JP2008008689A - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】 表面検査装置１００は、投光系に可動ミラー３０と固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けることで、走査光を可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射する。受光系に反射光のピーク点の位置および波形の分散値（光量分布）を検出することができる受光手段８を設け、被検査面より反射されたいずれかの反射光を受光し、反射光のピーク点の位置および波形の分散値を検出することで、反射光のピーク点の位置により光の反射角度を測定することが可能となり、また波形の分散値により被検査面に傷の有無を判断することができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて被検査面上に存在する傷や欠陥を検出する表面検査装置および表面検査方法に関するものである。

従来、素材や製品の表面の傷、欠陥の検査は、自動車、電気部品をはじめとして、あらゆる産業分野において必要である。この表面検査では、表面の傷、欠陥の位置、大きさを検出するだけでは不十分で、傷や欠陥の種別を判別することが要求されている。

このため、従来の表面欠陥検査装置における投光系には、レーザ光を用いて、被検査表面を光走査し、被検査表面からの回折光を受光手段で受光して得られた受光データに基づいて、被検査表面の各種表面欠陥を検出する表面性状検出方法が提案されている（特許文献１参照）。

特許文献１に係る表面性状検出方法は、被検査物体の被検査面の上方に備えたＴＶカメラにより取り込んだ走査光の反射像から被検査面の高さを検出し、その検出出力に基づき、被検査面に斜め方向から照射した走査光の反射回折光が常に受光検出系に入射結像するように、被検査体の上下位置を制御し、さらに上記反射回折光を放物柱面鏡で集光して、集光点と集光点を中心とする同心円上に光ファイバの受光端を並べた受光検出部の受光面に投射し、光ファイバの他端に設けた光電変換器によって受光した反射回折光の光量測定を行い、上記受光検出部において得られた情報と、前記ＴＶカメラにより検出した被検査面の凹凸、割れ等の情報を併用して、被検査面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別を判断し、ディスプレイ上に表示させる。

これにより、平面、または段差のある被検査面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別を検出することができる。

特許１９４６４３２号

しかしながら、特許文献１に係る表面性状検出方法は、平面、または段差のある被検査面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別を検出することができるが、被検査面が曲面である場合、図８に示すように、照射したレーザ光は、平面の場合のようにスネルの法則にしたがって入射角度と同じ角度で反射することではなく、レーザ光の当った場所の局所的な勾配（曲率）にしたがって反射方向が変化し、反射光が受光部に戻らないので、曲面の被検査面を検査することができないという問題点があった。

また、被検査面が曲面である場合、照射したレーザ光は、照射点の局所的な傾きにより反射方向が絶えず変化するので、受光部に反射光が常に入射するような大面積のセンサもしくは受光センサを反射位置に移動する機構が必要となり、高速検査が困難である。仮にこのような受光センサで受光できるとしても、傷や欠陥による反射光の反射角度を変化させたか曲面による反射光の反射角度を変化させたかを区別できないので、曲面上の傷や欠陥を検出することができないという問題点があった。

そこで、本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので、被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を検出し、これらに基づいて、高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明に係る表面検査装置は、特許請求の範囲の請求項１〜６に記載の手段を採用する。

即ち、請求項１に記載のように、被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する表面検査装置において、光ビームを発光させ、前記被検査面へ照射する光源と、複数の受光素子から面状に形成され、前記被検査面からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段により検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を解析する解析手段とを備え、検査する際に、予め標準被検査面に対して測定を行って、前記解析手段は、前記被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出することを特徴とする。

また、請求項２に記載のように、請求項１の表面検出装置において、前記光源は、複数であり、それぞれ異なる角度から前記検査面へ照射することを特徴とする。

また、請求項３に記載のように、請求項１の表面検出装置において、入射光の光路に設けられ、光を複数の固定ミラーへ反射させる可動ミラーを備えることを特徴とする。

また、請求項４に記載のように、請求項３の表面検出装置において、前記可動ミラーを回転させるモータと、該モータを制御するコントローラとをさらに備えることを特徴とする。

また、請求項５に記載のように、請求項１ないし４のいずれかに記載の表面検出装置において、前記受光手段は、多数本の光ファイバを束にしてからなり、この光ファイバ束を短冊状に分割し、それぞれ独立した光電変換センサに導き、光ファイバの受光端より受光された反射光のスポット位置および光量分布を検出することを特徴とする。

また、請求項６に記載のように、請求項１ないし４のいずれかに記載の表面検出装置において、前記受光手段は、多数本のライン状フォトセンサを並列に配置したものであり、このライン状フォトセンサはそれぞれを独立して、反射光のスポット位置および光量分布を検出することを特徴とする。

上記課題を解決するため、本発明に係る表面検査方法は、特許請求の範囲の請求項７および８に記載の手段を採用する。

即ち、請求項７に記載のように、被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する表面検査方法において、光ビームを発光させ、前記被検査面へ照射し、前記被検査面からの反射光を受光し、検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を解析し、前記解析結果に基づいて、前記被検査面と予め測定した標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出することを特徴とする。

また、請求項８に記載のように、請求項７の表面検出方法において、入射光の光路に設けられた可動ミラーを用いて入射光を複数の固定ミラーへ反射させ、前記複数の固定ミラーから反射される光を異なる角度から前記被検査面の所定位置に照射するようになされることを特徴とする。

請求項１に記載の発明においては、複数の受光素子から面状に形成され、前記被検査面からの反射光を受光する受光手段により検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を検出することで、曲面からの反射光も確実に検出でき、曲面上の傷や欠陥を検出できる。

請求項２に記載の発明においては、複数の光源を用い、それぞれ異なる角度から被検査面へ照射することで、検出手段を小型化でき、コスト削減を図ることができる。また、検出手段の製造工程が簡単になるなどの利点がある。

請求項３に記載の発明においては、入射光の光路に光を複数の固定ミラーへ反射させる可動ミラーを設けることで、１つの光源からの光を異なる角度から被検査面へ照射することができるため、光源の数を減らすことができ、コスト削減を図ることができる。

請求項４に記載の発明においては、モータで可動ミラーを駆動することで、コントローラにより可動ミラーの角度、および回転速度を任意に制御することができ、入射光の入射角度を確定することができる。

請求項５に記載の発明においては、多数本の光ファイバを束にした検出手段を用いることで、反射光のスポット位置および光量分布を二次元で検出することが可能である。

請求項６に記載の発明においては、受光手段として、多数本のライン状フォトセンサを並列に配置したものを用いることで、反射光のスポット位置および光量分布を検出することができ、検出手段の製造工程が簡単になり、コストの削減を図ることができる。

請求項７に記載の発明においては、複数の受光素子から面状に形成され、前記被検査面からの反射光を受光する受光手段により検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を検出することで、曲面からの反射光も確実に検出でき、曲面上の傷や欠陥を検出できる。

請求項８に記載の発明においては、入射光の光路に設けられた可動ミラーを用いて入射光を複数の固定ミラーへ反射させ、複数の固定ミラーから反射される光を異なる角度から被検査面の所定位置に照射することで、１つの光源からの光を異なる角度から被検査面へ照射することができるため、受光手段を大きくせずに、光源の数を減らすことができ、コスト削減を図ることができる。

本発明に係る表面検査装置および表面検査方法を実施するための最良の形態を、図を参照して説明する。

図１は、第１の実施の形態の表面検査装置１００の構成を示す斜視図である。図２は、表面検査装置１００の入射光の入射角度を調整する機構を示す図である。

図１に示すように、表面検査装置１００は、レーザ光源１と、コリメータレンズ２と、振動ミラー３と、投光系側の放物柱面鏡４と、ＴＶカメラ５と、画像処理部６と、受光手段８と、解析手段としてのデータ処理部９と、ディスプレイ１０と、光電変換器１４と、ステージ１６と、スライダー１７と、駆動用モータ１８と、Ｘ方向に移動させるための駆動モータ２０を備えたスライダー１９と、投光系光路に設置された可動ミラー３０と、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃとから構成されている。なお、曲面を有する被検査物体１１は、ステージ１６の上に設置される。

また、図１に示すように、表面検査装置１００の投光系において、レーザ光源１からレーザビームは、コリメータレンズ２でレーザビーム径の大きさが調整される。振動ミラー３でレーザビームの照射方向を高速に変えてＹ方向に光走査を行う。放物柱面鏡４で走査光を平行光に変換して、可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射する。また、図２に示すように、モータ５０を用いて可動ミラー３０を回転させる。なお、モータ５０を制御するコントローラが設けられている（図示せず）。このコントローラは、例えば駆動用モータ１８、駆動モータ２０を制御する制御部（図示せず）に設けられる。

この機構により、被検査表面が曲面であっても、固定ミラー３０ａ，３０ｂ，３０ｃから入射され、被検査面から反射されたレーザ光のいずれかは受光手段に入射される。

また、表面検査装置１００の受光系において、被検査物体１１の被検査面から反射されるレーザビームは受光手段８で受光される。また、受光手段８で受光された光信号は光電変換器１４で電気信号に変換され、データ処理部９に伝送される。データ処理部９で反射光のスポット位置および光量分布が解析され、被検査面と標準被検査面（傷部と健全部）とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出するようになされる。ここで、標準被検査面は、傷や欠陥などを有しない標準被検査物の表面である。そして、検出結果はディスプレイ１０に表示される。

また、被検査物体１１の被検査面の上方にＴＶカメラ５が設けられている。ＴＶカメラ５から取り込んだ画像情報は、画像処理部６に送られ、画像処理を行った後、データ処理部９に伝送される。このＴＶカメラ５により検出された被検査面の凹凸、割れ等の情報と、受光手段８により検出された情報とを併用して、被検査面の傷、欠陥、割れ等の位置、大きさ、種別を判別し、ディスプレイ１０上に表示させる。

図３は、受光手段８の構成例を示す図である。図３（ａ）は受光手段８の構成を示している。図３（ｂ）は反射光の検出結果を示している。図３（ａ）に示すように、受光手段８は、分割形フォトセンサタイプであり、例えば、幅が１ｍｍ程度、所定の長さを有する長方形のフォトセンサ８ａを幅方向に数十個配列し、フォトセンサ８ａがそれぞれ光電検出器８ｂに接続されている。この複数の電検出器８ｂから光電変換器１４が構成される。また、図３（ｂ）に示すように、受光手段８により反射光のピーク点の位置および波形の分散値（光量分布）を検出することができる。反射光のピーク点の位置により反射光の反射角度を測定することが可能となる。また、波形の分散値により被検査面に傷の有無を判断することが可能となる。

分散値σは以下のように定義されている。

図４は、被検査面に傷がある場合の検出結果を示す図である。図４に示すように、被検査面に傷がある場合、反射光のピーク光量が低下し、また、波形の分散値が増大し、即ち波形が広がるようになる。また、被検査面に傷（凹凸）がある場合、反射角度が変化する。これらの情報に基づいて、被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出することができる。

図５は、受光手段の他の構成例を示す図である。図５に示すように、受光手段８Ａは、細い光ファイバ８ｃ多数本を長方形の形状に束ねて、この光ファイバ束を短冊状に分割し、それぞれを独立した光電変換センサ８ｄに接続してからなる。例えば、多数本の直径０．２ｍｍ程度の光ファイバを幅２０ｍｍ程度、長さ２５０ｍｍ程度の長方形の束にして、幅方向において１ｍｍ幅づつ光ファイバを分けて束ね、それぞれを独立した光電変換センサ８ｄに接続する。この構造により、反射光の幅方向の光量分布と、反射光のピーク位置から反射角度とを同時に測定することができる。

なお、受光手段８Ａの場合、多数本の光ファイバをそれぞれ独立した光電変換センサに接続すると、２次元に光量分布と反射光のピーク位置を測定することができる。このような構成は、データの処理量が膨大となるが、検出精度を向上することが可能となる。

続いて、表面検査装置１００用いて被検査物を検査する方法について説明する。検査する際に、予め標準被検査面に対して測定を行う。そして被検査物１１を検査する。

まず、図１に示すように、被検査物１１をステージ１６の上に設置して、駆動用モータ１８により上下（Ｚ方向）の位置を調整する。

次に、レーザ光源１からのレーザビームは、コリメータレンズ２によりビーム径の調整を行い、そして、振動ミラー３によりレーザビームの照射方向を高速に変える。

予め決められた角度内を決められた周期で振動ミラー３を振動させておくと、振動ミラー３で反射したレーザビームは時間的にその方向を変えながら放物柱面鏡４にあたり、その位置から平行光に変換され、この平行光を可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに順次に反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射させ、一定周期、一定速度で順次光走査する。

被検査物体１１の被検査面からの反射回折光は受光手段８で受光され、受光手段８で受光された光信号は光電変換器１４で電気信号に変換され、データ処理部９に伝送される。データ処理部９で反射光のスポット位置および波形の分散値（光量分布）が解析され、被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出するようになされる。

また、凹凸や段差のある被検査物体１１の表面検査を自動的に行うため、被検査面の上方に設置されたＴＶカメラ５は、被検査面に照射したレーザ走査光の反射像を取り込み、画像処理部６において、レーザ光の反射位置を検出する。レーザ光の被検査面への入射角度は予め分かっているので、被検査物体１１の各部の基準面からの高さは容易に求められる。

さらに、ＴＶカメラ５から取り込んだレーザ走査光の反射像を画像処理すると、被検査面の高さと共に、被検査面の細かな凹凸や割れの位置、大きさが検出できる。

画像処理部６における画像処理によって求めた被検査面の細かい凹凸や割れの位置、大きさなどの情報は、データ処理部９に送られ、受光手段８からの検出結果とあわせて、傷や欠陥の種別の判定に用いられる。そして、検出結果はディスプレイ１０に表示される。

このように本実施の形態において、表面検査装置１００は、投光系に可動ミラー３０と固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃを設けることで、走査光を可動ミラー３０により固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃに順次に反射させ、固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃからの反射光は異なる角度から被検査物体１１の被検査面に照射する。また、受光系に反射光のピーク点の位置および波形の分散値（光量分布）を検出することができる受光手段８を設ける。

これにより、曲面からの反射光も確実に検出でき、高速かつ高精度で平面および曲面上の傷や欠陥を検出できる。また、検出手段を小型化でき、コスト削減を図ることができる。

また、１つの光源からのレーザ光を異なる角度から被検査面へ照射することができるため、光源の数を減らすことができ、コスト削減を図ることができる。

また、モータで可動ミラーを駆動することで、コントローラにより可動ミラーの角度、および回転速度を任意に制御することができ、入射光の入射角度を確定することができる。

図６は、第２の実施の形態の表面検査装置２００の構成を示す概略図である。
図６に示すように、表面検査装置２００は、１つのレーザ光源１を用い、かつ上述した表面検査装置１００の可動ミラーと固定ミラーを設けずに、投光系を構成している。そのため、全ての反射光を受光できるように、比較的に大きな受光手段８を用いることになる。この受光手段８は大きさ以外にフォトセンサの配列方法等が上述した表面検査装置１００の場合と同じである。

なお、表面検査装置２００の他の構成部分は、上述した表面検査装置１００と同じである（図１参照）。この場合、受光手段８の大きさによってある程度の曲率を有する被検査面を検査することが可能である。

表面検査装置２００用いて被検査物を検査する場合、まず、被検査物１１をステージ１６の上に設置して、駆動用モータ１８により上下（Ｚ方向）の位置を調整する。

次に、レーザ光源１からのレーザビームは、コリメータレンズ２によりビーム径の調整を行い、そして、振動ミラー３によりレーザビームの照射方向を高速に変える。

予め決められた角度内を決められた周期で振動ミラー３を振動させておくと、振動ミラー３で反射したレーザビームは時間的にその方向を変えながら放物柱面鏡４にあたり、その位置から平行光に変換され、被検査物体１１の被検査面に照射させ、一定周期、一定速度で順次光走査する。

被検査物体１１の被検査面から反射されるレーザビームは受光手段８で受光され、受光手段８で受光された光信号は光電変換器１４で電気信号に変換され、データ処理部９に伝送される。データ処理部９で反射光のスポット位置および光量分布が解析され、前記被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出するようになされる。

このように本実施の形態において、表面検査装置２００は、投光系に可動ミラーと固定ミラーを設けずに、光学系が簡単になる利点があると共に、受光手段８の受光面積を大きくするだけで曲面からの反射光を受光できる。なお、受光手段８の受光面積を大きくするで、受光系の高価、製造の困難さ、非効率の欠点もある。

図７は、第３の実施の形態の表面検査装置３００の構成を示す概略図である。
図７に示すように、表面検査装置３００は、３つのレーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用い、かつ上述した表面検査装置１００の可動ミラーと固定ミラーを設けずに、投光系を構成している。この場合、レーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃは検査ポイントに対して異なる角度から照射するように設置される。レーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃからのレーザ光を同時または順番に被検査面に照射して、その反射光を受光手段８で受光する。

また、３つのレーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いることで、比較的に小さな受光手段８を用いて、被検査面より反射されたレーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃのいずれかの反射光を受光することが可能となる。レーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃのいずれかの反射光が受光手段８に入射すれば、反射光の反射角度と光量分布の測定が可能になる。

なお、表面検査装置３００の他の構成部分は、上述した表面検査装置１００と同じである（図１参照）。この場合、３つのレーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いることで、受光手段８の受光面積を大きくすることがなく、曲面を有する被検査面を検査することが可能である。

表面検査装置３００用いて被検査物を検査する場合、まず、被検査物１１をステージ１６の上に設置して、駆動用モータ１８により上下（Ｚ方向）の位置を調整する。

次に、レーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃからのレーザビームは、同時または順番に照射し、コリメータレンズ２によりビーム径の調整を行い、そして、振動ミラー３によりレーザビームの照射方向を高速に変える。

予め決められた角度内を決められた周期で振動ミラー３を振動させておくと、振動ミラー３で反射したレーザビームは時間的にその方向を変えながら放物柱面鏡４にあたり、その位置から平行光に変換され、被検査物体１１の被検査面に照射させ、一定周期、一定速度で順次光走査する。

被検査物体１１の被検査面から反射されるレーザビームは受光手段８で受光され、受光手段８で受光された光信号は光電変換器１４で電気信号に変換され、データ処理部９に伝送される。データ処理部９で反射光のスポット位置および光量分布が解析され、前記被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出するようになされる。

このように本実施の形態において、表面検査装置３００は、投光系に複数のレーザ光源を設けることで、受光手段８を小型化でき、受光系のコスト削減を図ることができると共に、製造などが簡単になるなどの利点がある。

なお、上述の第１の実施の形態においては、３つの固定ミラー４０ａ，４０ｂ，４０ｃを用いたものを説明したが、これに限定されるものではない。２つまたは４つ以上の固定ミラーを設けるようにしてもよい。

また、上述の第３の実施の形態においては、３つのレーザ光源１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いたものを説明したが、これに限定されるものではない。２つまたは４つ以上のレーザ光源を設けるようにしてもよい。

本発明に係る表面検査装置および表面検査方法は、自動車、電気部品をはじめとして、あらゆる産業分野において、平面および自由曲面で構成される加工表面に製造時に発生する微小な傷、欠陥、打痕（ゴミ痕）を高速かつ高精度で検査する目的に利用できる。

第１の実施の形態の表面検査装置１００の構成を示す斜視図である。 表面検査装置１００の入射光の入射角度を調整する機構を示す図である。 受光手段８の構成例を示す図である。 被検査面に傷がある場合の検出結果を示す図である。 受光手段の他の構成例を示す図である。 第２の実施の形態の表面検査装置２００の構成を示す概略図である。 第３の実施の形態の表面検査装置３００の構成を示す概略図である。 従来の表面検査装置を用いて曲面を検査する場合の光反射状態を示す図である。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ レーザ光源
２ コリメータレンズ
３ 振動ミラー
４ 放物柱面鏡
５ ＴＶカメラ
６ 画像処理部
８，８Ａ 受光手段
８ａ フォトセンサ
８ｂ 光電検出器
８ｃ 光ファイバ
８ｄ 光電変換センサ
９ データ処理部
１０ ディスプレイ
１１ 被検査物体
１４ 光電変換器
１６ ステージ
１７，１９ スライダー
１８，２０ 駆動用モータ
３０ 可動ミラー
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ 固定ミラー
５０ モータ
１００，２００，３００ 表面検査装置

Claims (8)

1. 被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する表面検査装置において、
   光ビームを発光させ、前記被検査面へ照射する光源と、
   複数の受光素子から面状に形成され、前記被検査面からの反射光を受光する受光手段と、
   前記受光手段により検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を解析する解析手段とを備え、
   検査する際に、予め標準被検査面に対して測定を行って、前記解析手段は、前記被検査面と標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出することを特徴とする表面検査装置。
2. 前記光源は、複数であり、それぞれ異なる角度から前記検査面へ照射することを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
3. 入射光の光路に設けられ、光を複数の固定ミラーへ反射させる可動ミラーを備えることを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
4. 前記可動ミラーを回転させるモータと、該モータを制御するコントローラとをさらに備えることを特徴とする請求項３記載の表面検査装置。
5. 前記受光手段は、多数本の光ファイバを束にしてからなり、この光ファイバ束を短冊状に分割し、それぞれを独立した光電変換センサに導き、光ファイバの受光端より受光された反射光のスポット位置および光量分布を検出することを特徴とする請求項１ないし４記載の表面検査装置。
6. 前記受光手段は、多数本のライン状フォトセンサを並列に配置したものであり、このライン状フォトセンサはそれぞれを独立して、反射光のスポット位置および光量分布を検出することを特徴とする請求項１ないし４記載の表面検査装置。
7. 被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する表面検査方法において、
   光ビームを発光させ、前記被検査面へ照射し、
   前記被検査面からの反射光を受光し、
   検出した被検査面からの反射光のスポット位置および光量分布を解析し、
   前記解析結果に基づいて、前記被検査面と予め測定した標準被検査面とでの反射光のスポット位置および光量分布を比較し欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。
8. 入射光の光路に設けられた可動ミラーを用いて入射光を複数の固定ミラーへ反射させ、前記複数の固定ミラーから反射される光を異なる角度から前記被検査面の所定位置に照射するようになされることを特徴とする請求項７記載の表面検査方法。

Images