JPH09105618A - 物体の平滑な面の欠陥検査方法及び装置並びに物体表面の粗さ測定方法及び装置 - Google Patents
物体の平滑な面の欠陥検査方法及び装置並びに物体表面の粗さ測定方法及び装置Info
- Publication number
- JPH09105618A JPH09105618A JP28813095A JP28813095A JPH09105618A JP H09105618 A JPH09105618 A JP H09105618A JP 28813095 A JP28813095 A JP 28813095A JP 28813095 A JP28813095 A JP 28813095A JP H09105618 A JPH09105618 A JP H09105618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ccd camera
- image
- light
- defect
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 53
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000009474 immediate action Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＣＤ印刷面の微小な欠陥の検査を自動化し
て、作業員の負担を軽減すると共に、インライン化して
欠陥ＣＤが印刷された場合はすぐに対処することで不良
ＣＤの生産枚数の低減を可能とすることを主目的とす
る。 【解決手段】 検査面に平行光を照射し、その反射光を
ＣＣＤカメラで受光し、正常画面と比較して暗い部分を
検出することで、欠陥部分を検出する欠陥検査方法、及
び、検査対象物を保持する保持部と、平行光源と、反射
光を受け集光する集光レンズと、集光レンズで集められ
た光を受けるＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像と正
常画面とを比較しＣＣＤカメラの画像の暗い部分を検出
する検出処理部とからなることを特徴とする物体の平滑
な面の欠陥検査装置である。画像処理のアルゴリズムの
みを変更すると、物体表面の粗さ測定方法及び装置とす
ることができる。
て、作業員の負担を軽減すると共に、インライン化して
欠陥ＣＤが印刷された場合はすぐに対処することで不良
ＣＤの生産枚数の低減を可能とすることを主目的とす
る。 【解決手段】 検査面に平行光を照射し、その反射光を
ＣＣＤカメラで受光し、正常画面と比較して暗い部分を
検出することで、欠陥部分を検出する欠陥検査方法、及
び、検査対象物を保持する保持部と、平行光源と、反射
光を受け集光する集光レンズと、集光レンズで集められ
た光を受けるＣＣＤカメラと、ＣＣＤカメラの画像と正
常画面とを比較しＣＣＤカメラの画像の暗い部分を検出
する検出処理部とからなることを特徴とする物体の平滑
な面の欠陥検査装置である。画像処理のアルゴリズムの
みを変更すると、物体表面の粗さ測定方法及び装置とす
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、特に、音楽用の
コンパクトディスク（以下「ＣＤ」という）、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ、ビデオＣＤ、フォトＣＤ等のディスクのラベル印
刷面の欠陥の検査に好適な物体の平滑な面の欠陥検査方
法及び装置、並びに、研削物体等の表面の粗さ測定方法
及び装置に関する。
コンパクトディスク（以下「ＣＤ」という）、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ、ビデオＣＤ、フォトＣＤ等のディスクのラベル印
刷面の欠陥の検査に好適な物体の平滑な面の欠陥検査方
法及び装置、並びに、研削物体等の表面の粗さ測定方法
及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＤのラベルは、信号が記録されていな
い面に紫外線硬化樹脂のインクによるスクリーン印刷で
印刷される。その際に微小な高さの凹凸がついて微細な
欠陥ができ、一度できると連続してできる場合がある。
原因はホコリ、インクの塗りムラ等である。このよう
な、微小な凹凸による欠陥は自動検査する技術がなく、
現在はオフラインで人間の目による目視検査により行っ
ている。また、ディスクのラベル印刷面の欠陥にはパタ
ーンの印刷不良によるものがあり、これについては既に
インライン（印刷してすぐ自動検査）の画像処理にて自
動検査を行っている。
い面に紫外線硬化樹脂のインクによるスクリーン印刷で
印刷される。その際に微小な高さの凹凸がついて微細な
欠陥ができ、一度できると連続してできる場合がある。
原因はホコリ、インクの塗りムラ等である。このよう
な、微小な凹凸による欠陥は自動検査する技術がなく、
現在はオフラインで人間の目による目視検査により行っ
ている。また、ディスクのラベル印刷面の欠陥にはパタ
ーンの印刷不良によるものがあり、これについては既に
インライン（印刷してすぐ自動検査）の画像処理にて自
動検査を行っている。
【０００３】物体の表面の欠陥検査装置としては、特開
平４−２９０６号、特開平５−２５６６３０号、特開平
７−２７７０９号等が公知となっているが、これらの装
置はＣＤ印刷面の微小な凹凸による欠陥の検査には不向
きで、構成も本願発明とは全く異なっている。すなわ
ち、特開平４−２９０６号はＣＤを回転させ、光源も移
動させてＣＤ全面を走査する保護コートの欠陥検査装置
であり、特開平５−２５６６３０号は映像をスクリーン
に投影して凹凸縞模様を検出する鋼板の表面凹凸縞検査
装置であり、特開平７−２７７０９号は側面シート光を
用い、複雑なアルゴリズムで解析する表面欠陥検査装置
である。
平４−２９０６号、特開平５−２５６６３０号、特開平
７−２７７０９号等が公知となっているが、これらの装
置はＣＤ印刷面の微小な凹凸による欠陥の検査には不向
きで、構成も本願発明とは全く異なっている。すなわ
ち、特開平４−２９０６号はＣＤを回転させ、光源も移
動させてＣＤ全面を走査する保護コートの欠陥検査装置
であり、特開平５−２５６６３０号は映像をスクリーン
に投影して凹凸縞模様を検出する鋼板の表面凹凸縞検査
装置であり、特開平７−２７７０９号は側面シート光を
用い、複雑なアルゴリズムで解析する表面欠陥検査装置
である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ＣＤ印刷面の微小な欠
陥を目視により検査する作業は神経を使う過酷な作業
で、作業員に大きな負担を与えていた。また、オフライ
ンによる検査なので、欠陥を持つＣＤが連続して印刷さ
れても直ちに印刷工程にフィードバックすることができ
ず、いたずらに欠陥ＣＤを多数生産し、廃棄する枚数も
多い。本願発明は、ＣＤ印刷面の微小な欠陥の検査を自
動化して、作業員の負担を軽減すると共に、インライン
化して欠陥ＣＤが印刷された場合はすぐに対処すること
で不良ＣＤの生産枚数の低減を可能とすることを主な目
的としている。
陥を目視により検査する作業は神経を使う過酷な作業
で、作業員に大きな負担を与えていた。また、オフライ
ンによる検査なので、欠陥を持つＣＤが連続して印刷さ
れても直ちに印刷工程にフィードバックすることができ
ず、いたずらに欠陥ＣＤを多数生産し、廃棄する枚数も
多い。本願発明は、ＣＤ印刷面の微小な欠陥の検査を自
動化して、作業員の負担を軽減すると共に、インライン
化して欠陥ＣＤが印刷された場合はすぐに対処すること
で不良ＣＤの生産枚数の低減を可能とすることを主な目
的としている。
【０００５】また、従来の物体表面の欠陥検査装置は、
いずれも複雑な構造を有する高価なものであるが、シン
プルな構造で安価に製造できる検査装置を提供すること
も目的としている。
いずれも複雑な構造を有する高価なものであるが、シン
プルな構造で安価に製造できる検査装置を提供すること
も目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願発明は、第１に、検
査の対象となる物体の平滑な面に平行光を照射し、その
反射光をＣＣＤカメラで受光し、正常画面と比較して暗
い部分を検出することで、欠陥部分を検出することを特
徴とする物体の平滑な面の欠陥検査方法であり、第２
に、検査対象物を保持する保持部と、平行光を照射する
平行光源と、検査対象物からの反射光を受け集光する集
光レンズと、該集光レンズで集められた光を受けるＣＣ
Ｄカメラと、該ＣＣＤカメラの画像と正常画面とを比較
しＣＣＤカメラの画像の暗い部分を検出する検出処理部
とからなることを特徴とする物体の平滑な面の欠陥検査
装置である。
査の対象となる物体の平滑な面に平行光を照射し、その
反射光をＣＣＤカメラで受光し、正常画面と比較して暗
い部分を検出することで、欠陥部分を検出することを特
徴とする物体の平滑な面の欠陥検査方法であり、第２
に、検査対象物を保持する保持部と、平行光を照射する
平行光源と、検査対象物からの反射光を受け集光する集
光レンズと、該集光レンズで集められた光を受けるＣＣ
Ｄカメラと、該ＣＣＤカメラの画像と正常画面とを比較
しＣＣＤカメラの画像の暗い部分を検出する検出処理部
とからなることを特徴とする物体の平滑な面の欠陥検査
装置である。
【０００７】更に、上記発明の構成における検出処理部
の画像処理のアルゴリズムを変えることで、物体表面の
粗さを測定することができる。すなわち、本願発明の第
３は、測定の対象となる物体の測定面に平行光を照射
し、その反射光をＣＣＤカメラで受光し、他の部分より
も明るい部分を検出することで局部山頂を認識すること
を特徴とする物体の表面の粗さ測定方法であり、第４
に、測定対象物を保持する保持部と、平行光を照射する
平行光源と、検査対象物からの反射光を受け集光する集
光レンズと、該集光レンズで集められた光を受けるＣＣ
Ｄカメラと、該ＣＣＤカメラの画像の明るい部分を検出
する検出処理部とからなることを特徴とする物体の表面
粗さ測定装置である。
の画像処理のアルゴリズムを変えることで、物体表面の
粗さを測定することができる。すなわち、本願発明の第
３は、測定の対象となる物体の測定面に平行光を照射
し、その反射光をＣＣＤカメラで受光し、他の部分より
も明るい部分を検出することで局部山頂を認識すること
を特徴とする物体の表面の粗さ測定方法であり、第４
に、測定対象物を保持する保持部と、平行光を照射する
平行光源と、検査対象物からの反射光を受け集光する集
光レンズと、該集光レンズで集められた光を受けるＣＣ
Ｄカメラと、該ＣＣＤカメラの画像の明るい部分を検出
する検出処理部とからなることを特徴とする物体の表面
粗さ測定装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面を参照しつつ、本願発明
の実施の形態を詳細に説明する。図１は本願発明の欠陥
検査方法を実施する本願発明の欠陥検査装置１の説明略
図、図２は本願発明の欠陥検査方法の原理の説明、図３
は欠陥検査装置１の検出処理部７における画像処理のア
ルゴリズムの１例のフローチャート図である。欠陥検査
装置１は、ＣＤラベル印刷面の欠陥を検査するもので、
平行光源２、集光レンズ５、ＣＣＤカメラ６、検出処理
部７、保持部８からなる。平行光源２は点光源３とレン
ズ４とからなり、点光源３はレンズ４の焦点に位置し、
点光源から発せられた光はレンズ４を通過することで平
行光線となる。平行光線はＣＤ９（被検査対象物体）の
ラベル印刷面に照射される。その面では平行光からの光
が正反射光と散乱光になるが、ラベル印刷面は通常光沢
が生じるほど平坦であるので、散乱光はあまり生じず、
ほとんどの光は正反射して集光レンズ５にて捕らえら
れ、ＣＣＤカメラ６に入力される。集光レンズ５が必要
なのは、ＣＤからの正反射光をすべてＣＣＤカメラ６に
入力するためである。これがないと、一部分の正反射光
しかＣＣＤカメラに入力されない。平行光源のレンズ４
及び集光レンズ５は、検査対象物の検査領域全体をカバ
ーするのに充分な大きさが必要である。この場合レンズ
４及び集光レンズ５はＣＤの大きさよりも若干大きくな
っている。
の実施の形態を詳細に説明する。図１は本願発明の欠陥
検査方法を実施する本願発明の欠陥検査装置１の説明略
図、図２は本願発明の欠陥検査方法の原理の説明、図３
は欠陥検査装置１の検出処理部７における画像処理のア
ルゴリズムの１例のフローチャート図である。欠陥検査
装置１は、ＣＤラベル印刷面の欠陥を検査するもので、
平行光源２、集光レンズ５、ＣＣＤカメラ６、検出処理
部７、保持部８からなる。平行光源２は点光源３とレン
ズ４とからなり、点光源３はレンズ４の焦点に位置し、
点光源から発せられた光はレンズ４を通過することで平
行光線となる。平行光線はＣＤ９（被検査対象物体）の
ラベル印刷面に照射される。その面では平行光からの光
が正反射光と散乱光になるが、ラベル印刷面は通常光沢
が生じるほど平坦であるので、散乱光はあまり生じず、
ほとんどの光は正反射して集光レンズ５にて捕らえら
れ、ＣＣＤカメラ６に入力される。集光レンズ５が必要
なのは、ＣＤからの正反射光をすべてＣＣＤカメラ６に
入力するためである。これがないと、一部分の正反射光
しかＣＣＤカメラに入力されない。平行光源のレンズ４
及び集光レンズ５は、検査対象物の検査領域全体をカバ
ーするのに充分な大きさが必要である。この場合レンズ
４及び集光レンズ５はＣＤの大きさよりも若干大きくな
っている。
【０００９】ＣＤの印刷面に、図２に示すような、微小
な凹凸による欠陥１０があった場合、そこに到達した光
は正反射光とならず欠陥で蹴られて散乱光の一部とな
る。その結果、反射光がカメラに到達したときには、欠
陥部分が暗くなるのである。図２は欠陥が凹の場合のみ
を示しているが、凸の場合も同様に到達した光は正反射
光とならず欠陥で蹴られて散乱光の一部となり、反射光
がカメラに到達したときには、欠陥部分（凸部の傾斜部
分）が暗くなり、山頂部分は逆に明るくなる。ＣＣＤカ
メラの画像は検出処理部７であるコンピュータに送ら
れ、あらかじめ入力されている正常画面と比較し、暗い
欠陥部分があると判断したときはそのＣＤが欠陥である
という信号を出力する。検査時間はラインのタクトタイ
ムにあわせて、１秒以内で終了することができる。
な凹凸による欠陥１０があった場合、そこに到達した光
は正反射光とならず欠陥で蹴られて散乱光の一部とな
る。その結果、反射光がカメラに到達したときには、欠
陥部分が暗くなるのである。図２は欠陥が凹の場合のみ
を示しているが、凸の場合も同様に到達した光は正反射
光とならず欠陥で蹴られて散乱光の一部となり、反射光
がカメラに到達したときには、欠陥部分（凸部の傾斜部
分）が暗くなり、山頂部分は逆に明るくなる。ＣＣＤカ
メラの画像は検出処理部７であるコンピュータに送ら
れ、あらかじめ入力されている正常画面と比較し、暗い
欠陥部分があると判断したときはそのＣＤが欠陥である
という信号を出力する。検査時間はラインのタクトタイ
ムにあわせて、１秒以内で終了することができる。
【００１０】検出処理部における画像処理のアルゴリズ
ムの例を図３に基づいて説明する。検出処理部には、あ
らかじめ正常画像（欠陥のない画像）が入力記憶されて
いる。検査画像が検出処理部に送られると、先ず、正常
画像と検査画像の差の絶対値の画像が算出され、その画
像を２値化して所定の領域（正常画像との明るさの差が
所定の値以上の領域）を確定し、ラベリング（番号付）
する。次に、ラベリングした各々の領域について面積を
算出し、所定の値よりも大きな面積がある場合は欠陥の
ある不良品と判断し、面積が小さい場合は欠陥のない良
品と判断する。ノイズや許容できるきわめて小さな欠陥
を不良品に含めないためである。
ムの例を図３に基づいて説明する。検出処理部には、あ
らかじめ正常画像（欠陥のない画像）が入力記憶されて
いる。検査画像が検出処理部に送られると、先ず、正常
画像と検査画像の差の絶対値の画像が算出され、その画
像を２値化して所定の領域（正常画像との明るさの差が
所定の値以上の領域）を確定し、ラベリング（番号付）
する。次に、ラベリングした各々の領域について面積を
算出し、所定の値よりも大きな面積がある場合は欠陥の
ある不良品と判断し、面積が小さい場合は欠陥のない良
品と判断する。ノイズや許容できるきわめて小さな欠陥
を不良品に含めないためである。
【００１１】保持部８は移動テーブルで、図１の図示さ
れない右側（上流側）でＣＤの信号面の作成、ラベル印
刷、印刷パターン検査が行われ、矢印方向にテーブルは
移動し、ＣＤが運ばれてくる。所定の位置でテーブルは
停止し、上記の本願発明の欠陥検査が行われる。前記の
検出処理部７から欠陥信号が出力された場合、例えば、
図１の下流に選別部門を設け、欠陥信号は選別部門に送
られて、その欠陥ＣＤを自動的に排除し、連続して欠陥
信号が出たときには印刷部門に信号を送って、点検を促
する。
れない右側（上流側）でＣＤの信号面の作成、ラベル印
刷、印刷パターン検査が行われ、矢印方向にテーブルは
移動し、ＣＤが運ばれてくる。所定の位置でテーブルは
停止し、上記の本願発明の欠陥検査が行われる。前記の
検出処理部７から欠陥信号が出力された場合、例えば、
図１の下流に選別部門を設け、欠陥信号は選別部門に送
られて、その欠陥ＣＤを自動的に排除し、連続して欠陥
信号が出たときには印刷部門に信号を送って、点検を促
する。
【００１２】上述のごとく、実施の形態としてＣＤラベ
ル印刷の欠陥検査の方法及び装置について説明したが、
上記の技術思想における画像処理のアルゴリズムを多少
変更することで研削物体等の表面の粗さ測定を行うこと
ができる。その粗さ測定方法においては、ＣＣＤカメラ
に画像を入力するまでの方法は全く共通であり、粗さ測
定装置においては、図１の平行光源２、集光レンズ５、
ＣＣＤカメラ６及び検出処理部７（内部画像処理を除
く）の構成を同じくし、保持部は検査対象物を載せる台
等、検査対象物を保持できるものであればよい。図４に
粗さ測定装置の検出処理部における画像処理のアルゴリ
ズムの例を示す。検出処理部に粗さ測定画像が入力され
ると、その画像を２値化し、所定の明るさ以上の領域
（局部山頂）を確定する（測定画像において、凸部の傾
斜部分は暗くなるが山頂部分は明るくなるから）。次
に、この領域間の距離を測定し、すべての領域間の距離
の和とその領域の数を求め、局部山頂の平均間隔Ｓを求
める。これにより、ＪＩＳ０６０１の粗さの定義におけ
る局部山頂の平均間隔を自動的に測定することができ
る。
ル印刷の欠陥検査の方法及び装置について説明したが、
上記の技術思想における画像処理のアルゴリズムを多少
変更することで研削物体等の表面の粗さ測定を行うこと
ができる。その粗さ測定方法においては、ＣＣＤカメラ
に画像を入力するまでの方法は全く共通であり、粗さ測
定装置においては、図１の平行光源２、集光レンズ５、
ＣＣＤカメラ６及び検出処理部７（内部画像処理を除
く）の構成を同じくし、保持部は検査対象物を載せる台
等、検査対象物を保持できるものであればよい。図４に
粗さ測定装置の検出処理部における画像処理のアルゴリ
ズムの例を示す。検出処理部に粗さ測定画像が入力され
ると、その画像を２値化し、所定の明るさ以上の領域
（局部山頂）を確定する（測定画像において、凸部の傾
斜部分は暗くなるが山頂部分は明るくなるから）。次
に、この領域間の距離を測定し、すべての領域間の距離
の和とその領域の数を求め、局部山頂の平均間隔Ｓを求
める。これにより、ＪＩＳ０６０１の粗さの定義におけ
る局部山頂の平均間隔を自動的に測定することができ
る。
【００１３】
【発明の効果】本願発明によれば、ＣＤ印刷面の微小な
欠陥の検査を自動化してインライン化することができる
ので、作業員の負担を軽減すると共に、欠陥ＣＤが連続
して印刷された場合はすぐに対処することで不良ＣＤの
生産枚数を低減することが可能となり、コストダウンに
も貢献する。
欠陥の検査を自動化してインライン化することができる
ので、作業員の負担を軽減すると共に、欠陥ＣＤが連続
して印刷された場合はすぐに対処することで不良ＣＤの
生産枚数を低減することが可能となり、コストダウンに
も貢献する。
【００１４】従来技術の特開平４−２９０６号の装置は
ＣＤを回転させ、光源も移動させてＣＤ全面を走査する
が、本願発明はＣＤを回転させたり光源を移動させる必
要がないので、構造が簡単で検査に要する時間も短くて
済む。特開平５−２５６６３０号の装置はスクリーンを
用いているので、それを光らせる強い光を用いる必要が
あり、大まかなうねり等を検出するには向いているが、
弱い光で検出可能な微細欠陥検出には不向きである。ま
た、検出できる欠陥の大きさはスクリーン表面の粗さに
左右されるので、このことによっても小さな欠陥を検出
しにくい。本願発明はスクリーンを用いず弱い光で検査
できるので微細な欠陥を検出するのに向いている。特開
平７−２７７０９号の装置は、装置の構造及び画像処理
のアルゴリズムが複雑であるばかりか、側面シート光を
用いるので、凸の欠陥は検知できるが凹の欠陥について
は疑問である。本願発明は凹凸いずれも検知でき、構造
もきわめて簡単である。
ＣＤを回転させ、光源も移動させてＣＤ全面を走査する
が、本願発明はＣＤを回転させたり光源を移動させる必
要がないので、構造が簡単で検査に要する時間も短くて
済む。特開平５−２５６６３０号の装置はスクリーンを
用いているので、それを光らせる強い光を用いる必要が
あり、大まかなうねり等を検出するには向いているが、
弱い光で検出可能な微細欠陥検出には不向きである。ま
た、検出できる欠陥の大きさはスクリーン表面の粗さに
左右されるので、このことによっても小さな欠陥を検出
しにくい。本願発明はスクリーンを用いず弱い光で検査
できるので微細な欠陥を検出するのに向いている。特開
平７−２７７０９号の装置は、装置の構造及び画像処理
のアルゴリズムが複雑であるばかりか、側面シート光を
用いるので、凸の欠陥は検知できるが凹の欠陥について
は疑問である。本願発明は凹凸いずれも検知でき、構造
もきわめて簡単である。
【００１５】また、本願の物体表面の粗さ測定方法及び
装置は、簡単な構成で低コストの自動測定を可能とし、
更に、非接触により測定できるので、温度変化による部
材の変化、物理的な変化を減少でき、正確な測定を行う
ことができる。
装置は、簡単な構成で低コストの自動測定を可能とし、
更に、非接触により測定できるので、温度変化による部
材の変化、物理的な変化を減少でき、正確な測定を行う
ことができる。
【図１】本願の欠陥検査装置１の概略説明図である。
【図２】本願の欠陥検査方法の原理の説明図である。
【図３】本願の欠陥検査装置の検出処理部における画像
処理のアルゴリズムの例を示す説明図である。
処理のアルゴリズムの例を示す説明図である。
【図４】本願の粗さ測定装置の検出処理部における画像
処理のアルゴリズムの例を示す説明図である。
処理のアルゴリズムの例を示す説明図である。
１ 欠陥検査装置 ２ 平行光源 ３ 点光源 ４ レンズ ５ 集光レンズ ６ ＣＣＤカメラ ７ 検出処理部 ８ 保持部 ９ ＣＤ １０ 欠陥
Claims (4)
- 【請求項１】 検査の対象となる物体の平滑な面に平行
光を照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光し、正常
画面と比較して暗い部分を検出することで、欠陥部分を
検出することを特徴とする物体の平滑な面の欠陥検査方
法 - 【請求項２】 検査対象物を保持する保持部と、平行光
を照射する平行光源と、検査対象物からの反射光を受け
集光する集光レンズと、該集光レンズで集められた光を
受けるＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラの画像と正常画
面とを比較しＣＣＤカメラの画像の暗い部分を検出する
検出処理部とからなることを特徴とする物体の平滑な面
の欠陥検査装置 - 【請求項３】 測定の対象となる物体の測定面に平行光
を照射し、その反射光をＣＣＤカメラで受光し、他の部
分よりも明るい部分を検出することで局部山頂を認識す
ることを特徴とする物体の表面の粗さ測定方法 - 【請求項４】 測定対象物を保持する保持部と、平行光
を照射する平行光源と、検査対象物からの反射光を受け
集光する集光レンズと、該集光レンズで集められた光を
受けるＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラの画像の明るい
部分を検出する検出処理部とからなることを特徴とする
物体の表面粗さ測定装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288130A JP3025946B2 (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 物体表面の粗さ測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7288130A JP3025946B2 (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 物体表面の粗さ測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09105618A true JPH09105618A (ja) | 1997-04-22 |
| JP3025946B2 JP3025946B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=17726205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7288130A Expired - Fee Related JP3025946B2 (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 物体表面の粗さ測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3025946B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7308127B2 (en) | 2001-01-19 | 2007-12-11 | Atlas Material Testing Technology Gmbh | Method for determining and evaluating defects in a sample surface |
| EP3187861A4 (en) * | 2014-07-14 | 2017-07-19 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Substrate inspection device and substrate inspection method |
| CN108180871A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-19 | 国网江西省电力有限公司电力科学研究院 | 一种定量评价复合绝缘子表面粉化粗糙度的方法 |
| CN109459354A (zh) * | 2019-01-20 | 2019-03-12 | 华东交通大学 | 一种基于机器视觉的车间落尘量自动检测装置及方法 |
| JP2019215208A (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | Ckd株式会社 | 検査装置、ｐｔｐ包装機及びｐｔｐシートの製造方法 |
| CN110945347A (zh) * | 2017-09-28 | 2020-03-31 | 日东电工株式会社 | 光学显示面板的损伤检查方法 |
| JP2020116750A (ja) * | 2019-01-18 | 2020-08-06 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性フィルム |
-
1995
- 1995-10-11 JP JP7288130A patent/JP3025946B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7308127B2 (en) | 2001-01-19 | 2007-12-11 | Atlas Material Testing Technology Gmbh | Method for determining and evaluating defects in a sample surface |
| EP3187861A4 (en) * | 2014-07-14 | 2017-07-19 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Substrate inspection device and substrate inspection method |
| US10209203B2 (en) | 2014-07-14 | 2019-02-19 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Wafer inspection apparatus and wafer inspection method |
| CN110945347A (zh) * | 2017-09-28 | 2020-03-31 | 日东电工株式会社 | 光学显示面板的损伤检查方法 |
| CN110945347B (zh) * | 2017-09-28 | 2024-01-12 | 日东电工株式会社 | 光学显示面板的损伤检查方法 |
| CN108180871A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-19 | 国网江西省电力有限公司电力科学研究院 | 一种定量评价复合绝缘子表面粉化粗糙度的方法 |
| CN108180871B (zh) * | 2017-12-18 | 2019-12-06 | 国网江西省电力有限公司电力科学研究院 | 一种定量评价复合绝缘子表面粉化粗糙度的方法 |
| JP2019215208A (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | Ckd株式会社 | 検査装置、ｐｔｐ包装機及びｐｔｐシートの製造方法 |
| JP2020116750A (ja) * | 2019-01-18 | 2020-08-06 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性フィルム |
| CN109459354A (zh) * | 2019-01-20 | 2019-03-12 | 华东交通大学 | 一种基于机器视觉的车间落尘量自动检测装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3025946B2 (ja) | 2000-03-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6462813B1 (en) | Surface defect inspection system and method | |
| US5389794A (en) | Surface pit and mound detection and discrimination system and method | |
| JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
| JPH0718809B2 (ja) | 表面性状測定装置及び方法 | |
| JPH0821803A (ja) | 欠陥種別判定装置及びプロセス管理システム | |
| JP3938227B2 (ja) | 異物検査方法および装置 | |
| JPH06294749A (ja) | 板ガラスの欠点検査方法 | |
| JPH11311510A (ja) | 微小凹凸の検査方法および検査装置 | |
| JP2006138830A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH09105618A (ja) | 物体の平滑な面の欠陥検査方法及び装置並びに物体表面の粗さ測定方法及び装置 | |
| JP5889699B2 (ja) | 磁気メディアの光学式検査方法及びその装置 | |
| CN111638226B (zh) | 检测方法、图像处理器以及检测系统 | |
| JPH0972722A (ja) | 基板外観検査装置 | |
| JPS63218847A (ja) | 表面欠陥検査方法 | |
| JP2010038723A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JP4220304B2 (ja) | 原子力燃料ペレットの検査方法および装置 | |
| EP0865605B1 (en) | Device and process for inspecting a surface of a glass master | |
| JP2000292307A (ja) | 光透過体の外観検査装置 | |
| JP2003028808A (ja) | 表面検査方法および表面検査装置 | |
| JP3232707B2 (ja) | 被検査体の外郭検査方法 | |
| JP2982471B2 (ja) | 塗装面性状検査装置 | |
| JPS63284455A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH07318499A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPH0821711A (ja) | シート板表面のうねり検出装置 | |
| JPS63243850A (ja) | 圧延板材におけるスリバ−欠陥の検出方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19991216 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100128 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |