CN1537227A - 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明的脆性材料基板端面部的检查装置具有，在向预定方向移动的工作台上在水平状态下被载置的脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)上照射光的光源(16a、17a、16b、17b)，以及，接收从脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)反射的反射光的光量检测机构(14a、15a、14b、15b)，当接收的反射光的光量超过预定的上限值、或者低于预定的下限值时，判断为脆性材料基板(2)的端面部(Va、Vb)存在缺口。

Description

脆性材料基板端面部的检查方法及其装置

技术领域

本发明涉及一种检查脆性材料基板的端面部的方法及装置。

背景技术

液晶显示面板通常是在一对玻璃基板形成的液晶面板基板之间设置液晶层从而形成。在一方的液晶面板基板的表面上设置有多条布线，另外，在相邻的各侧缘部表面上分别设置各布线的电极端子。这样的液晶面板基板可以通过截断大面积的母液晶面板基板同时制造多片。

作为脆性材料基板的一种的玻璃基板，通过划线装置在玻璃表面上形成划线，接着，通过折断装置(ブレイク装置)在玻璃基板上施加弯曲力矩，由此，沿着划线被截断。液晶面板基板也可以通过截断母液晶面板基板而同时制造多片液晶面板基板。而且，母液晶面板基板可以在被截断的液晶面板基板各自的区域内预先设置布线及电极端子，另外，在被截断的液晶面板基板的端部形成布线及电极端子。

在截断这样的母液晶面板基板从而制造液晶面板基板的情况下，如果在被截断的液晶面板基板的端面上产生缺口，因为该缺口，在预先设置的电极端子或者后续工序中制造的电极端子上恐怕会有损伤。另外，该缺口如果发展成贝壳切割状(貝割れ状)缺陷(贝壳状缺口)，被设置在液晶面板基板上的电极端子恐怕会被切断。这样，如果使用端面上产生缺陷的液晶面板基板来制造液晶显示面板，被制成的液晶显示面板将成为不能正常工作的不良品，因此，产生了成品率降低、液晶显示面板的制造成本增加的问题。

为了防止这样的问题，截断母液晶面板基板从而制造液晶面板基板时，在将被制成的液晶面板基板传送到后续工序之前，发现液晶面板的端面上有无缺陷很重要。

现有技术中，截断母液晶面板基板从而制成液晶面板基板后，通过眼睛观察来检查液晶面板基板的端面上有无缺口(欠け)等，但是，这样通过眼睛观察进行检查的方法中，恐怕会忽略液晶面板基板的端面的细微缺口等。并且，因为是通过眼睛观察液晶面板基板的侧缘部，必须有检查员，因此，就成了使液晶显示面板的制造成本增加的主要原因。

相对这样的检查方法，考虑通过摄像装置对液晶面板基板的端面附近部分进行摄像，通过对被拍摄的图像数据进行图像处理，也可以检查缺口等缺陷的有无的方法。但是，为了通过这样的方法检查缺口等缺陷的有无，必须对图像数据进行三维处理，并且，因为作为缺陷的缺口等的形状不一样，不容易通过图像数据来判定优良与否，因此，产生了无法实现价格低廉的检查装置的问题。

发明内容

为解决上述问题，本发明的目的是提供一种能够自动检查脆性材料基板的端面上有无缺口等缺陷的新型的检查方法及检查装置。

本发明的检查装置，具备：以水平状态载置脆性材料基板的工作台；使该工作台朝预定方向移动的工作台移动机构；使该工作台沿着水平方向旋转的工作台水平旋转机构；在该脆性材料基板的端面部上照射光的光源；接收被该光源照射从而由该脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量检测机构；及，根据由该光量检测机构所接收的来自所述端面部的反射光的光量来判定所述端面部的品质的优劣的判定机构。由此达成所述目的。

其特征在于，所述判定机构是，预先设定所述光量检测机构接收的反射光的光量的上限值及下限值，在该光量检测机构中接收的反射光的光量超过该上限值时、或者低于该下限值时，判定为所述脆性材料基板的端面部品质不良。

其特征在于，所述判定机构对所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型进行区分。

其特征在于，所述光源具有相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1光源和从所述脆性材料基板的端面部的两侧向倾斜方向照射的第2光源，所述光量检测机构具有：在通过该第1光源向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，检测来自该脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1光量检测机构，及，在通过该第2光源向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，检测照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2光量检测机构，并使用所述第1光量检测机构和所述第2光量检测机构中的至少一个光量检测机构。

其特征在于，所述光量检测机构是CCD摄像机。

其特征在于，所述光量检测机构是受光元件。

其特征在于，具有将所述脆性材料基板的形成角的两边进行摄像从而获取该脆性材料基板的形成角的两边的图像数据的摄像机构，并基于该图像数据识别所述脆性材料基板的角的位置。

其特征在于，所述摄像机构是CCD摄像机。

本发明的检查方法，用于判定脆性材料基板的端面部的质量的优劣，其特征在于具有：沿着该端面部相对移动地在该端面部上照射光的步骤；接收来自该端面部的反射光的步骤；及，基于接收的该反射光的光量判定该端面部的质量的优劣的步骤。由此达成所述目的。

其特征在于，所述判定步骤是，预先设定接收的所述反射光的光量的上限值及下限值，在接收的该反射光的光量超过上限值时、或者低于下限值时，判定所述脆性材料基板的端面部品质不良的步骤。

其特征在于，所述判定步骤进一步具有区别所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型的步骤。

其特征在于，所述照射步骤具有相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1照射步骤和从所述脆性材料基板的端面部的两侧在倾斜方向上照射光的第2照射步骤，所述接收光的步骤具有，在通过该第1照射步骤在所述脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收来自该脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1接收光步骤，及，在由该第2照射步骤向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2接收光步骤，并进行所述第1接收光步骤和所述第2接收光步骤中的至少任意一个。

其特征在于，所述接收光步骤是通过CCD摄像机来进行的。

其特征在于，所述接收光步骤是通过受光元件来进行的。

其特征在于，具有对所述脆性材料基板的形成角的两边进行摄像，并获取该脆性材料基板的形成角的两边的图像数据的步骤，及，基于该图像数据识别所述脆性材料基板的角的位置的步骤。

其特征在于，获取所述两边的图像数据的步骤是通过CCD摄像机来进行的。

附图的简单说明

图1是用于说明本发明的检查原理的立体图；

图2是表示本发明的1个实施例的检查脆性材料基板的端面的检查装置的立体图；

图3是表示图2的检查装置的控制动作的流程图；

图4是详细表示图3的流程图中的步骤S14的流程图；

图5是表示检查脆性材料基板的角的方法的示意图；

图6是表示将来自脆性材料基板的端面的反射光的光量进行表示的直方图的图；

图7是表示用于本发明的实施例的LED光源和脆性材料基板的位置关系图；

图8a是表示用于本发明的1个实施例的透射光源和作为检查对象的透明脆性材料基板的位置关系图；

图8b是表示用于本发明的1个实施例的透射光源和作为检查对象的透明脆性材料基板的位置关系图。

发明的具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施例进行详细说明。

图1是表示检查本发明的脆性材料基板的端面的缺口的原理的立体图。本发明的检查方法中使用的是，在箭头A的方向上以一定速度移动的作为脆性材料基板的玻璃板101的端面部上照射点状光103的LED光源102，以及，接收从该LED光源照射并从玻璃板101的端面部反射的反射光的CCD摄像机104，通过CCD摄像机104检查来自玻璃板101的端面部的反射光量。玻璃板101的端面部上存在缺口的情况下，从LED光源照射的光通过该缺口被反射时，该反射光量和不存在缺口的其他位置相比，降低一定量，或者相反，增加一定量。

实际上，从LED光源102在玻璃板101的端面部上照射光并检查该反射光量时，在反射光的光量大致一定的位置上不存在缺口，而反射光的光量显著增加和显著减少的位置都是存在缺口的位置。从而，预先设置从LED光源102照射并通过玻璃板101的端面部被反射的反射光的上限值及下限值，来自该端面部的反射光超过该上限值时，及低于该下限值时，可以判定为该端面部存在缺口(端面部品质不良)。

图2是表示作为本发明的1个实施例的脆性材料基板端面部的检查装置50的立体图。工作台1通过真空吸附固定脆性材料基板2从而设置在移动基座4上，并可以通过伺服电动机3在移动基座4上沿水平方向(箭头θ所示方向)旋转。该移动基座4通过伺服电动机5及通过其进行轴旋转的滚珠螺杆6沿着两条轨道7在箭头X所示的方向上移动。

由两侧的支柱8支撑的桥板(ブリツジ板)9跨越轨道7从而延伸在箭头Y所示的方向。在该桥板9上设置有通过伺服电动机10a及通过其进行轴旋转的滚珠螺杆11a在Y方向上移动的移动基座12a。在该移动基座12a上设置有处于垂直状态并在和桥板9正交的X方向上延伸的检查设备安装板13a。另外，在与上述同样的结构中，设置有在Y方向上移动的移动基座12b，在该移动基座12b上设置有处于垂直状态并在和桥板9正交的X方向上延伸的检查设备安装板13b。

在检查设备安装板13a上，为了对脆性材料基板2的一方的端面部Va进行摄像，沿着X方向隔开适当的间隔并排安装分别朝下的一对第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a。在被设置在远离、桥板9的一侧的第1CCD摄像机14a的下端部上，为了从上方照到该摄像区域，安装有围绕第1CCD摄像机14a的下端部的周围来被设置成“口”字型的第1LED光源16a。该第1LED光源16a在和第1CCD摄像机14a的光轴同轴的状态下照射光。

被接近桥板9设置的第2CCD摄像机15a的摄像区域由从在X方向上具有预定长度的一对第2LED光源17a照射的光分别照射。各第2LED光源17a通过适当的支撑部件被安装到检查设备安装板13a上，并从两侧照射作为第2CCD摄像机15a的摄像区域的脆性材料基板2的所述前端面部Va。作为各第2LED光源17a，例如，使用白色LED，但是，只要是可以为脆性材料基板2的所述端面部Va的摄像提供必要的亮度的光源，并不仅限于此。

在另一方的检查设备安装板13b上，为了对脆性材料基板2的另一方的端面部Vb进行摄像，沿着X方向隔开适当的间隔并排安装分别朝下的一对第3CCD摄像机14b及第4CCD摄像机15b。在被设置在远离桥板9的一侧的第3CCD摄像机14b的下端部上，为了从上方照射该摄像区域，安装有围绕第3CCD摄像机14b的下端部的周围被设置成“口”字型的第3LED光源16b。该第3LED光源16b在和第3CCD摄像机14b的光轴同轴的状态下照射光。

被接近桥板9而设置的第4CCD摄像机15b的摄像区域由从在X方向上具有预定长度的一对第4LED光源17b照射的光分别照射。各第4LED光源17b通过适当的支撑部件被安装到检查设备安装板13b上，并从两侧照射作为第4CCD摄像机15b的摄像区域的脆性材料基板2的所述前端面部Vb。作为各第4LED光源17b，例如，使用白色LED，但是，只要是可以为脆性材料基板2的所述端面部Vb的摄像提供必要的亮度的光源，并不仅限于此。

图3是表示所述检查装置50的动作的流程图，下面根据该流程图对检查装置50的动作进行说明。

通过该检查装置50实施检查时，首先，进行从步骤S1到步骤S5的初期设定。

在步骤S1中，设定第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的曝光时间，在步骤S2中，设定第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的获取(反射)线数(初期值：例如480)。在步骤S3中，设定第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的视野。这里，第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的视野是在第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的本身的分辨率(例如：512×480像素)的范围内任意设定。

在步骤S4中，设定用于对第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b获取的图像数据进行图像处理的必需的各种参数。在步骤S5中，设定用于使检查装置50自动运转所必需的机械参数。

检查装置50的初期设定完成后，在步骤S6中，开始检查装置50的自动运转。点亮LED光源16a、16b、17a及17b从而照射第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的摄像区域。由这些光源产生的(亮)点大小，是可以充分覆盖第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b、第2CCD摄像机15a及第4CCD摄像机15b的摄像区域的大小。即，摄像区域通过这些光源，在CCD摄像机对摄像区域进行摄像，并以一定亮度被照射，该亮度是在检查中以所需精度获取摄像区域的图像数据的必需的亮度。接着，在步骤S7中，通过传送自动装置(robot)(未图示)，脆性材料基板2被载置到工作台1上，并被吸附固定。在步骤S8中，为了通过4个CCD摄像机14a及14b或者15a及15b对脆性材料基板2的角Ca、Cb进行摄像，驱动伺服电动机3及伺服电动机5从而将吸附固定作为检查对象的脆性材料基板2的工作台1定位。

在步骤S9中，对通过4个CCD摄像机14a及14b或者15a及15b被摄像的脆性材料基板2的端面部的图像数据进行图像处理，通过对脆性材料基板2的端面部进行图像识别，构成脆性材料基板2的2个角Ca、Cb的各自的两边被确定在矩形范围。图5表示在步骤S9中构成脆性材料基板2的2个角Ca、Cb中的任意一个角的两边在矩形范围内被图像识别的状态的示意图。而且，图像数据通过CCD摄像机，不是作为像素，而是作为像素的线(ライン)被获取。

在步骤S10中，构成角Ca的两边被确定，该两边通过运算被线性近似，并算出该两条直线的交点，一方的角Ca的位置被识别。在步骤S11中，构成角Ca的两边被指示出来，该两边通过运算而被线性近似，并算出该两条直线的交点，另一方的角Cb的位置被识别。

接着，在步骤S12中，为了使检查的脆性材料基板2的端面部和工作台1的移动方向一致，通过伺服电动机3工作台1向θ方向旋转，从而被定位。此外，在步骤S13中，工作台1通过伺服电动机5的驱动进行轴旋转的滚珠丝杠6按预定的速度沿着两条轨道7向X方向移动。工作台1向X方向按预定速度移动期间，在步骤S14中，通过两组检查装置即第1检查装置(10a～17a)及第2检查装置(10b～17b)，检查脆性材料基板2的2个端面部U(Va、Vb)。

图4是详细表示该步骤S14的检查的流程图；下面，参照图4的流程图对步骤S14的检查进行详细的说明。

在步骤S51中，相对于移动的工作台1上的脆性材料基板2，使用第1CCD摄像机14a、第2CCD摄像机15a对脆性材料基板2的端面部Va进行摄像，获取脆性材料基板2的端面部Va的图像数据，并对该图像数据进行图像处理。而且，第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a的摄像区域，例如1边是0.5mm～2mm。同样，与第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a的图像的获取同时进行，第3CCD摄像机14b及第4CCD摄像机15b也进行同样的图像的获取。

在步骤S52中，判定工作台1是否移动了预定的距离(例如，相当于摄像范围的长度40mm长)。在工作台1被判定为移动了预定距离的情况下，进入步骤S53。在工作台1被判定为没有移动预定距离的情况下，重复进行步骤S51及步骤S52直到移动预定距离(40mm)，通过第1CCD摄像机14a、第2CCD摄像机15a对脆性材料基板2的端面部Va进行摄像，获取脆性材料基板2的端面部Va的图像数据，并将该图像数据进行图像处理。另外，同时，通过第3CCD摄像机14b、第4CCD摄像机15b对脆性材料基板2的端面部Vb进行摄像，获取脆性材料基板2的端面部Vb的图像数据，并将该图像数据进行图像处理。

在步骤S53中，对应通过第1 CCD摄像机14a、第2CCD摄像机15a所获取的跨越预定距离(40mm长)的脆性材料基板2的端面部Va的图像数据，判定脆性材料基板2的端面部有无缺口(端面部的质量的优良与否)。同样，对应通过第3CCD摄像机14b、第4CCD摄像机15b获取的跨越预定距离(40mm长)的脆性材料基板2的端面部Vb的图像数据，判定脆性材料基板2的端面部有无缺口(端面部的质量的优良与否)。

图6是表示从脆性材料基板2的端面反射的反射光的光量的直方图的图。在该直方图中，从脆性材料基板2的端面部反射的反射光的光量通过由CCD摄像机获取的跨越预定距离(40mm长)的脆性材料基板2的端面部的图像数据进行的图像处理，被表示成具有0～255的阶段(等级)的浓淡度的浓度。将反射光的光量处于作为预定的上限值的判定最高浓度和作为预定的下限值的判定最低浓度之间作为端面部质量的判定标准。即，在从端面部的某处反射的反射光的光量处于判定最高浓度和判定最低浓度之间的情况下，判定为该端面部的某处没有异常，在从端面部的某处反射的反射光的光量超过该判定最高浓度的情况下或者低于判定最低浓度的情况下，判定为该端面部的某处存在异常。

判定脆性材料基板2的端面部的质量优良与否时，有通过第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a摄像的从脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的光量两者都不在判定最高浓度和判定最低浓度之间的情况，也有通过第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a摄像的从脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的光量的仅仅一方不在判定最高浓度和判定最低浓度之间的情况。考虑到这种情况，在通过第1CCD摄像机14a及第2CCD摄像机15a的至少任意一方摄像的从脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的反射光的光量不在判定最高浓度和判定最低浓度之间的情况下，判定为该端面部的该处质量不良。同样，在通过第3CCD摄像机14b及第4CCD摄像机15b的任意一方摄像的从脆性材料基板2的端面部的同一位置反射的反射光的光量不在判定最高浓度和判定最低浓度之间的情况下，判定为该端面部的该处质量不良。

在步骤S54中，判定是否已经跨越脆性材料基板2的一边的全长完成扫描。在没有经过脆性材料基板2的一边的全长完成扫描的情况下，在步骤S51中，重新执行下面的跨越预定距离(40mm长)来进行端面部的图像数据的制作。这里，脆性材料基板2的端面部的质量的优良与否的判定以每个预定距离(40mm长)进行划分是为了，使工作台1按预定的速度移动时，如果是在预定距离(40mm长)中收集到的数据，能在该预定距离(40mm长)的移动时间内进行图像判定，对应图像处理设备和定序器的处理能力，可以使工作台1的移动速度及预定距离(这里的说明中是40mm长的设定值)改变。另外，在选定图像处理装置及CCD摄像机的情况下，本发明的检查装置的检查能力和工作台1的移动速度被选定的图像处理装置的存储器和CCD摄像机的像素数所左右。

在步骤S14中，判定为脆性材料基板2的端面部的质量不良后，在步骤S15中，将工作台1旋转90°，对应工作台1的90°旋转使第1检查装置(10a～17a)及第2检查装置(10b～17b)朝预定位置移动。此外，在步骤S16中，工作台开始向预定的卸载位置(除材位置)移动，然后，在步骤S17中，对剩余两边的端面部进行和步骤S14同样的检查。

在步骤S18中，检查完成后工作台1向预定的卸载位置移动。然后，在步骤S19中，至此获取到的端面部的图像数据被复位，在步骤S20中，判断接着进行检查的脆性材料基板2是否处在预定的待机位置。在接着进行检查的脆性材料基板2处在预定的待机位置的情况下，返回步骤S7，重复进行所述的一系列的检查。接着进行检查的脆性材料基板2不在预定的待机位置上的情况下，检查完成。

如上所述，为了识别脆性材料基板的角，CCD摄像机之类的摄像机构是必需的，但是，如果仅仅检查从脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量从而仅仅检查端面部上有无缺口，也可以仅仅使用价格低廉的受光元件(受光素子)代替CCD摄像机。

本发明提供一种可以检查脆性材料基板的端面部的缺口的检查装置。为了检查这样的脆性材料基板的端面部的缺口，必须对照明的角度等进行轻微的调节。本发明中，使第1LED光源16a、第3LED光源16b的光轴和第1CCD摄像机14a、第3CCD摄像机14b的摄像中心大致一致，并且第2LED光源17a、第4LED光源17b的角度，如图7所示，相对脆性材料基板的表面以30°～60°的角度(最好是30°～45°的角度)从脆性材料基板2的端面部两侧进行照射，由此可以自动进行前述的缺口的检查。

并且，如图8a及图8b所示，通过透射照明112从下方照射透明的脆性材料基板111的下表面时，可以检查出透明脆性材料基板的端面部及端面部内部的裂缝等。图8a是表示透射照明112、透明脆性材料基板111、CCD摄像机113的位置关系图的侧视图，图8b是其正面图。在图8a及图8b的例中，CCD摄像机113是在使透射透明脆性材料基板111的光相对透明脆性材料基板111的表面在一个方向上大约倾斜60°的状态下受光的结构。

并且，本发明的检查装置，可以基于从脆性材料基板的端面部的某处反射的反射光的光量与判定最高浓度和判定最低浓度的浓度差，判定脆性材料基板的端面部的质量不良的类型。作为可以判定的脆性材料基板的端面部的质量不良的类型，在使用第1LED光源16a、第3LED光源16b作为光源的情况下，可以列举出测长(測長)、缺口、剜口(エグレ)、贝壳状缺口、(端面的)起伏、(脆性材料基板上的)贴合密封的密封切片(シ一ル切ね)、破损等，在使用第2LED光源17a、第4LED光源17b作为光源的情况下，可以列举缺口、剜口、贝壳状缺口、破碎残留(破断残り)、薄皮残留(薄皮残り)、(液晶面板基板上的)封入口干贝状缺口(封入口貝柱欠け)等。另外，作为可以判定的透明脆性材料基板的端面部的质量不良的种类，在相对作为光源的透射照明垂直地设置摄像机的情况下，可以列举缺口、贝壳状缺口、缺角(コ一ナ欠け)等，在相对作为光源的透射照明倾斜地设置摄像机的情况下，可以列举裂缝等。

工业上的可利用性

如上所述，本发明提供一种在脆性材料基板的端面部上照射光，在来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量超过预定的上限值、及低于预定的下限值时，判定为脆性材料基板的端面部上具有与缺陷相关的缺口(品质不良)，由此提供一种使用比较简单的设备构造就可以高精度地检查出脆性材料基板的端面部的缺陷的检查方法及其装置。

权利要求书

(按照条约第19条的修改)

1.(修改后)一种脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于具备：

以水平状态载置脆性材料基板的工作台；

使该工作台朝预定方向移动的工作台移动机构；

使该工作台沿着水平方向旋转的工作台水平旋转机构；

向该脆性材料基板的端面部上照射光的光源；

接收被该光源照射从而由该脆性材料基板的端面部反射的反射光的第1～第4摄像机构；

安装用于对该脆性材料基板的一个端面部进行摄像的该第1摄像机构和该第2摄像机构，并可以在和所述工作台的移动方向正交的方向上移动的第1检查设备安装板；

安装用于对该脆性材料基板的另一个端面部进行摄像的该第3摄像机构和该第4摄像机构，并可以在和所述工作台的移动方向正交的方向上移动的第2检查设备安装板；及，

基于由该第1～第4摄像机构接收的来自该端面部的反射光的光量来判定该端面部质量的优劣的判定机构，

通过该第1摄像机构或者该第2摄像机构和该第3摄像机构或者该第4摄像机构，将该脆性材料基板的形成角的两边摄像从而使该脆性材料基板的角被识别，该工作台水平旋转机构使该脆性材料基板的端面部和该工作台的移动方向相一致。

2.(修改后)根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述判定机构是，保存作为由所述摄像机构接收的反射光的光量的上限值及下限值的预先设定的值，在该摄像机构中接收的反射光的光量超过该上限值时、或者低于该下限值时，判定为所述脆性材料基板的端面部品质不良。

3.(修改后)根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述判定机构对应所述光量的大小来区别所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型。

4.(修改后)根据权利要求1或2所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述光源具有相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1光源及第3光源和从所述端面部的两侧在倾斜方向上照射的第2光源及第4光源，

所述第1摄像机构在通过该第1光源向该端面部上照射光的情况下，检测来自该端面部的反射光的光量，所述第2摄像机构在通过该第2光源向该端面部上照射光的情况下，检测照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量，并使用该第1摄像机构和该第2摄像机构中的至少一个摄像机构，

所述第3摄像机构在通过该第3光源向该端面部上照射光的情况下，检测来自该端面部的反射光的光量，所述第4摄像机构在通过该第4光源向该端面部上照射光的情况下，检测照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量，并使用该第3摄像机构和该第4摄像机构中的至少一个摄像机构。

5.(修改后)根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述摄像机构是CCD摄像机。

6.(删除)

7.(删除)

8.(删除)

9.(修改后)一种脆性材料基板端面部的检查方法，用于判定脆性材料基板的端面部的质量的优劣，其特征在于具有：

将该脆性材料基板的形成角的两边摄像从而获取该脆性材料基板的形成角的两边的图像数据的步骤；

基于该图像数据使该脆性材料基板的角的位置被识别，并使该脆性材料基板的端面部和该脆性材料基板的移动方向相一致的步骤；

沿着该端面部相对移动的同时，在该端面部上照射光的照射步骤；

接收来自该端面部的反射光的接收光步骤；及，

基于所接收的该反射光的光量判定该端面部的质量的优劣的判定步骤。

10.(修改后)根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述判定步骤是，保存作为接收的所述反射光的光量的上限值及下限值而预先设定的值后，在接收的该反射光的光量超过上限值时、或者低于下限值时，判定为所述脆性材料基板的端面部品质不良的步骤。

11.(修改后)根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述判定步骤进一步具有区别所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型的步骤。

12.(修改后)根据权利要求9或10所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述照射步骤具有：相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1照射步骤，

从所述脆性材料基板的端面部的两侧在倾斜方向上照射光的第2照射步骤，

在通过该第1照射步骤向所述脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收来自该脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1接收光步骤，及，在通过该第2照射步骤向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收来自所述端面部的反射光的光量的第2接收光步骤，并进行所述第1接收光步骤和所述第2接收光步骤中的至少任意一个。

13.(修改后)根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述接收光步骤是通过CCD摄像机来进行的。

14.(修改后)根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述接收光步骤是通过受光元件来进行的。

15.(删除)

16.(修改后)根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，获取所述两边的图像数据的步骤是通过CCD摄像机来进行的。

Claims (16)

1.一种脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于具备：

以水平状态载置脆性材料基板的工作台；

使该工作台朝预定方向移动的工作台移动机构；

使该工作台沿着水平方向旋转的工作台水平旋转机构；

在该脆性材料基板的端面部上照射光的光源；

接收被该光源照射从而由该脆性材料基板的端面部反射的反射光的光量检测机构；及，

根据由该光量检测机构所接收的来自所述端面部的反射光的光量来判定所述端面部的品质的优劣的判定机构。

2.根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述判定机构是，预先设定所述光量检测机构接收的反射光的光量的上限值及下限值，在该光量检测机构中接收的反射光的光量超过该上限值时、或者低于该下限值时，判定为所述脆性材料基板的端面部品质不良。

3.根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述判定机构对所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型进行区分。

4.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述光源具有相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1光源和从所述脆性材料基板的端面部的两侧向倾斜方向照射的第2光源，

所述光量检测机构具有：在通过该第1光源向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，检测来自该脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1光量检测机构，及，在通过该第2光源向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，检测照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2光量检测机构，并使用所述第1光量检测机构和所述第2光量检测机构中的至少一个光量检测机构。

5.根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述光量检测机构是CCD摄像机。

6.根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述光量检测机构是受光元件。

7.根据权利要求1所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，具有将所述脆性材料基板的形成角的两边进行摄像从而获取该脆性材料基板的形成角的两边的图像数据的摄像机构，并基于该图像数据识别所述脆性材料基板的角的位置。

8.根据权利要求7所述的脆性材料基板端面部的检查装置，其特征在于，所述摄像机构是CCD摄像机。

9.一种脆性材料基板端面部的检查方法，用于判定脆性材料基板的端面部的质量的优劣，其特征在于具有：

沿着该端面部相对移动地在该端面部上照射光的步骤；

接收来自该端面部的反射光的步骤；及，

基于接收的该反射光的光量判定该端面部的质量的优劣的步骤。

10.根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述判定步骤是，预先设定接收的所述反射光的光量的上限值及下限值，在接收的该反射光的光量超过上限值时、或者低于下限值时，判定所述脆性材料基板的端面部品质不良的步骤。

11.根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述判定步骤进一步具有区别所述脆性材料基板的端面部的品质不良的类型的步骤。

12.根据权利要求9或10所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述照射步骤具有相对所述脆性材料基板的端面部在垂直方向上照射光的第1照射步骤和从所述脆性材料基板的端面部的两侧在倾斜方向上照射光的第2照射步骤，

所述接收光的步骤具有，在通过该第1照射步骤在所述脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收来自该脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第1接收光步骤，及，在由该第2照射步骤向该脆性材料基板的端面部上照射光的情况下，接收照射光的来自脆性材料基板的端面部的反射光的光量的第2接收光步骤，并进行所述第1接收光步骤和所述第2接收光步骤中的至少任意一个。

13.根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述接收光步骤是通过CCD摄像机来进行的。

14.根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，所述接收光步骤是通过受光元件来进行的。

15.根据权利要求9所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，具有对所述脆性材料基板的形成角的两边进行摄像，并获取该脆性材料基板的形成角的两边的图像数据的步骤，及，基于该图像数据识别所述脆性材料基板的角的位置的步骤。

16.根据权利要求15所述的脆性材料基板端面部的检查方法，其特征在于，获取所述两边的图像数据的步骤是通过CCD摄像机来进行的。

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