JPH05346319A - 板状連続物体の面検査装置 - Google Patents

板状連続物体の面検査装置

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JPH05346319A
JPH05346319A JP17892592A JP17892592A JPH05346319A JP H05346319 A JPH05346319 A JP H05346319A JP 17892592 A JP17892592 A JP 17892592A JP 17892592 A JP17892592 A JP 17892592A JP H05346319 A JPH05346319 A JP H05346319A
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plate
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continuous object
bright line
sensor array
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Application number
JP17892592A
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English (en)
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Shosaku Maeda
昌作 前田
Kenji Kawai
健司 川井
Ikuo Nishimoto
育夫 西本
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 一方向に移動する板状連続物体の面状態を自
動的かつ連続的に非接触で検査する。 【構成】 コンベア1上に一方向に連続して移動する板
状連続物体2の端面4に線状の光10aを照射する投光
器10と、この板状連続物体2の端面4に生じる輝線を
受光面に結像させるレンズ系とこの受光面上の輝線像を
信号に変換する複数の受光エレメントからなる光センサ
アレイとこの光センサアレイの出力信号から受光面上の
輝線像の傾斜を演算する演算部とを有する受光器11と
を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばコンベア上を高
速で連続して移動する板状連続物体の面状態を検査する
板状連続物体の面検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この板状連続物体として例えば板
状建材として用いられる石膏ボードは、原料石膏を焼成
炉で焼成し、石膏とし、この石膏と水等とを混ぜ、スラ
リー状としたものをコンベア上を連続的に移動する紙上
に流出させ、この紙により包み込み、ローラで所定の板
状に成型し、これを乾燥炉内で焼き固めた後、所定の長
さに切断して製品化させていた。
【0003】このようにして製品化された石膏ボード
は、その端面同志を突き合わせて使用されることが多
く、したがって石膏ボードの端面の直角度が所定の範囲
内に有ることが必要不可欠である。このために石膏ボー
ドの4つの端面が所定の良品域に入っていることを検査
しなければならない。また、石膏ボードの表面の平面状
態あるいは石膏ボードの表面の紙の継ぎ目,紙の破れ,
異物の付着などについても同様であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この石
膏ボードの端面の直角度あるいは表面の平面状態などの
良否判定は、人の目による目視検査に頼っているのが現
状であるが、高速で移動する石膏ボードを一瞬のうちに
判断する必要があり、また、単調な作業であるので、不
良を見逃す確率も無視できず、その改善が求められてい
た。
【0005】したがって本発明は、前述した従来の課題
を解決するためになされたものであり、その目的は、一
方向に移動する板状連続物体の端面直角度あるいはその
表面の平面度などの面状態を自動的かつ連続的に非接触
で検査することができる板状連続物体の面検査装置を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明は、一方向に連続して移動する板状連続
物体の面に線状の光を照射する投光器と、この板状連続
物体の面に生じる輝線を受光面に結像させるレンズ系
と、この受光面上の輝線像を信号に変換する複数の受光
エレメントからなる光センサアレイと、この光センサア
レイの出力信号から受光面上の輝線像の傾斜を演算する
演算部を有する受光器とを有して構成されている。
【0007】
【作用】本発明においては、板状連続物体の面に線状の
光を照射し、板状連続物体の面に生じる輝線をレンズ系
を介して受光面に結像させ、受光面上の輝線像の幅方向
に複数配列された受光エレメントからなる光センサアレ
イからの信号の幅から受光面上の輝線像の傾きを演算部
で求めて出力する。
【0008】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図1は本発明による板状連続物体の面検査装
置の一実施例を説明する斜視図であり、本実施例では、
板状連続物体で端面の良品域の中央が直角である場合を
例に取って説明する。図1において、1は連続して一方
向に走行するコンベア、2はこのコンベア1上に搭載さ
れかつコンベア1の走行に伴って移動する板状連続物
体、3はこの板状連続物体2の表面、4は板状連続物体
2の端面、5は板状連続物体2の切断面である。
【0009】また、図2は連続的にコンベア1上を移動
する板状連続物体2の上方から見た平面図である。図2
において、10はこのコンベア1の斜め上方に配置され
かつ板状連続物体2の端面4に線状の光10aを照射す
る投光器、11はこのコンベア1の斜め下方に配置され
かつ板状連続物体2の端面4からの線状の光10aの反
射光を受光する受光器であり、この受光器11の内部に
は、端面4からの反射光10bを透過し受光面上に結像
させるレンズ系,この受光面上に配置された複数の受光
エレメントからなりかつ受光面上の輝線像を電気信号に
変換する光センサアレイおよび受光面上の輝線像の傾き
を演算し出力する演算部等が収納されている。
【0010】このような構成において、連続的にコンベ
ア1上を移動する板状連続物体2の端面4に図2に示す
ように投光器10から線状の光10aが斜め上方から照
射される。ここで板状連続物体2の端面4には図3に拡
大斜視図で示すように輝線12が生じるが、端面4が板
状連続物体2の表面2に対して直角のときはこの輝線1
2は垂直となる。この輝線12は図2に示すように斜め
下方に配置された受光器11内に反射光10bとして受
光される。この反射光10bは受光器11内の図示しな
いレンズ系を介して輝線像の幅方向に複数配列された複
数の受光エレメントからなる光センサアレイ上に垂直な
輝線像を生じさせ、この光センサアレイから得られる光
信号は輝線像が存在する位置の幅が狭いので、水平方向
に幅の狭い光信号を出力する。
【0011】図4は連続的にコンベア1上を移動する板
状連続物体2の端面4の拡大断面を示したものである。
図4において、いま、板状連続物体2の端面4が線Aに
示すように直角であると、図5(a)に示すように光セ
ンサアレイ13上に結像する輝線像14は垂直となり、
この輝線像14は図5(b)に示すように水平方向に幅
Tの狭い光信号SAを出力する。
【0012】また、板状連続物体2の端面4が線Bまた
は線Cに示すように傾いていると、板状連続物体2の端
面4に生じる輝線12の光センサアレイ13上に結像す
る輝線像14は、それぞれ図6(a)および図7(a)
に示すように傾き、この輝線像14が傾くことにより、
それぞれ図6(b)および図7(b)に示すように光セ
ンサアレイ13からの出力信号SBおよび出力信号SC
幅Tが広くなるので、これらの出力信号から板状連続物
体2の端面4が垂直であるか否かが解る。すなわち演算
部は出力信号Sの幅Tが所定値より小さいときに板状連
続物体2の端面4が良品域にあると判別する。
【0013】また、このような構成において、投光器1
0から照射される線状の光10aと、受光器11の反射
光10bとのなす角度を大きくすることで、板状連続物
体2の端面4の僅かな傾きの変化を、受光器11の光セ
ンサアレイ13にできる輝線像の大きな傾きの変化とす
ることができる。なお、投光器10から放出される線状
の光10aは、輝点を線状に高速でスキャンして得ても
良い。
【0014】なお、前述した実施例においては、板状連
続物体2の端面4が直角の場合について説明したが、直
角である必要はない。すなわち、例えば図8(a),
(b)に前述した図2,図4に対応して示すように端面
4の良品の限界の角度が線A,線Dであるとすると、線
Aと線Dとの中央の線Eに対して垂直となるように投光
器10および受光器11の位置を調整することで受光器
11内の光センサアレイ13上の輝度像14を垂直にで
きるので、端面4の角度が良品限界AからBの範囲内で
あれば、出力信号Sの幅Tは所定値以内となる。
【0015】また、輝線像14の右傾きと左傾きとを判
定する必要があるときは、例えば図9(a)に示すよう
に受光面上に2組の光センサアレイ131、132を使用
し、図9(b),図9(c)にそれぞれ示すように上下
2組の光センサアレイ131,132 の出力信号S1,出
力信号S2により判定することができる。
【0016】このような方法によれば、図8に説明した
ように良品の限界の角度を、線Aと線Dとの間の線Eに
対して垂直となるように投光器10および受光器11の
位置を調整する必要はなくなる。
【0017】図10は本発明による板状連続物体の面検
査装置の他の実施例を説明するためのコンベア1上を移
動する板状連続物体2の上から見た平面図であり、前述
の図と同一部分には同一符号を付してある。同図におい
て、板状連続物体2の端面4には、ノズル15が配置さ
れ、このノズル15から板状連続物体2の端面4に向か
って高速で空気流16が吹き付けられる。この場合、板
状連続物体2は焼成前で紙6が濡れて柔らかい場合が最
も好ましい。ノズル15から吹き出される空気流16の
強さは、端面4の紙6の下の空隙7が時には紙6を変形
させ、端面4の内部に空隙7が無い時には端面4の形状
が変形しない程度とする。
【0018】このような構成において、投光器10から
板状連続物体2の端面4に線状の光10aが斜め上方か
ら照射される。これによって板状連続物体2の端面4に
輝線12が生じるが、端面4の内部に空隙7が無い時に
は端面4の形状が変形しないので、端面4が直角なこと
から、輝線12は垂直となる。この輝線12は斜め下方
に配置された受光器11内に反射光10bとして受光さ
れる。この反射光10bは受光器11内の図示しないレ
ンズ系を介して輝線像の幅方向に受光エレメントが複数
配列された光センサアレイ上に垂直な輝線像14を生じ
させ、この光センサアレイから得られる光信号は輝線像
14が存在する位置の幅が狭いので、水平方向に幅の狭
い光信号を出力する。
【0019】図11は連続的にコンベア1上を移動する
板状連続物体2の端面4を示したものである。図11
(a)において、いま、板状連続物体2の端面4が空気
流16を受けると、紙6の内側に空隙7があるので、図
11(b)に示すように紙6が変形して端面4は初期の
形状では無くなる。この状態は、投光器10から投影さ
れている輝線が垂直では無くなるので、レンズ系を介し
て受光面上には輝線像14が曲がる。したがって図12
(a)に示すように水平方向に配列された光センサアレ
イ13から得られる光信号は、輝線像14が存在する位
置が広がるので、図12(b)に示すように水平方向に
広い光信号SD となる。すなわち空気流16により、変
形があったことが解る。なお、図13は、図11(a)
におけて、空気流16により変形が無かった場合、端面
4上の輝線12は垂直であり、この輝線12の光センサ
アレイ13上に投影される輝線像14は垂直であり、図
13(b)に示すように水平方向に幅Tの狭い出力信号
E を出力することを示している。
【0020】このような構成によれば、コンベア上を移
動する板状連続物体2を非接触でかつ高速でしかも高感
度で空隙7の検査を行うことができる。
【0021】図14は本発明による板状連続物体の面検
査装置のさらに他の実施例を説明する斜視図であり、本
実施例では、板状連続物体の表面の汚れ,紙の破れ,紙
の継ぎ目,異物の付着などの不良ある場合を例にして説
明する。なお、前述の図と同一部分には同一符号を付し
てある。図14において、11Aはこのコンベア1の上
方に配置されかつ板状連続物体2の表面3から反射され
る反射光を受光する受光器であり、この受光器11の内
部には表面3からの反射光を透過するレンズ系,複数の
受光エレメントが空間フィルタを構成するように配列さ
れた光センサアレイおよび受光面上の模様像の鮮明度に
応じた交流信号の有無により良品を判定し出力する演算
部等が収納されている。
【0022】このような構成において、連続的にコンベ
ア1上を移動する板状連続物体2の上方に配置された受
光器11によりその表面3上の観察域17を結像させ
る。ここで板状連続物体2の表面3が良品の場合は特に
模様が無いので、板状連続物体2が移動していても、受
光面上の像は動きが無いが、表面3に汚れなどの付着物
18aあるいは紙の継ぎ手部18bなどが観察域17に
入ると、この模様の像が受光面上を動く。ここでこの受
光面上の動きの有無を検出するのに図15に示すように
複数の受光エレメント19が空間フィルタを構成するよ
うに配列された光センサアレイ20を使用する。
【0023】ここで、受光面上に動きが無いとき、すな
わち板状連続物体2の表面3が良品の場合は、光センサ
アレイ20の信号端子20aと信号端子20bとの差信
号には、交流成分が現れないが、受光面上に動きがある
とき、すなわち板状連続物体2の表面3に付着物18a
あるいは紙の継ぎ手部18bなど何らかの模様像が移動
している不良品の場合は、光センサアレイ20の信号端
子20aと信号端子20bとの差信号には、その模様像
の鮮明度に応じた交流成分が現れるので、この信号端子
20aと信号端子20bとの差信号の交流成分により、
良品と不良品との判定ができることになる。なお、周囲
の環境の明るさが一定しない、例えば周囲が暗い場合に
は、観察域17を照明する照明器21を設けても良い。
また、模様の有無の判定であるので、光センサアレイ2
0は一対の受光エレメントであっても良い。
【0024】このような構成によれば、コンベア上を移
動する板状連続物体2を非接触でかつ高速でしかも高感
度でその表面の汚れなどの付着物18a,紙の継ぎ手部
18bあるいは紙の破れなどの検査を行うことができ
る。
【0025】図16は本発明による板状連続物体の面検
査装置の他の実施例を説明する斜視図であり、本実施例
では、板状連続物体の表面の凹みなどの不良ある場合を
例にして説明する。なお、前述の図と同一部分には同一
符号を付してある。図16において、10Aはコンベア
1上を移動する板状連続物体2の表面3にその移動方向
に複数の平行な輝線10cを投射する投光器、11Aは
このコンベア1の上方に配置されかつ板状連続物体2の
表面3からの反射光を受光する受光器であり、この受光
器11の内部には表面3からの反射光を透過するレンズ
系,複数の受光エレメントが空間フィルタを構成するよ
うに配列された光センサアレイおよび受光面上の模様像
の鮮明度に応じた交流信号の有無により良品を判定し出
力する演算部等が収納されている。
【0026】このような構成において、コンベア1上を
移動する板状連続物体2の表面3に投光器10Aからそ
の移動方向に沿って複数の平行な輝線10cを投射す
る。一方、板状連続物体2の上方に配置された受光器1
1Aによりその表面3上の観察域17を結像させる。こ
こで板状連続物体2の表面3が平面で良品の場合は、板
状連続物体2が移動していても複数の平行な輝線10c
には図17(a)に示すように動きがないので、受光面
上の動きがない。次に板状連続物体2がコンベア1上を
移動して観察域17に表面3の凹み22が入ると、板状
連続物体2の表面3の複数の輝線10cは、図17
(b)に示すように歪みが生じ、この歪みがコンベア1
の移動方向に動く。この模様像が受光面上を動く。ここ
でこの受光面上での動きを前述した図15に示すように
複数の受光エレメント19が空間フィルタを構成するよ
うに配列された光センサアレイ20を使用する。
【0027】受光面上に動きがないとき、すなわち板状
連続物体2の表面3が良品の場合は、光センサアレイ2
0の信号端子20aと信号端子20bとの差信号には、
交流成分が現れないが、受光面上に動きがあるとき、す
なわち板状連続物体2の表面3に凹み22が移動してい
る不良品の場合は、光センサアレイ20の信号端子20
aと信号端子20bとの差信号には、交流成分が現れる
ので、この信号端子20aと信号端子20bとの差信号
の交流成分により、良品と不良品との判定ができること
になる。
【0028】このような構成によれば、コンベア1上を
移動する板状連続物体2を非接触でかつ高速でしかも高
感度でその表面の凹み22の検査を行うことができる。
【0029】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
一方向に連続的に移動する板状連続物体の面状態を非接
触でかつ高速でしかも高感度でオンライン上にて検査す
ることができるという極めて優れた効果が得られる。特
に第1の発明によれば、板状連続物体の表面に対する端
面の角度の検査が可能となり、また、第2の発明によれ
ば、紙に包まれた板状連続物体端面の空隙の検査が可能
となり、また、第3の発明によれば、板状連続物体表面
の異物の付着などの検査が可能となり、また、第4の発
明によれば、板状連続物体表面の凹みの検査が可能とな
るなどの極めて優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による板状連続物体の面検査装置の一実
施例を説明する斜視図である。
【図2】図1の板状連続物体の上方から見た平面図であ
る。
【図3】図1の板状連続物体の要部拡大斜視図である。
【図4】図1の板状連続物体の要部拡大断面図である。
【図5】受光面上での光センサアレイと輝線像との関係
を示す図である。
【図6】受光面上での光センサアレイと輝線像との関係
を示す図である。
【図7】受光面上での光センサアレイと輝線像との関係
を示す図である。
【図8】本発明による板状連続物体の面検査装置の他の
実施例を説明する図である。
【図9】受光面の2つの光センサアレイを使用する例を
説明する図である。
【図10】本発明による板状連続物体の面検査装置のさ
らに他の実施例を説明する図である。
【図11】板状連続物体の空隙を有する部分の要部拡大
断面図である。
【図12】受光面上での光センサアレイと輝線像との関
係を示す図である。
【図13】受光面上での光センサアレイと輝線像との関
係を示す図である。
【図14】本発明による板状連続物体の面検査装置の他
の実施例を説明する斜視図である。
【図15】複数の受光エレメントが空間フィルタを構成
するように配置された光センサアレイの平面図である。
【図16】本発明による板状連続物体の面検査装置の他
の実施例を説明する斜視図である。
【図17】板状連続物体の表面状態を示す平面図であ
る。
【符号の説明】
1 コンベア 2 板状連続物体 3 板状連続物体の表面 4 板状連続物体の端面 5 板状連続物体の切断面 6 紙 7 空隙 10 投光器 10A 投光器 10a 線状の光 10b 反射光 10c 輝線 11 受光器 11A 受光器 12 輝線 13 光センサアレイ 14 輝線像 15 ノズル 16 空気流 17 観察域 18a 付着物 18b 紙の継ぎ手部 19 受光エレメント 20 光センサアレイ 20a 信号端子 20b 信号端子 21 照明器 22 凹み

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方向に連続して移動する板状連続物体
    の端面に線状の光を照射する投光器と、 前記板状連続物体の端面に生じる輝線を受光面に結像さ
    せるレンズ系と、前記受光面上の輝線像の幅方向に複数
    の受光エレメントが配列されかつ輝線像を電気信号に変
    換する光センサアレイと、前記光センサアレイの出力信
    号から前記受光面上の輝線像の傾斜を演算し出力する演
    算部とを有する受光器と、を備えたことを特徴とする板
    状連続物体の面検査装置。
  2. 【請求項2】 一方向に連続して移動する板状連続物体
    の端面に空気を吹き付けるノズルと、 前記板状連続物体の端面に線状の光を照射する投光器
    と、 前記板状連続物体の端面に生じる輝線を受光面上に結像
    させるレンズ系と、前記受光面上の輝線像の幅方向に複
    数の受光エレメントが配列されかつ輝線像を電気信号に
    変換する光センサアレイと、前記光センサアレイの出力
    信号から前記受光面上の輝線像の広がりを演算し出力す
    る演算部とを有する受光器と、を備えたことを特徴とす
    る板状連続物体の面検査装置。
  3. 【請求項3】 一方向に連続して移動する板状連続物体
    の表面の模様を受光面上に結像させるレンズ系と、前記
    受光面上の模様像の移動方向に沿って配列された少なく
    とも一対の受光エレメントからなる光センサアレイと、
    前記光センサアレイから出力される交流成分の差信号か
    ら良品,不良品の判定を行う演算部とを有する受光器を
    備えたことを特徴とする板状連続物体の面検査装置。
  4. 【請求項4】 一方向に移動する板状連続物体の表面に
    移動方向に平行な複数の輝線を投射する投光器と、 前記板状連続物体の表面上の複数の平行な輝線を受光面
    上に結像させるレンズ系と、前記受光面上に移動方向に
    配列された少なくとも一対の受光エレメントからなる光
    センサアレイと、前記光センサアレイから出力される交
    流成分の差信号から良品,不良品の判定を行う演算部と
    を有する受光器と、を備えたことを特徴とする板状連続
    物体の面検査装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007033379A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Canon Chemicals Inc 欠陥検出方法及び装置
WO2014208226A1 (ja) 2013-06-24 2014-12-31 吉野石膏株式会社 糊付け不良検知システム及び糊付け不良検知方法
WO2019220955A1 (ja) 2018-05-14 2019-11-21 吉野石膏株式会社 検査装置、板状物の製造装置、検査方法、板状物の製造方法
JPWO2020174990A1 (ja) * 2019-02-28 2020-09-03
JP2021124401A (ja) * 2020-02-05 2021-08-30 住友金属鉱山株式会社 基板の検査装置、基板の検査方法
WO2024084305A1 (en) * 2022-10-17 2024-04-25 Georgia-Pacific Gypsum Llc Tear inspection system, apparatus, and methods

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62105037A (ja) * 1985-10-31 1987-05-15 Nissan Motor Co Ltd 表面欠陥検査装置
JPS62233712A (ja) * 1986-04-04 1987-10-14 Nissan Motor Co Ltd 鮮映性測定方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62105037A (ja) * 1985-10-31 1987-05-15 Nissan Motor Co Ltd 表面欠陥検査装置
JPS62233712A (ja) * 1986-04-04 1987-10-14 Nissan Motor Co Ltd 鮮映性測定方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007033379A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Canon Chemicals Inc 欠陥検出方法及び装置
WO2014208226A1 (ja) 2013-06-24 2014-12-31 吉野石膏株式会社 糊付け不良検知システム及び糊付け不良検知方法
KR20160023652A (ko) 2013-06-24 2016-03-03 요시노 셋고 가부시키가이샤 풀칠 불량 검지 시스템 및 풀칠 불량 검지 방법
US9651500B2 (en) 2013-06-24 2017-05-16 Yoshino Gypsum Co., Ltd. Sizing defect detection system and sizing defect detection method
KR20210007980A (ko) 2018-05-14 2021-01-20 요시노 셋고 가부시키가이샤 검사 장치, 판상물 제조장치, 검사 방법, 판상물 제조방법
WO2019220955A1 (ja) 2018-05-14 2019-11-21 吉野石膏株式会社 検査装置、板状物の製造装置、検査方法、板状物の製造方法
JPWO2020174990A1 (ja) * 2019-02-28 2020-09-03
CN113196042A (zh) * 2019-02-28 2021-07-30 吉野石膏株式会社 板状体的检查装置
EP3882610A4 (en) * 2019-02-28 2022-01-19 Yoshino Gypsum Co., Ltd. INSPECTION DEVICE FOR PLATE-SHAPED BODY
US20220099589A1 (en) * 2019-02-28 2022-03-31 Yoshino Gypsum Co., Ltd. Apparatus for inspecting plate-like bodies
US11692944B2 (en) 2019-02-28 2023-07-04 Yoshino Gypsum Co., Ltd. Apparatus for inspecting plate-like bodies
JP2021124401A (ja) * 2020-02-05 2021-08-30 住友金属鉱山株式会社 基板の検査装置、基板の検査方法
WO2024084305A1 (en) * 2022-10-17 2024-04-25 Georgia-Pacific Gypsum Llc Tear inspection system, apparatus, and methods

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