KR101328609B1 - 압흔 검사장치 - Google Patents

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박기범
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Abstract

본 발명은 압흔 검사장치에 관한 것으로, 구체적으로는 ACF에 의해 유리기판에 IC필름이 부착된 후 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔 상태 등을 검사하는 과정에서 신속하고 정확한 검사하기 위하여 라인 체크부 및 검사부가 구동부에 의해 동시에 움직일 수 있도록 구성되는 압흔 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 지지대; 상기 지지대 상에 구비되며, 외측에서 로딩되는 기판이 안착되어 X축 또는 Y축 방향으로 이동가능하고, 상기 기판을 검사위치로 이송시키는 기판 이송부; 상기 이송부에 의하여 이송된 기판의 검사위치를 측정하는 얼라인 검사부; 상기 얼라인 검사부를 통하여 검사위치가 측정된 기판의 탭 본딩된 라인을 체크하는 라인 체크부; 상기 기판의 탭 본딩된 부분에 대한 영상정보를 얻는 검사부 및 상기 라인 체크부 및 검사부를 X축 또는 Y축으로 이동시키는 구동부를 포함한다.

Description

압흔 검사장치{Trace inspection device}
본 발명은 압흔 검사장치에 관한 것으로, 구체적으로는 ACF에 의해 유리기판에 IC필름이 부착된 후 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔 상태 등을 검사하는 과정에서 신속하고 정확한 검사하기 위하여 라인 체크부 및 검사부가 구동부에 의해 동시에 움직일 수 있도록 구성되는 압흔 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display)를 제조하는 공정은 유리 전자부품에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 TFT 공정과, 유리 전자부품에 배향막을 도포하고 액정을 주입함으로써 완제품 셀(cell)을 제작하는 셀공정과, 완성된 셀에 IC필름 및 PCB를 부착하고 백라이트유닛(back light unit) 및 하우징을 조립하는 모듈(module) 공정으로 이루어진다.
모듈 공정에서 액정표시장치에 IC필름 또는 칩(chip)을 본딩하는 방식은 크게 COG(Chip On Glass) 본딩과, TAB(Tape Automated Bonding) 본딩으로 나눌 수 있다.
그 중 TAB 본딩은 전원이 공급되도록 전원인가장치가 부착되어 있는 PCB 등의 회로기판과, 전극이 패터링(pattering)되어 있는 유리 기판이 서로 전기적으로 연결되도록 IC필름이나 칩이 부착되도록 본딩하는 것이다.
이때 상기한 유리기판 및 IC필름의 경우 서로 재질이 상이하기 때문에 각각을 부착할 때 ACF(Anisotropic Conductive File/이방성 도전 필름)를 이용하여 부착하게 된다.
상기한 ACF는 IC필름을 부착하는 역할뿐만 아니라 통전의 기능까지 하게 되는데, 상기 ACF는 열에 의해 경화되는 접착제와, 그 안에 미세한 도전(conductive)볼이 혼합된 양면테이프 형태로 구성된다.
따라서 상기 ACF에 고온의 압력이 가해지면 회로패턴의 패드와 맞닿는 부분의 도전볼은 파괴되어 요철면이 형성되고, 이때 파손된 도전볼은 패드 간을 전기적으로 연결하여 통전된다. 한편, 패드 부분 외에 요철 면의 나머지 부분은 접착제가 충진되어 있어 서로 접착이 되는 것이다.
상기한 바와 같이 TAB 본딩을 통하여 유리기판에 IC필름을 연결하는 공정에 있어서 ACF 내에 있는 도전볼의 깨짐 정도는 제품의 불량여부 판정에 크게 영향을 끼치는 요소이다.
따라서 ACF가 유리기판에 IC필름이 부착된 후, 압흔 검사장치를 이용하여 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔 상태(ACF 도전입자의 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포) 등을 검사하게 된다.
더욱이 유리기판 리드(lead)의 폭이 좁아지고 그에 따라 도전 볼의 크기도 점차 작아지고 있어 이에 대한 정확한 측정 및 검사가 필요하며, 특히, 전원공급을 매개체로 하는 도전볼들의 균일한 분포 및 수량이 안정적이어야 고효율의 디스플레이가 구현될 수 있기 때문에 신속하고 정확한 검사를 수행할 수 있는 압흔 검사장치가 필요한 실정이다.
공개특허 10-2010-0088338호
본 발명은 상기한 사정을 감안하여 발명된 것으로, 그 목적은 ACF을 통해 유리기판에 IC필름이 부착된 후 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔상태(ACF 도전입자의 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포) 등을 검사하는 과정에서 신속하고 정확한 검사하기 위하여 라인 체크부 및 검사부가 구동부에 의해 동시에 움직일 수 있도록 구성하고, 이로 인하여 검사장치가 차지하는 공간이 줄어들어 공간 확보가 용이한 압흔 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은 지지대; 상기 지지대 상에 구비되며, 외측에서 로딩되는 기판이 안착되어 X축 또는 Y축 방향으로 이동가능하고, 상기 기판을 검사위치로 이송시키는 기판 이송부; 상기 이송부에 의하여 이송된 기판의 검사위치를 측정하되, 일측에 고정되는 제1 카메라 및 상기 제1 카메라의 타측에 구비되고, 제3 X축 가이드에 의하여 X축 방향으로 가이딩되되, 미러를 통하여 기판을 촬영하는 제2 카메라를 포함하여 구성되는 얼라인 검사부; 상기 얼라인 검사부를 통하여 검사위치가 측정된 기판의 탭 본딩된 라인을 체크하는 라인 체크부; 상기 기판의 탭 본딩된 부분에 대한 영상정보를 얻는 검사부 및 상기 라인 체크부 및 검사부를 X축 또는 Y축으로 이동시키되, 상기 라인 체크부 및 검사부를 동시에 지지하는 지지판과, 상기 지지판의 하부와 결합되어 상기 라인 체크부 및 검사부를 X축 방향으로 가이딩하는 제2 X축 가이드 및 상기 제2 X축 가이드와 수직으로 교차되도록 결합되어 제2 X축 가이드를 따라 가이딩되는 제2 Y축 가이드를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 이송부는, X축 방향으로 가이딩되도록 구비되는 제1 X축 가이드; 상기 제1 X축 가이드와 수직으로 교차되도록 결합되어 상기 제1 X축 가이드를 따라 가이딩되는 제1 Y축 가이드 및 상기 제1 Y축 가이드를 따라 가이딩되며, 기판이 안착되는 스테이지를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 라인 체크부는, 상기 지지판의 상부에 구비되는 제3 X축 가이드; 상기 제3 X축 가이드를 따라 가이딩되는 제3 카메라 및 상기 제3 카메라의 타측에 상기 지지판에 고정되는 제4 카메라를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 제3 카메라 및 제4 카메라는, 각각이 Z축 방향으로 이동되도록 제1 Z축 가이드 및 제2 Z축 가이드를 더 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 검사부는, 내측에 소정공간의 형성되는 경통 및 상기 경통의 상부에 구비되는 렌즈로 구성되는 카메라; 상기 경통의 측부에 구비되어 빛을 조사하는 조명부 및 상기 렌즈 및 경통을 통하여 입사된 빛에 의하여 영상을 촬영하는 촬영부를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 카메라는, 그 일측에 결합되어 Z축 방향으로 가이딩 되도록 하는 제3 Z축 가이드를 더 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 검사부는, 상기 지지판의 라인 체크부의 일측에 구비되고 변위센서에 의해 기판과의 거리를 측정하여 카메라(41)의 초점을 설정하는 것을 특징으로 한다.
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일 실시예에 있어서, 상기 라인 체크부 및 검사부와, 스테이지는, 상기 스테이지의 이동방향에 대하여 상기 라인 체크부 및 검사부는 상기 스테이지의 이동방향에 반대로 진행되면서 탭 본딩된 라인 및 압흔을 검사하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 압흔 검사장치에 의하면, 라인 체크부 및 검사부가 동시에 움직일 수 있도록 각각이 지지판에 구비되므로 종래의 압흔 검사장치보다 그 규모가 작아지고 그로 인하여 공간확보가 용이한 효과가 있다.
또한, 라인 체크부 및 검사부와, 스테이지는, 서로 반대방향으로 진행되면서 탭 본딩된 라인 및 압흔을 검사하게 되므로 기판의 압흔 검사시간을 단축할 수 있게 되어 작업의 효율성이 높아지는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 압흔 검사장치의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 배면사시도이다.
도 3은 도 1에 구비되는 이송부의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 1에 구비되는 라인 체크부, 검사부 및 구동부의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4의 측면도이다.
도 6은 도 1의 얼라인 검사부의 모습을 나타낸 사시도이다.
본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공 되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명의 압흔 검사장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 압흔 검사장치의 모습을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 배면사시도이며, 도 3은 도 1에 구비되는 이송부의 모습을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 1에 구비되는 라인 체크부, 검사부 및 구동부의 모습을 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 4의 측면도이고, 도 6은 도 1의 얼라인 검사부의 모습을 나타낸 사시도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 압흔 검사장치는, 표면이 장방형으로 형성되는 지지대(100)가 구비된다. 상기 지지대(100)의 상부 가장자리 영역에는 프레임, 도어 등이 결합될 수 있으며, 그 외에 기타 부수적인 장치 등이 결합될 수 있다.
상기 지지대(100)의 상부에는 외측에서 로딩되는 기판이 안착되어 X축 또는 Y축 방향으로 이동가능하고, 상기 기판을 검사위치로 이송시키는 기판 이송부(10)가 구비된다.
상기 이송부(10)는, X축 방향으로 가이딩되도록 구비되는 제1 X축 가이드(11)와, 상기 제1 X축 가이드(11)와 수직으로 교차되도록 결합되어 상기 제1 X축 가이드(11)를 따라 가이딩되는 제1 Y축 가이드(12) 및 상기 제1 Y축 가이드(12)를 따라 가이딩되며, 기판이 안착되는 스테이지(13)로 구성된다. 상기한 제1 X축 가이드(11)와, 제1 Y축 가이드(12)는 통상적인 LM가이드의 구조로 구성되는 것으로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 스테이지(13)에는 기판을 진공으로 흡착되어 적치되도록 일종의 지그 역할을 하는 진공홀(14)이 형성될 수 있다. 상기 진공홀(14)은 스테이지(13)에 기판이 안착된 상태에서 상기 진공홀(14) 주위에 형성된 진공압에 의하여 기판을 지지하게 된다. 여기서 상기 기판의 전단부는 스테이지(13)로부터 소정거리 돌출되도록 안착된다.
한편, 상기 이송부(10)에 의하여 이송된 기판의 검사위치를 측정하는 얼라인 검사부(20)가 구비된다.
상기 얼라인 검사부(20)는, 일측에 고정되는 제1 카메라(21)와, 상기 제1 카메라(21)의 타측에 구비되되, 제3 X축 가이드(23)에 의하여 X축 방향으로 가이딩되는 제2 카메라(22)로 구성된다.
상기 얼라인 검사부(20)는, 상기한 지지대(100)의 일측단에 구비되는 'ㄱ'형상으로 형성되는 지지바(102)의 단부에 결합된다. 따라서 상기 기판의 상부에서 검사위치를 측정하게 되는 것이다.
또한, 상기 제2 카메라(22)의 전단부에는 미러(24)가 구비되어 하부에 위치하는 기판의 얼라인 즉 검사위치를 측정하게 되는데, 이때 상기 제1 카메라(21)는 수직방향으로 직접 기판을 촬영하고, 상기 제2 카메라(22)는 미러(24)를 통해 기판을 촬영하여 기판의 위치값을 제어부(미도시)로 전송하게 된다.
한편, 상기 얼라인 검사부(20)를 통하여 검사위치가 측정된 기판의 탭 본딩된 라인을 체크하는 라인 체크부(30)가 구비된다.
상기 라인 체크부(30)는, 상기 지지판(101)의 상부에 구비되는 제3 X축 가이드(33)와, 상기 제3 X축 가이드(33)를 따라 가이딩되는 제3 카메라(31)와, 상기 제3 카메라(31)의 타측에 상기 지지판(101)에 고정되는 제4 카메라(32)로 구성된다. 상기 제3 카메라(31)의 전단부에는 미러(36)가 구비된다.
또한, 상기 카메라(31) 및 제4 카메라(32)는, 각각이 Z축 방향으로 이동되도록 제1 Z축 가이드(34) 및 제2 Z축 가이드(35)가 더 구비될 수 있다.
따라서 상기 카메라(31) 및 제4 카메라(32)가 X축 및 Z축으로 이동될 수 있어 기판의 탭 본딩라인을 정확히 측정할 수 있게 된다.
한편, 상기 지지판(101)의 라인 체크부(30)의 일측에 구비되어 변위센서(43)에 의해 기판과의 거리를 측정하여 카메라(41)의 초점을 설정하고, 상기 기판의 탭 본딩된 부분에 대한 영상정보를 얻는 검사부(40)가 구비된다.
상기 검사부(40)는, 내측에 소정공간의 형성되는 경통(46) 및 상기 경통(46)의 상부에 구비되는 렌즈(45)로 구성되는 카메라(41)와, 상기 경통(46)의 측부에 구비되어 빛을 조사하는 조명부(42)와, 상기 렌즈(45) 및 경통(46)을 통하여 입사된 빛에 의하여 영상을 촬영하는 촬영부(47)로 구성된다.
따라서 상기 렌즈(45) 및 경통(46)을 통하여 입사된 기판의 압흔 영상을 촬영할 수 있게 된다. 또한, 상기 카메라(41)는 변위센서(43)에 의하여 감지되는 기판과 렌즈(45) 사이의 거리에 비례하여 승하강됨으로써 초점이 자동으로 조절될 수 있다.
상기 변위센서(45)는 렌즈(45)의 근접하는 영역에 위치되어 기판과 렌즈(45)의 거리를 측정하는 것이며, 다양한 종류의 변위센서가 적용될 수 있다. 예를 들어 레이저식 변위센서, 와전류형 변위 센서(eddy current type D.S.)와, 초음파 변위 센서(Ultrasonic D.S.)와, 광학식 변위센서와, 정전용량형 변위센서 등 다양한 변위센서가 적용될 수 있다.
상기 조명부(42)는, 예를 들어 LED 또는 할로겐 등이 적용될 수 있다.
또한, 상기 카메라(41)는 후면부에 제3 Z축 가이드(44)와 결합되어 Z축 방향으로 가이딩된다.
한편, 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)는, 구동부(50)에 의하여 X축 또는 Y축 방향으로 이동될 수 있는데 상기 구동부(50)는, 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)를 동시에 지지하는 지지판(101)과, 상기 지지판(101)의 하부와 결합되어 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)를 X축 방향으로 가이딩하는 제2 X축 가이드(51)와, 상기 제2 X축 가이드(51)와 수직으로 교차되도록 결합되어 제2 X축 가이드(51)를 따라 가이딩되는 제2 Y축 가이드(52)로 구성된다. 상기 제2 X축 가이드(51)와, 제2 Y축 가이드(52)는 통상적인 LM가이드의 구조로 구성되는 것으로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
따라서 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)가 X축 및 Y축으로 이동하면서 기판의 압흔 상태를 촬영할 수 있게 되는 것이다.
한편, 상기 제어부는 도면에 구체적으로 도시되지 않았지만, 얼라인 검사부(20), 라인 체크부(30) 및 검사부(40)로부터 얻어진 영상신호를 분석함으로서 검사영역의 압흔검사(ACF 도전볼의 압흔 개수, 압흔 강도, 압흔 길이, 압흔 분포)를 실시하도록 제어하며, 그 외에도 기판의 이물질 검사 등도 실시할 수 있도록 제어할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 압흡 검사장치의 작동상태에 대하여 살펴보기로 한다.
기판에 IC필름이 탭 본딩된 기판은 로딩수단을 통하여 상기 스테이지(13)의 상부면에 안착된다. 상기 기판의 전단부는 스테이지(13)로부터 소정거리 돌출되도록 안착된다. 이와 같이 안착된 기판은 상기 이송부(10)에 의해 얼라인 검사부(20)에 위치로 이송된다. 이 때 상기 제1 카메라(21) 및 제2 카메라(22)를 통하여 검사위치 정보를 제어부로 전송하게 된다.
상기 얼라인 검사부(20)에서 검사를 마친 기판은 이송부(10)에 의해 라인 체크부(30)로 이송된다. 이와 같이 라인 체크부(30)로 이송된 기판은 상기 기판의 탭 본딩된 라인을 체크하여 그 정보를 제어부로 보내게 된다.
이후 이송부(10)는 기판을 검사부(40)로 이송하게 된다. 상기 검사부(40)로 이송된 기판은 상기 얼라인 검사부(20) 및 라인 체크부(30)를 통하여 기판의 검사 위치정보 및 탭 본딩 라인 정보를 바탕으로 탭 본딩된 부분의 압흔을 검사하게 된다.
구체적으로는, 상기 검사부(40)에 도달한 기판은 상기 변위센서(43)가 기판과 렌즈(45) 사이의 거리를 측정하고, 그 측정된 값은 제어부에 전달되며, 상기 제어부는 이 값에 의하여 기판과 렌즈(45) 사이의 거리를 인식하고 연산한다. 이때 상기 제어부는 연산된 값에 의하여 제3 Z축 가이드(23)가 구동되어 상기 카메라(41)를 승하강 시키게 되며, 이로 인하여 상기 카메라(41)의 초점이 조절될 수 있게 된다.
여기서 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)와, 스테이지(13)는, 서로 반대방향으로 진행되면서 탭 본딩된 라인 및 압흔을 검사하게 된다. 예를 들어 상기 스테이지(13)는 우측에서 좌측으로, 라인 체크부(30) 및 검사부(40)는 좌측에서 우측으로 이동하게 되어 검사를 진행할 수 있다. 따라서 기판의 압흔 검사시간을 단축할 수 있게 되어 작업의 효율성이 높아지게 된다.
또한, 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)가 동시에 움직일 수 있도록 각각이 지지판(101)에 구비되므로 종래의 압흔 검사장치보다 그 규모가 작아지고 그로 인하여 공간확보가 용이하게 되는 것이다.
이상에서 설명된 본 발명의 압흔 검사장치의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10 : 이송부 11 : 제1 X축 가이드
12 : 제1 Y축 가이드 13 : 스테이지
20 : 얼라인 검사부 21 : 제1 카메라
22 : 제2 카메라 23 : 제3 X축 가이드
24 : 미러 30 : 라인체크부
31 : 제3 카메라 32 : 제4 카메라
33 : 제3 X축 가이드 34 : 제1 Z축 가이드
35 : 제2 Z축 가이드 36 : 미러
40 : 검사부 41 : 카메라
42 : 조명부 43 : 변위센서
44 : 제3 Z축 가이드 45 : 렌즈
46 : 경통 50 : 구동부
51 : 제2 X축 가이드 52 : 제2 Y축 가이드
100 : 지지대 101 : 지지판
102 : 지지바

Claims (10)

  1. 지지대(100);
    상기 지지대(100) 상에 구비되며, 외측에서 로딩되는 기판이 안착되어 X축 또는 Y축 방향으로 이동가능하고, 상기 기판을 검사위치로 이송시키는 기판 이송부(10);
    상기 이송부(10)에 의하여 이송된 기판의 검사위치를 측정하되, 일측에 고정되는 제1 카메라(21) 및 상기 제1 카메라(21)의 타측에 구비되고, 제3 X축 가이드(23)에 의하여 X축 방향으로 가이딩되되, 미러(24)를 통하여 기판을 촬영하는 제2 카메라(22)를 포함하여 구성되는 얼라인 검사부(20);
    상기 얼라인 검사부(20)를 통하여 검사위치가 측정된 기판의 탭 본딩된 라인을 체크하는 라인 체크부(30);
    상기 기판의 탭 본딩된 부분에 대한 영상정보를 얻는 검사부(40) 및
    상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)를 X축 또는 Y축으로 이동시키되, 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)를 동시에 지지하는 지지판(101)과, 상기 지지판(101)의 하부와 결합되어 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)를 X축 방향으로 가이딩하는 제2 X축 가이드(51) 및 상기 제2 X축 가이드(51)와 수직으로 교차되도록 결합되어 제2 X축 가이드(51)를 따라 가이딩되는 제2 Y축 가이드(52)를 포함하여 구성되는 구동부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 이송부(10)는,
    X축 방향으로 가이딩되도록 구비되는 제1 X축 가이드(11);
    상기 제1 X축 가이드(11)와 수직으로 교차되도록 결합되어 상기 제1 X축 가이드(11)를 따라 가이딩되는 제1 Y축 가이드(12) 및
    상기 제1 Y축 가이드(12)를 따라 가이딩되며, 기판이 안착되는 스테이지(13)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 라인 체크부(30)는,
    상기 지지판(101)의 상부에 구비되는 제3 X축 가이드(33);
    상기 제3 X축 가이드(33)를 따라 가이딩되는 제3 카메라(31) 및
    상기 제3 카메라(31)의 타측에 상기 지지판(101)에 고정되는 제4 카메라(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    제3 카메라(31) 및 제4 카메라(32)는,
    각각이 Z축 방향으로 이동되도록 제1 Z축 가이드(34) 및 제2 Z축 가이드(35)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 검사부(40)는,
    내측에 소정공간의 형성되는 경통(46) 및 상기 경통(46)의 상부에 구비되는 렌즈(45)로 구성되는 카메라(41);
    상기 경통(46)의 측부에 구비되어 빛을 조사하는 조명부(42) 및
    상기 렌즈(45) 및 경통(46)을 통하여 입사된 빛에 의하여 영상을 촬영하는 촬영부(47)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 카메라(41)는,
    그 일측에 결합되어 Z축 방향으로 가이딩 되도록 하는 제3 Z축 가이드(44)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  7. 제1 항 또는 제5 항에 있어서,
    상기 검사부(40)는,
    상기 지지판(101)의 라인 체크부(30)의 일측에 구비되고 변위센서(43)에 의해 기판과의 거리를 측정하여 카메라(41)의 초점을 설정하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)와, 스테이지(13)는,
    상기 스테이지(13)의 이동방향에 대하여 상기 라인 체크부(30) 및 검사부(40)는 상기 스테이지(13)의 이동방향에 반대로 진행되면서 탭 본딩된 라인 및 압흔을 검사하는 것을 특징으로 하는 압흔 검사장치.
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