JPH03267745A - 表面性状検出方法 - Google Patents

表面性状検出方法

Info

Publication number
JPH03267745A
JPH03267745A JP2067839A JP6783990A JPH03267745A JP H03267745 A JPH03267745 A JP H03267745A JP 2067839 A JP2067839 A JP 2067839A JP 6783990 A JP6783990 A JP 6783990A JP H03267745 A JPH03267745 A JP H03267745A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
inspected
reflected
information
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2067839A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0695075B2 (ja
Inventor
Saburo Okada
岡田　三郎
Tetsuhiro Sumimoto
住本　哲宏
Masaaki Imaide
今出　政明
Hidekazu Miyauchi
宮内　秀和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP2067839A priority Critical patent/JPH0695075B2/ja
Priority to US07/669,998 priority patent/US5125741A/en
Publication of JPH03267745A publication Critical patent/JPH03267745A/ja
Publication of JPH0695075B2 publication Critical patent/JPH0695075B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、金属板、ガラス板のような面状体表面のみな
らず、各種機械、電気製品等の段差のある表面について
も、傷、欠陥の位置、大きさ、種別を検出して、不良欠
陥品を高速かつ高精度に発見するための表面性状検出方
法に関するものである。
［従来の技Ｗ４１ 素材や製品の表面の傷、欠陥の検査は、自動車、電気製
品をはじめとして、あらゆる産業分野において必要であ
る。この表面検査では、表面の傷、欠陥の位置、大きさ
を検出するだけでは不十冊で、傷や欠陥の種別を判別す
ることが要求され−でいる。
このため、従来の表面欠陥検出装置における光照射系に
は、レーザー光を用いたフライングスつ走査し、表面か
らの反射回折光を適当な受光検出系により検出している
。既存の受光検出系としては、マルチフォトセル法、回
折パターン投影法、ミラー集光法、拡散板集光法などが
あるが、いずれも被検体として表面の平らなガラス板、
金属板、フィルム等の面状体を対象としており、凹凸や
段差のある製品の表面検査には適用が困難である。すな
わち、段差のある被検体では、検査面の高さが場所によ
って変化するので、斜め方向から照射した走査光の検査
面からの反射位置（高さ）が変わり、受光検出系に反射
光が入射結像さの反射回折光の正確な回折パターンを検
出することが困難なため、傷や欠陥の種別を正確に判定
することができない。
第４図は、−例として従来のマルチフォトセル法による
検出装置の構成を示している。この装置は、レーザー発
振器３１からの光ビームをフリメータレンズ３２を通し
て振動ミラー３３に投射することにより、光ビームの解
射方向を高速に変えて被検体３４表面を光走査可能とし
、受光検出系には、反射光用と回折光用に２組の受光器
３５．３６を並設して、それらの出力を増幅器３７．３
８を介してアナログ演算器３９に入力できるようにした
ものである。
しかしながら、この装置の受光検出系では、回折光の光
量は求まるが、傷種の判定に必要な回折パターンの方向
を特定することはできない。
また、第５図に示すような回折パターン投影法による場
合には、レーザー発振器４１からの光ビー【発明が解決
しようとする課題］ 本発明の技術的課題は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、被検体の表面に段差のある場合において
も、傷、欠陥、割れ、汚れ等を正確に検出測定できるば
かりでなく、それらの位測定のため、面的な情報を得る
には、被検体もしくは光学系を二次元的に移動走査する
必要があり、検査に時間を要する欠点がある。
したがって、上記した従来の表面欠陥検出方法では、段
差のある被検体表面の傷や欠陥の種別を正確かつ高速に
判定することは不可能であり、精度的にもよい検出方法
とはいえない。
出方法は、光源からの光ビームにより被検体表面を光走
査し、前記被検体表面からの回折光を受光手段で受光し
て得られる受光データにもとづいて、前記被検体表面の
各種表面欠陥を検出する方法において、被検体検査面の
上方に備えたＴＶ左カメラより撮り込んだ走査光の反射
像から検査面の高さを検出し、その検出出力に基づき、
検査面に斜め方向から照射した走査光の反射回折光が常
に受光検出系に入射結像するように、被検体の上下方向
の位置を制御し、さらに、上記反射回折光を判定し、デ
ィスプレイ上に表示させる、ことを特徴とする同心円周
上に光ファイバーの受光端を並べた受光検出部の受光面
に投射し、光ファイバーの他端に設けた光電変換器によ
って、受光した反射回折光の光量測定を行い、上記受光
検出部におい丹て得られた情報と、前記ＴＶカメラによ
り検出した検査面の凹凸、割れ等の情報を併用して、被
検体表面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別第１
図は本発明の表面性状検出方法の実施に使用する装置の
概略的構成を示している。
この装置の投光系は、レーザービームを照射するレーザ
ー発振器１、レーザービーム径の大きさを調整するコリ
メータレンズ２、ビームの照射方向を高速に変えてＹ方
向に光走査を行う振動ミラー３、走査光を平行光に変換
する放物柱面鏡４により構成される。
一方、受光検出系は、被検体１１の検査面の直上に備え
たＴＶカメラ５．そのＴＶカメラに接続されて擾り込ん
だ画像の解析を行う画像処理部６．８、上記画像処理部
６および受光検出部８がらの情報に基づいて、傷、欠陥
１割れ等の位置、大きさ１種別を判定するデータ処理部
９、上記データ処理部９における判定の結果を傷種ごと
に表示するデイスプレィｌＯによって構成される。
第２図には、受光検出部８の受光面１２における光ファ
イバー１３の受光端１３ａ、　１３ａ、・・の配列状態
を示している。この受光面１２においては、集光点およ
び集光点を中心とする同心円周上の右半分に光ファイバ
ー１３の受光端１３ａが配置され、各光ファイバーの他
端はそれぞれ光電変換器（フォトマルチプライヤ）　１
４に接続される。この光電変換器１４には、低雑音、高
感度のものを用い、微弱な回折光まで正確に検出可能に
する必要がある。
さらに、被検体１１の検査面の高さを常に一定に保持す
るため、被検体１１を載置するためのステージ１６の２
方向（上下方向）移動用の駆動モータ１８を備えたスラ
イダー１７と、上記ステージ１６をＸ方−向に移動させ
るための駆動モータ２０を備えたスラた光ビームは時間
的にその方向を変えながら放物柱面ｇ＝　４にあたり、
その位置から平行光に変換され、被検体の検査面に対し
て斜めに入射して、指定した範囲内を一定周期、一定速
度で順次光走査する。
凹凸や段差のある被検体の表面検査を自動的に光源であ
るレーザー発振器ｌからのレーザビームは、コリメータ
レンズ２によりビーム径の調整を行い、放物柱面鏡４の
焦点位置に備えられた振動ミラー３によりその方向を変
える。
予め決められた角度内を決められた周期で振動ミラー３
を振動させておくと、ミラー３で反射しの入射角度θは
予めわがっているので、被検体の各部の基準面からの高
さＨは、次式により容易に求められる。
Ｈ＝　ｄ　ｔａｎθ ここで、ｄは画像から検出したレーザー反射像の基準位
置からのずれ量である。
画像処理部６において基準面からの高さＨを求めた後、
その検出出力に基づき、被検体１１を載置したステージ
１６を駆動モータ１８付きのスライダー１７により上下
に移動させ、検査面の高さが常に一定に保たれるように
その上下位置、を制御する。この機構により、凹凸や段
差があっても、検査面において反射回折したレーザー光
は、常に受光検出部８に入射される。
°−さらに、ＴＶ左カメラから撮り込んだレーザー走査
光の反射像を画像処理すると、検査面の高さとともに、
検査面の細かな凹凸や割れの位置、大を使用すると、Ｘ
方向とＹ方向で異なる倍率の画像が得られる。例えば、
Ｘ方向の倍率をＹ方向より１０倍高くしておくと、被検
体表面の凹凸をｌＯ倍精度よく検出することができる。
画像処理部６における画像処理によって求めた検査面の
細かい凹凸や割れや位置、大きさなどの情報は、データ
処理部９に送られ、以下に説明する反射回折光の検出結
果とあわせて、傷や欠陥の種別の判定に用いられる。
上述したように、高さを一定に保持された被検体１１の
検査面において反射回折したレーザー走査光は、検査面
の表面性状（傷、欠陥、汚れ、割１．Ｊする。
ご、・ −従来の研究から、被検体表面の表面性状（傷、欠陥、
汚れ）と回折パターンの形状の間には密接な相関関係が
あることが知られている。第３図Ａ−Ｄに代表的な回折
パターンの例を示す。正常部の場合、第３図Ａに示すよ
うに、回折パターンはほとんどあられれない。一方、傷
や欠陥がある場合は、傷の種類、方向、巾、深さによっ
て、特有の回折パターンを生ずる。第３図Ｂは汚れがあ
る場合の回折パターン、同図Ｃはカキキズがある場合の
回折パターン、同図りは押込みキズがある場合の回折パ
ターンを示している。
したがって、上記受光検出部８において、回折光の方向
と光量を検出することにより、傷の種別を判別すること
ができる。また、一般に回折パの回折パターンの解析結
果をデータ処理部９に送り、検査面の表面の凹凸、回折
パターンから傷や欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別を
判定し、判定結果をデイスプレィｌ口に傷種ごとに色分
けしてカラーグラフィック表示させる。検査員は、表示
された色の分布から、容易に傷種を知ることがで、−ｔ
する光ファイバー１３の配列は、第２図に示すよう−；
−−、 い、検査面全体の表面性状の検出を行う必要がある。そ
の際、最終的な製品の良不良の判定は、検斎貝により上
記装置による検査結果を見ながら総合的に判定される。
そこで、上記装置では、ＴＶ左カメラにより撮り込んだ
画像、ならびに反射光能となる場合がある。このような
場合でも、上記装置では、ＴＶカメラで撮り込んだ画像
を用いるゴことによって、測定不能部の幾何学的な形状
に関−する情報が得られる利点がある。
［発明の効果］ 以上のように、本発明の表面性状検出方法によれば、大
きな凹凸や段差のある被検体においても、検査面を一定
高さに保持しながら検査を行うことが可能となり、さら
に、検出系として、ＴＶカメラと高感度の光電変換器を
併用することにより、欠陥、傷種の判別を正確かつ高精
度に行うことのできる表面性状検出方法を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例である表面性状検出方法の実
施に使用する装置の概略構成図、第２図は上記装置にお
ける光ファイバーの受光端面の正−面図、第３図は各種
欠陥による回折パターンにっ１０・ １２・ ３ａ ・受光検出部、 ・デイスプレィ。 ・受光面、 ・受光端、 １１　・ ３− １４　・ ・データ処理部、 ・被検体、 ・光ファイバー ・光電変換器。 図面の浄書 第３図 手 続 （甫 正 書 （ 方 式 ） 事件の表示 平成２年特許願第６ ３９号 ２　。 発明の名称 表面性状検出方法 ３　。 補正をする者 事件との関係

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、光源からの光ビームにより被検体表面を光走査し、
    前記被検体表面からの回折光を受光手段で受光して得ら
    れる受光データにもとづいて、前記被検体表面の各種表
    面欠陥を検出する方法において、 被検体検査の上方に備えたＴＶカメラにより■り込んだ
    走査光の反射像から検査面の高さを検出し、その検出出
    力に基づき、検査面に斜め方向から照射した走査光の反
    射回折光が常に受光検出系に入射結像するように、被検
    体の上下方向の位置を制御し、 さらに、上記反射回折光を放物柱面鏡で集光して、集光
    点と集光点を中心とする同心円周上に光ファイバーの受
    光端を並べた受光検出部の受光面に投射し、光ファイバ
    ーの他端に設けた光電変換器によって、受光した反射回
    折光の光量測定を行い、 上記受光検出部において得られた情報と、前記ＴＶカメ
    ラにより検出した検査面の凹凸、割れ等の情報を併用し
    て、被検体表面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種
    別を判定し、ディスプレイ上に表示させる、 ことを特徴とする表面性状検出方法。
JP2067839A 1990-03-16 1990-03-16 表面性状検出方法 Expired - Lifetime JPH0695075B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2067839A JPH0695075B2 (ja) 1990-03-16 1990-03-16 表面性状検出方法
US07/669,998 US5125741A (en) 1990-03-16 1991-03-15 Method and apparatus for inspecting surface conditions

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2067839A JPH0695075B2 (ja) 1990-03-16 1990-03-16 表面性状検出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03267745A true JPH03267745A (ja) 1991-11-28
JPH0695075B2 JPH0695075B2 (ja) 1994-11-24

Family

ID=13356522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2067839A Expired - Lifetime JPH0695075B2 (ja) 1990-03-16 1990-03-16 表面性状検出方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5125741A (ja)
JP (1) JPH0695075B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151699A (ja) * 1993-11-26 1995-06-16 Nec Corp 配線パターン検査装置
JP2007322173A (ja) * 2006-05-30 2007-12-13 Sumitomo Heavy Ind Ltd ダメージチェックシステム及びダメージチェック方法
WO2008001731A1 (fr) * 2006-06-27 2008-01-03 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Appareil d'examen de surface et procédé d'examen de surface
CN100437220C (zh) * 2004-01-22 2008-11-26 Ntn株式会社 微小图案观察装置及采用该装置的微小图案修正装置

Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5243405A (en) * 1991-01-07 1993-09-07 Tichenor Clyde L Optical system for surface verification
US5416594A (en) * 1993-07-20 1995-05-16 Tencor Instruments Surface scanner with thin film gauge
FR2711426B1 (fr) * 1993-10-20 1995-12-01 Snecma Procédé et dispositif pour caractériser, optimiser et contrôler automatiquement une méthode d'analyse par ressuage.
US6271916B1 (en) * 1994-03-24 2001-08-07 Kla-Tencor Corporation Process and assembly for non-destructive surface inspections
US5883710A (en) 1994-12-08 1999-03-16 Kla-Tencor Corporation Scanning system for inspecting anomalies on surfaces
US5565979A (en) * 1994-11-04 1996-10-15 Tencor Instruments Surface scanning apparatus and method using crossed-cylinder optical elements
US20040057044A1 (en) * 1994-12-08 2004-03-25 Mehrdad Nikoonahad Scanning system for inspecting anamolies on surfaces
US5712701A (en) * 1995-03-06 1998-01-27 Ade Optical Systems Corporation Surface inspection system and method of inspecting surface of workpiece
US6118525A (en) * 1995-03-06 2000-09-12 Ade Optical Systems Corporation Wafer inspection system for distinguishing pits and particles
US5661561A (en) * 1995-06-02 1997-08-26 Accu-Sort Systems, Inc. Dimensioning system
US5686987A (en) * 1995-12-29 1997-11-11 Orfield Associates, Inc. Methods for assessing visual tasks to establish desirable lighting and viewing conditions for performance of tasks; apparatus; and, applications
US5926558A (en) * 1996-01-05 1999-07-20 Asko, Inc. Method and apparatus for monitoring and inspecting rotary knives
EP0979398B1 (en) * 1996-06-04 2012-01-04 KLA-Tencor Corporation Optical scanning system for surface inspection
US5781302A (en) * 1996-07-22 1998-07-14 Geneva Steel Non-contact shape meter for flatness measurements
US6704435B1 (en) 1997-04-28 2004-03-09 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US6624884B1 (en) 1997-04-28 2003-09-23 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US5917589A (en) * 1997-04-28 1999-06-29 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US5867261A (en) * 1997-04-28 1999-02-02 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US5847823A (en) * 1997-04-28 1998-12-08 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US5969370A (en) * 1997-04-28 1999-10-19 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US6100971A (en) * 1997-04-28 2000-08-08 International Business Machines Corporation Surface inspection tool
US6107637A (en) * 1997-08-11 2000-08-22 Hitachi, Ltd. Electron beam exposure or system inspection or measurement apparatus and its method and height detection apparatus
US20040057045A1 (en) * 2000-12-21 2004-03-25 Mehdi Vaez-Iravani Sample inspection system
US6201601B1 (en) * 1997-09-19 2001-03-13 Kla-Tencor Corporation Sample inspection system
US6956644B2 (en) * 1997-09-19 2005-10-18 Kla-Tencor Technologies Corporation Systems and methods for a wafer inspection system using multiple angles and multiple wavelength illumination
US7714995B2 (en) 1997-09-22 2010-05-11 Kla-Tencor Corporation Material independent profiler
US7630086B2 (en) 1997-09-22 2009-12-08 Kla-Tencor Corporation Surface finish roughness measurement
US7688435B2 (en) 1997-09-22 2010-03-30 Kla-Tencor Corporation Detecting and classifying surface features or defects by controlling the angle of the illumination plane of incidence with respect to the feature or defect
US5898492A (en) * 1997-09-25 1999-04-27 International Business Machines Corporation Surface inspection tool using reflected and scattered light
US20050134841A1 (en) * 1998-09-18 2005-06-23 Mehdi Vacz-Iravani Sample inspection system
US6122046A (en) * 1998-10-02 2000-09-19 Applied Materials, Inc. Dual resolution combined laser spot scanning and area imaging inspection
US6563586B1 (en) * 1999-02-01 2003-05-13 Therma-Wave, Inc. Wafer metrology apparatus and method
US6486946B1 (en) 1999-06-15 2002-11-26 Ade Corporation Method for discriminating between holes in and particles on a film covering a substrate
US6853446B1 (en) * 1999-08-16 2005-02-08 Applied Materials, Inc. Variable angle illumination wafer inspection system
JP3999479B2 (ja) * 2001-07-10 2007-10-31 オリンパス株式会社 光学装置
WO2005003682A1 (en) * 2003-07-08 2005-01-13 Heon Jeong Apparatus for detecting adhered portion or edge of sheet
US7110106B2 (en) * 2003-10-29 2006-09-19 Coretech Optical, Inc. Surface inspection system
US7433031B2 (en) * 2003-10-29 2008-10-07 Core Tech Optical, Inc. Defect review system with 2D scanning and a ring detector
US20050105791A1 (en) * 2003-10-29 2005-05-19 Lee Ken K. Surface inspection method
US7319229B2 (en) * 2003-12-29 2008-01-15 Kla-Tencor Technologies Corporation Illumination apparatus and methods
US20060046618A1 (en) * 2004-08-31 2006-03-02 Sandhu Gurtej S Methods and systems for determining physical parameters of features on microfeature workpieces
US7620209B2 (en) * 2004-10-14 2009-11-17 Stevick Glen R Method and apparatus for dynamic space-time imaging system
US7719695B2 (en) * 2005-04-07 2010-05-18 Oes, Inc. Sensor device with a radiation directing surface
US7161669B2 (en) 2005-05-06 2007-01-09 Kla- Tencor Technologies Corporation Wafer edge inspection
US7161667B2 (en) * 2005-05-06 2007-01-09 Kla-Tencor Technologies Corporation Wafer edge inspection
US7397553B1 (en) * 2005-10-24 2008-07-08 Kla-Tencor Technologies Corporation Surface scanning
US20070146692A1 (en) * 2005-12-23 2007-06-28 Xerox Corporation Fiber optic specular surface flaw detection
US7362450B2 (en) * 2005-12-23 2008-04-22 Xerox Corporation Specular surface flaw detection
US20100002326A1 (en) 2006-05-11 2010-01-07 Ade Technologies, Inc. Method and system for perpendicular magnetic media metrology
US7554654B2 (en) 2007-01-26 2009-06-30 Kla-Tencor Corporation Surface characteristic analysis
US7656519B2 (en) * 2007-08-30 2010-02-02 Kla-Tencor Corporation Wafer edge inspection
US20090157212A1 (en) * 2007-12-12 2009-06-18 Basf Corporation System and method of determining paint formula having a effect pigment
JP5381613B2 (ja) * 2009-10-23 2014-01-08 富士通株式会社 光走査装置および光走査方法
CN105843158B (zh) * 2016-05-11 2019-02-12 惠州市德赛电池有限公司 一种基于激光形状测量传感器的定位方法和装置
CN106093064B (zh) * 2016-06-14 2017-09-01 南阳信威工程造价咨询有限责任公司 一种水利工程升降自动预检修装置
US10274311B2 (en) 2016-10-19 2019-04-30 Columbia Insurance Company Three dimensional laser measurement device for quality control measurements
JP2019113329A (ja) * 2017-12-21 2019-07-11 株式会社ニューフレアテクノロジー 変位計測装置及び電子ビーム検査装置
KR102066714B1 (ko) * 2018-08-10 2020-01-15 (주)신세계엔지니어링 경사조사용 광학 검사장치
US11214160B2 (en) * 2020-03-05 2022-01-04 Gm Cruise Holdings Llc System for automated charging of autonomous vehicles

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3472300D1 (en) * 1983-04-22 1988-07-28 Sick Optik Elektronik Erwin Device for the detection of faults
DE3534018A1 (de) * 1985-09-24 1987-04-02 Sick Optik Elektronik Erwin Optische bahnueberwachungsvorrichtung
JPH0629859B2 (ja) * 1986-01-14 1994-04-20 株式会社神戸製鋼所 表面欠陥検出装置
JPS62235549A (ja) * 1986-03-11 1987-10-15 Kobe Steel Ltd 表面欠陥検出方法
JPS6347641A (ja) * 1986-08-14 1988-02-29 Canon Inc 表面状態検査装置
US4741621A (en) * 1986-08-18 1988-05-03 Westinghouse Electric Corp. Geometric surface inspection system with dual overlap light stripe generator

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07151699A (ja) * 1993-11-26 1995-06-16 Nec Corp 配線パターン検査装置
CN100437220C (zh) * 2004-01-22 2008-11-26 Ntn株式会社 微小图案观察装置及采用该装置的微小图案修正装置
JP2007322173A (ja) * 2006-05-30 2007-12-13 Sumitomo Heavy Ind Ltd ダメージチェックシステム及びダメージチェック方法
WO2008001731A1 (fr) * 2006-06-27 2008-01-03 National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology Appareil d'examen de surface et procédé d'examen de surface

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0695075B2 (ja) 1994-11-24
US5125741A (en) 1992-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03267745A (ja) 表面性状検出方法
US5355213A (en) Inspection system for detecting surface flaws
JP3323537B2 (ja) 微細構造評価装置及び微細構造評価法
US6011620A (en) Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects
GB2051349A (en) Automatic defecting inspection apparatus
KR100974111B1 (ko) 표면들을 광학적으로 조사하기 위한 광학 센서 및 상기조사를 위한 방법
KR100876257B1 (ko) 광학적 측정 방법 및 그 장치
JPH06294749A (ja) 板ガラスの欠点検査方法
JP2000298102A (ja) 表面検査装置
JP2008008689A (ja) 表面検査装置および表面検査方法
JPH06281593A (ja) 表面検査方法及びその装置
JPH0694642A (ja) 表面欠陥検査方法および装置
JP2004163129A (ja) 欠陥検査方法
CN111638226B (zh) 检测方法、图像处理器以及检测系统
JP5880957B2 (ja) レーザー光により表面の変化を検出する装置
JP2000193434A (ja) 異物検査装置
JP2000314707A (ja) 表面検査装置および方法
JPH07128025A (ja) レーザ走査式高さ測定装置
JPH0776751B2 (ja) メタリック製品の表面欠点検出方式
JPH07318499A (ja) 表面欠陥検出装置
RU2035721C1 (ru) Способ контроля прозрачности плоских светопропускающих материалов
JPH09218162A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH06347418A (ja) レーザ走査装置および画像形成方法
JP3406951B2 (ja) 表面状態検査装置
JPH10293103A (ja) 光学測定方法および装置およびパターン付き基板用光学測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term