JP4837279B2 - 落射顕微鏡および蛍光フィルターセット - Google Patents
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Description
本実施形態は正立型の顕微鏡に向けられている。図1は、本発明の第一実施形態による顕微鏡の構成を示している。図1に示されるように、顕微鏡は、光源10と、照明光学系20と、蛍光フィルターセット100と、対物レンズ30と、結像レンズ50と、検出装置60とを備えている。
本発明の第二実施形態による落者顕微鏡の全体の構成は、第一実施形態と実質上同じであり、従って図1に示す通りである。しかし、本実施形態の光分割器120は、平板状透明基板122のおもて面にダイクロイックミラーコート124が施され、うら面には反射防止膜126が施されている点が、第一実施形態のそれと相違している。
本発明の第三実施形態による落射顕微鏡の全体の構成は、第一実施形態と実質上同じであり、従って図1に示す通りである。しかし、本実施形態は、光分割器120の第一ダイクロイックミラーコート124と第二ダイクロイックミラーコート126の分光特性が第一実施形態のそれと相違している。本実施形態では、第一ダイクロイックミラーコート124と第二ダイクロイックミラーコート126は、ほぼ同じ帯域を反射し、ほぼ同じ帯域を透過する分光特性を有している。
第一参考例による落射顕微鏡の全体の構成は、第一実施形態と実質上同じであり、従って図1に示す通りである。しかし、本参考例は、光分割器120の第一ダイクロイックミラーコート124と第二ダイクロイックミラーコート126の分光特性が第一実施形態のそれと相違している。
第二参考例による落射顕微鏡の全体の構成は、第一実施形態と実質上同じであり、従って図1に示す通りである。しかし、本参考例は、光分割器120の第一ダイクロイックミラーコート124と第二ダイクロイックミラーコート126の分光特性が第一実施形態のそれと相違している。本参考例では、第一波長選択部材110と第二波長選択部材130で選択される光の波長が2つあり、光分割器120もこれに対応するコートが施されている。
Claims (30)
- 試料を照明するための光を発する光源と、
前記光源からの光を選択的に透過する第一波長選択部材と、
前記第一波長選択部材からの光を反射して試料を落射照明するとともに、試料から発せられる光を透過する光分割器と、
前記光分割器を透過した光を選択的に透過する第二波長選択部材とを備えており、
前記光分割器は、透明体と、その透明体に施されたダイクロイックミラーコートとからなり、前記ダイクロイックミラーコートは前記第一波長選択部材によって選択された波長の光を効率良く反射する第一ダイクロイックミラーコートと、前記第一波長選択部材よって選択された光よりも短波長側の光または同じ帯域の光またはこれらの組み合わせの光を反射する前記第一ダイクロイックミラーコートと反射帯域が部分的に重なっている第二ダイクロイックミラーコートとを備えていることを特徴とする落射顕微鏡。 - 請求項1に記載の落射顕微鏡において、前記光分割器における前記透明体は前記第一波長選択部材側の第一面と前記第二波長選択部材側の第二面を持ち、前記透明体に施されたダイクロイックミラーコートは、第一面に施された前記第一ダイクロイックミラーコートと、第二面に施された前記第二ダイクロイックミラーコートとを備えていることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項2に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、少なくとも前記第一波長選択部材によって選択された波長の光を効率良く反射する積層を備えることで前記第一波長選択部材によって選択された波長の光を反射して試料を落射照明するとともに、前記試料から発せられる光を透過することを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項3に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項3に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項3に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項3に記載の落射顕微鏡において、前記第二ダイクロイックミラーコートは、前記第一ダイクロイックミラーコートの反射帯域に対して、短波長側の光または同じ帯域の光またはこれらの組み合わせの光を反射するとともに、試料から発せられる光を透過することを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項7に記載の落射顕微鏡において、前記第二ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、短波長側の光λまたは長波長側の光λまたは同じ帯域の光λまたはこれらの組み合わせの光の中心波長λに対して、高屈折率材料は平均的な光学膜厚が約λ/4であり、低屈折率材料は平均的な光学膜厚が約λ/4であり、前記第二ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長に透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項8に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項8に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項8に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に生じる透過帯域を有していることを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項1または請求項2に記載の落射顕微鏡において、前記第一波長選択部材は、光源からの光線のうちの複数の波長の光を選択的に透過し、前記光分割器は、前記第一波長選択部材を透過した光を反射するとともに、試料から発せられる複数の波長の光を透過し、前記第二波長選択部材は、前記光分割器を透過した光のうちの所定の複数の波長の光を選択的に透過することを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項12に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートは、前記第一波長選択部材によって選択された複数の波長の光のうち、少なくとも一つの波長の光を反射して試料を落射照明することを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項13に記載の落射顕微鏡において、前記第二ダイクロイックミラーコートは、前記第一波長選択部材によって選択された複数の波長の光のうち、前記第一ダイクロイックミラーコートによって反射されない波長の光を反射して試料を落射照明することを特徴とする落射顕微鏡。
- 請求項1〜請求項14に記載の落射顕微鏡において、前記第一ダイクロイックミラーコートと前記第二ダイクロイックミラーコートの膜厚の比(前記第一ダイクロイックミラーコートの物理膜厚/前記第二ダイクロイックミラーコートの物理膜厚)が1/3よりも大きく、3よりも小さいことを特徴とする落射顕微鏡。
- 励起光を選択的に透過する第一波長選択部材と、
前記第一波長選択部材からの励起光を反射して試料を落射照明するとともに、試料から発せられる蛍光を透過する光分割器と、
前記光分割器を透過した蛍光を選択的に透過する第二波長選択部材とを備えており、
前記光分割器は、透明体と、その透明体に施されたダイクロイックミラーコートとからなり、前記ダイクロイックミラーコートは前記第一波長選択部材によって選択された波長の光を効率良く反射する第一ダイクロイックミラーコートと、第一波長選択部材よって選択された光よりも短波長側の光または同じ帯域の光またはこれらの組み合わせの光を反射する前記第一ダイクロイックミラーコートと反射帯域が部分的に重なっている第二ダイクロイックミラーコートとを備えていることを特徴とする蛍光フィルターセット。 - 請求項16に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記光分割器における前記透明体は前記第一波長選択部材側の第一面と前記第二波長選択部材側の第二面を持ち、前記透明体に施されたダイクロイックミラーコートは、第一面に施された前記第一ダイクロイックミラーコートと、第二面に施された前記第二ダイクロイックミラーコートとを備えていることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項17に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、前記第一波長選択部材によって選択された波長の光を反射して試料を落射照明するとともに、前記試料から発せられる光を透過することを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項18に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項18に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項18に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に前記第一波長選択部材からの光を反射する反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に前記試料から発せられた光を透過する透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項18に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第二ダイクロイックミラーコートは、前記第一ダイクロイックミラーコートの反射帯域に対して、短波長側の光または同じ帯域の光またはこれらの組み合わせの光を反射するとともに、試料から発せられる光を透過することを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項22に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第二ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、短波長側の光λまたは長波長側の光λまたは同じ帯域の光λまたはこれらの組み合わせの光の中心波長λに対して、高屈折率材料は平均的な光学膜厚が約λ/4であり、低屈折率材料は平均的な光学膜厚が約λ/4であり、前記第二ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長に透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項23に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項23に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項23に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、屈折率が2.0以上の高屈折率材料と、屈折率が1.5以下の低屈折率材料とを20層以上積層して作られており、前記第一波長選択部材によって選択された光の中心波長λに対して、高屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、低屈折率材料の平均的な光学膜厚は約3×λ/4であり、前記第一ダイクロイックミラーコートは、波長λの付近に反射帯域を有し、反射帯域よりも長波長側に生じる透過帯域を有していることを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項16または請求項17に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一波長選択部材は、光源からの光線のうちの複数の波長の光を選択的に透過し、前記光分割器は、前記第一波長選択部材を透過した光を反射するとともに、試料から発せられる複数の波長の光を透過し、前記第二波長選択部材は、前記光分割器を透過した光のうちの所定の複数の波長の光を選択的に透過することを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項27に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートは、前記第一波長選択部材によって選択された複数の波長の光のうち、少なくとも一つの波長の光を反射して試料を落射照明することを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項28に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第二ダイクロイックミラーコートは、前記第一波長選択部材によって選択された複数の波長の光のうち、前記第一ダイクロイックミラーコートによって反射されない波長の光を反射して試料を落射照明することを特徴とする蛍光フィルターセット。
- 請求項16〜請求項29に記載の蛍光フィルターセットにおいて、前記第一ダイクロイックミラーコートと前記第二ダイクロイックミラーコートの膜厚の比(前記第一ダイクロイックミラーコートの物理膜厚/前記第二ダイクロイックミラーコートの物理膜厚)が1/3よりも大きく、3よりも小さいことを特徴とする蛍光フィルターセット。
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