KR100785420B1 - 압흔 검사기 - Google Patents

압흔 검사기 Download PDF

Info

Publication number
KR100785420B1
KR100785420B1 KR1020060052915A KR20060052915A KR100785420B1 KR 100785420 B1 KR100785420 B1 KR 100785420B1 KR 1020060052915 A KR1020060052915 A KR 1020060052915A KR 20060052915 A KR20060052915 A KR 20060052915A KR 100785420 B1 KR100785420 B1 KR 100785420B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
camera
substrate
indentation
stage
line scan
Prior art date
Application number
KR1020060052915A
Other languages
English (en)
Inventor
최유찬
홍선주
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020060052915A priority Critical patent/KR100785420B1/ko
Priority to TW99139583A priority patent/TWI435073B/zh
Priority to TW96120956A priority patent/TWI360651B/zh
Priority to CN2007101108687A priority patent/CN101089616B/zh
Priority to CN200910179862A priority patent/CN101666760A/zh
Application granted granted Critical
Publication of KR100785420B1 publication Critical patent/KR100785420B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N2021/8924—Dents; Relief flaws

Abstract

압흔 검사기가 개시된다. 본 발명의 압흔 검사기는, 일측에 부착된 탭(TAB) 영역에 대한 압흔 검사를 위한 압흔 검사 대상의 기판이 안착되는 스테이지; 기판의 압흔 검사 영역을 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 카메라가 결합되며, 스테이지에 대해 카메라를 상대적으로 이동시키는 광학계이동부; 기판의 변위를 측정하는 적어도 하나의 변위센서; 및 변위센서의 정보에 기초하여 카메라의 이동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 압흔 검사의 전체 택트 타임(Tact Time)이 감소될 뿐만 아니라 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있고 기판의 대형화에 따른 처짐으로 인해 기판의 평탄도가 일정하지 못할 경우에도 효율적인 검사를 수행할 수 있으며 또한 장비규모 및 설치공간도 작아질 수 있다.
압흔, 압흔 검사, 압흔 검사기, 오토포커싱, 탭, 기판, LCD

Description

압흔 검사기{Denting Inspecting Apparatus}
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 블록도이다.
도 3은 도 2의 압흔 검사기의 개략적인 사시도이다.
도 4는 도 3의 요부 확대 사시도이다.
도 5는 도 2의 압흔 검사기의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 압흔 검사기 10 : 라인스캔 카메라
20 : 스테이지 30 : 변위센서
50 : 광학계이동부 60 : 제어부
70 : LCD 기판 75 : 탭(TAB)
본 발명은, 압흔 검사기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래보다 장비규모 및 설치공간이 작아지며 압흔 검사의 전체 택트 타임(Tact Time)을 감소시킬 수 있는 압흔 검사기에 관한 것이다.
일반적으로 평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 그 종류에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이와 같은 평면디스플레이(FPD, 이하 FPD)는 그 종류마다 별도의 제조 공정을 통해 제품으로 출시되지만 서로 유사한 형태의 제조공정을 거치기도 한다.
이러한 유사한 공정 중 FPD 기판에 기구물 등을 부착하여 제품으로 조립하는 공정에서는, FPD 구동을 위한 드라이버IC(Drive IC)를 FPD 기판에 부착하는 과정이 수행된다.
이러한 과정을 수행하기 위하여 종래에는 드라이버IC의 리드(lead)를 직접 FPD기판에 실장(mount)하는 기술이 사용되었으나, 최근에는 FPD 제품이 고해상도화 됨에 따라 엄청난 수의 리드(lead)를 갖는 드라이버IC를 FPD 기판에 장착하는 것이 용이하지 않기 때문에 실장기술로 TAB(Tape Automated Bonding)을 이용한다.
TAB이란, 테이프 캐리어 패키지(TCP, Tape Carrier Package)의 일종으로서 리드 프레임(lead frame) 대신 패턴(Pattern)이 형성된 테이프를 사용하여 FPD 기판에 본딩(Bonding)하는 패키징 기술이다. 이러한 탭 기술에 의하여 장착되는 드라이버IC가 포함된 테이프를 일반적으로 TAB IC(이하 '탭')라 한다.
이러한 탭을 FPD 기판에 부착하기 전에, 우선 이방성 도전 필름(ACF)을 FPD 기판에 접착시킨다.
이방성 도전필름(ACF, Anisotropic Conductive Film)은, 열에 의하여 경화되는 접착제와 그 안에 미세한 도전성 볼을 혼합시킨 양면 테이프 구조를 갖는 것으로서 실장에 사용되는 대표적인 재료이다.
이러한 이방성 도전필름이 FPD 기판에 접착되면, 그 이방성 도전필름 표면에 탭이 부착되게 되는데, 이때 탭의 전극 패턴과 FPD 기판의 전극 패턴은 정확하게 부착되어야 하며 FPD 기판과 탭에 전도성을 확보하기 위해서 사용되는 도전성 볼 역시 정확하게 위치되어야 한다.
만약, FPD 기판에 이방성 도전필름과 탭이 부착되면, 고온의 압력을 가하여 FPD 기판과 탭의 각 회로패턴의 패드가 맞닿도록 한다. 이때 맞닿는 부분의 이방성 도전필름 내의 도전성 볼이 파괴되면서 양 패드간의 통전을 하게 되고, 양 패드 부분 외의 요철면에 나머지 접착제가 충진 및 경화되어 탭 부착공정은 완료된다.
이와 같은 탭부착 공정을 마친 FPD 기판은, 탭의 전극 패턴과 FPD 기판의 전극 패턴이 정확하게 부착되었는지 유무와 이에 따른 도전성 볼의 형상과 위치를 검사하도록 하는 압흔(Denting) 검사를 거치게 된다. 이러한 압흔 검사에 사용되는 압흔 검사기가 아래와 같이 개시된 바 있다.
도 1은 종래의 일 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 사시도이다.
이에 도시된 바와 같이, 종래의 압흔 검사기(100)는, 크게 압흔 검사 영역을 촬영하는 에어리어 카메라(110, Area Camera)와, 단변과 장변에 각각 탭(175a, 175b)이 부착된 FPD 기판(170)이 상부에 안착되는 스테이지(120)를 구비한다.
에어리어 카메라(110)는, 압흔 검사기(100) 내에서 카메라 고정다이(150)에 고정되며 탭(175a, 175b)이 부착된 FPD 기판(170)의 압흔 검사 영역을 촬영한다. 이러한 에어리어 카메라(110)는 자체에 오토포커싱(Auto Focusing) 기능이 탑재되는데, 탭(175a, 175b) 간격별로 스테이지(120)가 이동할 때마다 오토포커싱을 통해 압흔 검사 영역의 압흔 이미지를 상세하게 촬영하여 검사할 수 있다. 이를 위해서 에어리어 카메라(110)는 화살표(Z) 방향처럼 FPD 기판(170)의 판면방향에 대해 수직 승하강을 하기도 한다.
스테이지(120)는, 에어리어 카메라(110)의 상부에 마련되는데, 그 상면에는 압흔 검사 대상의 FPD 기판(170)이 안착된다. FPD 기판(170)이 안착된 스테이지(120)는 별도의 구동부(미도시)에 의해 화살표 방향처럼 전후좌우(X, Y)로 이동하여 고정된 에어리어 카메라(110)의 상부로 FPD 기판(170)을 위치시킨다.
이러한 구성으로 압흔 검사기(100)는 압흔 검사 대상의 FPD 기판(170)의 압흔 검사를 실시하게 된다. 일반적으로는 먼저 FPD 기판(170)의 단변에 부착된 탭(175a) 영역을 검사하고 이어서 장변에 부착된 탭(175b) 영역을 검사하는 순서로 압흔 검사가 진행된다.
우선, 단변에 부착된 탭(175a)영역을 검사하기 위하여, 스테이지(120)는 화살표(X) 방향으로 직선 이동하면서 압흔 검사 영역을 차례로 촬영하며 검사해 나간다. 단변에 부착된 탭(175a) 영역의 검사가 끝난 후, 이어서 장변에 부착된 탭(175b) 영역의 검사면을 검사하게 된다. 이 경우에는 스테이지(120)가 화살표(θ) 방향처럼 회전하여 에어리어 카메라(110)가 압흔 검사 영역을 촬영할 수 있도록 한다.
한편, 에어리어 카메라(110)가 압흔 검사 대상의 FPD 기판(170)의 탭(175a, 175b) 영역을 촬영하는 동안 스테이지(120)는 이동과 정지를 반복하게 된다.
이러한 과정에서 에어리어 카메라(110)도 압흔 검사 영역의 영상을 획득하기 위하여 FPD 기판(170)과 초점을 맞추는 오토포커싱을 반복 수행하게 된다.
그런데, 이러한 종래의 압흔 검사기(100)에 있어서는, 스테이지(120)가 이동하는 복잡한 작동으로 인해 장비규모 및 설치공간이 커지며 탭(175a, 175b) 간격 별로 스테이지(120)를 이동 및 정지한 후 다시 오토포커싱을 하고 검사를 진행해야 함에 따라 택트 타임(Tact Time)이 증가할 뿐만 아니라 FPD 기판(170)의 대형화에 따른 처짐으로 인해 FPD 기판(170)의 평탄도가 일정하지 못할 경우에는 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 한계를 넘게 되어 서치(Search)기능의 사용을 필요로 하게 되므로 검사효율이 더욱 낮아지는 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 압흔 검사의 전체 택트 타임(Tact Time)이 감소될 뿐만 아니라 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있고 기판의 대형화에 따른 처짐으로 인해 기판의 평탄도가 일정하지 못할 경우에도 효율적인 검사를 수행할 수 있으며 또한 장비규모 및 설치공간도 작아질 수 있는 압흔 검사기를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 일측에 부착된 탭(TAB) 영역에 대한 압흔 검사를 위한 압흔 검사 대상의 기판이 안착되는 스테이지; 상기 기판의 압흔 검사 영 역을 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 상기 카메라가 결합되며, 상기 스테이지에 대해 상기 카메라를 상대적으로 이동시키는 광학계이동부; 상기 기판의 변위를 측정하는 적어도 하나의 변위센서; 및 상기 변위센서의 정보에 기초하여 상기 카메라의 이동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기에 의해 달성된다.
상기 변위센서는, 상기 카메라의 이동방향에 대해 상기 카메라의 전방에 마련되며, 상기 제어부는, 상기 기판의 압흔 검사 영역에 도달하기 전에 상기 기판의 압흔 검사 영역의 평탄도 정보를 상기 변위센서로부터 미리 입수하여 상기 카메라의 이동을 제어할 수 있다.
여기서 상기 제어부는, 상기 기판의 압흔 검사 영역에 대한 상기 카메라의 실시간 오토포커싱이 가능하도록 상기 카메라의 이동을 제어할 수 있다.
이때 상기 카메라는 라인스캔 카메라와 에어리어 카메라 중 어느 하나일 수 있다.
그리고 상기 제어부는, 상기 카메라의 촬영 시 상기 카메라의 이동 경로 상의 전체 영역에 대한 영상을 획득하도록 상기 카메라를 연속 이동시키는 것이 바람직하다.
상기 변위센서는 상기 압흔 검사 영역에 대한 상기 카메라의 이동 방향에 대해 전방에서 상기 카메라와 결합되어 상기 카메라와 실질적으로 일체로 이동될 수 있다.
상기 스테이지는 소정의 위치에 고정 설치되는 것이 장비규모나 설치공간을 줄일 수 있어 효과적이다.
상기 기판은 LCD 기판, PDP 기판, OLED 기판 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 기판은 FPD 기판으로서, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 블록도이고, 도 3은 도 2의 압흔 검사기의 개략적인 사시도이며, 도 4는 도 3의 요부 확대 사시도이며, 도 5는 도 3의 압흔 검사기의 작동을 설명하기 위한 도면이다. 이들 도면과 도 1을 함께 참조하여 설명하기로 한다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 압흔 검사기(1)는, FPD 기판(70)이 안착되어 지지되는 스테이지(20)와, 탭(75)이 부착된 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역을 촬영하는 라인스캔 카메라(10, Line Scan Camera)와, 라인스캔 카메라(10)의 전방에 마련된 변위센서(30)와, 라인스캔 카메라(10)를 스테이지(20) 측으로 이동시키는 광학계이동부(50)와, 실시간 오토포커싱이 가능하도 록 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어하는 제어부(60)를 구비한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시 예의 압흔 검사기(1)는, 소정 영역에 고정된 스테이지(20)에 안착된 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)에 대하여 변위센서(30)가 미리 평탄도 정보를 입수하고, 제어부(60)는 이러한 변위센서(30)의 정보에 기초하여 라인스캔 카메라(10)의 실시간 오토포커싱이 가능하도록 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어한다.
이와 같은 구성으로 광학계이동부(50)에 장착된 라인스캔 카메라(10)가 압흔 검사 영역에서의 연속이동을 하면서 압흔 검사를 진행할 수 있다. 따라서 종래의 스테이지(120)가 이동하던 압흔 검사기(100)보다 택트 타임(Tact Time)을 줄일 수 있고 장비규모 및 설치공간을 줄일 수 있다.
택트 타임(Tact Time)과 관련하여 보다 상세히 설명하면, 라인스캔 카메라(10)의 전면부 전방에 마련된 변위센서(30)가 탭(75)과 라인스캔 카메라(10)의 간격을 미리 측정하여 그 정보를 라인스캔 카메라(10)의 이동 전 또는 이동 시에 제어부(60)에 제공해주고 라인스캔 카메라(10)는 검사지점에 도착하기 전에 미리 승하강할 수 있게 되어 오토포커싱 시간을 단축시키고 이에 따라 전체 택트 타임(Tact Time)을 감소시킬 수 있게 된다.
또한, 검사지점에 도착하기 전에 미리 승하강할 수 있음으로써 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있고 기판의 대형화에 따른 처짐으로 인해 기판의 평탄도가 일정하지 못할 경우에도 효율적인 검사를 수행할 수 있다.
한편, FPD 기판(70)의 탭(75)은 기판의 여러 측면에 다양한 형태로 부착될 수 있으나, 본 실시 예에서는 한 측면(단변)에만 부착된 탭(75)이 있는 FPD 기판(70)을 우선하여 설명하기로 한다.
압흔 검사기(1)는, FPD 기판(70)에 탭(75)을 부착하는 과정에서 이방성 도전필름(미도시)에 발생된 압흔을 검사하는 장치이다. 따라서 압흔 검사기(10)는 탭(75)이 부착된 압흔 검사 영역의 이미지를 추출하고, 추출된 압흔 이미지를 검사하는 반복된 과정을 수행하게 된다.
이러한 압흔 검사기(1)의 스테이지(20)는, 일측에 탭(75)이 부착된 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)이 안착되는 곳이다. 본 실시 예에서 스테이지(70)는, 도시된 바와 같이 FPD 기판(70)의 크기보다 작게 마련되며 FPD 기판(70)의 하면이 스테이지(20)의 상면에 안착되도록 한다. 이때, FPD 기판(70)이 스테이지(20)의 상면에 안착되기는 하되 탭(75) 영역만큼은 스테이지(20)의 외측으로 노출되도록 한다. 보다 상술하면, 스테이지(20) 내부에 마련된 리프트 핀(미도시, Lift Pin)이 상승한 상태에서 반송로봇(미도시)이 외부로부터 FPD 기판(70)을 인입시킨다. 이때, 인입된 FPD 기판(70)을 지지한 리프트 핀이 다시 하강하면 FPD 기판(70)이 스테이지(20)에 탭(75) 영역을 노출한 상태로 안착되게 된다.
따라서 탭(75) 영역이 노출되도록 스테이지(20)에 안착된 FPD 기판(70)은 라인스캔 카메라(10)가 검사를 수행하기 용이한 위치에 놓이게 된다.
이와 같은 스테이지(20)는 검사 대상의 FPD 기판(70)을 지지하는 부분이므로, 반드시 전술한 타입일 필요는 없다. 그러므로 스테이지(20)는 원기둥 혹은 사각기둥 형태 또는 사각판 형상으로 제작되어, FPD 기판(70)을 안착시키되 스테이 지(20)에 안착된 FPD 기판(70)의 탭(75) 영역을 노출시키도록 구성하면 될 것이다. 이처럼 라인스캔 카메라(10)가 FPD 기판(70)을 검사 가능하다면 얼마든지 스테이지(20)를 달리 제작할 수도 있을 것이다.
또한 스테이지(20)는 이동이 가능하도록 구성될 수도 있으나 본 실시 예에서는 압흔 검사기(1)의 소정위치에 고정되도록 마련된다.
이와 같이 고정된 스테이지(20)는 종래 압흔 검사기(100, 이하 도 1 참조)가 전후좌우(X, Y) 및 회전(θ)이 가능한 이동 스테이지(120, 이하 도 1 참조)로 구성됨에 따라 발생하는 여러 가지 문제들을 개선할 수 있다.
즉, 종래의 스테이지(120)가 압흔 검사기(100) 내에서 전후좌우(X, Y) 및 회전(θ) 이동을 하기 때문에 그만큼 스테이지(120)의 이동에 따른 장비 규모 및 설치공간이 크게 요구되었던 반면에 본 실시 예에서는 스테이지(20)가 상대적으로 고정되므로 종래 스테이지(120)가 이동함에 따라 요구시 되었던 장비규모 및 설치공간을 줄일 수 있다.
또한, FPD 기판(70)이 스테이지(20)에 안착되어 고정됨으로써 종래 스테이지(120)를 이동시키는 부대시설 및 전력손실을 줄일 수 있으며, 비교적 큰 FPD 기판(70)을 이동시킴에 따라 발생할 수 있는 파티클 오염이나 FPD 기판(70)에 가해지는 물리적인 충격 등을 사전에 예방할 수 있어 수율향상에 기여할 수 있다.
한편, 본 발명에서 카메라는 라인스캔 카메라(10)와 에어리어 카메라(110, 도 1 참조) 모두를 적용할 수 있으나. 본 실시 예에서는 라인스캔 카메라(10)를 적용하여 설명하기로 한다.
라인스캔 카메라(10)는, 일반적으로 국소 영역을 촬영 및 스캔하는 용도로 주로 사용되는 카메라이다. 본 실시 예에서 라인스캔 카메라(10)는 탭(75)이 부착된 FPD 기판(70)이 안착된 스테이지(20) 하부에 위치하도록 마련되어 압흔 검사 영역을 촬영한다.
종래의 압흔 검사기(100)는 전술한 바와 같이 스테이지(120)가 이동 및 정지를 반복함에 따라 오토포커싱을 위하여 에어리어 카메라(110)를 적용할 수 밖에 없었으나, 본 실시 예에서는 후술할 광학계이동부(50)에 의해 라인스캔 카메라(10)가 이동할 수 있으며 변위센서(30)에 의해 실시간 오토포커싱이 가능하게 되므로 라인스캔 카메라(10)를 적용할 수 있다.
따라서 라인스캔 카메라(10)가 적용된 본 실시 예의 압흔 검사기(1)에서는 라인스캔 카메라(10)가 이동하면서 압흔 검사 영역 전체에 대한 영상을 얻을 수 있으며, 얻어진 영상 중에서 원하는 영역만을 선택하여 검사 처리할 수 있다.
이와 같이 라인스캔 카메라(10)를 사용하면 비교적 상세한 촬영화상을 얻을 수 있어 종래의 에어리어 카메라(110)를 적용한 압흔 검사기(100)보다 검사의 정밀도와 검사 영역의 폭을 넓힐 수 있는 장점도 있다.
라인스캔 카메라(10)의 일측 전방에는 전술한 바와 같이 변위센서(30)가 결합되어 있다.
변위센서(30)는, FPD 기판(70)의 변위 또는 라인스캔 카메라(10)와 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)과의 변위를 측정한다. 본 실시 예에서 변위센서(30)는, 자세하게 도시하지 않았지만, 라인스캔 카메라(10)의 이동방향에 대해 실질적으로 일 체로 이동되도록 라인스캔 카메라(10)의 전면부 일측에 결합된다.
변위센서(30)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)의 평탄도를 △t 만큼 앞선 거리에서, 라인스캔 카메라(10)가 정지하지 않고 이동하면서 실시간 오토포커싱을 할 수 있도록 FPD 기판(70)과 라인스캔 카메라(10)와의 거리 또는 FPD 기판(70)의 변위를 미리 측정하는 역할을 한다.
종래의 에어리어 카메라(110)는 스테이지(120)가 압흔 검사 영역으로 도착한 후 오토포커싱을 수행했던 반면에, 본 실시 예에서는 라인스캔 카메라(10)는 연속적으로 이동하면서 실시간 오토포커싱을 수행할 수 있다.
이것은 라인스캔 카메라(10) 전면부에 별도로 마련된 변위센서(30)가 라인스캔 카메라(10) 전방에 결합되므로 FPD 기판(70)의 평탄도 정도를 미리 측정하여 그 정보를 제어부(60)로 보내주어 라인스캔 카메라(10)의 실시간 오토포커싱이 가능도록 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어하기 때문이다.
또한, 종래 FPD 기판(170)의 처진 정도가 에어리어 카메라(110)의 오토포커싱 트래킹(Tracking) 범위를 초과한 경우 등에 있어서는, 서치(Search) 기능을 사용해야 했으므로 택트 타임(Tact Time)이 증가되었으나, 본 실시 예에서는 변위센서(30)에 기초하여 라인스캔 카메라(10)의 이동을 미리 제어함으로써 종래보다 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있다.
따라서 FPD 기판(70)이 대형화되어 처짐이 심한 경우에도 적절한 한도 내에서는 별도의 서치(Search)기능이 필요없이 실시간 오토포커싱을 하면서 검사를 진행할 수 있어 택트 타임(Tact Time)을 감소시키게 된다.
즉, 변위센서(30)를 통해 라인스캔 카메라(10)는 실시간 오토포커싱이 가능해지기 때문에 종래 이동 및 정지를 반복하여 오토포커싱 후에 검사를 수행하던 압흔 검사기(100)의 방식보다 빠르고 연속적으로 압흔 검사를 할 수 있어 종래보다 택트 타임이 줄어들 뿐만 아니라 제품의 대형화에 따른 제품의 처짐 문제에 대응할 수 있고 압흔 검사 효율을 높일 수 있다.
이러한 변위센서(30)가 결합된 라인스캔 카메라(10)는 광학계이동부(50)에 장착됨으로 인해 실질적으로 이동할 수 있다.
광학계이동부(50)는, 자세히 도시하진 않았지만, 본 실시 예에서 스테이지(20) 하부에 마련되어 리니어 모션(Linear Motion)이 가능하도록 탭(75)이 부착된 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역과 나란한 방향에 마련된다. 따라서 광학계이동부(50)에 의해 라인 스캔 카메라(10)는 탭(75)이 부착된 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역을 연속적으로 이동하면서 압흔 검사를 수행할 수 있다.
또한 광학계이동부(50)는 라인스캔 카메라(10)가, 도 3 내지 도 5의 화살표(Z) 방향처럼, 수직으로 승하강하도록 한다. 따라서 라인스캔 카메라(10)는 변위센서(30)의 정보에 기초하여 미리 오토포커싱을 수행할 수 있는 위치로 수직 승하강을 병행하면서 이동할 수 있다.
이와 같은 광학계이동부(50)에 의해 라인스캔 카메라(10)가 이동할 수 있도록 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어하는 제어부(60)가 마련된다.
제어부(60)는, 변위센서(30)의 정보에 기초하여 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어한다. 즉, 제어부(60)는 라인스캔 카메라(10)가 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역에 도달하기 전에 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역의 평탄도 정보를 변위센서(30)로부터 미리 입수하여 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어하는 역할을 한다.
따라서 제어부(60)에 의해 FPD 기판(70)의 압흔 검사 영역에 대해 라인스캔 카메라(10)의 실시간 오토포커싱이 가능하도록 라인스캔 카메라(10)의 이동을 제어할 수 있다. 또한 제어부(60)는 라인스캔 카메라(10)의 촬영 시 라인스캔 카메라(10)의 이동경로 상의 전체 영역에 대한 영상을 획득하도록 라인스캔 카메라(10)를 연속 이동시킨다.
이와 같이 라인스캔 카메라(10)는 제어부(60)에 의하여, 도 3 및 도 4의 화살표(X) 방향처럼, 직선이동하여 압흔 검사 대상의 탭(75) 영역으로 연속적으로 움직인다. 이때, 제어부(60)에 의해 라인 스캔 카메라(10)는 변위센서(30)의 사전 정보에 맞추어 화살표(Z) 방향처럼 승하강 운동을 하면서 검사 위치로 미리 이동할 수 있어 실시간 오토포커싱을 하게 된다.
따라서 라인스캔 카메라(10)는 연속적으로 이동하면서도 실시간 오토포커싱을 수행하며 압흔 검사를 할 수 있게 되므로 종래의 정지 및 이동을 반복하여 검사하였던 방식보다 택트 타임을 줄일 수 있으며 검사효율을 높일 수 있게 된다.
이러한 구성을 갖는 압흔 검사기의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.
이하에서는 도 2 내지 도 5를 참조하되, 도 5를 위주로 하여 설명하기로 한다.
우선, 압흔 검사기(1)의 스테이지(20)에 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)이 안착된다. 이때 FPD 기판(70)은 탭(75)이 부착된 영역이 위로 향하게 놓이도록 하 는데, 이로써 라인스캔 카메라(10)가 스테이지(20) 하부에 위치하였을 때 압흔된 탭(75)의 압흔 이미지를 추출하여 촬영할 수 있다.
본 발명에서 FPD 기판(70)이 스테이지(20)에 안착되어 고정되면 종래 이동 스테이지(120)를 구비한 압흔 검사기(100)보다 장비규모 및 설치공간 등을 줄일 수 있으며, 파티클 오염의 우려나 FPD 기판(70)에 가해지는 물리적인 충격 등을 사전에 예방할 수 있어 수율을 향상시킬 수 있음은 전술한 바와 같다.
이와 같이 스테이지(20)에 FPD 기판(70)이 안착되면, 라인 스캔 카메라(10)는 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)의 탭(75) 영역을 촬영하기 위해 이동을 하게 된다. 즉, 라인스캔 카메라(10)는 광학계이동부(50)에 의해 압흔 검사 영역의 탭(75)이 부착된 FPD 기판(70)이 놓여 있는 스테이지(20) 하부로 위치하여 이동한다.
최초 검사대상 탭(75) 영역에 놓인 라인스캔 카메라(10)는 미리 변위센서(30)의 정보에 기초하여 압흔 검사 영역으로 이동하면서 실시간 오토포커싱을 수행하면서 최초 압흔 이미지를 촬영하여 스캔한다. 이와 동시에 라인스캔 카메라(10)의 전면부 일측에 결합된 변위센서(30)는, △t 만큼 앞선 위치에서 미리 라인스캔 카메라(10)와 앞으로 검사할 FPD 기판(70)과의 변위를 측정한다. 즉 변위센서(30)는 압흔 검사 대상의 FPD 기판(70)의 평탄도를 미리 측정하며, 라인스캔 카메라(10)가 압흔 검사 영역에 도달하기 이전에 정확한 오토포커싱을 하도록 한다.
일반적으로 작은 크기의 FPD 기판(70)은, 도 5에 도시된 바와 같이 점선으로 표시된 것처럼 평탄하지만, 대형화될 경우에는 스테이지(20)에 안착되더라도 실선으로 표시된 FPD 기판(70S)처럼 일부가 처지게 되는 현상이 발생한다.
이렇게 FPD 기판(70)의 대형화에 따른 처짐으로 인해 FPD 기판(70)의 평탄도가 일정하지 못할 경우, 종래의 압흔 검사기(100)는 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 한계를 초과하여 서치(Serch)기능 사용이 필요한 경우가 발생하고 이에 의하여 택트 타임이 증가하는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명에서 압흔 검사기(1)는 대형화되어 FPD 기판(70S)이 처지더라도 FPD 기판(70S)의 평탄도 정보를 변위센서(30)가 미리 측정하여 그 정보를 제어부(60)로 보내주고 이에 의하여 라인스캔 카메라(10)를 미리 이동시킴으로써 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 한계를 확대할 수 있고 라인스캔 카메라(10)가 움직이는 동안에도 실시간 오토포커싱을 하면서 압흔 이미지를 촬영하여 검사할 수 있다.
보다 자세히 설명하면, 도 5의 (A)의 라인스캔 카메라(10)는, 변위센서(30)로부터 △t 만큼 앞선 위치에서 기판의 평탄도 정보를 받아서 광학계이동부(50)의 기준 위치에서 오토포커싱하는 상태이다. (B)의 라인스캔 카메라(10)는, 변위센서(30)로부터 △t 만큼 앞선 위치의 FPD 기판(70S)의 상태가 위로 볼록한 정보를 미리 받아서 광학계이동부(50)가 상승하여 오토포커싱하는 상태이며, (C)의 라인스캔 카메라(10)는, △t 만큼 앞선 위치의 FPD 기판(70S)의 상태가 아래로 볼록할 경우에 광학계이동부(50)가 하강하여 오토포커싱하는 것을 도시한 것이다.
이와 같이 라인스캔 카메라(10)의 전면부 일측에 결합된 변위센서(30)는 라인스캔 카메라(10)의 진행방향보다 앞선 곳에 위치하여 FPD 기판(70, 70S)의 평탄도 정보를 미리 조사하여 제어부(60)로 정보를 보내줌으로써 라인스캔 카메라(10)는 이동과 동시에 실시간 오토포커싱을 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 압흔 검사기(1)에 의하여, 라인스캔 카메라(10)를 이동시키면서 FPD 기판(70)의 탭(75) 영역에 대한 압흔 검사를 실시할 수 있어 스테이지(20)가 이동 및 회전하는 복잡한 작동을 하지 않아도 되므로 종래보다 장비규모 및 설치공간을 줄일 수 있어 제조비용이 저렴해 질 수 있다.
또한, 변위센서(30)로부터 미리 FPD 기판(70)의 평탄도 정보를 입수함으로써 실시간 오토포커싱이 가능하도록 연속적으로 라인스캔 카메라(10)가 이동하면서 촬영할 수 있어 압흔 검사의 전체 택트 타임(Tact Time)이 감소될 뿐만 아니라 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있고 FPD 기판(70)의 대형화에 따른 처짐으로 인해 기판의 평탄도가 일정하지 못할 경우에도 적절한 한계에서 서치(Search)기능의 사용이 필요없이 실시간 오토포커싱으로 검사를 실시할 수 있어 전반적으로 검사효율을 높일 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압흔 검사기의 개략적인 사시도이다.
본 실시 예에서는 제1 실시 예와 다른 부분만을 설명하기로 하며, 제1 실시 예와 동일한 부분에는 동일한 참조부호를 부여하고 다른 부분에는 "a"를 첨가하여 설명하기로 한다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 압흔 검사기(1a)는, 상호 교차된 방향에서 리니어 모션(Linear Motion)이 되도록 구성된 광학계이동부(미도시)와, 광학계이동부(미도시)를 따라 각각 이동하는(X, Y) 2개의 라인스캔 카메라(10, 10a) 및 2개의 변위센서(30, 30a)를 구비한다.
따라서 제1 실시 예에서는 검사면이 하나(단변)였던 FPD 기판(70)을 검사할 수 있었던 압흔 검사기(1)와 달리, 본 실시 예의 압흔 검사기(2a)에서는 검사대상으로 양 측면(단변, 장변)에 각 탭(75, 75a)이 부착된 FPD 기판(70a)을 스테이지(20)에 안착시켜 검사할 수 있다.
이러한 구성으로, 검사대상으로 양 측면(단변, 장변)에 탭(75, 75a)이 부착된 FPD 기판(70a)을 스테이지(20)에 안착시켜 검사할 수 있다.
또한 2개의 라인스캔 카메라(10, 10a)와 2개의 변위센서(30, 30a)를 구비함으로써 단변에 부착된 탭(75) 영역과 장변에 부착된 탭(75a) 영역 모두를 동시에 검사할 수 있다.
따라서 전술한 제1 실시 예에서의 효과와 더불어 동시에 2개의 검사면을 검사할 수 있으므로 검사 속도를 보다 향상시킬 수 있어 종래보다 택트 타임(Tact Time)이 더욱 감소하여 검사 효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
이상 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하였으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
전술한 실시 예에서는, 변위센서가 라인스캔 카메라의 이동방향에 대해 라인스캔 카메라의 전면부 일측에 결합되어 함께 이동하는 것에 대하여 상술하였으나 변위센서가 라인스캔 카메라와 일체로 결합되지 않고 일정한 거리에 이격되어 이동 속도 등을 달리하면서 개별적으로 이동할 수 있게 마련되게 구성할 수도 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에 서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 압흔 검사의 전체 택트 타임(Tact Time)이 감소될 뿐만 아니라 오토포커싱의 트래킹(Tracking) 범위를 확대할 수 있고 기판의 대형화에 따른 처짐으로 인해 기판의 평탄도가 일정하지 못할 경우에도 효율적인 검사를 수행할 수 있으며 또한 장비규모 및 설치공간도 작아질 수 있다.

Claims (8)

  1. 일측에 부착된 탭(TAB) 영역에 대한 압흔 검사를 위한 압흔 검사 대상의 기판이 안착되는 스테이지;
    상기 기판의 압흔 검사 영역을 촬영하는 적어도 하나의 카메라;
    상기 카메라가 결합되며, 상기 스테이지에 대해 상기 카메라를 상대적으로 이동시키는 광학계이동부;
    상기 기판의 변위를 측정하되 상기 카메라의 이동방향에 대해 상기 카메라의 전방에 마련되는 적어도 하나의 변위센서; 및
    상기 기판의 압흔 검사 영역에 도달하기 전에 상기 기판의 압흔 검사 영역의 평탄도 정보를 상기 변위센서로부터 미리 입수하여 상기 카메라의 이동을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 기판의 압흔 검사 영역에 대한 상기 카메라의 실시간 오토포커싱이 가능하도록 상기 카메라의 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 카메라는 라인스캔 카메라와 에어리어 카메라 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 카메라의 촬영 시 상기 카메라의 이동 경로 상의 전체 영역에 대한 영상을 획득하도록 상기 카메라를 연속 이동시키는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 변위센서는 상기 압흔 검사 영역에 대한 상기 카메라의 이동 방향에 대해 전방에서 상기 카메라와 결합되어 상기 카메라와 실질적으로 일체로 이동되는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스테이지는 소정의 위치에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 LCD 기판, PDP 기판, OLED 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압흔 검사기.
KR1020060052915A 2006-06-13 2006-06-13 압흔 검사기 KR100785420B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060052915A KR100785420B1 (ko) 2006-06-13 2006-06-13 압흔 검사기
TW99139583A TWI435073B (zh) 2006-06-13 2007-06-11 基板支撐平台
TW96120956A TWI360651B (en) 2006-06-13 2007-06-11 Substrate inspecting apparatus
CN2007101108687A CN101089616B (zh) 2006-06-13 2007-06-12 基板检查设备
CN200910179862A CN101666760A (zh) 2006-06-13 2007-06-12 基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060052915A KR100785420B1 (ko) 2006-06-13 2006-06-13 압흔 검사기

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060134764A Division KR20070118939A (ko) 2006-06-13 2006-12-27 압흔 검사기

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100785420B1 true KR100785420B1 (ko) 2007-12-13

Family

ID=38943046

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060052915A KR100785420B1 (ko) 2006-06-13 2006-06-13 압흔 검사기

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100785420B1 (ko)
CN (2) CN101666760A (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102141693A (zh) * 2010-01-28 2011-08-03 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 辉度测试装置
KR101523531B1 (ko) * 2008-10-28 2015-05-29 재단법인 포항산업과학연구원 비접촉식 평탄도 검사장치 및 검사방법
CN113846305A (zh) * 2020-06-26 2021-12-28 佳能特机株式会社 对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质
KR20220046226A (ko) * 2020-10-07 2022-04-14 에이치비솔루션㈜ 유리패널 크랙 검사장치

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI489100B (zh) * 2013-04-30 2015-06-21 Crystalwise Technology 用光學辨識系統檢查基板污染的裝置及其方法
CN103888636A (zh) * 2014-03-03 2014-06-25 常州市赛嘉机械有限公司 快速平面图像采集器
CN111527371B (zh) * 2017-12-28 2022-07-08 日本电产理德股份有限公司 检查装置及检查方法
CN111239139B (zh) * 2020-01-21 2020-11-03 珠海锐翔智能科技有限公司 双工位fpc补材偏移、重贴/漏贴检查机

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08248443A (ja) * 1995-03-06 1996-09-27 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG129992A1 (en) * 2001-08-13 2007-03-20 Micron Technology Inc Method and apparatus for detecting topographical features of microelectronic substrates
US20040183900A1 (en) * 2003-03-20 2004-09-23 Everest Vit Method and system for automatically detecting defects in remote video inspection applications
JP4228778B2 (ja) * 2003-05-21 2009-02-25 ウシオ電機株式会社 パターン検査装置
US20060029257A1 (en) * 2004-08-03 2006-02-09 Honda Motor Co., Ltd. Apparatus for determining a surface condition of an object

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08248443A (ja) * 1995-03-06 1996-09-27 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101523531B1 (ko) * 2008-10-28 2015-05-29 재단법인 포항산업과학연구원 비접촉식 평탄도 검사장치 및 검사방법
CN102141693A (zh) * 2010-01-28 2011-08-03 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 辉度测试装置
CN113846305A (zh) * 2020-06-26 2021-12-28 佳能特机株式会社 对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质
CN113846305B (zh) * 2020-06-26 2023-08-08 佳能特机株式会社 对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质
KR20220046226A (ko) * 2020-10-07 2022-04-14 에이치비솔루션㈜ 유리패널 크랙 검사장치
KR102426842B1 (ko) * 2020-10-07 2022-07-29 에이치비솔루션㈜ 유리패널 크랙 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN101089616A (zh) 2007-12-19
CN101666760A (zh) 2010-03-10
CN101089616B (zh) 2010-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100785420B1 (ko) 압흔 검사기
KR100958204B1 (ko) 평판디스플레이 패널 검사 장비 및 방법
KR101505702B1 (ko) 전자부품 검사 방법과 이에 이용되는 장치
TWI335635B (en) Repair apparatus for substrate circuit of flat display panel
JP2011512539A (ja) ビジョン検査システム及びこれを利用した被検査体の検査方法
JP6522344B2 (ja) 高さ検出装置、塗布装置および高さ検出方法
KR102176254B1 (ko) 본딩 정렬을 위한 디바이스 및 방법
CN103620482A (zh) 缺陷检查装置和缺陷检查方法
CN105424721B (zh) 一种金属应变计缺陷自动检测系统
KR20190100616A (ko) 표면 결함 검사 장치
KR20070118939A (ko) 압흔 검사기
KR100797571B1 (ko) 복합 검사기
KR101977305B1 (ko) 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치
KR101924853B1 (ko) 디스플레이패널의 열화상 검사장치
JPH08327658A (ja) 基板検査装置
KR101533826B1 (ko) 표면 결함 검사 장치
TWI435073B (zh) 基板支撐平台
CN1438469A (zh) 线宽测定方法和线宽测定装置
KR101328609B1 (ko) 압흔 검사장치
KR100810581B1 (ko) 자동 압흔 검사장치 및 방법
CN109078863B (zh) 一种光学检测设备
CN112798611A (zh) 一种双工位线路板视觉检测系统
KR102563868B1 (ko) 표시소자의 검사장치
JP2022515493A (ja) マスク姿勢監視方法、装置及びマスク粒度検出機器
KR20190097768A (ko) 평판디스플레이 패널 검사 방법 및 장비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A107 Divisional application of patent
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121116

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131112

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151116

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee