KR102426842B1 - 유리패널 크랙 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 상기 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하는 조명부와, 상기 유리패널 아래에서 조명 빛이 비친 상기 유리패널을 촬영하는 카메라부가 하나의 모듈로 묶인 헤드유닛; 상기 헤드유닛을 상기 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위를 따라 이동시키는 구동유닛; 및 상기 카메라부에서 촬영된 영상을 받아, TAB 공정이 진행된 유리패널이 깨지거나 금이 갔는지 판독하는 영상판독유닛을 포함한다. 이로 인해, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위에 금이 갔거나 깨졌는지 정확하게 판독할 수 있다.

Description

유리패널 크랙 검사장치{Glass panel crack inspection device}
본 발명은 유리패널 크랙 검사장치에 관한 것이다.
유리패널은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode)와 같은 디스플레이 제작에 널리 사용된다.
이러한 유리패널에, 구동칩이 내장된 필름을 부착하기 위해, TAB(Tape Automated Bonding) 공정이 다음과 같이 수행된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 유리패널(G)의 일단 테두리 상면에 접착테이프(T)를 붙인다. 접착테이프(T) 위에 필름(F)을 붙인다. 접착 부위(A)를 가압한다. 유리패널(G)의 일단 테두리 상면에 접착테이프(T)를 매개로 필름(F)이 부착된다.
TAB 공정이 끝나면, 유리패널(G)에 부착된 필름(F)의 타단에 연성회로기판을 붙이는 작업이 진행된다. 그런데, TAB 공정에서, 접착 부위(A)를 가압하는 과정에서, 접착 부위(A) 부근 유리패널(G)이 깨지거나 금이 가는 경우가 자주 발생한다.
이로 인해, 연성회로기판을 필름(F)에 붙이기 전에, 유리패널(G)을 검사하여, 유리패널(G)이 깨지거나 금이 갔을 경우, 연성회로기판 작업 전에 깨지거나 금이 간 유리패널(G)을 빼내는 것이 필요하다.
한국공개특허(10-2011-0008665)
본 발명의 목적은, TAB 공정에서, 유리패널이 깨지거나 금이 갔을 경우, 깨지거나 금이 간 유리패널을 연성회로기판 작업 전에 빼낼 수 있게, TAB 공정 후 유리패널을 검사할 수 있는 유리패널 크랙 검사장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 유리패널 크랙 검사장치는,
TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 상기 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하는 조명부와, 상기 유리패널 아래에서 조명 빛이 비친 상기 유리패널을 촬영하는 카메라부가 하나의 모듈로 묶인 헤드유닛;
상기 헤드유닛을 상기 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위를 따라 이동시키는 구동유닛; 및
상기 카메라부에서 촬영된 영상을 받아, TAB 공정이 진행된 유리패널이 깨지거나 금이 갔는지 판독하는 영상판독유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 조명등이 TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하고, 카메라 역시 유리패널 아래에서 조명 빛이 비친 유리패널을 촬영한 후, 영상처리유닛은 촬영된 영상을 가지고, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위에 금이 갔거나 깨졌는지 판독한다.
이와 같은 방식은, 조명등이 유리패널 아래에서 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하고, 유리패널 위에서 카메라가 유리패널을 촬영하는 일반적인 방식과는 전혀 다른 방식이다. 즉, 일반적인 방식에서는 유리패널에 붙은 이물질을 유리패널에 금이 가거나 깨진 걸로 오판할 수 있으나, 본 발명은 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위에 실제로 금이 가거나 깨졌을 때만 조명 빛이 반사되는 현상을 이용하여, 이물질과 혼동 없이 유리패널에 실제로 금이 갔거나 깨졌는지를 정확하게 판독해낼 수 있다.
또한, 본 발명은 조명 빛의 조사 각도를 다양하게 바꿔, 반사되는 빛의 각도를 다르게 만들어 가며, 유리패널을 반복적으로 촬영할 수 있다. 이로 인해, 일반적인 방식과는 비교할 수 없을 만큼, 유리패널 부위에 금이 갔거나 깨졌는지를 정확하게 판독해낼 수 있다.
또한, 본 발명은 3개의 조명등과 1개의 카메라가 하나의 모듈로 묶인 헤드유닛을, 구동유닛이 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위를 따라 이동시켜, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위 전체를 신속하게 검사할 수 있다.
도 1은 접착테이프를 매개로 유리패널의 일단 테두리 상면에 필름이 부착된 상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리패널 크랙 검사장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 헤드유닛을 나타낸 사시도다.
도 4는 도 3에 도시된 헤드유닛이 TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하여, 조명 빛이 비친 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면으로, 도 4(a)는 금이 없는 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이고, 도 4(b)에서는 금이 간 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이고, 도 4(c)는 조명 빛의 조사 각도를 바꿔 금이 간 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면으로, 도 5(a)는 도 4(a)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이고, 도 5(b)는 도 4(b)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이고, 도 5(c)는 도 4(c)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 3에 도시된 헤드유닛이 TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 유리패널을 향해 조명 빛을 조사하여, 조명 빛이 비친 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면으로, 도 4(a)는 깨지지 않은 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이고, 도 4(b)에서는 깨진 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이고, 도 4(c)는 조명 빛의 조사 각도를 바꿔 깨진 유리패널을 촬영하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면으로, 도 7(a)는 도 6(a)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이고, 도 7(b)는 도 6(b)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이고, 도 7(c)는 도 6(c)에 도시된 유리패널을 촬영한 영상을 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리패널 크랙 검사장치를 자세히 설명한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리패널 크랙 검사장치는 헤드유닛(10), 구동유닛(20), 영상판독유닛(30)으로 구성된다.
[헤드유닛]
헤드유닛(10)은 하나의 모듈로 묶인 조명부(110)와 카메라부(120)로 구성된다.
<조명부>
조명부(110)는 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 아래에서, 유리패널(G)을 향해 조명 빛을 조사한다. 도 2에 도시된 도면부호 V는 유리패널(G)을 진공흡착하고 있는 진공흡착부를 나타낸다.
도 3에 도시된 바와 같이, 조명부(110)는 제1조명부(111), 제2조명부(112), 제3조명부(113)로 구성된다. 제1조명부(111), 제2조명부(112), 제3조명부(113)는 카메라부(120)를 중심으로 카메라부(120)의 둘레에 120°간격으로 배치된다.
제1조명부(111)는 제1조명등(111a)과 제1조명등구동부(111b)로 구성된다. 제1조명등(111a)은 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 아래에서, 유리패널(G)을 향해 조명 빛을 조사한다. 제1조명등구동부(111b)는 조명 빛의 조사 각도를 조절하기 위해, 제1조명등(111a)을 위로 세우거나 아래로 굽힌다.
제2조명부(112)는 제2조명등(112a)과 제2조명등구동부(112b)로 구성된다. 제2조명등(112a)은 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 아래에서, 유리패널(G)을 향해 조명 빛을 조사한다. 제2조명등구동부(112b)는 조명 빛의 조사 각도를 조절하기 위해, 제2조명등(112a)을 위로 세우거나 아래로 굽힌다.
제3조명부(113)는 제3조명등(113a)과 제3조명등구동부(113b)로 구성된다. 제3조명등(113a)은 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 아래에서, 유리패널(G)을 향해 조명 빛을 조사한다. 제3조명등구동부(113b)는 조명 빛의 조사 각도를 조절하기 위해, 제3조명등(113a)을 위로 세우거나 아래로 굽힌다.
이렇게 120°간격으로 배치된 제1조명부(111), 제2조명부(112), 제3조명부(113)가, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 아래에서, 유리패널(G)을 향해 3방향에서 조명 빛을 조사함으로써, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위에 실제로 금이 가거나 깨졌을 때만 조명 빛이 반사되는 현상(3방향에서 반사, 2방향에서 반사, 1방향에서 반사)을 이용하여, 이물질과 혼동 없이 유리패널에 실제로 금이 갔거나 깨졌는지를 정확하게 판독해낼 수 있다.
<카메라부>
도 3에 도시된 바와 같이, 카메라부(120)는 유리패널(G) 아래에서 조명 빛이 비친 유리패널(G)을 촬영한다. 카메라부(120)는 중앙에 배치되어 제1조명부(111), 제2조명부(112), 제3조명부(113)에 의해 둘러싸인다.
카메라부(120)는 카메라(121)와 카메라구동부(122)로 구성된다. 카메라구동부(122)는 카메라(121)를 상승 또는 하강시킨다.
[구동유닛]
도 2에 도시된 바와 같이, 구동유닛(20)은 헤드유닛(10)을 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A)를 따라 이동시킨다. 구동유닛(20)은 리니어모터시스템으로 구성된다. 구동유닛(20)은 헤드유닛(10)의 중앙 바닥면에 결합된 이동자(21), 이동자(21) 아래에 설치된 고정자(22), 고정자(22)의 양측에 배치되며 헤드유닛(10)의 양측 바닥면과 각각 결합된 2개의 LM가이드(23)로 구성된다. 물론, 구동유닛(20)은 서보모터, 볼스크류, 2개의 LM가이드로 구성될 수도 있다. 이 밖에도, 구동유닛(20)은 헤드유닛(10)을 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A)를 따라 이동시킬 수 있다면, 다양한 구성이 가능하다.
[영상판독유닛]
영상판독유닛(30)은 카메라부(120)에서 촬영된 영상을 받아, TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A)가 깨지거나 금이 갔는지 판독한다. 영상판독유닛(30)은 공지된 영상처리기술을 사용하여, 다양한 방법으로 유리패널 부위(A)가 깨지거나 금이 갔는지를 판독할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 유리패널 크랙 검사장치의 작동을 설명한다. 도 1 내지 도 3을 기본적으로 참조한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 구동유닛(20)은 헤드유닛(10)을 TAB 공정이 진행된 유리패널 부위(A) 부위를 따라 이동시킨다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1조명등(111a), 제2조명등(112a), 제3조명등(113a)이 TAB 공정이 진행된 유리패널(G) 아래에서 유리패널(G)을 향해 조명 빛을 조사한다. 도 4에서 실선화살표는 유리패널(G)을 향해 조사된 조명 빛을 나타내고, 점선화살표는 유리패널(G)에서 반사된 조명 빛을 나타낸다. 카메라(121)는 조명 빛이 비친 유리패널(G)을 촬영한다.
[금이나 깨짐이 없는 유리패널을 촬영한 경우]
도 4(a)에 도시된 바와 같이, 금(scratch)이 없는 유리패널(G)을 촬영한 경우, 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 유리패널(G)에서 반사되는 빛이 없어 촬영된 영상은 까맣다.
도 6(a)에 도시된 바와 같이, 깨짐(broken)이 없는 유리패널(G)을 촬영한 경우, 도 7(a)에 도시된 바와 같이, 유리패널(G)에서 반사되는 빛이 없어 촬영된 영상은 까맣다.
[금이 간 유리패널을 촬영한 경우]
도 4(b)에 도시된 바와 같이, 금이 있는 유리패널(G)을 촬영한 경우, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 금으로 인해 유리패널(G)에서 반사되는 빛이 생겨, 영상에 하얗게 금이 나타난다.
[조명 빛의 조사 각도를 바꿔, 금이 간 유리패널을 촬영한 경우]
도 4(c)에 도시된 바와 같이, 제1조명등(111a)과 제3조명등(113a)을 도 4(b)에 도시된 것 보다 위로 조금 세워서, 조명 빛의 조사 각도를 바꿔 금이 간 유리패널을 촬영한다. 그러면, 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 유리패널(G)로부터 반사되는 빛이 있어 영상에 하얗게 금이 나타난다. 이때, 금의 형태는 도 5(b)와 다른 형상을 가진다.
이렇게, 조명 빛의 조사 각도를 다양하게 바꿔가며 금이 간 유리패널(G)을 반복적으로 촬영할 수 있다. 더 나아가, 제1조명등(111a), 제2조명등(112a), 제3조명등(113a) 중 어느 하나를 끄고, 조명 빛의 조사 각도를 다양하게 바꾸어가며 금이 간 유리패널(G)을 촬영할 수도 있다. 이렇게 금이 간 유리패널(G)을 다양한 방법으로 반복적으로 촬영함으로써, 유리패널(G)에 실제로 금이 생겼는지를 정확하게 판독해낼 수 있다.
[깨진 유리패널을 촬영한 경우]
도 6(b)에 도시된 바와 같이, 깨진 유리패널(G)을 촬영한 경우, 도 7(b)에 도시된 바와 같이, 깨진 부위로 인해 유리패널(G)에서 반사되는 빛이 생겨, 영상에 하얗게 깨진 부위가 나타난다.
[조명 빛의 조사 각도를 바꿔, 깨진 유리패널을 촬영한 경우]
도 6(c)에 도시된 바와 같이, 제1조명등(111a)과 제3조명등(113a)을 도 6(b)에 도시된 것 보다 위로 조금 세워서, 조명 빛의 조사 각도를 바꿔 깨진 유리패널을 촬영한다. 그러면, 도 7(c)에 도시된 바와 같이, 유리패널(G)로부터 반사되는 빛이 있어 영상에 하얗게 깨진 부위가 나타난다. 이때, 깨진 부위의 형태는 도 7(b)와 다른 형상을 가진다.
이렇게, 조명 빛의 조사 각도를 다양하게 바꿔가며 깨진 유리패널(G)을 반복적으로 촬영할 수 있다. 더 나아가, 제1조명등(111a), 제2조명등(112a), 제3조명등(113a) 중 어느 하나를 끄고, 조명 빛의 조사 각도를 다양하게 바꾸어가며 깨진 유리패널(G)을 촬영할 수도 있다. 이렇게 깨진 유리패널(G)을 다양한 방법으로 반복적으로 촬영함으로써, 유리패널(G)이 실제로 깨졌는지를 정확하게 판독해낼 수 있다.
1,2: 유리패널 크랙 검사장치
10: 헤드유닛 110: 조명부
120: 카메라부 20: 구동유닛
30: 영상판독유닛

Claims (3)

  1. TAB 공정이 진행된 유리패널 아래에서 상기 유리패널의 하면을 향해 조명 빛을 조사하는 조명부와, 상기 유리패널 아래에서 조명 빛이 비친 상기 유리패널의 하면을 촬영하는 카메라부로 구성되며, 상기 조명부와 상기 카메라부가 함께 움직일 수 있게 하나의 모듈로 묶인 헤드유닛;
    상기 헤드유닛을 TAB 공정이 진행된 상기 유리패널 부위를 따라 이동시키는 구동유닛; 및
    상기 카메라부에서 촬영된 영상을 받아, TAB 공정이 진행된 상기 유리패널이 깨지거나 금이 갔는지 판독하는 영상판독유닛을 포함하며,
    상기 조명부는, 상기 카메라부의 둘레에 120°간격으로 둘러싼 제1조명부, 제2조명부, 제3조명부로 구성되며,
    상기 제1조명부, 제2조명부, 제3조명부 각각은,
    조명등과 상기 조명등을 구동하는 조명등구동부로 구성되며,
    상기 조명등구동부는 상기 조명등을 위로 세우거나 아래로 굽혀 상기 유리패널의 하면을 향해 조사되는 조명 빛의 조사 각도를 바꾸거나, 상기 제1조명부, 제2조명부, 제3조명부 중 어느 하나를 끄고 상기 조명등을 위로 세우거나 아래로 굽혀 상기 유리패널의 하면을 향해 조사되는 조명 빛의 조사 각도를 바꾸고,
    상기 카메라부는 상기 유리패널의 하면에서 조명 빛의 조사 각도가 바뀔때마다 상기 유리패널을 촬영하고,
    상기 영상판독유닛은 상기 카메라부로부터 촬영된 상기 유리패널의 영상을 받아, TAB 공정이 진행된 상기 유리패널 부위에 금이 가거나 깨졌을 때 조명 빛이 반사되는 형태가 다르다는 점을 이용하여, TAB 공정이 진행된 상기 유리패널이 깨졌거나 금이 갔는지 판독하는 것을 특징으로 하는 유리패널 크랙 검사장치.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785420B1 (ko) * 2006-06-13 2007-12-13 주식회사 에스에프에이 압흔 검사기
US20120046203A1 (en) 2008-09-24 2012-02-23 Straus Holdings Inc. Imaging analyzer for testing analytes
KR101111383B1 (ko) 2010-01-29 2012-03-05 윈텍 주식회사 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템
KR101342117B1 (ko) * 2012-11-08 2013-12-18 (주)바론시스템 압흔 검사 장치 및 검사 방법
JP2015227793A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 コニカミノルタ株式会社 光学部品の検査装置及び検査方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070118939A (ko) * 2006-12-27 2007-12-18 주식회사 에스에프에이 압흔 검사기
KR20110008665A (ko) 2009-07-21 2011-01-27 주식회사 넥스트아이 엘시디 패널의 검사장치 및 검사방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100785420B1 (ko) * 2006-06-13 2007-12-13 주식회사 에스에프에이 압흔 검사기
US20120046203A1 (en) 2008-09-24 2012-02-23 Straus Holdings Inc. Imaging analyzer for testing analytes
KR101111383B1 (ko) 2010-01-29 2012-03-05 윈텍 주식회사 3차원 표면 형상 측정부가 구비되는 압흔 검사시스템
KR101342117B1 (ko) * 2012-11-08 2013-12-18 (주)바론시스템 압흔 검사 장치 및 검사 방법
JP2015227793A (ja) * 2014-05-30 2015-12-17 コニカミノルタ株式会社 光学部品の検査装置及び検査方法

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