JP2637432B2 - レーザ光反射フィルタレンズ - Google Patents
レーザ光反射フィルタレンズInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、各種レーザ装置を取り扱う際に眼に有害な
レーザ光線を反射して眼を保護するためのレーザ光反射
フィルタ、特にレーザ光のフィルタ面への入射角度に対
して反射能力が低下しないレーザ光反射フィルタレンズ
に関する。
レーザ光線を反射して眼を保護するためのレーザ光反射
フィルタ、特にレーザ光のフィルタ面への入射角度に対
して反射能力が低下しないレーザ光反射フィルタレンズ
に関する。
［従来の技術］ 1960年に初めてルービーレーザが開発されて以来、す
でにレーザの歴史は25年を経過し、現在ヘリウム−ネオ
ン（He−Ne）、アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、ヘ
リウム−カドミニウム（He−Cd）、炭酸ガス（CO2）、
エキシマなどのガスレーザ、またヤグ（YAG）、ルビ
ー、ガラスなどの固体レーザ、さらに半導体レーザなど
種々のレーザが幅広い応用分野を得て、その普及度を高
めている。
でにレーザの歴史は25年を経過し、現在ヘリウム−ネオ
ン（He−Ne）、アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、ヘ
リウム−カドミニウム（He−Cd）、炭酸ガス（CO2）、
エキシマなどのガスレーザ、またヤグ（YAG）、ルビ
ー、ガラスなどの固体レーザ、さらに半導体レーザなど
種々のレーザが幅広い応用分野を得て、その普及度を高
めている。
しかし一方においてレーザが眼球組織に照射された場
合には危険なことが知られており、眼の保護として、レ
ーザを遮光し、レーザ光が眼に入らないような保護眼鏡
の装用が必要となっている。
合には危険なことが知られており、眼の保護として、レ
ーザを遮光し、レーザ光が眼に入らないような保護眼鏡
の装用が必要となっている。
従来のレーザ保護眼鏡は大別すると色ガラスと着色プ
ラスチックレンズの２種類からなるフィルタにより作ら
れ、色ガラスは通常、青板、白板ガラスの素材、Br−７
等の光学レンズ素材に着色性を有する有色イオン（例え
ば、クロム、コバルト）、非金属元素、金属元素（例え
ば鉄）等を溶融前に含有させ選択吸収特性を持たせた広
域フィルタであり、例えば、特開昭54−27451号公報で
は、色ガラスをフィルタとして用いたレーザ保護眼鏡が
示されている。
ラスチックレンズの２種類からなるフィルタにより作ら
れ、色ガラスは通常、青板、白板ガラスの素材、Br−７
等の光学レンズ素材に着色性を有する有色イオン（例え
ば、クロム、コバルト）、非金属元素、金属元素（例え
ば鉄）等を溶融前に含有させ選択吸収特性を持たせた広
域フィルタであり、例えば、特開昭54−27451号公報で
は、色ガラスをフィルタとして用いたレーザ保護眼鏡が
示されている。
また、着色プラスチックレンズは、透明性を有するプ
ラスチック樹脂例えばポリカーボネート、アクリル系樹
脂に、ピグメントオレンヂ系とかピグメントブルー系有
機あるいは無機顔料等を成形前に前記樹脂ベースに混入
させ射出整形したものである。色ガラス及び着色プラス
チックレーザ保護眼鏡共レーザ光の遮光方式は吸収現象
を利用するものであり、そのレーザ光の遮光性能は、含
有する着色剤の吸収率によって決まるものである。
ラスチック樹脂例えばポリカーボネート、アクリル系樹
脂に、ピグメントオレンヂ系とかピグメントブルー系有
機あるいは無機顔料等を成形前に前記樹脂ベースに混入
させ射出整形したものである。色ガラス及び着色プラス
チックレーザ保護眼鏡共レーザ光の遮光方式は吸収現象
を利用するものであり、そのレーザ光の遮光性能は、含
有する着色剤の吸収率によって決まるものである。
一方その他のレーザ光の遮光方法としてレーザ反射鏡
が挙げられる。即ち、レーザ用反射鏡として透明な高屈
折物質層と低屈折率物質層を光学的厚さがλ/4（2m＋
１）（但し、ｍは零又は１、λレーザの発振波長であ
る）となるように交互に積層させたものである。
が挙げられる。即ち、レーザ用反射鏡として透明な高屈
折物質層と低屈折率物質層を光学的厚さがλ/4（2m＋
１）（但し、ｍは零又は１、λレーザの発振波長であ
る）となるように交互に積層させたものである。
［発明が解決しようとする問題点］ 前述したように従来のレーザ保護眼鏡は光の吸収現象
を利用するものであるから、レーザ波長域が可視域内に
ある場合には、十分な可視光透過率を得ようとすると、
対象レーザ光に対して眼を保護するに十分な光学濃度が
得られず、他方対象レーザ光に対して十分な光学濃度を
得ようとすると、観察するために十分な可視光透過率が
得られなかった。すなわちレーザ光に対し十分な遮光を
しようとすると、レーザ保護眼鏡を通して観察しようと
する物体、例えばレーザ光線で加工中の被加工物までも
が観察され得なくなってしまうという問題点が存在し
た。
を利用するものであるから、レーザ波長域が可視域内に
ある場合には、十分な可視光透過率を得ようとすると、
対象レーザ光に対して眼を保護するに十分な光学濃度が
得られず、他方対象レーザ光に対して十分な光学濃度を
得ようとすると、観察するために十分な可視光透過率が
得られなかった。すなわちレーザ光に対し十分な遮光を
しようとすると、レーザ保護眼鏡を通して観察しようと
する物体、例えばレーザ光線で加工中の被加工物までも
が観察され得なくなってしまうという問題点が存在し
た。
また、レーザ波長域が近赤外域などの可視域外にある
場合にも着色剤の固有吸収特性によりその特性がレーザ
波長域だけでなく、可視域内にも吸収が現われてしま
い、被加工物が見えなくなってしまうという同様の問題
点が存していた。
場合にも着色剤の固有吸収特性によりその特性がレーザ
波長域だけでなく、可視域内にも吸収が現われてしま
い、被加工物が見えなくなってしまうという同様の問題
点が存していた。
また、前述の反射鏡はその反射特性が入射角度によっ
て変化するという特性を持っているので、反射鏡がレー
ザ光に対して斜めになると、反射鏡の反射中心波長が垂
直入射の反射中心波長よりも短い方へ移動し、かつ反射
率も減少するために斜め方向から入射するレーザ光は反
射される量も減少し、従って不都合にも透過量が増加す
ることになる。
て変化するという特性を持っているので、反射鏡がレー
ザ光に対して斜めになると、反射鏡の反射中心波長が垂
直入射の反射中心波長よりも短い方へ移動し、かつ反射
率も減少するために斜め方向から入射するレーザ光は反
射される量も減少し、従って不都合にも透過量が増加す
ることになる。
従って上記レーザ光反射鏡を保護眼鏡用フィルタとし
て使用するとフィルタ面へのレーザ光の入射角度によっ
て遮光率が変化し、大きい角度で入射するレーザ光はレ
ンズで十分に遮光されないまま眼に入り、眼に損傷を与
える危険性があった。
て使用するとフィルタ面へのレーザ光の入射角度によっ
て遮光率が変化し、大きい角度で入射するレーザ光はレ
ンズで十分に遮光されないまま眼に入り、眼に損傷を与
える危険性があった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、前述従来技術の問題点を解決するものであ
って、レーザ光波長以外の可視域に大きな吸収がなく、
被観察物体の視認性が高く、かつレーザ光のフィルタ面
への入射角度の変化に対して反射（遮光）能力が低下し
ないレーザ光反射フィルタガラスを提供することを目的
とする。その目的を達成するために、レーザ光反射フィ
ルタとして基板の一方の面に後述するような層構成から
なる第１反射膜を、そして他方の面に後述するような層
構成からなる第２反射膜を設けて眼にとって有害なレー
ザ光線を遮光するフィルタを提供するものである。
って、レーザ光波長以外の可視域に大きな吸収がなく、
被観察物体の視認性が高く、かつレーザ光のフィルタ面
への入射角度の変化に対して反射（遮光）能力が低下し
ないレーザ光反射フィルタガラスを提供することを目的
とする。その目的を達成するために、レーザ光反射フィ
ルタとして基板の一方の面に後述するような層構成から
なる第１反射膜を、そして他方の面に後述するような層
構成からなる第２反射膜を設けて眼にとって有害なレー
ザ光線を遮光するフィルタを提供するものである。
前記第１反射膜によって所定入射角範囲（例えば０゜
〜50゜）でフィルタに入射した光線は透過することなく
反射され、一方上記所定入射角範囲を超えて入射する光
線は一旦は透明基板内を透過するが、前記第２反射膜に
よって所定入射角範囲（例えば50゜〜60゜）の入射光線
が透明基板と第２反射膜との界面又は他の積層界面で反
射させられることによって、結果としてフィルタの表面
に相当に大きな入射角で入射するレーザ光線も第１およ
び第２反射膜で有効に反射せしめられ、前記問題点が解
決される。
〜50゜）でフィルタに入射した光線は透過することなく
反射され、一方上記所定入射角範囲を超えて入射する光
線は一旦は透明基板内を透過するが、前記第２反射膜に
よって所定入射角範囲（例えば50゜〜60゜）の入射光線
が透明基板と第２反射膜との界面又は他の積層界面で反
射させられることによって、結果としてフィルタの表面
に相当に大きな入射角で入射するレーザ光線も第１およ
び第２反射膜で有効に反射せしめられ、前記問題点が解
決される。
以下図面に基づき本発明を更に詳説する。
第１図（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は本発明のレーザ光
反射フィルタガラスの一例を示すものであり、レーザ光
反射フィルタ１は、透明基板２の一方の面（表面）及び
他方の面（裏面）にそれぞれ第１及び第２反射膜3,4が
コーティングされている。
反射フィルタガラスの一例を示すものであり、レーザ光
反射フィルタ１は、透明基板２の一方の面（表面）及び
他方の面（裏面）にそれぞれ第１及び第２反射膜3,4が
コーティングされている。
ここで夫々の反射膜は第１図（ｂ）及び（ｃ）に拡大
して示すように高屈折率物質５と低屈折率物質６との交
互積層体で構成されており、表面の第１反射膜３では高
屈折率物質５と低屈折率物質６が、その光学的厚さがλ
1/4（2m＋１）（ｍは零又は１、λ１はレーザの発振波
長をλとした場合、λ１＝λ＋ｘ、０≦ｘ≦100nmであ
る）となるように交互に積層されている。また裏面の第
２反射膜４では、同様に、高屈折率物質５と低屈折率物
質６がその光学的厚さがλ2/4（2m＋１）（ｍは零又は
１、λ２は前記λ１よりも約60〜250nm長い波長であ
る）となるように交互に積層されている。
して示すように高屈折率物質５と低屈折率物質６との交
互積層体で構成されており、表面の第１反射膜３では高
屈折率物質５と低屈折率物質６が、その光学的厚さがλ
1/4（2m＋１）（ｍは零又は１、λ１はレーザの発振波
長をλとした場合、λ１＝λ＋ｘ、０≦ｘ≦100nmであ
る）となるように交互に積層されている。また裏面の第
２反射膜４では、同様に、高屈折率物質５と低屈折率物
質６がその光学的厚さがλ2/4（2m＋１）（ｍは零又は
１、λ２は前記λ１よりも約60〜250nm長い波長であ
る）となるように交互に積層されている。
このような構成のレーザ反射フィルタ１によれば、入
射角０゜〜50゜の範囲で表面に入射する光線（第１図
（ａ））は第１反射膜で反射され、上記範囲以上の例え
ば入射角60゜で入射する光線は第１反射膜３を屈折し
ながら透過し透明基板１内をも透過するが、第２反射膜
４と透明基板２との界面又は第２反射膜４の中のいずれ
かの積層界面で反射される。従って、フィルタ表面に相
当に大きな入射角で入射するレーザ光線も本発明のレー
ザ光反射フィルタガラスで有効に反射せしめられる。
射角０゜〜50゜の範囲で表面に入射する光線（第１図
（ａ））は第１反射膜で反射され、上記範囲以上の例え
ば入射角60゜で入射する光線は第１反射膜３を屈折し
ながら透過し透明基板１内をも透過するが、第２反射膜
４と透明基板２との界面又は第２反射膜４の中のいずれ
かの積層界面で反射される。従って、フィルタ表面に相
当に大きな入射角で入射するレーザ光線も本発明のレー
ザ光反射フィルタガラスで有効に反射せしめられる。
以上述べた本発明の作用を更に詳説する。
レーザ光が反射膜に対して斜めに入射すると、反射特
性の反射中心波長が垂直入射の場合の反射中心波長λ１
よりも短波長側へずれる現象が存在することから、あら
かじめ反射中心波長λ１をレーザ発振波長λよりも長波
長側に設定することで反射特性がずれても反射率は減少
しないようにすることができる。
性の反射中心波長が垂直入射の場合の反射中心波長λ１
よりも短波長側へずれる現象が存在することから、あら
かじめ反射中心波長λ１をレーザ発振波長λよりも長波
長側に設定することで反射特性がずれても反射率は減少
しないようにすることができる。
しかし表面に積層された第１反射膜３の反射特性はレ
ーザ発振波長λに対してレーザ光の入射角が０゜〜50゜
の範囲で有効であり、50゜以上になると、反射率は急激
に減少してしまう。
ーザ発振波長λに対してレーザ光の入射角が０゜〜50゜
の範囲で有効であり、50゜以上になると、反射率は急激
に減少してしまう。
そこで裏面に表面と同様に高屈折率物質５と低屈折率
物質６とをそれぞれの物質の光学的厚さが前に述べたよ
うにλ2/4（2m＋１）となるように交互に積層させ、こ
れによって表面での入射角が50゜〜60゜の範囲では裏面
側の第２反射膜４の特性がレーザ発振波長λ付近まで移
動してくるのでレーザ光の有効な反射が可能となる。
物質６とをそれぞれの物質の光学的厚さが前に述べたよ
うにλ2/4（2m＋１）となるように交互に積層させ、こ
れによって表面での入射角が50゜〜60゜の範囲では裏面
側の第２反射膜４の特性がレーザ発振波長λ付近まで移
動してくるのでレーザ光の有効な反射が可能となる。
以上の方法によればレーザ光の反射フィルタ１への入
射角が０゜〜60゜の範囲でレーザ光の反射が可能とな
る。
射角が０゜〜60゜の範囲でレーザ光の反射が可能とな
る。
ここで上記高屈折率物質５として酸化チタン（Ti
O2）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、酸化タンタル（Ta2O
5）及び一酸化硅素（SiO）から選ばれた１種類以上の物
質を使用し、低屈折率物質６として二酸化硅素（SiO2）
及びフッ化マグネシウム（MgF2）から選ばれた１種類以
上の物質を使用することができる。ここで高、低屈折率
物質5,6を交互に基板に蒸着してゆく順序はどちらが最
初に基板に蒸着されてもよい。ただ、基板に最初に蒸着
される第１層としては密着性の良い低屈折率物質を用い
る方が望ましい。第１、第２反射膜の層数はレーザ光の
種類、反射フィルタの用途に応じて適宜選択可能であ
る。また基板として分散染料等で染色処理したものも使
用できる。
O2）、酸化ジルコニウム（ZrO2）、酸化タンタル（Ta2O
5）及び一酸化硅素（SiO）から選ばれた１種類以上の物
質を使用し、低屈折率物質６として二酸化硅素（SiO2）
及びフッ化マグネシウム（MgF2）から選ばれた１種類以
上の物質を使用することができる。ここで高、低屈折率
物質5,6を交互に基板に蒸着してゆく順序はどちらが最
初に基板に蒸着されてもよい。ただ、基板に最初に蒸着
される第１層としては密着性の良い低屈折率物質を用い
る方が望ましい。第１、第２反射膜の層数はレーザ光の
種類、反射フィルタの用途に応じて適宜選択可能であ
る。また基板として分散染料等で染色処理したものも使
用できる。
ここで本発明レーザ光反射フィルタの原理につき第２
図（ａ）〜（ｄ）を参照して述べる。
図（ａ）〜（ｄ）を参照して述べる。
第２図（ａ）はレーザ光入射角が０゜の場合のフィル
タ各面の分光透過率特性曲線であり、レーザ発振波長λ
はλ１を中心とする分光透過率特性曲線により透過率が
低くなっている。実線及び点線で示す曲線は夫々第１及
び第２反射膜の分光透過率特性を示す。第２図（ｂ）は
入射角50゜の場合である。それぞれλ1,λ２を反射中心
波長とする分光特性曲線は短波長側へ移動し、レーザ発
振波長λはλ２を中心とする分光透過率特性曲線により
透過率は低くなっている。また第２図（ｃ）は入射角が
約55゜の場合であり、第２図（ｄ）は入射角が60゜の場
合である。これらは共にλ２を反射中心波長とする分光
透過率特性曲線によってレーザ発振波長λの透過率を低
くしている。
タ各面の分光透過率特性曲線であり、レーザ発振波長λ
はλ１を中心とする分光透過率特性曲線により透過率が
低くなっている。実線及び点線で示す曲線は夫々第１及
び第２反射膜の分光透過率特性を示す。第２図（ｂ）は
入射角50゜の場合である。それぞれλ1,λ２を反射中心
波長とする分光特性曲線は短波長側へ移動し、レーザ発
振波長λはλ２を中心とする分光透過率特性曲線により
透過率は低くなっている。また第２図（ｃ）は入射角が
約55゜の場合であり、第２図（ｄ）は入射角が60゜の場
合である。これらは共にλ２を反射中心波長とする分光
透過率特性曲線によってレーザ発振波長λの透過率を低
くしている。
以上要約すると、本発明のレーザ光反射フィルタは、
第１反射膜の各層がλ1/4又は3/4λ１（レーザ発振波長
をλとして、λ１はλ＋ｘ、０≦ｘ≦100nmである）の
光学的厚さの高屈折率、低屈折率交互層を持つことか
ら、λ１の中心波長で高反射することとなり、波長λの
レーザ光はこの層で反射される。
第１反射膜の各層がλ1/4又は3/4λ１（レーザ発振波長
をλとして、λ１はλ＋ｘ、０≦ｘ≦100nmである）の
光学的厚さの高屈折率、低屈折率交互層を持つことか
ら、λ１の中心波長で高反射することとなり、波長λの
レーザ光はこの層で反射される。
また、第２反射膜は各層がλ2/4又は3/4λ２（λ２は
λ＋60〜250nm）の光学的厚さの高屈折率、低屈折率交
互層から成ることから、フィルタ面へのレーザ光の入射
角が変化してもレーザ光の反射率は減少しない。
λ＋60〜250nm）の光学的厚さの高屈折率、低屈折率交
互層から成ることから、フィルタ面へのレーザ光の入射
角が変化してもレーザ光の反射率は減少しない。
［実施例］ 以下、実施例により本発明を更に説明する。
実施例１ 合成樹脂レンズ用モノマーとしてのジエチレングリコ
ールビスアリルカーボネイトを主成分とするモノマー混
合物を重合して合成樹脂レンズを得た。
ールビスアリルカーボネイトを主成分とするモノマー混
合物を重合して合成樹脂レンズを得た。
上で得られた合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空
槽内にて、酸化ジルコニウム（ZrO2）及び二酸化硅素
（SiO2）を交互に、膜の反射中心波長である880nmをλ
１とした場合にそれぞれの光学的膜厚がλ1/4となる合
計36層からなる膜を積層させ、さらにこの合成樹脂レン
ズの凹面（裏面）側に酸化ジルコニウム（ZrO2）及び二
酸化珪素（SiO2）を同様に、第２反射膜の反射中心波長
である1030nmをλ２とした場合にそれぞれの光学的膜厚
がλ2/4となる合計40層からなる膜を積層させ本発明の
実施例１のレーザ光反射フィルタレンズを得た。
槽内にて、酸化ジルコニウム（ZrO2）及び二酸化硅素
（SiO2）を交互に、膜の反射中心波長である880nmをλ
１とした場合にそれぞれの光学的膜厚がλ1/4となる合
計36層からなる膜を積層させ、さらにこの合成樹脂レン
ズの凹面（裏面）側に酸化ジルコニウム（ZrO2）及び二
酸化珪素（SiO2）を同様に、第２反射膜の反射中心波長
である1030nmをλ２とした場合にそれぞれの光学的膜厚
がλ2/4となる合計40層からなる膜を積層させ本発明の
実施例１のレーザ光反射フィルタレンズを得た。
このレーザ光反射フィルタレンズの垂直入射光による
分光透過率特性を第３図（ａ）に示す。図から明らかな
とおり波長780〜830nmのレーザ光が充分に反射されてい
ることが判る。
分光透過率特性を第３図（ａ）に示す。図から明らかな
とおり波長780〜830nmのレーザ光が充分に反射されてい
ることが判る。
また、このフィルタレンズの入射角の変化（０゜,40
゜,50゜,60゜,70゜）による分光透過率特性の詳細をそ
れぞれ第３図（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）及び
（ｆ）に示す。
゜,50゜,60゜,70゜）による分光透過率特性の詳細をそ
れぞれ第３図（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）及び
（ｆ）に示す。
これら第３図（ｂ）〜（ｆ）から明らかなとおりこの
フィルタレンズは入射角が０゜〜60゜の範囲でレーザ光
発振波長780〜830nmの範囲の透過率が0.7％以下になっ
ている。またレーザ光の発振波長を780nmに限定すれば
入射角０゜〜70゜の範囲で透過率は0.7％以下であるこ
とが明らかである。
フィルタレンズは入射角が０゜〜60゜の範囲でレーザ光
発振波長780〜830nmの範囲の透過率が0.7％以下になっ
ている。またレーザ光の発振波長を780nmに限定すれば
入射角０゜〜70゜の範囲で透過率は0.7％以下であるこ
とが明らかである。
実施例２ 実施例１と同様のモノマー混合物を重合して得られた
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に膜の反射中心波長で
ある880nmをλ１とした場合に、それぞれの光学的膜膜
がλ1/4となる合計36層からなる第１反射膜を積層さ
せ、さらにこの合成樹脂レンズの凹面（裏面）側に凸面
（表面）と同様に膜の反射中心波長である930nmをλ２
とした場合にそれぞれの光学的膜厚がλ2/4となる合計3
6層からなる第２反射膜を積層させ、本発明の実施例２
のフィルタレンズを得た。このフィルタレンズの入射角
の変化（０゜,60゜,70゜）による分光透過率特性を夫々
第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。これらの図から
明らかなとおり、波長780nmのレーザ光は入射角０゜〜6
0゜の範囲でフィルタ透過率が0.7％以下となっている。
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に膜の反射中心波長で
ある880nmをλ１とした場合に、それぞれの光学的膜膜
がλ1/4となる合計36層からなる第１反射膜を積層さ
せ、さらにこの合成樹脂レンズの凹面（裏面）側に凸面
（表面）と同様に膜の反射中心波長である930nmをλ２
とした場合にそれぞれの光学的膜厚がλ2/4となる合計3
6層からなる第２反射膜を積層させ、本発明の実施例２
のフィルタレンズを得た。このフィルタレンズの入射角
の変化（０゜,60゜,70゜）による分光透過率特性を夫々
第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す。これらの図から
明らかなとおり、波長780nmのレーザ光は入射角０゜〜6
0゜の範囲でフィルタ透過率が0.7％以下となっている。
実施例３ 実施例１と同様のモノマー混合物を重合して得られた
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に合計36層となるよう
に積層させて第１反射膜を形成させた。それぞれの光学
膜厚は、ヘリウム−ネオンレーザの発振波長である632.
8nmを反射特性に含む第１反射膜の反射中心波長である6
80nmをλ１とした場合に、λ1/4となるようにした。さ
らにこの合成樹脂フィルタレンズの凹面（裏面）側に酸
化ジルコニウム及び二酸化硅素を交互に合計40層となる
ように積層させて第２反射膜を形成させた。それぞれの
光学的膜厚は、第２反射膜の反射中心波長である880nm
をλ２とした場合にλ2/4となるようにした。このよう
にして得られた実施例３のフィルタレンズはヘリウムネ
オンレーザの発振波長である632.8nmに対する透過率が
入射角が０゜〜70゜の範囲で0.7％以下となっている。
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に合計36層となるよう
に積層させて第１反射膜を形成させた。それぞれの光学
膜厚は、ヘリウム−ネオンレーザの発振波長である632.
8nmを反射特性に含む第１反射膜の反射中心波長である6
80nmをλ１とした場合に、λ1/4となるようにした。さ
らにこの合成樹脂フィルタレンズの凹面（裏面）側に酸
化ジルコニウム及び二酸化硅素を交互に合計40層となる
ように積層させて第２反射膜を形成させた。それぞれの
光学的膜厚は、第２反射膜の反射中心波長である880nm
をλ２とした場合にλ2/4となるようにした。このよう
にして得られた実施例３のフィルタレンズはヘリウムネ
オンレーザの発振波長である632.8nmに対する透過率が
入射角が０゜〜70゜の範囲で0.7％以下となっている。
比較例１ 実施例１と同様のモノマー混合物を重合して得られた
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に積層させ、膜の反射
中心波長である880nmをλ１とした場合に、それぞれの
光学的膜厚がλ1/4となる合計36層からなる第１反射膜
のみを形成させ、第２反射膜を形成することなく本比較
例１のフィルタレンズを得た。このフィルタレンズの入
射角の変化（０゜,40゜,50゜,60゜）による分光透過率
特性を第５図（ａ），（ｂ），（ｃ）及び（ｄ）図に示
す。これらの図より、このフィルタレンズは入射角が50
゜付近になるとレーザ光発振波長である780nmの透過率
が不都合にも高くなることがわかる。
合成樹脂レンズの凸面（表面）側に真空槽内にて酸化ジ
ルコニウム及び二酸化硅素を交互に積層させ、膜の反射
中心波長である880nmをλ１とした場合に、それぞれの
光学的膜厚がλ1/4となる合計36層からなる第１反射膜
のみを形成させ、第２反射膜を形成することなく本比較
例１のフィルタレンズを得た。このフィルタレンズの入
射角の変化（０゜,40゜,50゜,60゜）による分光透過率
特性を第５図（ａ），（ｂ），（ｃ）及び（ｄ）図に示
す。これらの図より、このフィルタレンズは入射角が50
゜付近になるとレーザ光発振波長である780nmの透過率
が不都合にも高くなることがわかる。
これは実施例１の場合と比較すると遮光できる範囲が
入射角０゜〜50゜までと狭く前に述べたようにレーザ光
保護眼鏡として使用するには危険であり、不適当であ
る。
入射角０゜〜50゜までと狭く前に述べたようにレーザ光
保護眼鏡として使用するには危険であり、不適当であ
る。
比較例２ 実施例１と同様のモノマー混合物を重合して得られた
合成樹脂フィルタレンズの凸面（表面）側に真空槽内に
て酸化ジルコニウム及び二酸化硅素を交互に積層させ、
第１反射膜の反射中心波長である880nmをλ１とした場
合に、それぞれの光学的膜厚がλ1/4となる合計36層か
らなる第１反射膜を形成させ、さらにこの合計樹脂レン
ズの凹面（裏面）側に凸面（表面）側と全く同じ反射特
性を持つ膜（光学的膜厚λ1/4で36層）を積層させ、本
比較例２のフィルタレンズを得た。
合成樹脂フィルタレンズの凸面（表面）側に真空槽内に
て酸化ジルコニウム及び二酸化硅素を交互に積層させ、
第１反射膜の反射中心波長である880nmをλ１とした場
合に、それぞれの光学的膜厚がλ1/4となる合計36層か
らなる第１反射膜を形成させ、さらにこの合計樹脂レン
ズの凹面（裏面）側に凸面（表面）側と全く同じ反射特
性を持つ膜（光学的膜厚λ1/4で36層）を積層させ、本
比較例２のフィルタレンズを得た。
このフィルタレンズは入射角が０゜〜50゜の範囲でレ
ーザ光発振波長780nmを反射し、透過率は0.7％以下であ
るが実施例１と比較すると遮光できる入射角の範囲が狭
く、前述比較例１と同様保護眼鏡として使用することに
は不適当である。
ーザ光発振波長780nmを反射し、透過率は0.7％以下であ
るが実施例１と比較すると遮光できる入射角の範囲が狭
く、前述比較例１と同様保護眼鏡として使用することに
は不適当である。
［発明の効果］ 本発明のレーザ光反射フィルタによれば、レーザ光の
フィルタ面への入射角度が広角度に変動しても反射（遮
光）能力は低下しないことから特にレーザ用保護眼鏡フ
ィルタレンズとして有効に使用できる。
フィルタ面への入射角度が広角度に変動しても反射（遮
光）能力は低下しないことから特にレーザ用保護眼鏡フ
ィルタレンズとして有効に使用できる。
特にレーザ光の波長が可視域外にある場合、レーザ光
反射層の特性が可視域に大きな反射特性をもたないこと
から、可視部の透過率も高く、従って視認性にも優れて
いる。
反射層の特性が可視域に大きな反射特性をもたないこと
から、可視部の透過率も高く、従って視認性にも優れて
いる。
第１図（ａ）は本発明のレーザ光反射フィルタの構成を
示す光学的構成図、第１図（ｂ）および（ｃ）は夫々第
１図（ａ）の第１及び第２反射膜の一部を拡大して示す
部分拡大構成図、第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明の原理
を説明するための分光透過率特性曲線図、第３図（ａ）
〜（ｆ）及び第４図（ａ）〜（ｃ）は夫々本発明レーザ
光反射フィルタの実施例１及び２の分光透過率特性を示
す曲線図、及び第５図（ａ）〜（ｄ）は比較例１の分光
透過率特性を示す曲線図である。 １……レーザ光反射フィルタ、２……透明基板、 ３……第１反射膜、４……第２反射膜、 ５……高屈折率物質、６……低屈折率物質。
示す光学的構成図、第１図（ｂ）および（ｃ）は夫々第
１図（ａ）の第１及び第２反射膜の一部を拡大して示す
部分拡大構成図、第２図（ａ）〜（ｄ）は本発明の原理
を説明するための分光透過率特性曲線図、第３図（ａ）
〜（ｆ）及び第４図（ａ）〜（ｃ）は夫々本発明レーザ
光反射フィルタの実施例１及び２の分光透過率特性を示
す曲線図、及び第５図（ａ）〜（ｄ）は比較例１の分光
透過率特性を示す曲線図である。 １……レーザ光反射フィルタ、２……透明基板、 ３……第１反射膜、４……第２反射膜、 ５……高屈折率物質、６……低屈折率物質。
Claims (5)
- 【請求項１】基板上に、高屈折率物質と低屈折率物質と
を交互に蒸着してなる反射膜を形成したレーザ光反射フ
ィルタにおいて、前記基板の一方の面には高屈折率物質
と低屈折率物質とを夫々の光学的厚さがλ1/4（2m＋
１）（但し、ｍは零または１、λ１は、レーザの発振波
長をλとするときλ１＝λ＋ｘ、０≦ｘ≦100nmであ
る）となるように交互に積層してなる第１反射層を形成
し、一方前記基板の他方の面には高屈折率物質と低屈折
率物質を夫々の光学的厚さがλ2/4（2m＋１）（但し、
ｍは零または１、λ２は前記λ１よりも約60〜250nm長
い波長である）となるように交互に積層してなる第２反
射層を形成したことを特徴とするレーザ光反射フィルタ
レンズ。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項のフィルタレンズに
おいて、前記第１及び第２反射層の高屈折率物質として
酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化タンタル及び酸化
硅素のうちの少なくとも１つを、また低屈折率物質とし
てフッ化マグネシウム及び二酸化硅素のうちの少なくと
も１つを用いることを特徴とするレーザ光反射フィルタ
レンズ。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項又は第２項のフィル
タレンズにおいて、基板が合成樹脂基板であり、低屈折
率物質が二酸化硅素であることを特徴とするレーザ光反
射フィルタレンズ。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１〜３項のいずれかのフ
ィルタレンズにおいて、入射角度60゜における透過率が
0.7％以下であることを特徴とするレーザ光反射フィル
タレンズ。 - 【請求項５】特許請求の範囲第３項のフィルタレンズに
おいて、前記合成樹脂基板がレーザ用保護眼鏡のレンズ
であることを特徴とするレーザ光反射フィルタレンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62162672A JP2637432B2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | レーザ光反射フィルタレンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62162672A JP2637432B2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | レーザ光反射フィルタレンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646905A JPS646905A (en) | 1989-01-11 |
| JP2637432B2 true JP2637432B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=15759094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62162672A Expired - Lifetime JP2637432B2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | レーザ光反射フィルタレンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2637432B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2622823B2 (ja) * | 1994-11-25 | 1997-06-25 | レーザーテクノ株式会社 | レーザー反射光視認用眼鏡、及びレーザー反射光視認方法、並びに墨出方法 |
| JP4837279B2 (ja) * | 2004-04-05 | 2011-12-14 | オリンパス株式会社 | 落射顕微鏡および蛍光フィルターセット |
| JP2011054862A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Hitachi Cable Ltd | エピタキシャルウエハ、発光素子、エピタキシャルウエハの製造方法、及び発光素子の製造方法 |
| JP2011082233A (ja) * | 2009-10-05 | 2011-04-21 | Hitachi Cable Ltd | 発光素子 |
| JP6030343B2 (ja) * | 2012-05-25 | 2016-11-24 | 株式会社ナベル | 空間仕切り構造物 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52137857U (ja) * | 1976-04-14 | 1977-10-19 | ||
| JPS53125045A (en) * | 1977-04-08 | 1978-11-01 | Ricoh Co Ltd | Multilaer film reflecting mirror |
| US4111115A (en) * | 1977-05-23 | 1978-09-05 | Bepex Corporation | Continuous filter press |
| JPS5658651U (ja) * | 1979-10-11 | 1981-05-20 | ||
| JPS5811901A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-22 | Minolta Camera Co Ltd | 多層膜半透鏡 |
| JPS6067905A (ja) * | 1983-09-24 | 1985-04-18 | Nec Corp | アルゴンイオンレ−ザ用反射鏡 |
| JPS60150005A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-07 | Fuji Xerox Co Ltd | 複写機等のフイルタ− |
| JPS61289305A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Fujitsu Ltd | 可変波長フイルタ |
| JPS63179302A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | 広帯域反射ミラ− |
| JPS63183401A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-28 | Toshiba Corp | 多層膜反射鏡の製造方法 |
| JPH0786568B2 (ja) * | 1987-03-25 | 1995-09-20 | 東芝ライテック株式会社 | 光源装置 |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP62162672A patent/JP2637432B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS646905A (en) | 1989-01-11 |
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