CN113196042A - 板状体的检查装置 - Google Patents
板状体的检查装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113196042A CN113196042A CN202080006985.2A CN202080006985A CN113196042A CN 113196042 A CN113196042 A CN 113196042A CN 202080006985 A CN202080006985 A CN 202080006985A CN 113196042 A CN113196042 A CN 113196042A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- plate
- surface portion
- length
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 75
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 58
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 140
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 7
- 229910052602 gypsum Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010440 gypsum Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002366 time-of-flight method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N2021/845—Objects on a conveyor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8841—Illumination and detection on two sides of object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
- G01N21/9503—Wafer edge inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/10—Scanning
- G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明提供一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:发光部,其用于向上述侧面部照射光;受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光;输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化;以及判定部,其用于通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。
Description
技术领域
本发明涉及板状体的检查装置。
背景技术
以往作为半导体基板、玻璃基板、石膏板等的建筑用面材等,作为具有板状形状的材料的板状体在工业中广泛使用。
并且,对于板状体,为了对表面的缺口等导致的缺陷、表面的平坦度等进行评价,以往在研究对表面进行检查的方法、装置。
例如,专利文献1中记载有如下平板状基板的表面缺陷检查装置,该平板状基板的表面缺陷检查装置包括:输送机构,其使小径侧端面彼此以所需间隔相对的每一组的锥形辊在输送方向以列状配置且使检查对象基板能够跨过该相对的锥形辊间进行输送,并且在该锥形辊列间的所需位置设定检查空间部;空气浮动机构,其沿着上述各组的锥形辊间的输送中心的需要宽度范围内除去上述检查空间部而配置,且利用来自下部侧的喷出空气使上述输送的检查对象基板的输送方向中心部浮起而排除重力的影响;以及检测机构,其在与输送方向正交的一维方向对通过上述检查空间部的检查对象基板的表面状況连续地进行光学检测。
<现有技术文献>
<专利文献>
专利文献1:(日本)特开平11-148902号公报
发明内容
<本发明要解决的问题>
但是,在专利文献1中公开的表面缺陷检查装置中,在被输送的检查对象基板的上方配置照射光源、以及一维CCD摄像机,并且以检查对象基板的上表面作为其检查的对象。
并且,板状体在其侧面、角部易产生缺口等的缺陷,但是专利文献1中公开的表面缺陷检查装置难以对侧面、角部进行恰当地检查。特别是石膏板等的、在上下表面侧配置被覆材料的板状体的情况下,由于专利文献1中公开的表面缺陷检查装置因该被覆材料而不能进行自上下表面的观察,因此难以对其侧面、角部的缺陷等进行检测。
鉴于上述以往技术的问题点,在本发明的一个侧面中,目的在于提供一种板状体的检查装置,其能够对在上下表面侧配置有被覆材料的板状体的侧面的缺陷进行检测。
<用于解决问题的手段>
为了解决上述课题,根据本发明的一个方式,提供一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:
发光部,其用于向上述侧面部照射光;
受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光;
输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化;以及
判定部,其通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。
<发明的效果>
根据本发明的一个方式,能够提供一种板状体的检查装置,其能够对在上下表面侧配置有被覆材料的板状体的侧面的缺陷进行检测。
附图说明
图1是本发明实施方式的能够合适地应用于板状体的检查装置的板状体的说明图。
图2是本发明的第一实施方式的板状体的检查装置的构成例的说明图。
图3是本发明的第二实施方式的板状体的检查装置的构成例的说明图。
图4是本发明的第三实施方式的板状体的检查装置的构成例的说明图。
具体实施方式
以下,参照附图对用于实施本发明的方式进行说明,但是本发明不限于下述实施方式,能够不超出本发明的范围地对下述实施方式施加各种变形以及置换。
[板状体的检查装置]
对本实施方式的板状体的检查装置的一个构成例进行说明。
本实施方式的板状体的检查装置中,关于对在上表面侧、以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查的板状体的检查装置,可以具有以下部件。
用于在板状体的侧面部照射光的发光部。
用于接收在板状体的侧面部反射的光的受光部。
用于使发光部和板状体的至少一者移动,从而使板状体的侧面部中的、自发光部照射的光的位置变化的输送机构。
通过输送机构使板状体的侧面部中的自发光部照射的光的位置沿侧面部的长度方向变化,从而使用自发光部照射的光对板状体的侧面部是否具有缺陷进行判定的判定部。
在此首先,对可以适合地应用于本实施方式的板状体的检查装置的、板状体的构成例进行说明。
如图1所示,板状体10可以具有板状形状。并且,可以在其上表面侧、以及下表面侧分别具有片状的被覆材料111、112。另外,在片状的被覆材料111、112之间可以具有芯材12。
另外,在图1中,虽然示出了在芯材12的上下表面配置片状的被覆材料111、112的例子,但是不限于该方式,也可以配置为片状的被覆材料111、112的至少一部分埋没于芯材12。另外,片状的被覆材料111、112不需要包含在最终产品中,只要在本实施方式的板状体的通过检查装置进行检测时进行配置即可。因此,作为片状的被覆材料111、112,也包括在制造工序中用于表面保护而配置的保护片等。
并且,板状体10具有侧面部13。图1所示板状体10的情况下,作为侧面部13,包括第一侧面部131、位于第一侧面部131的相反侧的第二侧面部132、第三侧面部133、以及位于第三侧面部133的相反侧的第四侧面部134。
另外,在各侧面部13的长度方向(宽度方向)的两端部设有角部14。具体而言,例如可以具有第一角部141、第二角部142、第三角部143、以及第四角部144。
需要说明的是,虽然在图1中示出了具有长方体形状的板状体10的例子,但是具有板状形状即可,不限于该方式。
作为板状体10,如上所示,只要在上下表面侧配置片状的被覆材料111、112且具有板状形状即可,不特别限定其种类,例如可以举出各种建筑用面材等。作为板状体10,可以举出自例如玻璃毡石膏板、含玻璃纤维无纺布的石膏板、JIS A 6901(2014)规定的石膏板、作为比JIS A 6901(2014)规定的石膏板轻或重的石膏板(以下,也将上述JIS规定的石膏板、作为比JIS规定的石膏板轻或重的石膏板统称为“石膏板”)等选择的一种以上。
板状体10的尺寸不特别限定,可以设定为任意的尺寸。在板状体10为石膏板的情况下,优选其厚度满足JIS A 6901(2014)的规格。
所谓满足JIS A 6901(2014)的规格是指,板状体10的厚度属于9.5mm以上10.0mm以下、12.5mm以上13.0mm以下、15.0mm以上15.5mm以下、16.0mm以上16.5mm以下、18.0mm以上18.5mm以下、21.0mm以上21.5mm以下、以及25.0mm以上25.5mm以下的任一范围。
(第一实施方式)
接下来,使用图2对本实施方式的板状体的检查装置的一个构成例进行说明。图2相当于本实施方式的板状体的检查装置20的俯视图。
如图2所示,本实施方式的板状体的检查装置20具有用于向板状体10的侧面部13照射光的发光部21、以及用于接收在板状体10的侧面部13反射的光的受光部22。
作为发光部21的构成不特别限定,在发光部21中,可以使用发出能够在板状体10的侧面部13反射的波长、强度的光的各种发光机构。即,发光部21可以具有各种发光机构。但是,特别是为了能够高精度地对缺陷进行检测,优选自发光部21发出的光的强度较高,在发光部21中可以使用例如半导体激光器等的激光振荡装置。
如上所述,发光部21发出的光的波长不特别限定,例如可以为自紫外区域、可视区域、红外区域的任一波长的光,但是从抑制检测所需要的能量,高精度地实施测定的观点出发,优选使用红外线作为发光部21发出的光。
对于受光部22的构成也不特别限定,受光部22为能够接收自发光部21发出的、在板状体10的侧面部13反射的光的机构即可。因此,可以通过发光部21的发出的光的波长、在后述判定部使用的评价指标等来选择其构成。作为受光部22,可以使用例如自光电管、光电倍增管、光电晶体管、光电二极管、光导电单元、图像传感器、辐射用热电偶、热电堆等选择的一种以上的各种受光元件。
需要说明的是,虽然在图2中将发光部21和受光部22作为分开的部件进行描述,但是也可以作为发光部21和受光部22成为一体的一个部件进行使用。
虽然自发光部21照射至板状体10的侧面部13的光的位置不特别限定,但是在板状体10的侧面部13含有缺陷的情况下,通常在其厚度方向的中央部也含有缺陷。因此,优选以包括例如板状体的侧面部13的厚度方向的中央部的方式照射来自发光部21的光。
自发光部21照射的、板状体10的侧面部13中的光的形状不特别限定,可以设定为例如沿板状体10的侧面部13的厚度方向的线状的光、圆形状的光。
需要说明的是,图2中虚线所示的自发光部21照射至板状体10的侧面部13的光的光路与板状体10的侧面部13形成的角度θ21不特别限定,可以根据使用自发光部21照射的光进行测定的内容等,对其角度进行调整。优选设定为例如30°≤θ21≤150°,更优选设定为45°≤θ21≤135°,进一步优选设定为75°≤θ21≤105°。
并且,能够通过使板状体10的侧面部13中的、自发光部21照射的光的位置变化,从而对板状体10的侧面部13的缺陷进行检测。具体而言,例如,可以沿板状体的侧面部13的第一侧面部131、或者第二侧面部132的长度方向(宽度方向)使自发光部21照射的光的位置变化,即进行扫描。此时,通过例如使自发光部21照射的光的位置自第一侧面部131的作为一个端部的第一角部141变化至作为另一端部的第二角部142,能够进行第一侧面部131整体的检查。另外,通过例如使自发光部21照射的光的位置自第二侧面部132的作为一个端部的第三角部143变化至作为另一个端部的第四角部144,能够进行第二侧面部132整体的检查。
因此,本实施方式的板状体的检查装置20可以具有输送机构,其使发光部21和板状体10的至少一者移动,从而使板状体10的侧面部13中的、自发光部21照射的光的位置变化。
作为输送机构,可以举出例如用于输送板状体10的输送机构23。作为用于输送板状体10的输送机构23,可以举出例如自图2所示辊式输送机、带式输送机、链式输送机等选择的一种以上。输送机构23可以沿例如图2中所示箭头A的方向、或者与箭头A相反侧的方向对板状体10进行输送。
需要说明的是,用于输送板状体10的输送机构不限于一种,根据设置的场所等也可以组合使用例如辊式输送机和带式输送机这样的两种以上的机构。
另外,作为输送机构,可以举出用于输送发光部21的输送机构24。作为用于输送发光部21的输送机构24,可以使用例如自线性导轨(线性引导件)、线性轴等选择的一种以上的滑动装置与自线性衬套、线性马达、马达等选择的一种以上的驱动机构的组合。需要说明的是,由于优选发光部21和受光部22的位置关系保持恒定,因此在设置用于输送发光部21的输送机构24的情况下,可以与此相应地设置用于输送受光部22的输送机构。另外,用于输送发光部21的输送机构24可以与发光部21一起地也对受光部22进行输送。
通过这样设置输送机构,使发光部21和板状体10的至少一者移动,并且使板状体10的侧面部13中的、自发光部21照射的光的位置沿板状体10的长度方向变化,从而能够对板状体10的侧面部13实施检查。
本实施方式的板状体的检查装置20可以具有对板状体10的侧面部13是否具有缺陷进行判定的判定部26。判定部26可以通过输送机构使板状体10的侧面部13中的自发光部21照射的光的位置沿侧面部13的长度方向变化,并且使用发光部21照射的光,对板状体10的侧面部13是否具有缺陷进行判定。
判定部26的判定方法不特别限定,可以使用发光部21照射的光、更具体而言使用受光部22接收的在板状体10的侧面部13反射的光来进行判定。
例如,本实施方式的板状体的检查装置20还可以具有距离计算部25,其使用发光部21照射的光,对发光部21与侧面部13之间的距离进行计算。
距离计算部25对发光部21与板状体10的侧面部13之间的距离进行测定的具体方法不特别限定,可以通过例如激光测距仪等中使用的三角测距方式、飞行时间方式(相位差距离方式或脉冲传播方式)等进行测定。
并且,在该情况下,判定部26可以基于距离计算部25计算的、发光部21与侧面部13之间的距离对板状体10的侧面部13是否具有缺陷进行判定。
若使侧面部13中的自发光部21照射的光的位置沿侧面部13的长度方向移动,则在侧面部13具有缺陷而形成有凹部的情况下,在形成有该凹部的部分中,与其他的部分相比发光部21和板状体10的侧面部13之间的距离变长。因此,判定部26可以判定/检测为例如在与其他部分相比距离变长的部分、或者比预定距离长的部分形成有凹部、即缺陷。
需要说明的是,如使用图1说明的那样,板状体10具有多个侧面部13。因此,可以以能够同时对多个侧面部13进行检查的方式设置多个上述发光部21、受光部22等。
具体而言,例如,如图2所示,本实施方式的板状体的检查装置20作为发光部21可以具有第一发光部211、以及第二发光部212。另外,本实施方式的板状体的检查装置20作为受光部22可以具有第一受光部221、以及第二受光部222。
并且,可以在板状体10的第一侧面部131一侧配置第一发光部211、以及第一受光部221。另外,可以在位于与第一侧面部131相反侧的第二侧面部132一侧配置第二发光部212、以及第二受光部222。
在该情况下,距离计算部25可以使用自第一发光部211照射的光对作为第一发光部211与第一侧面部131之间的距离的第一距离进行计算。另外,可以使用第二发光部212照射的光对作为第二发光部212与第二侧面部132之间的距离的第二距离进行计算。
并且,判定部26可以基于第一距离对第一侧面部131是否具有缺陷进行判定。另外,判定部26可以基于第二距离对第二侧面部132是否具有缺陷进行判定。具体而言,对于例如第一距离、第二距离与其他部分相比变长的部分、超过预定值的部分,判定部26可以判定第一侧面部131、第二侧面部132具有凹部、即缺陷。
需要说明的是,对于距离计算部25,可以分开设置第一距离计算部251和第二距离计算部252,另外对于判定部26,也可以分别分开设置第一判定部261和第二判定部262。但是,不限于该方式,也可以通过一个距离计算部25、一个判定部26,实施全部关于第一侧面部131、第二侧面部132的处理。
另外,在如上述那样设置第一发光部211、第二发光部212的情况下,在输送发光部21的情况下,也可以相应地设置第一发光部输送机构241、第二发光部输送机构242。
在本实施方式的板状体的检查装置中,优选将发光部21与自该发光部照射光的板状体10的侧面部13之间的距离保持为恒定。因此,为了使板状体10的侧面部13配置于规定的位置,本实施方式的板状体的检查装置20还可以具有用于限制板状体10的侧面部13的位置的侧面位置限制机构27。
侧面位置限制机构27的具体构成不特别限定,例如在通过输送机构23对板状体10进行输送的情况下,可以如图2所示在其输送路径上以与板状体10的侧面部13相接的方式配置多个棒状体。需要说明的是,在图2中示出了以多个圆柱状的棒状体的中心轴线与板状体10的侧面部13平行的方式进行配置的例子。通过配置该多个棒状体,被输送来的板状体10在多个棒状体之间被引导、配置。
需要说明的是,侧面位置限制机构27的方式不限于该方式,例如可以为以板状体10的侧面部13成为规定的位置的方式沿板状体10的输送方向配置的引导部件。
另外,作为侧面位置限制机构27,可以构成为设置标记且以与该标记对应地配置板状体10。
(第二实施方式)
接下来,使用图3对本实施方式的板状体的检查装置的其他构成例进行说明。图3相当于本实施方式的板状体的检查装置30的俯视图。
如图3所示,在本实施方式的板状体的检查装置30中,可以具有用于向板状体10的侧面部13照射光的发光部31、用于接收在板状体10的侧面部13反射的光的受光部32。需要说明的是,作为发光部31、受光部32不特别限定,可以使用例如与在第一实施方式说明的发光部、受光部相同的部件,因此在此省略说明。另外,对于其他的部件,对已经在第一实施方式中说明的部件付与相同附图标记,省略一部分说明。
在本实施方式的板状体的检查装置30中,作为发光部31可以具有第一端部检测用发光部311、以及第二端部检测用发光部312,作为受光部32可以具有第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322。
并且,可以在板状体10的第一侧面部131一侧配置第一端部检测用发光部311、以及第一端部检测用受光部321。
另外,可以在位于与第一侧面部131相反侧的第二侧面部132一侧配置第二端部检测用发光部312、以及第二端部检测用受光部322。
此时,可以以图中所示直线l1与位于板状体10的第一侧面部131和第二侧面部132之间的第三侧面部133平行的方式配置各个部件。需要说明的是,直线l1是指,连结第一侧面部131中的自第一端部检测用发光部311照射的光的位置X31和第二侧面部132中的自第二端部检测用发光部312照射的光的位置X32的直线。
这里,设定输送机构使第一侧面部131、以及第二侧面部132中的、自第一端部检测用发光部311、以及第二端部检测用发光部312照射的光的位置沿第一侧面部131、以及第二侧面部132的长度方向且以包括第三侧面部133侧的端部的方式移动。
在该情况下,在第一端部检测用受光部321开始接收光的时刻与第二端部检测用受光部322开始接收光的时刻不一致的情况下,或者在第一端部检测用受光部321结束接收光的时刻与第二端部检测用受光部322结束接收光的时刻不一致的情况下,判定部36可以判定在板状体的第三侧面部的长度方向的端部存在缺口。
另外,在第一端部检测用受光部321开始接收光的时刻与第二端部检测用受光部322开始接收光的时刻一致的情况下,或者在第一端部检测用受光部321结束接收光的时刻与第二端部检测用受光部322结束接收光的时刻一致的情况下,判定部36可以判定在作为板状体的第三侧面部133的长度方向的端部的角部不存在缺口。
在本实施方式的板状体的检查装置30中,以连结第一侧面部131中的自第一端部检测用发光部311照射的光的位置X31和第二侧面部132中的自第二端部检测用发光部312照射的光的位置X32的直线l1与第三侧面部133平行的方式进行配置。并且,在位置X31、X32配置有板状体10的情况下,在该板状体10的第一侧面部131、第二侧面部132分别反射来自第一端部检测用发光部311、第二端部检测用发光部312的光,并且第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322接收光。另一方面,在位置X31、X32未配置板状体10的情况下,来自第一端部检测用发光部311、第二端部检测用发光部312的光不在板状体10的侧面部13反射,成为第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322不接收光的状态。需要说明的是,在作为第三侧面部133的长度方向的端部的第一角部141、第三角部143存在缺口,且光不照射至该缺口的部分的情况下,光不反射,成为第一端部检测用受光部321、第二端部检测用受光部322不接收光的状态。
因此,在板状体10的第三侧面部133的作为长度方向的端部的第一角部141或第三角部143不存在缺口的情况下,板状体10的第三侧面部133在通过上述直线l1时,第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322同时开始接收光或结束接收光。另一方面,在第一角部141和第三角部143的任一者存在缺口等的情况下,板状体10的第三侧面部133在通过上述直线l1时,第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322开始接收光或结束接收光的时间、即时刻错开。
因此,输送机构例如使第一侧面部131、以及第二侧面部132中的、自第一端部检测用发光部311、以及第二端部检测用发光部312照射的光的位置沿第一侧面部131、以及第二侧面部132的长度方向且以包括第三侧面部133侧的端部的方式移动。并且,根据此时的第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322接收光的时刻,判定部36可以对在第三侧面部133的作为长度方向的端部的第一角部141、或第三角部143是否存在缺口进行检测。
需要说明的是,根据传感器的精度等,对于第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322接收光的时刻可以考虑一定的公差。因此,判定部36的判定中的所谓“一致”并不需要是严密的意义,例如,也可以在第一端部检测用受光部321开始接收光的时刻与第二端部检测用受光部322开始接收光的时刻错开超过一定范围的情况下,或者在第一端部检测用受光部321结束接收光的时刻与第二端部检测用受光部322结束接收光的时刻错开超过一定范围的情况下,判定在板状体的第三侧面部的长度方向的端部存在缺口。
另外,例如在通过输送机构23将板状体10自图3中的右侧沿箭头A的方向进行输送的情况下,若板状体10的第三侧面部133通过直线l1,则自在位置X31、X32未配置板状体10的状态变化为配置有板状体10的状态。因此,在该情况下,板状体10的第三侧面部133通过直线l1后,第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322开始接收光。
另一方面,例如在通过输送机构23将板状体10自图3中的左侧沿与箭头A相反侧的方向进行输送的情况下,若板状体10的第三侧面部133通过直线l1,则自在位置X31、X32配置有板状体10的状态变化为未配置板状体10的状态。因此,在该情况下,板状体10的第三侧面部133通过直线l1后,第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322结束接收光。
因此,根据第一侧面部131、以及第二侧面部132中的、自第一端部检测用发光部311、以及第二端部检测用发光部312照射的光的位置的变化的方向,如上所述对第一端部检测用受光部321、以及第二端部检测用受光部322开始接收光或结束接收光的时刻进行观察,从而能够判定第三侧面部133的长度方向的端部是否存在缺口。
图3中虚线所示的自第一端部检测用发光部311向板状体10的第一侧面部131照射的光的光路与板状体10的第一侧面部131形成的角度θ31不特别限定,例如可以以使来自第一端部检测用发光部311的光在第一侧面部131的表面反射,从而能够对缺口等进行检测的方式对其角度进行调整。优选设定为例如30°≤θ31≤150°,更优选设定为45°≤θ31≤135°,进一步优选设定为75°≤θ31≤105°。这里,虽然对第一端部检测用发光部311进行了说明,但是对于自其他的第二端部检测用发光部312照射至板状体10的第二侧面部132的光的光路与板状体10的第二侧面部132形成的角度等其他的端部检测用发光部也可以同样构成。
需要说明的是,在第三侧面部133与第四侧面部134平行的情况下,通过使第一侧面部131、第二侧面部132中的、自第一端部检测用发光部311、第二端部检测用发光部312照射的光的位置X31、X32沿各侧面部的长度方向整体扫描,也能够判定在第四侧面部134的作为长度方向的端部的第二角部142、第四角部144是否存在缺口。
但是,在第三侧面部133与第四侧面部134不平行的情况下,在也需要同时对第四侧面部134的长度方向的端部的缺口的有无进行评价的情况下等,本实施方式的板状体的检查装置30还可以具有以下的构成。
在该情况下,本实施方式的板状体的检查装置30可以进一步作为发光部31具有第三端部检测用发光部313、以及第四端部检测用发光部314,并且进一步作为受光部32具有第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324。
并且,可以在第一侧面部131一侧配置第三端部检测用发光部313、以及第三端部检测用受光部323。
另外,可以在第二侧面部132一侧配置第四端部检测用发光部314、以及第四端部检测用受光部324。
此时,可以以图中所示直线l2与位于与板状体10的第三侧面部133相反侧的第四侧面部134平行的方式对各个部件进行配置。需要说明的是,直线l2是指,连结第一侧面部131中的自第三端部检测用发光部313照射的光的位置X33和第二侧面部132中的自第四端部检测用发光部314照射的光的位置X34的直线。
并且,设定为输送机构使第一侧面部131、以及第二侧面部132中的、自第三端部检测用发光部313、以及第四端部检测用发光部314照射的光的位置以沿第一侧面部131、以及第二侧面部132的长度方向且包括第四侧面部134侧的端部的方式移动。
在该情况下,在第三端部检测用受光部323开始接收光的时刻与第四端部检测用受光部324开始接收光的时刻不一致的情况下,或者在第三端部检测用受光部323结束接收光的时刻与第四端部检测用受光部324结束接收光的时刻不一致的情况下,判定部36可以判定在板状体10的第四侧面部134的长度方向的端部存在缺口。
另外,在第三端部检测用受光部323开始接收光的时刻与第四端部检测用受光部324开始接收光的时刻一致的情况下,或者在第三端部检测用受光部323结束接收光的时刻与第四端部检测用受光部324结束接收光的时刻一致的情况下,判定部36可以判定在板状体10的第四侧面部134的长度方向的端部不存在缺口。
在本实施方式的板状体的检查装置30中,以连结第一侧面部131中的自第三端部检测用发光部313照射的光的位置X33与第四侧面部134中的自第四端部检测用发光部314照射的光的位置X34的直线l2与第四侧面部134平行的方式进行配置。并且,在位置X33、X34配置有板状体10的情况下,分别在该板状体10的第一侧面部131、第二侧面部132反射来自第三端部检测用发光部313、第四端部检测用发光部314的光,并且第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324接收该反射光。另一方面,未在位置X33、X34配置板状体10的情况下,来自第三端部检测用发光部313、第四端部检测用发光部314的光不在板状体10的侧面部13反射,成为第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324不接收光的状态。需要说明的是,在第四侧面部134的作为长度方向的端部的第二角部142、第四角部144存在缺口,且光照射至该缺口的部分的情况下,光不反射,成为第三端部检测用受光部323、第四端部检测用受光部324不接收光的状态。
因此,在板状体10的第四侧面部134的作为长度方向的端部的第二角部142或者第四角部144不存在缺口的情况下,在板状体10的第四侧面部134通过上述直线l2时,第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324同时开始接收光或结束接收光。另一方面,在第四侧面部134的作为长度方向的端部的第二角部142和第四角部144的任一者存在缺口等的情况下。板状体10的第四侧面部134在通过上述直线l2时,第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324开始接收光或结束接收光的时间、即时刻错开。如上所述,根据第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324接收光的时刻,判定部36可以对第四侧面部的作为长度方向的端部的角部的缺口的有无进行检测。
需要说明的是,根据传感器的精度等,对于第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324接收光的时刻可以考虑一定的公差。因此,判定部36的判定中的“一致”不需要为严密的意义,例如,也可以在第三端部检测用受光部323开始接收光的时刻与第四端部检测用受光部324开始接收光的时候错开超过一定范围的情况下,或者在第三端部检测用受光部323结束接收光的时刻与第四端部检测用受光部324结束接收光的时刻错开超过一定范围的情况下,判定部36判定板状体的第四侧面部的长度方向的端部存在缺口。
另外,例如在通过输送机构23将板状体10自图3中的右侧沿箭头A的方向进行输送的情况下,若板状体10的第四侧面部134通过直线l2,则自在位置X33、X34配置有板状体10的状态变化为未配置板状体10的状态。因此,在该情况下,板状体10的第四侧面部134通过直线l2后,第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324结束接收光。
另一方面,例如在通过输送机构23将板状体10自图3中的左侧沿与箭头A相反侧的方向进行输送的情况下,若板状体10的第四侧面部134通过直线l2,则自在位置X33、X34未配置板状体10的状态变化为配置有板状体10的状态。因此,在该情况下,板状体10的第四侧面部134通过直线l2后,第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324开始接收光。
因此,根据第一侧面部131、以及第二侧面部132中的、自第三端部检测用发光部313、以及第四端部检测用发光部314照射的光的位置的变化的方向,如上所述对第三端部检测用受光部323、以及第四端部检测用受光部324开始接收光或结束接收光的时刻进行观察,从而可以判定第四侧面部134的长度方向的端部是否具有缺口。
在图3中,虽然示出了设置一个判定部36的例子,但是不限于该方式。例如可以分开设置第一判定部和第二判定部,并且可以将上述第一端部检测用发光部311、第二端部检测用发光部312、第一端部检测用受光部321、第二端部检测用受光部322等与第一判定部连接。另外,在该情况下,例如可以将上述第三端部检测用发光部313、第四端部检测用发光部314、第三端部检测用受光部323、第四端部检测用受光部324等与第二判定部连接。
(第三实施方式)
接下来,使用图4对本实施方式的板状体的检查装置的其他的构成例进行说明。图4相当于本实施方式的板状体的检查装置40的俯视图。
如图4所示,在本实施方式的板状体的检查装置40中,也可以在具有用于向板状体10的侧面部13照射光的发光部41、以及用于接收在板状体10的侧面部13反射的光的受光部42。需要说明的是,作为发光部41、受光部42,不特别限定,例如可以使用与在第一实施方式中说明的发光部、受光部相同的部件,因此在此省略说明。另外,对于其他的部件,对于在第一实施方式已经说明的部件付与相同附图标记,并且省略一部分说明。
在本实施方式的板状体的检查装置40中,可以作为发光部41具有第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412,并且作为受光部42具有第一长度检测用受光部421、以及第二长度检测用受光部422。
并且,可以沿板状体10的第一侧面部131的长度方向配置第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412。此时,第一长度检测用受光部421可以配置于能够接收自第一长度检测用发光部411照射且在第一侧面部131反射的光的位置,并且第二长度检测用受光部422可以配置于能够接收自第二长度检测用发光部412照射且在第一侧面部131反射的光的位置。
并且,在以下的时间ΔT1比根据第一侧面部131的长度方向的长度L、以及通过输送机构使第一侧面部131中的、自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的光的位置移动的速度事先确定的时间短的情况下,判定部46可以判定在板状体10的第一侧面部131的长度方向的端部存在缺口。另外,在时间ΔT1与事先确定的时间一致的情况下,判定部46可以判定在板状体10的第一侧面部131的长度方向的端部不存在缺口。
需要说明的是,时间ΔT1是指,输送机构使第一侧面部131中的自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的光的位置X41、X42沿第一侧面部131的长度方向自第一侧面部131的一个端部移动至另一个端部的情况下,第一长度检测用受光部421开始接收光的时刻与第二长度检测用受光部422结束接收光的时刻的时间的差。
在本实施方式的板状体的检查装置40中,在板状体10的第一侧面部131一侧,沿其长度方向,可以配置第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412。
图4中虚线所示的自第一长度检测用发光部411向板状体10的第一侧面部131照射的光的光路与板状体10的第一侧面部131形成的角度θ41不特别限定,例如可以以来自第一长度检测用发光部411的光能够在第一侧面部131的表面反射的方式调整其角度。优选设定为例如30°≤θ41≤150°,更优选设定为45°≤θ41≤135°,进一步优选设定为75°≤θ41≤105°。这里,对第一长度检测用发光部411进行了说明,但是对于自其他的第二长度检测用发光部412向板状体10的第一侧面部131照射的光的光路与板状体10的第一侧面部131形成的角度等的其他的长度检测用发光部也可以同样构成。
这里,以如下方式进行说明,即,例如使用输送机构23使作为被检查物的板状体10沿图中的箭头A的方向移动,并且使自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的第一侧面部131中的光的位置X41、X42沿第一侧面部131的长度方向自其一个端部移动至另一个端部、即自第一角部141移动至第二角部142。
此时,第一长度检测用受光部421、以及第二长度检测用受光部422接收光的时间仅为自对应的第一长度检测用发光部411、第二长度检测用发光部412照射的光在第一侧面部131反射的期间。在第一侧面部131的长度方向的端部存在缺口的情况下,自第一长度检测用发光部411、第二长度检测用发光部412照射的光在该缺口部分不反射,从而第一长度检测用受光部421、以及第二长度检测用受光部422不接收光。
并且,在图4所示例子中,第二长度检测用受光部422结束接收光时(T11)是指,第一侧面部131中的子第二长度检测用发光部412照射的光的位置X42通过板状体10的第二角部142时。另外,第一长度检测用受光部421开始接收光时(T12)是指,第一侧面部131中的自第一长度检测用发光部411照射的光的位置X41通过板状体10的第一角部141时。
这里,将第一侧面部131中的、自第一长度检测用发光部411照射的光的位置X41与自第二长度检测用发光部412照射的光的位置X42之间的长度(距离)设定为长度L1。并且,将在板状体10不存在缺口的情况下的第一侧面部131的长度方向的长度设定为长度L。
于是,在板状体10不存在缺口的情况下,作为上述T11和T12的差的ΔT1和长度L和长度L1的差除以使自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的第一侧面部131中的光的位置X41、X42移动的速度、即该情况下输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值相等。另一方面,在板状体10的第一侧面部131的作为长度方向的端部的第一角部141或第二角部142具有缺口的情况下,作为上述T11和T12的差的ΔT1比长度L和长度L1的差除以使自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的第一侧面部131中的光的位置X41、X42移动的速度、即该情况下输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值小。
因此,在该情况下,将长度L和长度L1的差除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值设定为预先确定的时间,在ΔT1比其小的情况下,第一判定部461可以判定板状体10的作为第一侧面部131的长度方向的端部的第一角部141或第二角部142具有缺口。
另外,在长度L和长度L1的差除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值与ΔT1一致的情况下,第一判定部461可以判定板状体10的第一侧面部131的作为长度方向的端部的第一角部141以及第二角部142不具有缺口。
需要说明的是,根据制造条件等,对于板状体10的第一侧面部131的长度方向的长度L也可以考虑一定的公差。因此,例如可以使用第一侧面部131的长度方向的长度L加上公差的数值来计算在上述第一判定部461使用的预先确定的时间。另外,在第一判定部461作为基准使用的预先确定的时间进一步可以加上也考虑了传感器的精度等的公差。
这里,图4中,以沿箭头A的方向对板状体10进行输送的构成为例进行了说明,但是也可以沿与箭头A相反的方向对板状体10进行输送。
在该情况下,第二长度检测用受光部422结束接收光时(T11)是指,板状体10的第一角部141通过第一侧面部131中的自第二长度检测用发光部412照射的光的位置X42时。另外,第一长度检测用受光部421开始接收光时(T12)是指,板状体10的第二角部142通过第一侧面部131中的自第一长度检测用发光部411照射的光的位置X41时。
于是,在板状体10不存在缺口的情况下,作为上述T11和T12的差的ΔT1与长度L和长度L1的和除以使自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的第一侧面部131中的光的位置X41、X42移动的速度、即该情况下输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值相等。另一方面,在板状体10的第一侧面部131的作为长度方向的端部的第一角部141或第二角部142具有缺口的情况下,作为上述T11和T12的差的ΔT1比长度L和长度L1的和除以使自第一长度检测用发光部411、以及第二长度检测用发光部412照射的第一侧面部131中的光的位置X41、X42移动的速度、即该情况下输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值小。
因此,该情况下,将长度L和长度L1的和除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值设定为事先确定的时间,在ΔT1比其小的情况下,第一判定部461可以判定板状体10的第一侧面部131的作为长度方向的端部的第一角部141或第二角部142具有缺口。
另外,在长度L和长度L1的和除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值与ΔT1一致的情况下,第一判定部461可以判定板状体10的第一侧面部131的作为长度方向的端部的第一角部141以及第二角部142不具有缺口。
需要说明的是,在该情况下,对于板状体10的第一侧面部131的长度方向的长度L等也可以考虑一定的公差,从而用作第一判定部461的基准。
另外,可以同时一并对第二侧面部132的长度方向的端部的缺口的有无进行检测。
在该情况下,本实施方式的板状体的检查装置40可以作为发光部41进一步具有第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414,并且作为受光部42进一步具有第三长度检测用受光部423、以及第四长度检测用受光部424。
并且,可以沿板状体10的第二侧面部132的长度方向配置第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414。此时,第三长度检测用受光部423配置于能够接收自第三长度检测用发光部413照射且在第二侧面部132反射的光的位置,并且第四长度检测用受光部424配置于能够接收自第四长度检测用发光部414照射且在第二侧面部132被反射的光的位置。
并且,在以下的时间ΔT2比根据第二侧面部132的长度方向的长度L、以及通过输送机构使第二侧面部132中的、自第三长度检测用发光部413以及第四长度检测用发光部414照射的光的位置移动的速度事先确定的时间短的情况下,判定部46可以判定在板状体10的第二侧面部132的长度方向的端部存在缺口。另外,在时间ΔT2与事先确定的时间一致的情况下,判定部46可以判定在板状体10的第二侧面部132的长度方向的端部不存在缺口。
需要说明的是,时间ΔT2是指,在输送机构使第二侧面部132中的自第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414照射的光的位置X43、X44沿第二侧面部132的长度方向自第二侧面部132的一个端部移动至另一个端部的情况下,第三长度检测用受光部423开始接收光时与第四长度检测用受光部424结束接收光时的时间的差。
在本实施方式的板状体的检查装置40中,在板状体10的第二侧面部132一侧,沿其长度方向,可以配置第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414。
这里,设定如下方式进行说明,即,例如使用输送机构23使作为被检查物的板状体10沿图中的箭头A的方向移动,并且使自第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414照射的第二侧面部132中的光的位置X43、X44沿第二侧面部132的长度方向自其一个端部移动至另一个端部、即自第三角部143移动至第四角部144。
此时,第三长度检测用受光部423、以及第四长度检测用受光部424接收光的时间仅为自对应的第三长度检测用发光部413、第四长度检测用发光部414照射的光在第二侧面部132反射的期间。在第二侧面部132的长度方向的端部存在缺口的情况下,自第三长度检测用发光部413、第四长度检测用发光部414照射的光在该缺口部分不反射,从而第三长度检测用受光部423、以及第四长度检测用受光部424不接收光。
并且,在图4所示例子中,第四长度检测用受光部424结束接收光时(T21)是指,板状体10的第四角部144通过第二侧面部132中的自第四长度检测用发光部414照射的光的位置X44时。另外,第三长度检测用受光部423开始接收光时(T22)是指,板状体10的第三角部143通过第二侧面部132中的自第三长度检测用发光部413照射的光的位置X43的时刻。
这里,将第二侧面部132中的自的第三长度检测用发光部413照射的光的位置X43与自第四长度检测用发光部414照射的光的位置X44之间的长度(距离)设定为长度L2。并且,将板状体10中不存在缺口的情况的第二侧面部132的长度方向的长度设定为长度L。
于是,在板状体10中不存在缺口的情况下,作为上述T21和T22的差的ΔT2与长度L和长度L2的差除以使自第三长度检测用发光部413以及第四长度检测用发光部414照射的第二侧面部132中的光的位置X43、X44移动的速度、即该情况下输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值相等。另一方面,在板状体10的第二侧面部132的作为长度方向的端部的第三角部143或第四角部144具有缺口的情况下,作为上述T21和T22的差的ΔT2比长度L和长度L2的差除以自第三长度检测用发光部413以及第四长度检测用发光部414照射的第二侧面部132中的光的位置X43、X44移动的速度、即输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值小。因此,该情况下,将长度L和长度L2的差除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值设定为事先确定的时间,在ΔT2比其小的情况下,第二判定部462可以判定板状体10的第二侧面部132的作为长度方向的端部的第三角部143或第四角部144具有缺口。
另外,在长度L和长度L2的差除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值与ΔT2一致的情况下,第二判定部462可以判定板状体10的作为第二侧面部132的长度方向的端部的第三角部143以及第四角部144不具有缺口。
需要说明的是,根据制造条件等,对于板状体10的第二侧面部132的长度方向的长度L也可以考虑一定的公差。在该情况下,也可以使用在第二侧面部132的长度方向的标准长度L加上公差的数值,来计算在上述第二判定部462使用的事先确定的时间。另外,在第二判定部462中作为基准使用的事先确定的时间进一步可以加上还考虑了传感器的精度等的公差。
这里,图4中,以沿箭头A的方向对板状体10进行输送的构成为例进行了说明,但是也可以沿与箭头A相反方向对板状体10进行输送。
在该情况下,第四长度检测用受光部424结束接收光时(T21)是指,板状体10的第三角部143通过第二侧面部132中的自第四长度检测用发光部414照射的光的位置X44时。另外,第三长度检测用受光部423开始接收光时(T22)是指,板状体10的第四角部144通过第二侧面部132中的自第三长度检测用发光部413照射的光的位置X43的时刻。
于是,在板状体10中不存在缺口的情况下,作为上述T21和T22的差的ΔT2与长度L和长度L2的和除以使自第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414照射的第二侧面部132中的光的位置X43、X44移动的速度、即输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值相等。另一方面,在板状体10的第二侧面部132的作为长度方向的端部的第三角部143或第四角部144具有缺口的情况下,作为上述T21和T22的差的ΔT2比长度L和长度L2的和除以使自第三长度检测用发光部413、以及第四长度检测用发光部414照射的第二侧面部132中的光的位置X43、X44移动的速度、即输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值小。因此,将长度L和长度L2的和除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值设定为预先确定的时间,在ΔT2比其小的情况下,第二判定部462可以判定板状体10的第二侧面部132的作为长度方向的端部的第三角部143或第四角部144具有缺口。
另外,在长度L和长度L2的和除以输送机构23对板状体10进行输送的速度而得的值与ΔT2一致的情况下,第二判定部462可以判定板状体10的第二侧面部132的作为长度方向的端部的第三角部143以及第二角部142不具有缺口。
需要说明的是,在该情况下,对于板状体10的第一侧面部131的长度方向的长度L等,也可以考虑一定的公差而用作第二判定部462的基准。
至此,对使用输送机构23对板状体10进行输送的例子进行了说明,但是不限于对板状体10进行输送的方式。例如也可以构成为通过第一发光部输送机构241、第二发光部输送机构242,使自第一长度检测用发光部411等的发光部41向板状体10的侧面部13照射光的位置变更。
另外,在判定部46中,对于用作判定的基准的事先确定的时间也不限于上述例子,可以根据板状体的形状等任意选择。
在图4中,作为判定部46,示出了设有第一判定部461和第二判定部462的例子,但是不限于该方式。例如也可以由一个判定部46构成。
至此,分成三个实施方式对板状体的检查装置的构成例进行了说明,可以分别使用在各实施方式中说明的板状体的检查装置,对于板状体的检查装置,也可以设定为将在各实施方式中说明的板状体的检查装置进行组合的构成。
另外,至此说明的板状体的检查装置可以作为检查装置单体使用,但是也可以例如组装入板状体的制造装置。即可以作为具有至此说明的板状体的检查装置的板状体的制造装置进行使用。
以上,通过实施方式等对板状体的检查装置进行了说明,但是本发明不限于上述实施方式等。在权利要求书中记载的本发明的主旨的范围内,各种变形、变更是可能的。
本申请要求基于2019年2月28日在日本国专利局申请的特愿2019-036625号的优先权,并且在本国际申请中引用特愿2019-036625号的全部内容。
附图标记说明
10 板状体
111、112 被覆材料
12 芯材
13 侧面部
131 第一侧面部
132 第二侧面部
133 第三侧面部
134 第四侧面部
14 角部
141 第一角部
142 第二角部
143 第三角部
144 第四角部
20、30、40 板状体的检查装置
21、31、41 发光部
211 第一发光部
212 第二发光部
311 第一端部检测用发光部
312 第二端部检测用发光部
313 第三端部检测用发光部
314 第四端部检测用发光部
411 第一长度检测用发光部
412 第二长度检测用发光部
413 第三长度检测用发光部
414 第四长度检测用发光部
22、32、42 受光部
221 第一受光部
222 第二受光部
321 第一端部检测用受光部
322 第二端部检测用受光部
323 第三端部检测用受光部
324 第四端部检测用受光部
421 第一长度检测用受光部
422 第二长度检测用受光部
423 第三长度检测用受光部
424 第四长度检测用受光部
23、24 输送机构
241 第一发光部输送机构
242 第二发光部输送机构
25 距离计算部
251 第一距离计算部
252 第二距离计算部
26、36、46 判定部
261 第一判定部
262 第二判定部
27 侧面位置限制机构
X31~X34、X41~X44 位置
l1、l2 直线
Claims (9)
1.一种板状体的检查装置,其用于对在上表面侧以及下表面侧分别具有片状的被覆材料的板状体的侧面部进行检查,该板状体的检查装置具有:
发光部,其用于向上述侧面部照射光;
受光部,其用于接收在上述侧面部反射的上述光;
输送机构,其用于使上述发光部和上述板状体的至少一者移动,从而使上述侧面部中的、自上述发光部照射的上述光的位置变化;以及
判定部,其通过上述输送机构使上述侧面部中的自上述发光部照射的上述光的位置沿上述侧面部的长度方向变化,从而使用自上述发光部照射的上述光对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。
2.根据权利要求1所述的板状体的检查装置,其中,
还具有侧面位置限制机构,其用于对上述侧面部的位置进行限制。
3.根据权利要求1或2所述的板状体的检查装置,其中,
还具有距离计算部,其使用上述发光部照射的上述光,对上述发光部和上述侧面部之间的距离进行计算。
4.根据权利要求3所述的板状体的检查装置,其中,
上述判定部基于上述距离计算部计算的、上述发光部和上述侧面部之间的距离,对上述侧面部是否具有缺陷进行判定。
5.根据权利要求4所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部具有第一发光部、以及第二发光部,
作为上述受光部具有第一受光部、以及第二受光部,
在上述板状体的第一侧面部侧配置有上述第一发光部、以及上述第一受光部,
在位于与上述第一侧面部相反侧的第二侧面部侧配置有上述第二发光部、以及上述第二受光部,
上述距离计算部使用自上述第一发光部照射的光对作为上述第一发光部和上述第一侧面部之间的距离的第一距离进行计算,并且使用上述第二发光部照射的光对作为上述第二发光部和上述第二侧面部之间的距离的第二距离进行计算,
上述判定部基于上述第一距离对上述第一侧面部是否具有缺陷进行判定,并且基于上述第二距离对上述第二侧面部是否具有缺陷进行判定。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部具有第一端部检测用发光部、以及第二端部检测用发光部,
作为上述受光部具有第一端部检测用受光部、以及第二端部检测用受光部,
将上述第一端部检测用发光部、以及上述第一端部检测用受光部配置在上述板状体的第一侧面部侧,并将上述第二端部检测用发光部、以及上述第二端部检测用受光部配置在位于与上述第一侧面部相反侧的第二侧面部侧,以使连结上述第一侧面部中的自上述第一端部检测用发光部照射的光的位置和上述第二侧面部中的自上述第二端部检测用发光部照射的光的位置的直线与位于上述板状体的上述第一侧面部以及上述第二侧面部之间的第三侧面部平行,
在上述输送机构使上述第一侧面部以及上述第二侧面部中的、自上述第一端部检测用发光部以及上述第二端部检测用发光部照射的光的位置以沿上述第一侧面部、以及上述第二侧面部的长度方向且以包括上述第三侧面部侧的端部的方式移动的情况下,
在上述第一端部检测用受光部开始接收光的时刻与上述第二端部检测用受光部开始接收光的时刻不一致的情况下,或者在上述第一端部检测用受光部结束接收光的时刻与上述第二端部检测用受光部结束接收光的时刻不一致的情况下,上述判定部判定在上述板状体的上述第三侧面部的长度方向的端部存在缺口。
7.根据权利要求6所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部还具有第三端部检测用发光部、以及第四端部检测用发光部,
作为上述受光部还具有第三端部检测用受光部、以及第四端部检测用受光部,
将上述第三端部检测用发光部、以及上述第三端部检测用受光部配置在上述第一侧面部侧,并将上述第四端部检测用发光部、以及上述第四端部检测用受光部配置在上述第二侧面部侧,以使连结上述第一侧面部中的自上述第三端部检测用发光部照射的光的位置和上述第二侧面部中的自上述第四端部检测用发光部照射的光的位置的直线与位于与上述板状体的上述第三侧面部相反侧的第四侧面部平行,
在上述输送机构使上述第一侧面部以及上述第二侧面部中的、自上述第三端部检测用发光部以及上述第四端部检测用发光部照射的光的位置以沿上述第一侧面部以及上述第二侧面部的长度方向且包括上述第四侧面部侧的端部的方式移动的情况下,
在上述第三端部检测用受光部开始接收光的时刻与上述第四端部检测用受光部开始接收光的时刻不一致的情况下,或者在上述第三端部检测用受光部结束接收光的时刻与上述第四端部检测用受光部结束接收光的时刻不一致的情况下,上述判定部判定在上述板状体的上述第四侧面部的长度方向的端部存在缺口。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部具有第一长度检测用发光部、以及第二长度检测用发光部,
作为上述受光部具有第一长度检测用受光部、以及第二长度检测用受光部,
上述第一长度检测用发光部、以及上述第二长度检测用发光部沿上述板状体的第一侧面部的长度方向配置,
上述第一长度检测用受光部配置于能够接收自上述第一长度检测用发光部照射且在上述第一侧面部反射的光的位置,上述第二长度检测用受光部配置于能够接收自上述第二长度检测用发光部照射且在上述第一侧面部反射的光的位置,
在上述输送机构使上述第一侧面部中的自上述第一长度检测用发光部、以及上述第二长度检测用发光部照射的光的位置沿上述第一侧面部的长度方向自上述第一侧面部的一个端部移动至另一个端部的情况下,
在上述第一长度检测用受光部开始接收光的时刻与上述第二长度检测用受光部结束接收光的时刻的时间的差比根据上述第一侧面部的长度方向的长度、以及通过上述输送机构使上述第一侧面部中的、自上述第一长度检测用发光部以及上述第二长度检测用发光部照射的光的位置移动的速度事先确定的时间短的情况下,上述判定部判定在上述板状体的上述第一侧面部的长度方向的端部存在缺口。
9.根据权利要求8所述的板状体的检查装置,其中,
作为上述发光部还具有第三长度检测用发光部、以及第四长度检测用发光部,
作为上述受光部还具有第三长度检测用受光部、以及第四长度检测用受光部,
上述第三长度检测用发光部、以及上述第四长度检测用发光部沿位于上述板状体的与上述第一侧面部相反侧的第二侧面部的长度方向配置,
上述第三长度检测用受光部配置于能够接收自上述第三长度检测用发光部照射且在上述第二侧面部反射的光的位置,上述第四长度检测用受光部配置于能够接收自上述第四长度检测用发光部照射且在上述第二侧面部反射的光的位置,
在上述输送机构使上述第二侧面部中的、自上述第三长度检测用发光部以及上述第四长度检测用发光部照射的光的位置沿上述第二侧面部的长度方向自上述第二侧面部的一个端部移动至另一个端部的情况下,
在上述第三长度检测用受光部开始接收光的时刻与上述第四长度检测用受光部结束接收光的时刻的时间的差比根据上述第二侧面部的长度方向的长度、以及通过上述输送机构使上述第二侧面部中的、自上述第三长度检测用发光部以及上述第四长度检测用发光部照射的光的位置移动的速度事先确定的时间短的情况下,上述判定部判定在上述板状体的上述第二侧面部的长度方向的端部存在缺口。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019036625 | 2019-02-28 | ||
JP2019-036625 | 2019-02-28 | ||
PCT/JP2020/003214 WO2020174990A1 (ja) | 2019-02-28 | 2020-01-29 | 板状体の検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113196042A true CN113196042A (zh) | 2021-07-30 |
Family
ID=72239702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202080006985.2A Pending CN113196042A (zh) | 2019-02-28 | 2020-01-29 | 板状体的检查装置 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11692944B2 (zh) |
EP (1) | EP3882610A4 (zh) |
JP (1) | JP7246774B2 (zh) |
KR (1) | KR20210129038A (zh) |
CN (1) | CN113196042A (zh) |
AU (1) | AU2020228819A1 (zh) |
BR (1) | BR112021011472A2 (zh) |
CA (1) | CA3124335A1 (zh) |
MX (1) | MX2021007957A (zh) |
PH (1) | PH12021551501A1 (zh) |
SA (1) | SA521430090B1 (zh) |
SG (1) | SG11202107495UA (zh) |
WO (1) | WO2020174990A1 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN215574703U (zh) * | 2021-05-19 | 2022-01-18 | 富泰华工业(深圳)有限公司 | 检测装置 |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05346319A (ja) * | 1992-06-15 | 1993-12-27 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 板状連続物体の面検査装置 |
EP0778462A2 (en) * | 1995-12-04 | 1997-06-11 | Bo Nyman | Method and device for inspecting the edge of a board |
JPH11264803A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠陥検出方法および装置 |
JP2000111485A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ディスク外周側面の欠陥検査装置および方法 |
EP1132710A1 (en) * | 1998-08-28 | 2001-09-12 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting edge angle |
US20020101596A1 (en) * | 2001-01-26 | 2002-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer position detecting system, semiconductor device fabricating facility of using the same, and wafer position detecting method thereof |
WO2002097410A1 (en) * | 2001-05-31 | 2002-12-05 | Millenium Venture Holdings Ltd. | Method and apparatus of in-process inspection |
CN1537227A (zh) * | 2001-11-20 | 2004-10-13 | 三星宝石工业株式会社 | 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置 |
US20050024630A1 (en) * | 2003-04-28 | 2005-02-03 | Renesas Technology Corp. | Device for examining end part |
JP2007125581A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Jfe Steel Kk | 鋼板の欠陥マーキングと欠陥除去方法およびその装置 |
JP2007147433A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Nano Scope Ltd | セラミック板の欠陥検出方法と装置 |
JP2007198762A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
CN102500627A (zh) * | 2011-10-19 | 2012-06-20 | 北京金自天正智能控制股份有限公司 | 一种板材的宽度、边部形状、边部缺陷测量仪及测量方法 |
CN202938798U (zh) * | 2012-12-04 | 2013-05-15 | 杭州凡江电子技术有限公司 | 一种平板材料性能测试仪 |
CN103175845A (zh) * | 2011-12-22 | 2013-06-26 | 松下电器产业株式会社 | 缺陷检测方法 |
US20160216241A1 (en) * | 2013-09-06 | 2016-07-28 | Entegris, Inc. | Liquid-Free Sample Traps And Analytical Method For Measuring Trace Level Acidic And Basic AMC |
JP2017090198A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 板状体側面の表面疵撮影装置 |
CN107110793A (zh) * | 2014-12-05 | 2017-08-29 | 株式会社爱发科 | 基板监视装置及基板监视方法 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10142159A (ja) * | 1996-11-07 | 1998-05-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の側面外観検査装置とこれを用いた検査方法 |
JPH11148902A (ja) | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Mitsubishi Chemical Corp | 平板状基板の表面欠陥検査装置 |
JP2007003332A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Canon Chemicals Inc | 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
JP2007033240A (ja) | 2005-07-27 | 2007-02-08 | Canon Chemicals Inc | 板状体の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
US20090122304A1 (en) * | 2006-05-02 | 2009-05-14 | Accretech Usa, Inc. | Apparatus and Method for Wafer Edge Exclusion Measurement |
KR100856296B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2008-09-03 | 주식회사 포스코 | 열연 압연시 강판의 측면 형상 측정 장치 및 그 방법 |
WO2009125896A1 (en) * | 2008-04-08 | 2009-10-15 | Semisysco Co., Ltd. | Wafer testing apparatus and processing equipment having the same |
JP5149058B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2013-02-20 | 株式会社近畿エンジニアリング | 木材の寸法検査装置 |
KR101080216B1 (ko) * | 2009-02-17 | 2011-11-09 | (주)글로벌 텍 | 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법 |
JP4503690B1 (ja) * | 2009-10-13 | 2010-07-14 | 日東電工株式会社 | 液晶表示素子を連続製造する装置に用いられる情報格納読出システム、及び、前記情報格納読出システムを製造する方法及び装置 |
KR101019831B1 (ko) * | 2010-09-02 | 2011-03-04 | 주식회사 투아이스펙트라 | 유리기판의 에지 검사시스템 |
KR101228459B1 (ko) * | 2010-09-09 | 2013-01-31 | 한미반도체 주식회사 | 웨이퍼 검사장치 및 이를 구비한 웨이퍼 검사 시스템 |
JP2012194025A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Hioki Ee Corp | 基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構 |
KR101275863B1 (ko) * | 2011-08-24 | 2013-06-17 | 한미반도체 주식회사 | 웨이퍼 검사장치 |
EP2600140A1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | Hennecke Systems GmbH | Inspection system |
EP2781912B1 (en) * | 2013-03-19 | 2021-05-05 | Hennecke Systems GmbH | Inspection system |
US9651500B2 (en) * | 2013-06-24 | 2017-05-16 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | Sizing defect detection system and sizing defect detection method |
FR3011935B1 (fr) * | 2013-10-11 | 2017-06-23 | Luceo | Procede et dispositif pour inspecter les soudures d'emballages |
TWI585395B (zh) * | 2015-01-27 | 2017-06-01 | 政美應用股份有限公司 | 面板檢測裝置與方法 |
WO2016157000A1 (en) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | Paola Ferrari | An automatic control machine |
JP2019512092A (ja) * | 2016-02-25 | 2019-05-09 | コーニング インコーポレイテッド | 移動するガラスウェブのエッジ面検査のための方法および機器 |
CN109477803B (zh) * | 2016-07-12 | 2022-04-26 | 吉野石膏株式会社 | 检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置 |
KR102368169B1 (ko) * | 2017-04-18 | 2022-03-02 | 코닝 인코포레이티드 | 기판 엣지부 검사 장치, 시스템 및 검사 방법 |
JP6951439B2 (ja) * | 2017-06-20 | 2021-10-20 | 日立Astemo株式会社 | 表面検査方法、表面検査装置および製品の製造方法 |
JP6853141B2 (ja) | 2017-08-15 | 2021-03-31 | 日本電信電話株式会社 | 超伝導磁束量子ビット制御装置 |
JP3225922U (ja) * | 2020-02-06 | 2020-04-16 | 株式会社シライテック | ガラス基板の分断縁検査装置 |
WO2022064519A1 (en) * | 2020-09-28 | 2022-03-31 | Saint-Gobain Glass France | An imaging system and a method for determining the defects in glazings |
-
2020
- 2020-01-29 CN CN202080006985.2A patent/CN113196042A/zh active Pending
- 2020-01-29 EP EP20763636.6A patent/EP3882610A4/en active Pending
- 2020-01-29 MX MX2021007957A patent/MX2021007957A/es unknown
- 2020-01-29 WO PCT/JP2020/003214 patent/WO2020174990A1/ja active Application Filing
- 2020-01-29 JP JP2021501782A patent/JP7246774B2/ja active Active
- 2020-01-29 SG SG11202107495UA patent/SG11202107495UA/en unknown
- 2020-01-29 BR BR112021011472-6A patent/BR112021011472A2/pt unknown
- 2020-01-29 AU AU2020228819A patent/AU2020228819A1/en active Pending
- 2020-01-29 KR KR1020217023092A patent/KR20210129038A/ko active Search and Examination
- 2020-01-29 US US17/417,866 patent/US11692944B2/en active Active
- 2020-01-29 CA CA3124335A patent/CA3124335A1/en active Pending
-
2021
- 2021-06-23 PH PH12021551501A patent/PH12021551501A1/en unknown
- 2021-08-17 SA SA521430090A patent/SA521430090B1/ar unknown
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05346319A (ja) * | 1992-06-15 | 1993-12-27 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 板状連続物体の面検査装置 |
EP0778462A2 (en) * | 1995-12-04 | 1997-06-11 | Bo Nyman | Method and device for inspecting the edge of a board |
JPH11264803A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠陥検出方法および装置 |
EP1132710A1 (en) * | 1998-08-28 | 2001-09-12 | Yoshino Gypsum Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting edge angle |
JP2000111485A (ja) * | 1998-10-07 | 2000-04-21 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ディスク外周側面の欠陥検査装置および方法 |
US20020101596A1 (en) * | 2001-01-26 | 2002-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor wafer position detecting system, semiconductor device fabricating facility of using the same, and wafer position detecting method thereof |
WO2002097410A1 (en) * | 2001-05-31 | 2002-12-05 | Millenium Venture Holdings Ltd. | Method and apparatus of in-process inspection |
CN1537227A (zh) * | 2001-11-20 | 2004-10-13 | 三星宝石工业株式会社 | 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置 |
US20050024630A1 (en) * | 2003-04-28 | 2005-02-03 | Renesas Technology Corp. | Device for examining end part |
JP2007125581A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Jfe Steel Kk | 鋼板の欠陥マーキングと欠陥除去方法およびその装置 |
JP2007147433A (ja) * | 2005-11-28 | 2007-06-14 | Nano Scope Ltd | セラミック板の欠陥検出方法と装置 |
JP2007198762A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Canon Chemicals Inc | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 |
CN102500627A (zh) * | 2011-10-19 | 2012-06-20 | 北京金自天正智能控制股份有限公司 | 一种板材的宽度、边部形状、边部缺陷测量仪及测量方法 |
CN103175845A (zh) * | 2011-12-22 | 2013-06-26 | 松下电器产业株式会社 | 缺陷检测方法 |
CN202938798U (zh) * | 2012-12-04 | 2013-05-15 | 杭州凡江电子技术有限公司 | 一种平板材料性能测试仪 |
US20160216241A1 (en) * | 2013-09-06 | 2016-07-28 | Entegris, Inc. | Liquid-Free Sample Traps And Analytical Method For Measuring Trace Level Acidic And Basic AMC |
CN107110793A (zh) * | 2014-12-05 | 2017-08-29 | 株式会社爱发科 | 基板监视装置及基板监视方法 |
JP2017090198A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 板状体側面の表面疵撮影装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020174990A1 (zh) | 2020-09-03 |
WO2020174990A1 (ja) | 2020-09-03 |
EP3882610A1 (en) | 2021-09-22 |
MX2021007957A (es) | 2021-08-11 |
PH12021551501A1 (en) | 2022-02-28 |
EP3882610A4 (en) | 2022-01-19 |
US11692944B2 (en) | 2023-07-04 |
CA3124335A1 (en) | 2020-09-03 |
AU2020228819A1 (en) | 2021-07-15 |
US20220099589A1 (en) | 2022-03-31 |
BR112021011472A2 (pt) | 2021-08-31 |
SG11202107495UA (en) | 2021-08-30 |
JP7246774B2 (ja) | 2023-03-28 |
SA521430090B1 (ar) | 2024-05-19 |
KR20210129038A (ko) | 2021-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101697216B1 (ko) | 판유리의 검사 유닛 및 제조 설비 | |
KR101080216B1 (ko) | 글라스 에지 검사장치 및 그를 이용한 글라스 에지 검사방법 | |
JP2011053213A (ja) | 物体の欠陥を検出するための方法および装置 | |
KR102153450B1 (ko) | 테라헤르츠파를 이용한 검사장치 | |
JP6606441B2 (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JP2015040835A (ja) | 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法 | |
TW201707824A (zh) | 雷射加工裝置 | |
CN113196042A (zh) | 板状体的检查装置 | |
JP2001519028A (ja) | 透明容器内における散乱された汚れを検出するための装置 | |
JP5393973B2 (ja) | ロッドレンズアレイ検査装置及び方法 | |
JP2009236633A (ja) | X線異物検査装置 | |
JP2008241612A (ja) | 欠陥検査装置及び方法 | |
JP4630945B1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
WO2013080093A1 (en) | Inspection system | |
JPH11148902A (ja) | 平板状基板の表面欠陥検査装置 | |
TWI788786B (zh) | 光學檢測裝置及其檢測方法 | |
KR101594224B1 (ko) | 평판 기판의 표면 상태 검사 방법 및 그것을 이용한 평판 기판의 표면 상태 검사 장치 | |
JP4595226B2 (ja) | 被搬送材料の端部位置検出方法 | |
JPH0949711A (ja) | 寸法測定装置 | |
JPH04168745A (ja) | セラミック基板の搬送装置 | |
JPS6098305A (ja) | 構造部材表面の検査法および装置 | |
JP2023051092A (ja) | 分析装置 | |
JP2003075356A (ja) | 透明物の検査方法および装置 | |
JP2006071327A (ja) | 光沢度判別方法及び光沢度判別装置 | |
JPH10153485A (ja) | 測定装置、測定方法、および画像出力装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: HK Ref legal event code: DE Ref document number: 40047570 Country of ref document: HK |