JP3999479B2

JP3999479B2 - 光学装置

Info

Publication number: JP3999479B2
Application number: JP2001209119A
Authority: JP
Inventors: 勝行阿部; 和彦長
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-07-10
Filing date: 2001-07-10
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2021-07-10
Also published as: US20030011772A1; US6829051B2; JP2003021788A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料へ光を照射し、試料から放出される光特に蛍光を検出するための光学装置に関するものである。また、本発明は複数の波長の蛍光を同時に検出し得る光学装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、生物学の研究において、生体機能を固定試料ではなく生きた試料を用いての研究が行なわれている。具体的には注目する特定のタンパク質分子に特異的に結合する蛍光分子を結合させ、蛍光顕微鏡を用いて分子の動きや分布を観察、解析しその機能の解明を行なうようにしている。それに加え、最近では蛍光物質の登場により発光性のタンパク質を細胞内に発現させることが可能になり、より生理的な活性が保たれた状態での観察や解析が可能になった。さらに細胞内のより高度な機能を解明するために蛍光色素を複数用い、複数の分子の動きや分布を同時に測定する試みもなされている。
【０００３】
また、細胞工学（第１７巻６号の９５６−９６５頁）には、細胞を生きた状態で観察し得るようにするために、励起光の強度を極力弱くし、細胞へのダメージを少なくするようにした装置が記載されている。
【０００４】
この文献に記載された装置は、励起光を弱くするために照明光学系中に減光フィルタ（ＮＤフィルタ）が配置されている。
【０００５】
このような蛍光物質の観察においてのＮＤフィルタの重要性や生きた細胞を観察する際のＮＤフィルタの濃度の適正な値については「ＧＦＰとバイオイメージング」（実験医学別冊ポストゲノム時代の実験講座３、２０００年、１５６頁、羊土社発行）に記載されている。
【０００６】
更に、特開平８−３２０４３７号公報、特開平１１−５００５２号公報、特開平１１−２２３７７３号公報には、複数の蛍光色素を用いた場合の観察装置が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記特開平８−３２０４３７号公報に記載された装置は、複数の蛍光を同時に観察するためにダイクロイックミラーとして３重励起用もしくは４重励起用のものが使用されている。この多重励起用ダイクロイックミラーには、図１７に示すような分光特性を有するものがある。このダイクロイックミラーは、図１７に示す分光特性を有するダイクロイックミラーを得るために、基板を常温付近に保ったまま薄膜を蒸着するいわゆるソフトコート膜と呼ばれる方法で製作される。このソフトコート膜は、温湿度変化、耐薬品性、表面清掃時の拭き取り等の物理的衝撃に極めて弱いために、経時変化により分光特性が劣化することが多く、メンテナンスに多大な費用がかかる。
【０００８】
また、特開平１１−５２２５２号公報にも、蛍光色素を多重染色した試料を観察する手法が記載されている。しかし、この公報に記載された手法は、多重励起のダイクロイックミラーを用いずに各蛍光色素を適した単独のダイクロイックミラーに切り替え可能に構成されている。そのために、複数の色素を用いた複数の分子の動きや分布を同時に観察することは不可能である。またダイクロイックミラーを保持する部材は、励起フィルタや吸収フィルタよりも複雑で大きいため高速でダイクロイックミラーを切り替える時振動が生ずる。また、複数蛍光色素を同時に観察するためには、蛍光色素の数だけダイクロイックミラーを用意しなければならず、コスト上も問題がある。さらに各ダイクロイックミラーの平行度の違いから各蛍光色素の観察像にずれを生ずる。この公報に記載されたずれを解消するための手段は極めて複雑であり、又、簡単で安価な手段によるずれの解消は困難である。
【０００９】
又、特開平１１−２２３７７３号公報には、対物レンズと観察光学系の光軸方向にダイクロイックミラーを複数配置し、複数の蛍光色素を同時に観察し得るようにした技術が開示されているが、この技術は、複数の光源を必要とする。
【００１０】
本発明は、以上述べたような状況に鑑みなされたもので、生体の機能解明のために用いられている複数の蛍光色素の同時観察を効率よく行ない得るようにした光学装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学装置は、光源と、前記光源よりの照明光により試料を照明するための照明光学系と、前記照明光のうちの所定の波長域の光を選択的に透過する波長選択素子を少なくとも一つ有する第１の波長選択部材と、前記照明光を偏向させて試料へ向ける光分割器と、前記光分割器と試料との間に配置された対物レンズと、試料よりの光を対物レンズを通して光を検出する検出装置と、前記対物レンズと前記検出装置の間に配置され、前記試料から反射されあるいは放出された光のうちの所定の波長の光を選択的に透過させる波長選択素子を少なくとも一つ有する第２の波長選択部材とを備え、前記光分割器は少なくとも４００ｎｍ以上、７００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％以上、反射率が１５％以下の無コート基板ガラスを具備することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の光学装置は、前記のような構成のものであって、光分割器の光学素子が平行平面板状でその光源からの照明光が入射する側の面（第１の面）とは反対側の面（第２面）に少なくとも反射防止コーティングを施したことを特徴とする。この場合第１の面と第２の面の両方にコーティングを施したものでもよい。
【００１３】
また、本発明の光学装置は、前記の各構成の装置で、光分割器がダイクロイックミラーを更に含むもので光学素子とダイクロイックミラーとを切り替え可能にしたことを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に本発明の光学装置の実施の形態を示す。
【００１５】
本発明の第１の実施の形態は、図１に示す通りの構成である。この第１の実施の形態は、正立型の顕微鏡を基本構成とするもので、図１において、１は光源、２は照明光学系、３は第１の波長選択素子を有する第１の波長選択部材、４は光学素子１０を有する光分割器、５は対物レンズ、６は試料、７は第２の波長選択素子７ａを有する第２の波長選択部材、８は結像レンズ、９は検出装置である。又、上記構成中光源１は例えば水銀ランプが用いられる。
【００１６】
水銀ランプの光源１より放射される光には紫外線から可視光および近赤外光が含まれており、この光源よりの光は照明光学系２を通り第１の波長選択部材３に入射する。この第１の波長選択部材３には、第１の波長選択素子として所定の波長特性を有する第１の光学フィルタ３ａが配置されている。この第１の波長選択部材３中のフィルタ３ａが光路中に位置するようにして紫外域−可視域の光のうちの所定の波長域の光のみを透過させるようにしている。このフィルタ３ａを透過した光は、光分割器４に入射する。この光分割器４には、光学素子１０が配置され、この光学素子１０は、照明光学系２の光軸に対して４５°の角度をなすよう配置されている。これによって光分割器４に入射した励起光は、対物レンズ５に向かって反射される。このように光学素子１０にて反射されて光分割器４を射出した励起光は、対物レンズ５を介して試料６を照射する。
【００１７】
このようにして、励起光により照射された試料６は、蛍光を発する。つまり試料から反射した励起光と蛍光とが発生する。この試料よりの蛍光と励起光とは、対物レンズ５を透過して光分割器４に入射する。光分割器４に入射した光は光学素子１０を透過して第２の波長選択部材７に入射する。
【００１８】
ここで、光分割器４の光学素子１０として、図２に示すような二つの三角プリズム１１、１２を互いに接合した直方体の形状のものや、図３に示すような照明光軸に対して各々２２．５°傾斜させて配置した二つの平行平面板１３、１４とよりなるもの等がある。
【００１９】
また、第２の波長選択部材７に配置されている第２の波長選択素子である第２の光学フィルタ７ａは所定の波長特性を有し、蛍光と反射光のうち、蛍光のみを透過させるようにしてある。
【００２０】
このような構成の第２の波長選択部材７に入射した蛍光と反射光は、第２の光学フィルタ７ａにより蛍光のみ透過する。この第２の波長選択部材７を透過した蛍光は、結像レンズ８により検出装置９の所定位置に試料の蛍光像を形成する。この蛍光像位置の近傍に接眼レンズを配置すれば、目視による蛍光像の観察ができる。この蛍光像は、非常に暗いために冷却ＣＣＤ等の電子撮像素子、特に高感度の撮像素子を配置して撮像することが好ましい。
【００２１】
次に本発明の第１の実施の形態の光学装置にて用いられる光分割器中の光学素子について説明する。
【００２２】
この第１の実施の形態において用いられる光学素子は、例えば図１に示すように平行平面板で、少なくとも４００ｎｍ以上、７００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％以上であり、反射率が１５％以下の波長特性を有している。
【００２３】
図４、図５は、第１の実施の形態の光学装置において用いる光学素子の波長特性の一例である。この光学素子の材料は、Ｓ−ＢＳＬ７（株式会社オハラ製）を両面研磨した基板ガラスをそのまま用いたもので、図４はこの光学素子の波長３００ｎｍ〜１２００ｎｍにおける分光透過率特性、図５は、同じ光学素子の波長３００ｎｍ〜１２００ｎｍにおける分光反射率特性を示す。
【００２４】
この第１の実施の形態で用いる光学素子は、前記のように材料Ｓ−ＢＳＬ７の基板ガラスをそのまま用いたもので、つまりコートなしの状態にて用いたもので、そのため多重励起用ダイクロイックミラーに比べて経時変化や物理的衝撃等に対する耐久性が格段によい。
【００２５】
この第１の実施の形態の光学装置は、光分割器の光学素子の反射率が４００ｎｍから１２００ｎｍまでの波長域においてほぼ一定であり、そのため励起光がこの波長域内であればどの波長も同じ反射率にて反射された後に試料を照射する。したがって、所望の蛍光色素に対応した第１、第２の光学フィルタを適宜選択することにより、耐性に問題のある多重励起用のダイクロイックミラーを用いる必要がなく、あるいは各蛍光色素に対応した専用のダイクロイックミラーを複数用い、それらを切り替え使用する必要がなく、またＮＤフィルタ等の他の光学素子を必要とせずに試料に照射させる励起光の強度を非常に小さくでき試料に与えるダメージを軽減し得る。
【００２６】
以上、第１の実施の形態にて用いる光分割器のうち、図１に示す構成の光分割器について具体的に説明したが、図２、図３に示す構成の光分割器の場合も、光学素子を構成する材料の選択等により、全体として、少なくとも４００ｎｍ以上、７００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％以上、反射率が１５％以下になるようにすればよい。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施の形態の光学装置について述べる。
【００２８】
本発明の第２の実施の形態は、光学装置全体の構成は図１に示す通りで第１の実施の形態と実質上同じである。しかし、光学装置にて用いられる光分割器が図６に示す通りで、その光学素子１０の励起光が入射する面（第１の面）１０ａと反対側の面（第２の面）１０ｂとに反射防止コートを施したものである。
【００２９】
これらの面１０ａ、１０ｂに反射防止コートを施すことにより、この光学素子１０の透過率が向上し、試料からの蛍光を効率よく第２の波長選択部材および検出装置へ導くことができ、また試料に照射する励起光を弱くすることができ試料に対するダメージを軽減できる。
【００３０】
図７、図８、図９は、光分割器の光学素子の反射率特性を示すもので、基板ガラスは、夫々Ｓ−ＴＩＨ６、Ｓ−ＢＳＬ７（いずれも株式会社オハラ製）、合成石英で、厚さはすべて１ｍｍである。これら図において、ａは反射防止コートなしの場合、ｂは第２の面のみ反射防止コートを施した場合、ｃは両方の面に反射防止コートを施した場合である。この第２の実施の形態にて用いる反射防止コートは、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）が用いられている。しかし、経時変化や物理的耐性に問題がない範囲内で多層膜コートを反射防止コートとして用いてもよい。
【００３１】
図１０、図１１、図１２は、光学素子の透過率特性を示すもので、基板ガラスは、夫々Ｓ−ＴＩＨ６、Ｓ−ＢＳＬ７（いずれも株式会社オハラ製）、合成石英で、厚さはすべて１ｍｍである。
【００３２】
これらの図において、ａは反射防止コートなしの場合、ｂは第２の面のみ反射防止コートを施した場合、ｃは両方の面に反射防止コートを施した場合の分光透過率特性である。
【００３３】
これら図７、８、９、１０、１１、１２より光学素子の基板ガラスとしてＳ−ＴＩＨ６、Ｓ−ＢＳＬ７、合成石英を用いることにより、少なくとも４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％で、反射率が１５％以下の透過、反射特性を有する光学素子を実現し得る。
【００３４】
この第２の実施の形態の光学装置は、光分割器の光学素子が上記の通りの特性を有するので光学素子に入射する励起光のほとんどが光学素子を透過し、光学素子にて反射する励起光は僅かである。
【００３５】
合成石英で反射コートを両面に施した場合、約５％の励起光が対物レンズに向かって反射される。したがって、対物レンズを透過して試料に達する励起光は僅かである。そのため、細胞を損傷させることがなく、生きた細胞の観察が容易に行ない得る。しかし、励起光の強度が非常に小さいために、試料より発する蛍光の強度も非常に小さい。そのため、検出装置には、電子撮像素子を用いるのが好ましい。
【００３６】
第３の実施の形態の光学装置は、第１、第２の実施の形態と実質上同じ構成であって、図１に示す通りである。しかしこの第３の実施の形態は、光分割器として、第１、第２の実施の形態の光学素子と、従来用いられているダイクロイックミラーとを切り替え可能に配置した点で他の実施の形態とは相違する。
【００３７】
図１３は、この第３の実施の形態にて用いる光分割器の構成を示すもので、光学素子１５とダイクロイックミラー１６とが共通の保持部材１７にて保持されていて、レバー１８により光路に対して挿脱可能になっている。
【００３８】
前述のように、光学素子１５を光路中に配置する構成では、蛍光の強度は非常に小さい。そのため、目視での蛍光観察が難しかったり、試料の位置合わせが行ないにくいということがあり得る。
【００３９】
そこで、上記のような光分割器を用いると、光学素子１５をダイクロイックミラー１６に切り替えることによって、試料への励起光の光量を増加させることができるので、目視観察が可能になる。また、対物レンズを低倍率に切り替えれば、試料の位置出しを容易になし得る。
【００４０】
また、高倍率、高開口数の対物レンズを用いた場合でも、ダイクロイックミラーに切り替えることにより、試料への励起光の光量を極端に増大させることができる。これにより、例えば、蛍光色素を意図的に褪色させその後蛍光が光量を増大させていく様子を観察することによって、細胞内の特定のたんぱく質の機能を調べる方法、すなわちフォトブリーチングと呼ばれる手法を利用することが可能になる。
【００４１】
さらに第４の実施の形態は、図１４に示す通りの構成で、１は光源、２は照明光学系、３は第１の波長選択部材、４は光分割器、５は対物レンズ、６は試料、７は第２の波長選択部材、８は結像レンズ、９は検出装置で、これらは基本的には図１と同様の構成である。
【００４２】
しかし、この第４の実施の形態は、第１の波長選択部材と第２の波長選択部材とが夫々光学特性の異なる複数の波長選択素子を備えていて、コンピュータ２０により制御されている点で他の実施の形態と相違する。ここで、第４の実施の形態の光学装置は、光学特性の異なる複数の第１のフィルタと光学特性の異なる複数の第２のフィルタとを夫々備えており、コンピュータ２０により、所望の蛍光色素に最も適した第１の光学フィルタと第２の光学フィルタの組み合わせが光路中に配置されるようになっている。
【００４３】
図１５は、この第４の実施の形態において用いられる第１、第２の波長選択部材の構成を示すものである。この波長選択部材は、図示するよう電動にて回転し得るターレット状のフィルタホイール２１に蛍光色素に対応する複数の光学フィルタ２１ａ，２１ｂ，・・・を配置した構成であって、コンピュータ制御により任意の光学フィルタを照明光路あるいは結像光路中に挿脱し得るようにしたものである。ここで用いる光学フィルタは、図に示す多重励起対応の励起フィルタや吸収フィルタ、または図に示すような単一の蛍光色素に対応する励起フィルタや吸収フィルタである。
【００４４】
また図１６は本発明の第４の実施の形態の変形例であって、光分割器４にミラー２２を加えたものである。この光分割器に入射する光源よりの励起光は、光分割器４内の光学素子１０により反射されて試料６の側へ向けられるが、一部の光は光学素子を透過する。この光学素子１０を透過した光が、鏡筒内面等の反射により光学素子に戻され、観察光路内に入射すると好ましくない。これを防ぐために、前記ミラー２２により光学素子を透過した励起光を観察光路外に逃がすようにしている。したがって、ミラー２２は、それにて反射した光が光学素子に戻らないように配置位置、傾斜角を定めることが好ましい。
【００４５】
なお、図１６に示す光分割器における不必要な励起光を逃がす手段（光トラップ機構）は、第１、第２、第３の実施の形態にも適用し得る。
【００４６】
また、光トラップ機構として、図１６に示すようなミラーにより反射させるようにした機構の代わりにミラーに代えて吸収フィルタを用いるかあるいは適宜箇所に光吸収部材を配置することにより光分割器の光学素子を透過した光源よりの光を吸収することによって除去するようにしてもよい。この吸収による光トラップ機構は、他の実施の形態にも適用し得る。
【００４７】
以上述べた本発明の各実施の形態の光学装置は、正立型の顕微鏡を基本としているが、前記各実施の形態にて用いられている本発明の技術手段は、そのまま倒立型の顕微鏡にも用い得る。
【００４８】
本発明の光学装置は、以上述べた通りの構成で特許請求の範囲に記載する構成の他に次の各項に記載する構成のものも発明の目的を達成し得る。
【００４９】
（１）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記光分割器の光学素子の透過、反射特性が波長３３０ｎｍ以上で１０００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％以上であり反射率が１５％以下であることを特徴とする光学装置。
【００５０】
（２）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記光分割器の光学素子の透過、反射特性が波長４００ｎｍ以上で１０００ｎｍ以下の波長域において透過率が９０％以上であり反射率が５％以下であることを特徴とする光学装置。
【００５１】
（３）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記光分割器の光学素子の透過、反射特性が波長２００ｎｍ以上で１０００ｎｍ以下の波長域において透過率が９０％以上であり反射率が７％以下であることを特徴とする光学装置。
【００５２】
（４）特許請求の範囲の請求項１、２又は３あるいは前記の（１）、（２）又は（３）の項に記載する装置で、前記光分割器の光学素子が下記条件（１）を満足することを特徴とする光学装置。
（１）ｎ＜２．０
ただし、ｎは光学素子のｄ線に対する屈折率である。
【００５３】
（５）特許請求の範囲の請求項１あるいは前記の（１）、（２）、（３）又は（４）の項に記載する装置で、前記光分割器の光学素子の照明光が入射する側の面とは反対側の面に反射コートを施したことを特徴とする光学装置。
【００５４】
（６）前記の（１）、（２）、（３）、（４）又は（５）の項に記載する装置で、前記光分割器が更にダイクロイックミラーを有し、前記光学素子と前記ダイクロイックミラーとが切り替え可能に構成されていることを特徴とする光学装置。
【００５５】
（７）特許請求の範囲の請求項３あるいは前記の（６）の項に記載する装置で、前記光分割器が照明光のうちの所定の波長域の光を選択的に透過させる波長選択素子と、ダイクロイックミラーと、照明光（励起光）により照射された試料にて反射された光および放出された光のうちの所定の波長域の光を選択的に透過させる波長選択素子とが一体に保持されたユニットを有し、前記光学素子と前記ユニットとが切り替え可能に構成されていることを特徴とする光学装置。
【００５６】
（８）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記光分割器が前記光学素子の照明光が透過する側に光トラップ機構を備えていることを特徴とする光学装置。
【００５７】
（９）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記第１の波長選択部材が複数の波長選択素子とを有し、前記波長選択素子のうちから一つの波長選択素子を選択する第１の選択機構を備えたことを特徴とする光学装置。
【００５８】
（１０）特許請求の範囲の請求項１、２又は３あるいは前記の（１）、（２）又は（３）の項に記載する装置で、前記第２の波長選択部材が複数の波長選択素子を有し、前記波長選択素子のうち一つの波長選択素子を選択する第２の選択機構を有することを特徴とする光学装置。
【００５９】
（１１）特許請求の範囲の請求項１、２又は３あるいは前記の（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）、（７）、（８）、（９）又は（１０）の項に記載する装置で、前記検出装置が電子撮像素子であることを特徴とする光学装置。
【００６０】
（１２）前記の（１１）の項に記載する装置で、前記電子撮像素子が高感度撮像素子であることを特徴とする光学装置。
【００６１】
（１３）前記の（９）又は（１０）の項に記載する装置で、コンピュータを備え、選択機構および第２の選択機構が前記コンピュータにて制御するようにしたことを特徴とする光学装置。
【００６２】
（１４）前記の（１３）の項に記載する装置で、前記高感度撮像素子が前記コンピュータにて制御されることを特徴とする光学装置。
【００６３】
（１５）特許請求の範囲の請求項１、２又は３に記載する装置で、前記光学素子が照明光が入射する側から順に、第１の面と第２の面とを有し、第１の面に反射防止コートが施されていることを特徴とする光学装置。
【００６４】
（１６）前記の（８）の項に記載する装置で、前記光トラップ機構が少なくとも一つの反射面を有することを特徴とする光学装置。
【００６５】
（１７）前記の（１６）の項に記載する装置で、前記反射面が入射してきた光を９０度以上の角度にて反射するように配置されていることを特徴とする光学装置。
【００６６】
（１８）前記の（１６）の項に記載する装置で、前記反射面が複数設けられ複数の反射面が向き合って配置されていることを特徴とする光学装置。
【００６７】
（１９）前記の（８）又は（１６）の項に記載する装置で、前記光トラップ機構が入射した光を吸収する吸収部材を有することを特徴とする光学装置。
【００６８】
【発明の効果】
本発明の光学装置によれば、経時変化等の耐性に弱く、多重励起用のダイクロイックミラーを用いることなく、更に４重蛍光染色や５重蛍光染色以上の蛍光色素にて染色した試料を同時に観察することが可能であり、生きた細胞の機能解明に最適な蛍光観察が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の光学装置の構成を示す図
【図２】本発明の光学装置で用いる光分割器の他の例を示す図
【図３】本発明の光学装置で用いる光分割器の他の第３の例を示す図
【図４】本発明の第１の実施の形態の光学装置で用いる光分割器の光学素子の分光透過率特性を示す図
【図５】前記光学素子の分光反射率特性を示す図
【図６】本発明の第２の実施の形態の光学装置で用いる光分割器の構成を示す図
【図７】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスがＳ−ＴＩＨ６の分光反射率特性を示す図
【図８】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスがＳ−ＢＳＬ７の分光反射率特性を示す図
【図９】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスが合成石英の分光反射率特性を示す図
【図１０】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスがＳ−ＴＩＨ６の分光透過率特性を示す図
【図１１】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスがＳ−ＢＳＬ７の分光透過率特性を示す図
【図１２】前記第２の実施の形態で用いる光学素子で基板ガラスが合成石英の分光透過率特性を示す図
【図１３】本発明の第３の実施の形態の光学装置で用いる光分割器の構成を示す図
【図１４】本発明の第４の実施の形態の光学装置の構成を示す図
【図１５】前記第４の実施の形態の第１、第２の波長選択部材の構成を示す図
【図１６】本発明の第４の実施の形態の光学装置の変形例を示す図
【図１７】多重励起用ダイクロイックミラーの分光透過率特性を示す図
【符号の説明】
１光源
２照明光学系
３第１の波長選択部材
４光分割器
５対物レンズ
６試料
７第２の波長選択部材
８結像レンズ
９検出装置
１０光学素子

Claims

光源と、前記光源よりの照明光により試料を照明するための照明光学系と、前記照明光のうちの所定の波長域の光を選択的に透過する波長選択素子を少なくとも一つ有する第１の波長選択部材と、前記照明光を偏向させて試料へ向ける光分割器と、前記光分割器と試料との間に配置された対物レンズと、試料よりの光を対物レンズを通して光を検出する検出装置と、前記対物レンズと前記検出装置の間に配置され、前記試料から反射されあるいは放出された光のうちの所定の波長の光を選択的に透過させる波長選択素子を少なくとも一つ有する第２の波長選択部材とを備え、前記光分割器は少なくとも４００ｎｍ以上、７００ｎｍ以下の波長域において透過率が８５％以上、反射率が１５％以下の無コート基板ガラスを具備することを特徴とする光学装置。
前記光分割器がダイクロイックミラーを有し、前記光学素子と前記ダイクロイックミラーが切り替え可能であることを特徴とする請求項１の光学装置。