも倍率の大きい拡大光学系(5)により
撮像して欠点の大きさや形状についての精確な検査をし
て欠点判定を行なうものである。
【0037】こうした拡大光学系(5)による精確な検
査を行なう必要のある欠点場所は、1枚の板ガラス
(1)当たり、多くて数箇所であり、もちろん欠点場所
のない板ガラス(1)も多い。即ち、第3発明、第4発
明は、高速で、かつ、精確な欠点検査方法を提供してい
る。
【0038】また、板ガラス(1)の欠点の中でキズ
は、許容大きさが極めて小さく、かつ、光の散乱能力が
弱いため、キズを検査する場合は、できる限り検出感度
を高める方法が用いられる。
【0039】例えば、照明系にも数万ルクスから数十万
ルクスのハロゲンランプ光源や、レーザービーム光源を
表面から照射して用いる必要があり、第1発明又は第2
発明の側端面からの照明による撮像検査では広い板ガラ
ス(1)の中からの検出は困難である。
【0040】またこれらのキズを対象とした一般の検出
方法では、キズの大きさの検査も、他の板ガラス(1)
の内部欠点(b)との区別も散乱光の強さと、散乱光の
角度から判定するため精確さが不十分である。
【0041】そこで、第5発明では、図5に示すよう
に、板ガラス(1)の表面に照射光源(6)により照明
を当て、その透過光画像を撮像光学系(3)により撮像
して、一定面積当たりの画像の明るさから欠点の有無を
検出し、欠点の存在により、後は第1発明の方法で欠点
の判定を行なうものである。
【0042】また、第6発明は、図6に示すように、第
1段階を第5発明の第1段階と同様に板ガラス(1)の
表面に照射光源(6)により照明を当て、その透過光画
像を撮像光学系(3)により撮像して、一定面積当たり
の画像の明るさから欠点の有無を検出し、欠点の存在に
より、後は第2発明の方法で欠点判定を行なうものであ
る。
【0043】上記欠点の判定は、その欠点場所を拡大光
学系(5)により撮像し、板ガラス(1)の側端面より
照明し、欠点部分に光を導入し、拡大光学系(5)にて
撮像した撮像画像の一定面積当たりの明るさの比較によ
り内部欠点か外部欠点かを判定するようにしてもよい。
【0044】第7発明では、図7に示すように、板ガラ
ス(1)の表面をレーザー走査装置(7)のレーザービ
ームで走査し、欠点からの散乱光(反射光)を光検出器
(8)で検出して、欠点の有無を検出し、欠点の存在に
より、後は、第1発明の方法で欠点判定を行なわせたも
のである。上記レーザー走査装置(7)は、例えば、レ
ーザー発生装置(7a)が発生するレーザービームを振
動型のスキャナミラー(7b)と一定方向に回転するポ
リゴンミラー(7c)とで反射させて板ガラス(1)の
表面全域を走査させるものである。
【0045】第8発明は、図8に示すように、板ガラス
(1)の表面を上記図7と同様なレーザー走査装置
(7)のレーザービームで走査し、欠点からの散乱光を
光検出器(8)で検出して、欠点の有無を検出し、欠点
の存在により、後は、第2発明の方法で欠点判定を行な
わせたものである。
【0046】さらに、板ガラス(1)の表面をレーザー
走査装置(7)のレーザービームで走査し、欠点からの
散乱光を光検出器(8)で検出して、欠点の有無を検出
し、この後、必要に応じて表面を照明して拡大光学系
(5)にて撮像し、その像の一定面積当たりの像の明る
さと、前記側端面から照明したときの像の一定面積当た
りの明るさとの比より、内部欠点か、外部欠点かを判定
するようにしてもよい。この場合は、拡大光学系(5)
を用いているため、像の明るさ比較のための面積が極め
て小さく、小さな内部欠点に対しても精確な判定ができ
る。またさらに、同じ拡大光学系(5)を用いて、欠点
の精確な大きさ測定も可能である。
【0047】上記各発明において、外部欠点と区別して
内部欠点(b)を検出させ、一定値以上の大きさの欠点
が無ければ良品とし、有れば不良品としてカレット化さ
れる。そして、外部欠点の場合では洗浄工程或いは研磨
工程へ送って再生処理させるものである。
【0048】
【発明の効果】本発明によれば、板ガラスの内部欠点を
外部欠点と区別して効率よく簡単迅速に検査することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願の第1発明の検査方法説明図。
【図2】本願の第2発明の検査方法説明図。
【図3】本願の第3発明の検査方法説明図。
【図4】本願の第4発明の検査方法説明図。
【図5】本願の第5発明の検査方法説明図。
【図6】本願の第6発明の検査方法説明図。
【図7】本願の第7発明の検査方法説明図。
【図8】本願の第8発明の検査方法説明図。
【図9】内部欠点の検査原理説明図。
【図10】一定面積当たりの内部欠点と外部欠点である
ダストとの明るさの比較説明用グラフ。
【符号の説明】
1 板ガラス 2、4、6 照射光源 3、5 撮像光学系 a 光 b 内部欠点

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 板ガラスの側端面からガラス内部に照明
    を当て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像
    光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを
    検出して欠点を判定することを特徴とする板ガラスの欠
    点検査方法。
  2. 【請求項2】 板ガラスの側端面からガラス内部に照明
    を当て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像
    光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを
    検出し、これとは別に、当該板ガラスの表面に照明を当
    て、この状態での当該板ガラスを撮像光学系により撮像
    して一定面積当たりの画像の明るさを検出し、両者の検
    出値の比によって欠点を判定することを特徴とする板ガ
    ラスの欠点検査方法。
  3. 【請求項3】 板ガラスの側端面からガラス内部に照明
    を当て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像
    光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさか
    ら欠点部分の位置を検出し、当該検出位置を上記撮像光
    学系よりも倍率の大きい撮像光学系により撮像して欠点
    を判定することを特徴とする板ガラスの欠点検査方法。
  4. 【請求項4】 板ガラスの側端面からガラス内部に照明
    を当て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像
    光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを
    検出し、これとは別に、当該板ガラスの表面に照明を当
    て、この状態での当該板ガラスを撮像光学系により撮像
    して一定面積当たりの画像の明るさを検出し、両者の検
    出値の比によって欠点部分の位置を検出し、当該検出位
    置を上記撮像光学系よりも倍率の大きい撮像光学系によ
    り撮像して欠点を判定することを特徴とする板ガラスの
    欠点検査方法。
  5. 【請求項5】 板ガラスの表面に照明を当て、その透過
    光画像を撮像光学系により撮像して、一定面積当たりの
    画像の明るさから欠点の有無を検出し、欠点の存在によ
    り、当該板ガラスの側端面からガラス内部に照明を当
    て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像光学
    系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさから欠
    点を判定することを特徴とする板ガラスの欠点検査方
    法。
  6. 【請求項6】 板ガラスの表面に照明を当て、その透過
    光画像を撮像光学系により撮像して、一定面積当たりの
    画像の明るさから欠点の有無を検出し、欠点の存在によ
    り、当該板ガラスの側端面からガラス内部に照明を当
    て、当該板ガラスの表面側から当該板ガラスを撮像光学
    系により撮像して一定面積当たりの画像の明るさを検出
    し、これとは別に、当該板ガラスの表面に照明を当て、
    この状態での当該板ガラスを撮像光学系により撮像して
    一定面積当たりの画像の明るさを検出し、両者の検出値
    の比によって欠点を判定することを特徴とする板ガラス
    の欠点検査方法。
  7. 【請求項7】 板ガラスの表面をレーザービームで走査
    し、欠点からの散乱光を光検出器で検出して、欠点の有
    無を検出し、欠点の存在により、当該板ガラスの側端面
    からガラス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側か
    ら当該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当
    たりの画像の明るさを検出して欠点を判定することを特
    徴とする板ガラスの欠点検査方法。
  8. 【請求項8】 板ガラスの表面をレーザービームで走査
    し、欠点からの散乱光を光検出器で検出して、欠点の有
    無を検出し、欠点の存在により、当該板ガラスの側端面
    からガラス内部に照明を当て、当該板ガラスの表面側か
    ら当該板ガラスを撮像光学系により撮像して一定面積当
    たりの画像の明るさを検出し、これとは別に、当該板ガ
    ラスの表面に照明を当て、この状態での当該板ガラスを
    撮像光学系により撮像して一定面積当たりの画像の明る
    さを検出し、両者の検出値の比によって欠点を判定する
    ことを特徴とする板ガラスの欠点検査方法。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113460A (ja) * 1995-10-19 1997-05-02 Sekisui Chem Co Ltd 反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JPH11337496A (ja) * 1998-03-24 1999-12-10 Ngk Insulators Ltd 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法
JPH11352014A (ja) * 1998-06-11 1999-12-24 Masami Nishiko 光学検査方式
JP2000028476A (ja) * 1998-07-11 2000-01-28 Masami Nishiko 光学検査方式
JP2000028340A (ja) * 1998-07-11 2000-01-28 Masami Nishiko 配向膜検査方式
JP2001519890A (ja) * 1995-10-06 2001-10-23 フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド 透明な構造における三次元の欠陥位置を検出するための技術
JP2002340804A (ja) * 2002-02-15 2002-11-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd マークの観察方法及び観察装置
JP2004150971A (ja) * 2002-10-31 2004-05-27 Nitto Denko Corp フィルムの検査方法および検査装置
JP2004309481A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Carl-Zeiss-Stiftung 透明材料中の欠陥の検出方法及び装置
JP2006337267A (ja) * 2005-06-03 2006-12-14 Sharp Corp 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置
JP2008268236A (ja) * 2002-12-27 2008-11-06 Kirin Techno-System Co Ltd 異物検査方法、及び異物検査装置並びに異物検査用の照明装置
WO2010058759A1 (ja) 2008-11-20 2010-05-27 旭硝子株式会社 透明体検査装置
JP2011053213A (ja) * 2009-09-02 2011-03-17 Gp Inspect Gmbh 物体の欠陥を検出するための方法および装置
EP2698625A1 (en) * 2012-08-16 2014-02-19 Boe Technology Group Co. Ltd. A device and a method for detecting a transmittivity spectrum of a light guiding plate
JP2018080955A (ja) * 2016-11-15 2018-05-24 ダックエンジニアリング株式会社 印刷面の欠陥分析方法及びこれに基づく印刷装置の調整方法、並びに印刷面の欠陥分析システム及びこれを有する印刷装置の調整システム
CN111751386A (zh) * 2020-07-27 2020-10-09 杭州利珀科技有限公司 机器视觉光学检测系统及方法

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001519890A (ja) * 1995-10-06 2001-10-23 フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド 透明な構造における三次元の欠陥位置を検出するための技術
JPH09113460A (ja) * 1995-10-19 1997-05-02 Sekisui Chem Co Ltd 反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JPH11337496A (ja) * 1998-03-24 1999-12-10 Ngk Insulators Ltd 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法
JPH11352014A (ja) * 1998-06-11 1999-12-24 Masami Nishiko 光学検査方式
JP2000028476A (ja) * 1998-07-11 2000-01-28 Masami Nishiko 光学検査方式
JP2000028340A (ja) * 1998-07-11 2000-01-28 Masami Nishiko 配向膜検査方式
JP2002340804A (ja) * 2002-02-15 2002-11-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd マークの観察方法及び観察装置
JP2004150971A (ja) * 2002-10-31 2004-05-27 Nitto Denko Corp フィルムの検査方法および検査装置
JP2008268236A (ja) * 2002-12-27 2008-11-06 Kirin Techno-System Co Ltd 異物検査方法、及び異物検査装置並びに異物検査用の照明装置
JP2004309481A (ja) * 2003-04-04 2004-11-04 Carl-Zeiss-Stiftung 透明材料中の欠陥の検出方法及び装置
JP2012037538A (ja) * 2003-04-04 2012-02-23 Schott Ag 透明材料中の欠陥の検出
KR101136804B1 (ko) * 2003-04-04 2012-04-19 이에스에르아 비지온 라소르 게엠베하 투명 소재에서 결함을 탐지하기 위한 방법 및 장치
JP2006337267A (ja) * 2005-06-03 2006-12-14 Sharp Corp 光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置
US8648905B2 (en) 2008-11-20 2014-02-11 Asahi Glass Company, Limited Transparent body inspecting device
WO2010058759A1 (ja) 2008-11-20 2010-05-27 旭硝子株式会社 透明体検査装置
JP2011053213A (ja) * 2009-09-02 2011-03-17 Gp Inspect Gmbh 物体の欠陥を検出するための方法および装置
EP2698625A1 (en) * 2012-08-16 2014-02-19 Boe Technology Group Co. Ltd. A device and a method for detecting a transmittivity spectrum of a light guiding plate
US20140049778A1 (en) * 2012-08-16 2014-02-20 Beijing Boe Display Technology Co., Ltd. Device And A Method For Detecting A Transmittivity Spectrum Of A Light Guiding Plate
JP2014038101A (ja) * 2012-08-16 2014-02-27 Boe Technology Group Co Ltd 導光板の透過率スペクトルのテスト装置及び方法
US9442068B2 (en) 2012-08-16 2016-09-13 Boe Technology Group Co., Ltd. Device and a method for detecting a transmittivity spectrum of a light guiding plate
JP2018080955A (ja) * 2016-11-15 2018-05-24 ダックエンジニアリング株式会社 印刷面の欠陥分析方法及びこれに基づく印刷装置の調整方法、並びに印刷面の欠陥分析システム及びこれを有する印刷装置の調整システム
CN111751386A (zh) * 2020-07-27 2020-10-09 杭州利珀科技有限公司 机器视觉光学检测系统及方法
CN111751386B (zh) * 2020-07-27 2022-08-05 杭州利珀科技有限公司 机器视觉光学检测系统及方法

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