JP4679995B2 - 欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
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Description
(1)欠陥部を埋める画素の画素数(面積)
(2)欠陥部の一番遠い画素同士の距離
(3)欠陥部を囲む稜線の真円度
(4)欠陥部を囲む稜線の方形度(縦横比)
(5)欠陥部を囲む稜線の長さ
欠陥部と欠陥部でない部分とを判別する所定の条件式に、これらの項目(1)〜(5)に関して求めた数値を当てはめ、認識していた欠陥部が欠陥部であるか欠陥部でない部分であるかを判別し、欠陥部であると判別されたものを欠陥部として確定する。その後、上記項目の数値に基づいて、確定した欠陥部の重心位置を算出する。
12 板状体
12a 検査面
13 撮像装置
14 レンズ
15 投光装置
16 記憶・処理装置
17 表示装置
18 駆動装置
20 CCDエリアカメラ
21 レーザー光源
Claims (2)
- 透明または半透明の板状体の検査面に投光手段から光を照射し、撮像手段によって前記検査面を撮像することを含む、板状体の表面に存在する欠陥部を検出する透明または半透明の板状体の欠陥検出方法であって、
前記投光手段はスポット照明光を照射する投光手段であり、
検査ステージ上に載置した前記板状体の検査面にスリットレーザー光を照射し、前記検査面からの反射散乱光を演算することで前記検査面の傾き角度を検出するステップと、
前記撮像手段と前記投光手段とを、前記投光手段から前記検査面に入射される光の光軸と、前記検査面で反射して前記撮像手段に入射する反射光の光軸とを含む平面が、前記検査面の法線方向に対して0.5°以上10°以下の角度を成すように位置決め配置するステップと、板状体の検査面を検査するステップを含むことを特徴とする透明または半透明の板状体の欠陥検出方法。 - 透明または半透明の検査面に板状体が載置される検査ステージと、前記板状体の検査面を撮像する撮像手段と、前記検査面に光を照射する投光手段とを含む、板状体の表面に存在する欠陥部を検出する透明または半透明の板状体の欠陥検出装置であって、
前記投光手段はスポット照明光を照射する投光手段であり、
検査ステージ上に載置した前記板状体の検査面にスリットレーザー光を照射し、前記検査面からの反射散乱光を演算することで前記検査面の傾き角度を検出する角度検出手段と、
前記撮像手段と前記投光手段とを、前記投光手段から前記検査面に入射される光の光軸と、前記検査面で反射して前記撮像手段に入射する反射光の光軸とを含む平面が、前記検査面の法線方向に対して0.5°以上10°以下の角度を成すように位置決め配置する位置決め手段と、
を有していることを特徴とする透明または半透明の板状体の欠陥検出装置。
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