JPH11264803A - 透明板状体の欠陥検出方法および装置 - Google Patents
透明板状体の欠陥検出方法および装置Info
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- JPH11264803A JPH11264803A JP10068739A JP6873998A JPH11264803A JP H11264803 A JPH11264803 A JP H11264803A JP 10068739 A JP10068739 A JP 10068739A JP 6873998 A JP6873998 A JP 6873998A JP H11264803 A JPH11264803 A JP H11264803A
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス板等の透明板状体中の微細な泡、異物等
の内部欠陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する。 【解決手段】エアテーブル上に搬入し位置決めした透明
板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設
けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得ら
れた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法に
おいて、透明板状体の端面のみから線状光源を照射して
透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状
体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向
と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板
状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板
状体全面を撮像走査し、さらに透明板状体の端面より照
射する前記線状光源と走行移動するカメラの走査位置と
の距離に応じて感度補正を行い、光源からの距離の遠近
による差を無くすようにし、得られた輝度信号の所定レ
ベルを境界として良否を判定した。
の内部欠陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する。 【解決手段】エアテーブル上に搬入し位置決めした透明
板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設
けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得ら
れた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法に
おいて、透明板状体の端面のみから線状光源を照射して
透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状
体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向
と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板
状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板
状体全面を撮像走査し、さらに透明板状体の端面より照
射する前記線状光源と走行移動するカメラの走査位置と
の距離に応じて感度補正を行い、光源からの距離の遠近
による差を無くすようにし、得られた輝度信号の所定レ
ベルを境界として良否を判定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス板等の透明
板状体中の微細な泡、異物等の内部欠陥、及びキズ等の
表面欠陥を検出する方法、および装置に関する。
板状体中の微細な泡、異物等の内部欠陥、及びキズ等の
表面欠陥を検出する方法、および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板や樹脂板等の透明板状体の欠陥
検出方法、装置に於ける従来技術としては、リボン状に
連なった透明板状体の欠陥を検査するものや、切断後の
透明板状体の欠陥を検査するもの等、それぞれについて
種々のものが知られている。
検出方法、装置に於ける従来技術としては、リボン状に
連なった透明板状体の欠陥を検査するものや、切断後の
透明板状体の欠陥を検査するもの等、それぞれについて
種々のものが知られている。
【０００３】まず、リボン状の透明板状体の欠陥を検出
するものとして、特開平１−１８９５４９号公報に示さ
れる様に、ガラスを搬送制御する機構と、線状に配置し
た光源からの光をスリットを通して、ガラスに投光する
ことにより、ガラスの内部欠点、表面欠点を光の陰影と
して１次元カメラにて捉え、２次元データに変換後ガラ
スの良否を判定するガラス欠点検出装置が開示されてい
る。
するものとして、特開平１−１８９５４９号公報に示さ
れる様に、ガラスを搬送制御する機構と、線状に配置し
た光源からの光をスリットを通して、ガラスに投光する
ことにより、ガラスの内部欠点、表面欠点を光の陰影と
して１次元カメラにて捉え、２次元データに変換後ガラ
スの良否を判定するガラス欠点検出装置が開示されてい
る。
【０００４】また、実開平３−２７３４３号公報に示さ
れるように、移動する板ガラスの一表面より隔離して設
けられ板ガラスに光線を照射する点状の光源と、板ガラ
スの他の表面から隔離して設けられ、該光源から照射さ
れ板ガラスを透過した透過光線により形成される映像を
映写するスクリーンと、該スクリーン上を走査し板ガラ
スの欠点の映像をラインセンサーにより検出する板ガラ
ス欠点検出装置が開示されている。
れるように、移動する板ガラスの一表面より隔離して設
けられ板ガラスに光線を照射する点状の光源と、板ガラ
スの他の表面から隔離して設けられ、該光源から照射さ
れ板ガラスを透過した透過光線により形成される映像を
映写するスクリーンと、該スクリーン上を走査し板ガラ
スの欠点の映像をラインセンサーにより検出する板ガラ
ス欠点検出装置が開示されている。
【０００５】さらに、特開昭６１ー１７６８３８号、特
開昭６１ー１７６８３９号に見られる様な光の屈折の違
いを利用して背景の線の歪みを捉えるもの、レーザーフ
ライングスポットによるレーザー光の透過光、反射光を
利用したものなどがあげられる。
開昭６１ー１７６８３９号に見られる様な光の屈折の違
いを利用して背景の線の歪みを捉えるもの、レーザーフ
ライングスポットによるレーザー光の透過光、反射光を
利用したものなどがあげられる。
【０００６】また、切断後の透明板状体の欠陥を検出す
るものとしては、例えば特開平４−３２０９５１号公報
には、表面が平滑な被検査のガラス板を支持台に支持
し、該ガラス板の側面に対して、適当な角度の白色光束
を投射して内面により全反射させ、前記表面に存在する
欠陥による該全反射光の散乱光を、前記表面側または裏
面側で目視により観察し、または受光器により受光して
該欠陥を検出するガラス板の表面欠陥検査方法と、ベー
ス盤に固定され、表面が平滑な被検査の角型ガラス板の
４辺を支持するフレームと、該フレームに支持された該
角型ガラス板の直交する２辺の側面に対して適当な角度
の白色光束を投射する２個の線光源と、該角型ガラス板
の内面による全反射光の欠陥による散乱光を受像する受
像カメラ、および前記側面の反射光による該受像に対す
る妨害を排除する遮蔽板とよりなるガラス板の表面欠陥
検査装置が開示されている。
るものとしては、例えば特開平４−３２０９５１号公報
には、表面が平滑な被検査のガラス板を支持台に支持
し、該ガラス板の側面に対して、適当な角度の白色光束
を投射して内面により全反射させ、前記表面に存在する
欠陥による該全反射光の散乱光を、前記表面側または裏
面側で目視により観察し、または受光器により受光して
該欠陥を検出するガラス板の表面欠陥検査方法と、ベー
ス盤に固定され、表面が平滑な被検査の角型ガラス板の
４辺を支持するフレームと、該フレームに支持された該
角型ガラス板の直交する２辺の側面に対して適当な角度
の白色光束を投射する２個の線光源と、該角型ガラス板
の内面による全反射光の欠陥による散乱光を受像する受
像カメラ、および前記側面の反射光による該受像に対す
る妨害を排除する遮蔽板とよりなるガラス板の表面欠陥
検査装置が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】まず、特開平１−１８
９５４９号のように、線状に配置した光源からの光を１
つのスリットを通して移動する板ガラスに投光すること
により、板ガラスの欠点を光の陰影として１次元カメラ
にて検出し画像処理する例に於いては、透明板状体に付
着した埃、汚れと欠陥の判別が不可能で、微小欠陥を検
出しようとすると、埃、汚れなどを誤検出してしまう。
９５４９号のように、線状に配置した光源からの光を１
つのスリットを通して移動する板ガラスに投光すること
により、板ガラスの欠点を光の陰影として１次元カメラ
にて検出し画像処理する例に於いては、透明板状体に付
着した埃、汚れと欠陥の判別が不可能で、微小欠陥を検
出しようとすると、埃、汚れなどを誤検出してしまう。
【０００８】次に、実開平３−２７３４３のように、移
動する板ガラスに点状の光源による光線を照射し、板硝
子を透過後のスクリーンへの投影像を１次元カメラにて
走査し、欠点による明暗部を検出する例においては、歪
み欠陥の検出は可能であるが、外乱（外部光、埃、汚れ
等）の影響を受け易く、また微細な欠陥の検出もできな
い。
動する板ガラスに点状の光源による光線を照射し、板硝
子を透過後のスクリーンへの投影像を１次元カメラにて
走査し、欠点による明暗部を検出する例においては、歪
み欠陥の検出は可能であるが、外乱（外部光、埃、汚れ
等）の影響を受け易く、また微細な欠陥の検出もできな
い。
【０００９】更に、特開昭６１−１７６８３８〜９号の
様に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔な複数の線列を透明な板状体を介して観察し、欠点部
を線列の乱れとして、カメラで検出処理する例に於いて
は、等間隔の線列を横切って走査することにより欠点部
分を通過する光の屈折率の違いにより、規則正しいパル
ス幅、ピッチの信号とは異なる信号を検出することを利
用するもので、透明板状体の種々の欠点中、微小、もし
くは淡いディストーションを伴った欠点の検出に於て、
同方法を当てはめようとすると線列の乱れは確実に検出
できない。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠
点の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまう。
様に、検出すべき欠点部の大きさよりも狭い間隔で等間
隔な複数の線列を透明な板状体を介して観察し、欠点部
を線列の乱れとして、カメラで検出処理する例に於いて
は、等間隔の線列を横切って走査することにより欠点部
分を通過する光の屈折率の違いにより、規則正しいパル
ス幅、ピッチの信号とは異なる信号を検出することを利
用するもので、透明板状体の種々の欠点中、微小、もし
くは淡いディストーションを伴った欠点の検出に於て、
同方法を当てはめようとすると線列の乱れは確実に検出
できない。しかも、透明板状体に付着した埃、汚れと欠
点の判別が不可能で、埃、汚れを誤検出してしまう。
【００１０】レーザーフライングスポットによるレーザ
ー光の透過光、反射光を利用したものについては、装置
自体も大型化となり高価格であり、非常に微細な欠点の
検出が可能であるが、埃等による誤検出も多いという問
題点がある。
ー光の透過光、反射光を利用したものについては、装置
自体も大型化となり高価格であり、非常に微細な欠点の
検出が可能であるが、埃等による誤検出も多いという問
題点がある。
【００１１】すなわち、前述のような従来の検出方法に
あっては、いずれの方法にしても、透明板状体の種々の
欠点の内、例えば泡や異物等の透明板状体中の内部欠陥
や、キズ等の表面欠陥のミクロンオーダーの微細な欠陥
の検出について、確実に検出することができないという
問題点があった。
あっては、いずれの方法にしても、透明板状体の種々の
欠点の内、例えば泡や異物等の透明板状体中の内部欠陥
や、キズ等の表面欠陥のミクロンオーダーの微細な欠陥
の検出について、確実に検出することができないという
問題点があった。
【００１２】さらに、切断後の透明板状体の欠陥を検出
するものとして示した特開平４−３２０９５１号公報に
ついては、ガラス板を支持台上で支持し、ガラス板の側
面に対して白色光束を投射し、側面の反射光により受像
カメラに対する妨害を排除するための遮蔽板を必要とす
るものであり、本公報のものはガラス板のサイズが大き
い場合、ガラス板が湾曲するが欠陥検査には差し支えな
い旨の記載があるが、近年基板も大型化かつ薄板化し、
大サイズの薄板を検査する場合に、撓みによりカメラと
ガラス板の距離が一定とはならず、ピントが甘くなり、
微小欠陥を検出しようとした場合、検出感度の低下によ
り精度のよい欠陥検査ができない恐れがあった。さら
に、ガラス板のサイズが大きくなると、投射した光量が
端面から遠く離れるに従って少しづつ減衰して弱くな
り、光源から離れた位置にある欠陥部分の輝度が減少す
ることにより実際より小さめのサイズと判断され、許容
範囲外のサイズの欠陥であっても許容範囲内のサイズで
あると誤判断される恐れがある。
するものとして示した特開平４−３２０９５１号公報に
ついては、ガラス板を支持台上で支持し、ガラス板の側
面に対して白色光束を投射し、側面の反射光により受像
カメラに対する妨害を排除するための遮蔽板を必要とす
るものであり、本公報のものはガラス板のサイズが大き
い場合、ガラス板が湾曲するが欠陥検査には差し支えな
い旨の記載があるが、近年基板も大型化かつ薄板化し、
大サイズの薄板を検査する場合に、撓みによりカメラと
ガラス板の距離が一定とはならず、ピントが甘くなり、
微小欠陥を検出しようとした場合、検出感度の低下によ
り精度のよい欠陥検査ができない恐れがあった。さら
に、ガラス板のサイズが大きくなると、投射した光量が
端面から遠く離れるに従って少しづつ減衰して弱くな
り、光源から離れた位置にある欠陥部分の輝度が減少す
ることにより実際より小さめのサイズと判断され、許容
範囲外のサイズの欠陥であっても許容範囲内のサイズで
あると誤判断される恐れがある。
【００１３】さらにまた、二次元カメラをＸ軸、Ｙ軸方
向に移動させてガラス板を検査をする旨の記載がある
が、この方法は処理に時間がかかるという難点がある。
向に移動させてガラス板を検査をする旨の記載がある
が、この方法は処理に時間がかかるという難点がある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような点
に鑑みてなされたものであり、従来困難であった非常に
微細なミクロン単位の泡、異物等の内部欠陥、およびキ
ズ等の表面欠陥を塵埃や汚れの影響も受けず、安価にし
かも確実、かつ速いタクトで自動的に全数検査できるこ
とを目的として、エアテーブル上に搬入し位置決めした
透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方
に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、
得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方
法において、透明板状体の端面のみから線状光源を照射
して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明
板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査
方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透
明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透
明板状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レ
ベルを境界として良否を判定するようにし、あるいは、
透明板状体の端面より照射する前記線状光源と走行移動
するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行
い、光源からの距離の遠近による差を無くすようにし、
あるいはまた、前記線状光源を昇降自在とし、検査中の
み透明板状体の端面に近接させ、非検査時は搬送コンベ
アの頂部よりやや下方に待避させ、透明板状体の搬出時
に通過自在とした透明板状体の欠陥検出方法と、透明板
状体を浮上させるエアテーブルと、浮上した透明板状体
を搬送手段により搬送させ、所定位置で位置決め停止さ
せる位置決め手段と、透明板状体の一端面と近接し端面
より光を照射する線状光源と、透明板状体面の斜め上部
に設け透明板状体面を幅方向に走査するラインカメラ
と、ラインカメラを透明板状体を搬送する方向に一定速
度で走行させる走行手段と、撮像した画像信号を処理し
所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手
段とからなり、あるいは、前記線状光源を複数本の光フ
ァイバーからなる帯状光源とし、該帯状光源を位置決め
された透明板状体の一端面に近接離反させ、検査時のみ
透明板状体の端面に近接させて端面より光を入射させる
昇降手段を設け、あるいはまた、エアテーブルで浮上し
た透明板状体の片端面に当接、かつフリー回転する円筒
状の押圧ローラーと、対向する端面に当接する円筒状の
駆動ローラーとで、透明板状体の対向する二辺を押圧挟
持し、前記駆動ローラーの回転で透明板状体を搬送する
ようにした搬送手段を設けた透明板状体の欠陥検出装置
を提供する。
に鑑みてなされたものであり、従来困難であった非常に
微細なミクロン単位の泡、異物等の内部欠陥、およびキ
ズ等の表面欠陥を塵埃や汚れの影響も受けず、安価にし
かも確実、かつ速いタクトで自動的に全数検査できるこ
とを目的として、エアテーブル上に搬入し位置決めした
透明板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方
に設けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、
得られた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方
法において、透明板状体の端面のみから線状光源を照射
して透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明
板状体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査
方向と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透
明板状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透
明板状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レ
ベルを境界として良否を判定するようにし、あるいは、
透明板状体の端面より照射する前記線状光源と走行移動
するカメラの走査位置との距離に応じて感度補正を行
い、光源からの距離の遠近による差を無くすようにし、
あるいはまた、前記線状光源を昇降自在とし、検査中の
み透明板状体の端面に近接させ、非検査時は搬送コンベ
アの頂部よりやや下方に待避させ、透明板状体の搬出時
に通過自在とした透明板状体の欠陥検出方法と、透明板
状体を浮上させるエアテーブルと、浮上した透明板状体
を搬送手段により搬送させ、所定位置で位置決め停止さ
せる位置決め手段と、透明板状体の一端面と近接し端面
より光を照射する線状光源と、透明板状体面の斜め上部
に設け透明板状体面を幅方向に走査するラインカメラ
と、ラインカメラを透明板状体を搬送する方向に一定速
度で走行させる走行手段と、撮像した画像信号を処理し
所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手
段とからなり、あるいは、前記線状光源を複数本の光フ
ァイバーからなる帯状光源とし、該帯状光源を位置決め
された透明板状体の一端面に近接離反させ、検査時のみ
透明板状体の端面に近接させて端面より光を入射させる
昇降手段を設け、あるいはまた、エアテーブルで浮上し
た透明板状体の片端面に当接、かつフリー回転する円筒
状の押圧ローラーと、対向する端面に当接する円筒状の
駆動ローラーとで、透明板状体の対向する二辺を押圧挟
持し、前記駆動ローラーの回転で透明板状体を搬送する
ようにした搬送手段を設けた透明板状体の欠陥検出装置
を提供する。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明は、ガラス板やアクリル等
の樹脂板等の透明板状体中の微細な泡、異物等の内部欠
陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する方法、および装置
であって、前記課題を解決するための手段に記載した通
りの構成からなる。
の樹脂板等の透明板状体中の微細な泡、異物等の内部欠
陥、及びキズ等の表面欠陥を検出する方法、および装置
であって、前記課題を解決するための手段に記載した通
りの構成からなる。
【００１６】すなわち、本装置１は、透明板状体Ｇを浮
上させるエアテーブル１２と、浮上した透明板状体Ｇを
搬送する搬送手段１０と、所定位置で位置決め停止させ
る位置決め手段２０と、透明板状体Ｇの一端面と近接し
端面より光を照射する線状光源３と、透明板状体Ｇの面
の斜め上部に設け、透明板状体Ｇ面の法線に対して角度
θの傾斜角度をもって、該面を幅方向に走査する複数の
ラインカメラ５、５、・・と、該ラインカメラ５、５、
・・を透明板状体Ｇを搬送する方向に一定速度で走行さ
せる走行手段３０と、撮像した明暗の輝度信号を処理し
所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手
段としてのパソコン５２とからなり、好ましくは線状光
源３を昇降自在とする昇降手段４０を設けた。
上させるエアテーブル１２と、浮上した透明板状体Ｇを
搬送する搬送手段１０と、所定位置で位置決め停止させ
る位置決め手段２０と、透明板状体Ｇの一端面と近接し
端面より光を照射する線状光源３と、透明板状体Ｇの面
の斜め上部に設け、透明板状体Ｇ面の法線に対して角度
θの傾斜角度をもって、該面を幅方向に走査する複数の
ラインカメラ５、５、・・と、該ラインカメラ５、５、
・・を透明板状体Ｇを搬送する方向に一定速度で走行さ
せる走行手段３０と、撮像した明暗の輝度信号を処理し
所定レベルを境界として良否を判定処理する判定処理手
段としてのパソコン５２とからなり、好ましくは線状光
源３を昇降自在とする昇降手段４０を設けた。
【００１７】前記ラインカメラの走査線と透明板状体Ｇ
面の法線との傾斜角度θは０〜６０度程度であるが、検
出感度的には３０〜４５度の範囲とする方が好ましい。
エアテーブル１２は、架台７上に設け、上部面をフラッ
トとしたテーブル板に複数の細孔を等間隔に設け、該細
孔から高圧エアを噴出させるようにし、搬入したガラス
板や樹脂板等の透明板状体Ｇを浮上させることができ
る。
面の法線との傾斜角度θは０〜６０度程度であるが、検
出感度的には３０〜４５度の範囲とする方が好ましい。
エアテーブル１２は、架台７上に設け、上部面をフラッ
トとしたテーブル板に複数の細孔を等間隔に設け、該細
孔から高圧エアを噴出させるようにし、搬入したガラス
板や樹脂板等の透明板状体Ｇを浮上させることができ
る。
【００１８】該エアテーブル１１の上部には、エアテー
ブル１１上に搬入され浮上する透明板状体Ｇの端面に当
接する押圧ロール２１、２１、・・と駆動ロール１４、
１４、・・とで挟持押圧して搬送する搬送手段１０を設
けた。
ブル１１上に搬入され浮上する透明板状体Ｇの端面に当
接する押圧ロール２１、２１、・・と駆動ロール１４、
１４、・・とで挟持押圧して搬送する搬送手段１０を設
けた。
【００１９】該搬送手段１０は透明板状体Ｇの搬送方向
と平行に設けた押圧フレーム２３上に複数の押圧レバー
２２、２２、・・の片端を軸着し、該押圧レバー２２、
２２、・・の他端側先端部のそれぞれに透明板状体Ｇの
端面に当接し自由回転する円筒形状の押圧ロール２１、
２１、・・を設けた。
と平行に設けた押圧フレーム２３上に複数の押圧レバー
２２、２２、・・の片端を軸着し、該押圧レバー２２、
２２、・・の他端側先端部のそれぞれに透明板状体Ｇの
端面に当接し自由回転する円筒形状の押圧ロール２１、
２１、・・を設けた。
【００２０】前記押圧レバー２２、２２、・・と押圧フ
レーム２３間にはそれぞれスプリング２４、２４、・・
を設け、該スプリング２４、２４、・・の弾性力によっ
て透明板状体Ｇの端面を適度な押圧力で常時押圧できる
ように押圧位置調整手段２５によって調整する。
レーム２３間にはそれぞれスプリング２４、２４、・・
を設け、該スプリング２４、２４、・・の弾性力によっ
て透明板状体Ｇの端面を適度な押圧力で常時押圧できる
ように押圧位置調整手段２５によって調整する。
【００２１】また、透明板状体Ｇの押圧ロール２１、２
１、・・と当接する辺と対向する辺の端面には、円筒形
状の駆動ロール１４、１４、・・を当接させ、該駆動ロ
ール１４、１４、・・は駆動モーター１５により駆動ベ
ルト１６を介して回転駆動される。
１、・・と当接する辺と対向する辺の端面には、円筒形
状の駆動ロール１４、１４、・・を当接させ、該駆動ロ
ール１４、１４、・・は駆動モーター１５により駆動ベ
ルト１６を介して回転駆動される。
【００２２】また、エアテーブル１２の先端の所定位置
には昇降自在なストッパーからなる位置決め手段を設
け、透明板状体Ｇがエアテーブル１２上の所定位置にき
た時に下降し、透明板状体Ｇの先端端面とストッパーを
当接させて位置決めさせ、該位置で停止させるようにし
た。
には昇降自在なストッパーからなる位置決め手段を設
け、透明板状体Ｇがエアテーブル１２上の所定位置にき
た時に下降し、透明板状体Ｇの先端端面とストッパーを
当接させて位置決めさせ、該位置で停止させるようにし
た。
【００２３】線状光源３は、透明板状体Ｇの先端部端面
より光を入射させるものであり、複数本の細長い光ファ
イバーを帯状に束ね、各ファイバーの先端の光の照射す
る部分の断面形状を線状とした帯状光源であり、光ファ
イバーの他端付近に設けたハロゲン光や水銀光等の光源
からの光を光ファイバーを経由して透明板状体の先端部
の端面へ導くようにしたもので、図６、図７に示すよう
に搬出コンベア１３とエアテーブル１２間に設けた浮揚
コンベア１７の下方位置に線状光源３を光源支持部材８
を介して取り付け、昇降手段４０によって浮揚コンベア
１７と共に昇降自在となるように設けた。
より光を入射させるものであり、複数本の細長い光ファ
イバーを帯状に束ね、各ファイバーの先端の光の照射す
る部分の断面形状を線状とした帯状光源であり、光ファ
イバーの他端付近に設けたハロゲン光や水銀光等の光源
からの光を光ファイバーを経由して透明板状体の先端部
の端面へ導くようにしたもので、図６、図７に示すよう
に搬出コンベア１３とエアテーブル１２間に設けた浮揚
コンベア１７の下方位置に線状光源３を光源支持部材８
を介して取り付け、昇降手段４０によって浮揚コンベア
１７と共に昇降自在となるように設けた。
【００２４】前記線状光源３としては前記光ファイバー
を束ねたものに限らず、細長い１本のスリットを通して
光源からの光を透明板状体Ｇの端面に照射するようにさ
せても良い。
を束ねたものに限らず、細長い１本のスリットを通して
光源からの光を透明板状体Ｇの端面に照射するようにさ
せても良い。
【００２５】また、前記線状光源３の光源の照射方向角
度は図１に示すように、水平面より斜め下方の角度φ
（１０度程度）から透明板状体Ｇの端面を照射するよう
に配置させ、さらに、線状光源３の上部で線状光源３と
ラインカメラ５、５、・・間には、線状光源３からの直
接光がラインカメラ５、５、・・に入射しないような位
置に遮蔽カバー９を設けるようにした。
度は図１に示すように、水平面より斜め下方の角度φ
（１０度程度）から透明板状体Ｇの端面を照射するよう
に配置させ、さらに、線状光源３の上部で線状光源３と
ラインカメラ５、５、・・間には、線状光源３からの直
接光がラインカメラ５、５、・・に入射しないような位
置に遮蔽カバー９を設けるようにした。
【００２６】該昇降手段４０は、昇降シリンダ４１のシ
リンダロッドの先端に取付部材４２を介して昇降部材４
４と遮蔽板４３を設けた。該昇降部材４４の上部には浮
揚コンベア１７の下端部と当接する回動自在な押上ロー
ル４５を設け、昇降シリンダ４１の作動により浮揚コン
ベア１７を昇降させる。
リンダロッドの先端に取付部材４２を介して昇降部材４
４と遮蔽板４３を設けた。該昇降部材４４の上部には浮
揚コンベア１７の下端部と当接する回動自在な押上ロー
ル４５を設け、昇降シリンダ４１の作動により浮揚コン
ベア１７を昇降させる。
【００２７】また、同時に昇降シリンダ４１の作動と共
に遮蔽板４３が上昇し、透明板状体Ｇの先端の下端辺に
当接させ、線状光源３からの光を透明板状体Ｇの端面以
外の下面から入射しないようにさせるものである。
に遮蔽板４３が上昇し、透明板状体Ｇの先端の下端辺に
当接させ、線状光源３からの光を透明板状体Ｇの端面以
外の下面から入射しないようにさせるものである。
【００２８】浮揚コンベア１７の浮揚側の下方には線状
光源３の先端を光源支持部材８を介して取り付け固定
し、浮揚コンベア１７の上昇と共に透明板状体Ｇの先端
側端面に近接させるものである。
光源３の先端を光源支持部材８を介して取り付け固定
し、浮揚コンベア１７の上昇と共に透明板状体Ｇの先端
側端面に近接させるものである。
【００２９】また、走行手段３０は、図１に示すよう
に、透明板状体Ｇの斜め上方にはθの角度をもって、複
数台のラインカメラ５、５、・・を設け、透明板状体Ｇ
の面の幅方向を各ラインカメラ５、５、・・で分担して
走査させる。
に、透明板状体Ｇの斜め上方にはθの角度をもって、複
数台のラインカメラ５、５、・・を設け、透明板状体Ｇ
の面の幅方向を各ラインカメラ５、５、・・で分担して
走査させる。
【００３０】当該ラインカメラ５、５、・・は、図５に
示すように、架台７より支柱を設け、該支柱の上端側で
透明板状体Ｇの搬送方向と平行な方向に走行レール３２
を設け、該レール３２と嵌合し、レール３２に沿って走
行するガイドに走行フレーム３３を搬送コンベアを横切
る幅方向に水平に設けた。該走行フレーム３３には取付
部材３４、３４、・・を介してラインカメラ５、５、・
・を同一角度で同一方向に一列に取付け固定した。
示すように、架台７より支柱を設け、該支柱の上端側で
透明板状体Ｇの搬送方向と平行な方向に走行レール３２
を設け、該レール３２と嵌合し、レール３２に沿って走
行するガイドに走行フレーム３３を搬送コンベアを横切
る幅方向に水平に設けた。該走行フレーム３３には取付
部材３４、３４、・・を介してラインカメラ５、５、・
・を同一角度で同一方向に一列に取付け固定した。
【００３１】さらに、前記押圧位置調整手段２５は、図
４に示すように、検査する透明板状体Ｇの大きさによっ
て調整する。前記押圧レバー２２、２２、・・の先端に
回動自在に設けた押圧ロール２１、２１、・・がスプリ
ング２４、２４、・・の弾性力によって透明板状体Ｇの
端面を適度な押圧力で常時押圧できるように、ハンドル
操作により、押圧フレーム２３の位置を自由に調整でき
る。
４に示すように、検査する透明板状体Ｇの大きさによっ
て調整する。前記押圧レバー２２、２２、・・の先端に
回動自在に設けた押圧ロール２１、２１、・・がスプリ
ング２４、２４、・・の弾性力によって透明板状体Ｇの
端面を適度な押圧力で常時押圧できるように、ハンドル
操作により、押圧フレーム２３の位置を自由に調整でき
る。
【００３２】また、前記判定処理手段としてのパソコン
５２は、複数台のラインカメラ５、５、・・によって撮
像した明暗の輝度信号を画像処理装置５１によって、所
定の輝度レベルを境界として二値化し、不合格となる画
素の大きさが所定の画素数を超えた時に、符号良否を判
定処理するものである。
５２は、複数台のラインカメラ５、５、・・によって撮
像した明暗の輝度信号を画像処理装置５１によって、所
定の輝度レベルを境界として二値化し、不合格となる画
素の大きさが所定の画素数を超えた時に、符号良否を判
定処理するものである。
【００３３】さらに、感度補正手段６０は、透明板状体
Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定し、
ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走行移
動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位置が
線状光源３から離れるため、照度低下となるため、走査
位置と線状光源３との距離に応じて感度補正、すなわち
二値化のためのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度
信号を上げる等のいずれかを行い、線状光源３からの距
離の遠近による差を無くすようにした。
Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定し、
ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走行移
動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位置が
線状光源３から離れるため、照度低下となるため、走査
位置と線状光源３との距離に応じて感度補正、すなわち
二値化のためのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度
信号を上げる等のいずれかを行い、線状光源３からの距
離の遠近による差を無くすようにした。
【００３４】本発明の欠陥検査装置１は前記構成からな
るものであり、つぎに本装置を用いて欠陥を検査する方
法について述べる。まず、搬入コンベア１１により透明
板状体Ｇを搬送させ、上面に複数の細孔を設け、該細孔
より高圧エアを噴出するエアテーブル１２上にガラス板
や樹脂板等の透明板状体Ｇを搬入して浮上させる。
るものであり、つぎに本装置を用いて欠陥を検査する方
法について述べる。まず、搬入コンベア１１により透明
板状体Ｇを搬送させ、上面に複数の細孔を設け、該細孔
より高圧エアを噴出するエアテーブル１２上にガラス板
や樹脂板等の透明板状体Ｇを搬入して浮上させる。
【００３５】続いて、浮上させた状態の透明板状体Ｇを
搬送する方向と平行な辺の一端面に自由回転する円筒形
状の押圧ロール２１、２１、・・を当接させ、対向する
一辺の端面に円筒形状の駆動ロール１４、１４、・・を
押圧させて挟持し、エアテーブル１２の先端の所定位置
まで搬送移動させる。
搬送する方向と平行な辺の一端面に自由回転する円筒形
状の押圧ロール２１、２１、・・を当接させ、対向する
一辺の端面に円筒形状の駆動ロール１４、１４、・・を
押圧させて挟持し、エアテーブル１２の先端の所定位置
まで搬送移動させる。
【００３６】透明板状体Ｇが前記搬送手段１０によって
エアテーブル１２の先端の所定位置に移動接近すると、
エアテーブル１２内に設けた図示しないセンサーによっ
て駆動モーター１５を減速させ、エアテーブル１２の先
端付近に設けたストッパを透明板状体Ｇの先端辺に当接
する高さまで下降させ、透明板状体Ｇを浮上状態のまま
停止させる。
エアテーブル１２の先端の所定位置に移動接近すると、
エアテーブル１２内に設けた図示しないセンサーによっ
て駆動モーター１５を減速させ、エアテーブル１２の先
端付近に設けたストッパを透明板状体Ｇの先端辺に当接
する高さまで下降させ、透明板状体Ｇを浮上状態のまま
停止させる。
【００３７】続いて、エアテーブル１２と搬出コンベア
１３間の浮揚コンベア１７を昇降シリンダ４１の作動に
よって上昇浮揚させ、浮揚コンベア１７の下部に設けた
線状光源３を透明板状体Ｇの先端側端面の斜め下方に近
接させる。また、同時に昇降手段によって上昇した遮蔽
板４３を透明板状体Ｇの先端辺より僅かに突き出すよう
に当接させ、斜め下方からの線状光源３の光が透明板状
体Ｇの下面から入射しないようにした。
１３間の浮揚コンベア１７を昇降シリンダ４１の作動に
よって上昇浮揚させ、浮揚コンベア１７の下部に設けた
線状光源３を透明板状体Ｇの先端側端面の斜め下方に近
接させる。また、同時に昇降手段によって上昇した遮蔽
板４３を透明板状体Ｇの先端辺より僅かに突き出すよう
に当接させ、斜め下方からの線状光源３の光が透明板状
体Ｇの下面から入射しないようにした。
【００３８】また、線状光源３の先端部の上部で線状光
源３とラインカメラ５、５、・・を結ぶ中心線上には遮
蔽カバー９を設け、線状光源３からの光が直接ラインカ
メラ５、５、・・に入射しないようにした。
源３とラインカメラ５、５、・・を結ぶ中心線上には遮
蔽カバー９を設け、線状光源３からの光が直接ラインカ
メラ５、５、・・に入射しないようにした。
【００３９】前記線状光源３は、光源からの光が帯状に
束ねたファイバーを経由して透明板状体Ｇの端面より斜
めに入射し、透明板状体Ｇの表裏両面間を繰り返し全反
射し、透明板状体Ｇ中の泡や異物等の内部欠陥に光が照
射したり、キズ等の表面欠陥に光が照射したりすると該
欠陥部分の光が散乱し、散乱光がラインセンサー５、
５、・・で撮像される。
束ねたファイバーを経由して透明板状体Ｇの端面より斜
めに入射し、透明板状体Ｇの表裏両面間を繰り返し全反
射し、透明板状体Ｇ中の泡や異物等の内部欠陥に光が照
射したり、キズ等の表面欠陥に光が照射したりすると該
欠陥部分の光が散乱し、散乱光がラインセンサー５、
５、・・で撮像される。
【００４０】図１、図５に示すように、エアテーブル１
２の上方に一列に設けた複数台のラインカメラ５、５、
・・により、透明板状体Ｇの全幅を分割して走査する
が、各ラインセンサー５、５、・・によって撮像された
画像データはカメラのコントローラーによって輝度レベ
ルを表す電気信号に変換後、画像処理装置５１に取り込
まれ、透明板状体Ｇの検査幅に組み立て合成される。
２の上方に一列に設けた複数台のラインカメラ５、５、
・・により、透明板状体Ｇの全幅を分割して走査する
が、各ラインセンサー５、５、・・によって撮像された
画像データはカメラのコントローラーによって輝度レベ
ルを表す電気信号に変換後、画像処理装置５１に取り込
まれ、透明板状体Ｇの検査幅に組み立て合成される。
【００４１】得られた輝度波形について設定したスライ
スレベルで二値化し、低輝度信号「０」と高輝度信号
「１」に分け、高輝度信号の画素数が規定数より大の場
合、欠陥とみなし、パソコン等にそのＸ座標、Ｙ座標等
を記憶させる。
スレベルで二値化し、低輝度信号「０」と高輝度信号
「１」に分け、高輝度信号の画素数が規定数より大の場
合、欠陥とみなし、パソコン等にそのＸ座標、Ｙ座標等
を記憶させる。
【００４２】また、図３、図５に示すような走行手段３
０により各ラインカメラ５、５、・・が透明板状体Ｇの
先端側から後端側に走行しながら透明板状体Ｇの全面を
走査し、走査線毎にそれぞれの輝度信号波形を前記と同
様にスライスレベルで二値化し、良否の判定を行う。
０により各ラインカメラ５、５、・・が透明板状体Ｇの
先端側から後端側に走行しながら透明板状体Ｇの全面を
走査し、走査線毎にそれぞれの輝度信号波形を前記と同
様にスライスレベルで二値化し、良否の判定を行う。
【００４３】このようにして透明板状体Ｇを複数台のラ
インカメラ５、５、・・で走査しながら、走行手段３０
を走行移動させて透明板状体Ｇの全面について欠陥を検
出するものである。
インカメラ５、５、・・で走査しながら、走行手段３０
を走行移動させて透明板状体Ｇの全面について欠陥を検
出するものである。
【００４４】また、透明板状体Ｇの端面より照射する前
記線状光源３と走行移動するカメラの走査位置との距離
に応じて感度補正を行うようにした。さらに、透明板状
体Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定
し、ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走
行移動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位
置が線状光源３から徐々に遠く離れて僅かづつ照度低下
となるため、感度補正手段６０により、走査位置と線状
光源３との距離に応じて感度補正、すなわち二値化のた
めのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度信号レベル
を上げる等のいずれかの補正を行い、線状光源３からの
距離の遠近による輝度差を無くし一定となるようにし
た。
記線状光源３と走行移動するカメラの走査位置との距離
に応じて感度補正を行うようにした。さらに、透明板状
体Ｇの端面より照射する前記線状光源３の位置を固定
し、ラインカメラ５、５、・・を走行手段３０により走
行移動させた時に、ラインカメラ５、５、・・の走査位
置が線状光源３から徐々に遠く離れて僅かづつ照度低下
となるため、感度補正手段６０により、走査位置と線状
光源３との距離に応じて感度補正、すなわち二値化のた
めのスライスレベルを下げるか、明暗の輝度信号レベル
を上げる等のいずれかの補正を行い、線状光源３からの
距離の遠近による輝度差を無くし一定となるようにし
た。
【００４５】さらに、透明板状体Ｇの端縁より数ミリ部
分については、シーミング部分の散乱光がラインカメラ
５、５、・・に入射しても、欠陥とみなさないように、
ソフト的にマスキング処理等を行うようにした。
分については、シーミング部分の散乱光がラインカメラ
５、５、・・に入射しても、欠陥とみなさないように、
ソフト的にマスキング処理等を行うようにした。
【００４６】透明板状体Ｇの全面について検査が完了す
ると、前記線状光源３は昇降手段４０の昇降シリンダ４
１の復動により遮蔽板４３と昇降部材４４が下降する。
昇降部材４４の下降により浮揚コンベア１７が下降し、
浮揚コンベア１７の下部に固定された線状光源３も下降
し、透明板状体Ｇを搬出可能とし、搬送手段１０と搬出
コンベア１３の作動により透明板状体を搬出させた。
ると、前記線状光源３は昇降手段４０の昇降シリンダ４
１の復動により遮蔽板４３と昇降部材４４が下降する。
昇降部材４４の下降により浮揚コンベア１７が下降し、
浮揚コンベア１７の下部に固定された線状光源３も下降
し、透明板状体Ｇを搬出可能とし、搬送手段１０と搬出
コンベア１３の作動により透明板状体を搬出させた。
【００４７】さらに、得られた結果をパソコン等にて記
憶処理させれば、前記ラインカメラ５、５、・・の走行
手段３０による走行位置と合わせて、透明板状体ＧのＸ
軸、Ｙ軸方向の欠陥位置、大きさ等により、管理情報を
得ることが出来る。
憶処理させれば、前記ラインカメラ５、５、・・の走行
手段３０による走行位置と合わせて、透明板状体ＧのＸ
軸、Ｙ軸方向の欠陥位置、大きさ等により、管理情報を
得ることが出来る。
【００４８】本発明のように、エアテーブル１２上で透
明板状体Ｇを浮上させた状態で欠陥を検査するようにし
たので、台上に載置して検査する場合に比べて、透明板
状体Ｇが撓むことなくフラットな好条件で欠陥検査がで
きる。
明板状体Ｇを浮上させた状態で欠陥を検査するようにし
たので、台上に載置して検査する場合に比べて、透明板
状体Ｇが撓むことなくフラットな好条件で欠陥検査がで
きる。
【００４９】非常に微小な欠陥を検出しなければならな
いので、透明板状体の表面を撮像する時のピントは精度
を要し、エアテーブル１２はエアテーブル１２上で浮上
する透明板状体Ｇの大きさ、板厚が変わっても、透明板
状体Ｇの浮上高さがテーブル上端面から常に一定になる
ように風量を調節することができ、透明板状体のサイ
ズ、板厚毎の風量を予め設定登録しておけば、検査品種
の変更時にワンタッチで変更できる。
いので、透明板状体の表面を撮像する時のピントは精度
を要し、エアテーブル１２はエアテーブル１２上で浮上
する透明板状体Ｇの大きさ、板厚が変わっても、透明板
状体Ｇの浮上高さがテーブル上端面から常に一定になる
ように風量を調節することができ、透明板状体のサイ
ズ、板厚毎の風量を予め設定登録しておけば、検査品種
の変更時にワンタッチで変更できる。
【００５０】また、ファイバーによる帯状の線状光源３
を透明板状体Ｇの端面に近接させて斜め下方より照射す
るようにし、透明板状体Ｇの下方より遮蔽板４３を透明
板状体Ｇのエッジより僅かにはみ出すような位置に当接
させるようにしたので、線状光源３による光が透明板状
体Ｇの端面以外から入射することがなく、精度よく安定
して欠陥の検出が可能である。
を透明板状体Ｇの端面に近接させて斜め下方より照射す
るようにし、透明板状体Ｇの下方より遮蔽板４３を透明
板状体Ｇのエッジより僅かにはみ出すような位置に当接
させるようにしたので、線状光源３による光が透明板状
体Ｇの端面以外から入射することがなく、精度よく安定
して欠陥の検出が可能である。
【００５１】さらに、欠陥検出装置１を透明板状体Ｇを
搬送するラインの途中に設け、照明である線状光源３を
昇降自在とし、検査開始時、終了時に瞬時に昇降し透明
板状体Ｇの端面に近接、あるい離反させるようにしたの
で、処理タクトの高速化を図ることができる。
搬送するラインの途中に設け、照明である線状光源３を
昇降自在とし、検査開始時、終了時に瞬時に昇降し透明
板状体Ｇの端面に近接、あるい離反させるようにしたの
で、処理タクトの高速化を図ることができる。
【００５２】以上のようにして、ガラス板やアクリル樹
脂板、ポリカーボネート樹脂板のような透明板状体Ｇの
表面欠陥、および内部欠陥を検出したがこれに限るもの
ではなく種々の透明板状体に応用ができる。
脂板、ポリカーボネート樹脂板のような透明板状体Ｇの
表面欠陥、および内部欠陥を検出したがこれに限るもの
ではなく種々の透明板状体に応用ができる。
【００５３】また、透明板状体Ｇの板厚も０．５５ｍｍ
や０．７ｍｍといった１ｍｍ以下の薄板から数ｍｍの板
厚のものまで対応できる。以上のようにして検出された
欠陥は更に演算処理を行い、求められた欠陥のＸ軸、Ｙ
軸座標位置等の情報をパソコン等に出力記憶させ、後工
程においてパソコン等の指示制御に基づいて欠陥と判定
された部分を含むガラスを除去し、あるいは各種管理情
報に加工することもできる。
や０．７ｍｍといった１ｍｍ以下の薄板から数ｍｍの板
厚のものまで対応できる。以上のようにして検出された
欠陥は更に演算処理を行い、求められた欠陥のＸ軸、Ｙ
軸座標位置等の情報をパソコン等に出力記憶させ、後工
程においてパソコン等の指示制御に基づいて欠陥と判定
された部分を含むガラスを除去し、あるいは各種管理情
報に加工することもできる。
【００５４】
【発明の効果】本発明は、線状光源をファイバー光源と
したので、非常に板厚の薄い透明板状体であっても、確
実にその端面に近接させ、端面より照射することができ
る。
したので、非常に板厚の薄い透明板状体であっても、確
実にその端面に近接させ、端面より照射することができ
る。
【００５５】また、線状光源を昇降手段により昇降自在
としたので、検査中のみ透明板状体の端面に近接するよ
うにし、検査完了後は瞬時に搬送コンベアの下方に待避
するので、透明板状体の入れ替えが高速となり、速いタ
クトで全数全面検査が実現できる。
としたので、検査中のみ透明板状体の端面に近接するよ
うにし、検査完了後は瞬時に搬送コンベアの下方に待避
するので、透明板状体の入れ替えが高速となり、速いタ
クトで全数全面検査が実現できる。
【００５６】さらに、１０ミクロン程度の微細な内部欠
陥と表面欠陥であっても自動的に安価に確実に検出で
き、透明板状体に付着した汚れや埃、ゴミ等の影響も受
けることがない。
陥と表面欠陥であっても自動的に安価に確実に検出で
き、透明板状体に付着した汚れや埃、ゴミ等の影響も受
けることがない。
【００５７】さらにまた、エアテーブル上で透明板状体
を浮上させた状態で検査し、その搬送も透明板状体の端
面エッジを挟持押圧して行うので、透明板状体の自重に
よる撓みもないフラットな状態で検査でき、誤検出もな
く、検査により透明板状体にキズをつけたり汚したりす
る恐れもない。
を浮上させた状態で検査し、その搬送も透明板状体の端
面エッジを挟持押圧して行うので、透明板状体の自重に
よる撓みもないフラットな状態で検査でき、誤検出もな
く、検査により透明板状体にキズをつけたり汚したりす
る恐れもない。
【図１】本発明の欠陥検出装置の要部概略斜視図。
【図２】ラインカメラが撮像した輝度信号波形。
【図３】本発明の欠陥検出装置の側面図。
【図４】本発明の欠陥検出装置の平面図。
【図５】本発明の欠陥検出装置の正面図。
【図６】線状光源を上昇させて、透明板状体の検査状態
を示す欠陥検出装置の側面図。
を示す欠陥検出装置の側面図。
【図７】線状光源を下降させて、透明板状体の搬送状態
を示す欠陥検出装置の側面図。
を示す欠陥検出装置の側面図。
Ｇ 透明板状体 １ 欠陥検出装置 ２ 欠陥 ３ 線状光源 ５ ラインカメラ ６ コントローラー ７ 架台 ９ 遮蔽カバー １０ 搬送手段 １１ 搬入コンベア １２ エアテーブル １３ 搬出コンベア １４ 駆動ロール １５ 駆動モーター １６ 駆動ベルト １７ 浮揚コンベア ２０ 位置決め手段 ２１ 押圧ロール ２２ 押圧レバー ２３ 押圧フレーム ２４ スプリング ２５ 押圧位置調整手段 ２６ 調整手段走行レール ３０ 走行手段 ３２ 走行レール ３３ 走行フレーム ４０ 昇降手段 ４１ 昇降シリンダ ４３ 遮蔽板 ４４ 昇降部材 ４５ 押上ロール ５１ 画像処理装置 ５２ パソコン
Claims (6)
- 【請求項１】エアテーブル上に搬入し位置決めした透明
板状体の一端面から光を照射し、透明板状体の上方に設
けたラインカメラにて透明板状体の表面を走査し、得ら
れた画像信号により透明板状体の欠陥を検出する方法に
おいて、透明板状体の端面のみから線状光源を照射して
透明板状体の表裏面間を繰り返し全反射させ、透明板状
体の斜め上方に設けたラインカメラをカメラの走査方向
と直交する水平方向に一定速度で移動させながら透明板
状体面の法線に対して角度θの傾斜角度をもって透明板
状体全面を撮像走査し、得られた輝度信号の所定レベル
を境界として良否を判定することを特徴とする透明板状
体の欠陥検出方法。 - 【請求項２】透明板状体の端面より照射する前記線状光
源と走行移動するカメラの走査位置との距離に応じて感
度補正を行い、光源からの距離の遠近による差を無くす
ようにしたことを特徴とする請求項１記載の透明板状体
の欠陥検出方法。 - 【請求項３】前記線状光源を昇降自在とし、検査中のみ
透明板状体の端面に近接させ、非検査時は搬送コンベア
の頂部よりやや下方に待避させ、透明板状体の搬出時に
通過自在としたことを特徴とする請求項１乃至２記載の
透明板状体の欠陥検出方法。 - 【請求項４】透明板状体を浮上させるエアテーブルと、
浮上した透明板状体を搬送手段により搬送させ、所定位
置で位置決め停止させる位置決め手段と、透明板状体の
一端面と近接し端面より光を照射する線状光源と、透明
板状体面の斜め上部に設け透明板状体面を幅方向に走査
するラインカメラと、ラインカメラを透明板状体を搬送
する方向に一定速度で走行させる走行手段と、撮像した
輝度信号を処理し所定レベルを境界として良否を判定処
理する判定処理手段とからなることを特徴とする透明板
状体の欠陥検出装置。 - 【請求項５】前記線状光源を複数本の光ファイバーから
なる帯状光源とし、該帯状光源を位置決めされた透明板
状体の一端面に近接離反させ、検査時のみ透明板状体の
端面に近接させて端面より光を入射させる昇降手段を設
けたことを特徴とする請求項４記載の透明板状体の欠陥
検出装置。 - 【請求項６】エアテーブルで浮上した透明板状体の片端
面に当接、かつフリー回転する円筒状の押圧ローラー
と、対向する端面に当接する円筒状の駆動ローラーと
で、透明板状体の対向する二辺を押圧挟持し、前記駆動
ローラーの回転で透明板状体を搬送するようにした搬送
手段を設けたことを特徴とする請求項４乃至５記載の透
明板状体の欠陥検出装置。
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001041905A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-02-16 | Corning Inc | シート材料の検査装置 |
| WO2006057125A1 (ja) | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Asahi Glass Company, Limited | 透明板状体の欠陥検査方法および装置 |
| JP2006258727A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2008076097A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2009531718A (ja) * | 2007-03-28 | 2009-09-03 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド | ビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法 |
| JP2011137753A (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Canon Inc | 計測システム、画像補正方法、及びコンピュータプログラム |
| CN104698156A (zh) * | 2015-02-12 | 2015-06-10 | 沭阳鑫达新材料有限公司 | 平板玻璃质量检测装置及其使用方法 |
| WO2015159352A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | ウェブ検査装置、ウェブ検査方法、ウェブ検査プログラム |
| CN109765183A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-17 | 青岛海鼎通讯技术有限公司 | 一种手机屏检测装置及其使用方法 |
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| CN112763503A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-05-07 | 山西大数据产业发展有限公司 | 基于机器视觉的高牌号冷轧硅钢孔洞检测系统 |
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Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001041905A (ja) * | 1999-06-29 | 2001-02-16 | Corning Inc | シート材料の検査装置 |
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| WO2015159352A1 (ja) * | 2014-04-14 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | ウェブ検査装置、ウェブ検査方法、ウェブ検査プログラム |
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| CN112763503A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-05-07 | 山西大数据产业发展有限公司 | 基于机器视觉的高牌号冷轧硅钢孔洞检测系统 |
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