JPH08248443A - Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法 - Google Patents
Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法Info
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- JPH08248443A JPH08248443A JP7231295A JP7231295A JPH08248443A JP H08248443 A JPH08248443 A JP H08248443A JP 7231295 A JP7231295 A JP 7231295A JP 7231295 A JP7231295 A JP 7231295A JP H08248443 A JPH08248443 A JP H08248443A
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- Japan
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- tft substrate
- infrared camera
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＴＦＴ基板に対して赤外線カメラを容易かつ
正確に合焦させる。 【構成】 赤外線カメラ３にレーザ距離計８を付加し、
予め、適当なテスト板１’を載置台４に載置し、これに
対して赤外線カメラ３を合焦させ、この合焦位置におけ
るレーザ距離計８のテスト板に対する距離Ｌ2 を測定し
てメモリ（ＭＥＭ）９a に記憶し、短絡検査において
は、被検査のＴＦＴ基板１に対して、赤外線カメラ３を
Ｚ移動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止し、この停
止位置におけるレーザ距離計８のＴＦＴ基板１に対する
距離Ｌ2 ’を測定し、距離Ｌ2 と距離Ｌ2 ’との差（Ｌ
2 −Ｌ2 ’）＝ΔＬを求め、赤外線カメラ３をΔＬ分Ｚ
移動してＴＦＴ基板１に正確に合焦させる。
正確に合焦させる。 【構成】 赤外線カメラ３にレーザ距離計８を付加し、
予め、適当なテスト板１’を載置台４に載置し、これに
対して赤外線カメラ３を合焦させ、この合焦位置におけ
るレーザ距離計８のテスト板に対する距離Ｌ2 を測定し
てメモリ（ＭＥＭ）９a に記憶し、短絡検査において
は、被検査のＴＦＴ基板１に対して、赤外線カメラ３を
Ｚ移動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止し、この停
止位置におけるレーザ距離計８のＴＦＴ基板１に対する
距離Ｌ2 ’を測定し、距離Ｌ2 と距離Ｌ2 ’との差（Ｌ
2 −Ｌ2 ’）＝ΔＬを求め、赤外線カメラ３をΔＬ分Ｚ
移動してＴＦＴ基板１に正確に合焦させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＴＦＴ基板の短絡検
査装置における赤外線カメラの合焦方法に関する。
査装置における赤外線カメラの合焦方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルに使用されているＴＦＴ基板
は、これに欠陥が存在すると性能が劣化するので検査装
置により検査されている。図２はＴＦＴ基板と、これに
対する制御回路の概略の構成を示す。図２において、Ｔ
ＦＴ基板１は、ゲート線Ｇ1,Ｇ2 ……とデータ線（ドレ
イン線ともいう）Ｄ1,Ｄ2 ……とが互いに接触すること
なく格子状に配線され、各格子内にはＴＦＴ素子、ＩＴ
Ｏ電極膜およびコンデンサＣが形成され、図示のように
接続して構成される。なお各格子の間隔は０．１ｍｍ程
度であり、ゲート線Ｇとデータ線Ｄの幅は数μｍであ
る。ＴＦＴ基板制御回路２は走査回路２a とデータ回路
２b よりなり、各ゲート線Ｇは走査回路２a に接続され
て適当なタイミングで走査される。これに対して各デー
タ線Ｄはデータ回路２b に接続され、これより与えられ
るデータにより、ＴＦＴ素子をＯＮ，ＯＦＦしてコンデ
ンサＣを充放電し、ＩＴＯ電極膜の電位を変化する。こ
の電位変化により、カラーフィルタに対する照明光の透
過と遮断が制御されてデータに対応した映像がえられる
ものである。
は、これに欠陥が存在すると性能が劣化するので検査装
置により検査されている。図２はＴＦＴ基板と、これに
対する制御回路の概略の構成を示す。図２において、Ｔ
ＦＴ基板１は、ゲート線Ｇ1,Ｇ2 ……とデータ線（ドレ
イン線ともいう）Ｄ1,Ｄ2 ……とが互いに接触すること
なく格子状に配線され、各格子内にはＴＦＴ素子、ＩＴ
Ｏ電極膜およびコンデンサＣが形成され、図示のように
接続して構成される。なお各格子の間隔は０．１ｍｍ程
度であり、ゲート線Ｇとデータ線Ｄの幅は数μｍであ
る。ＴＦＴ基板制御回路２は走査回路２a とデータ回路
２b よりなり、各ゲート線Ｇは走査回路２a に接続され
て適当なタイミングで走査される。これに対して各デー
タ線Ｄはデータ回路２b に接続され、これより与えられ
るデータにより、ＴＦＴ素子をＯＮ，ＯＦＦしてコンデ
ンサＣを充放電し、ＩＴＯ電極膜の電位を変化する。こ
の電位変化により、カラーフィルタに対する照明光の透
過と遮断が制御されてデータに対応した映像がえられる
ものである。
【０００３】ＴＦＴ基板１の欠陥は種々あるが、その中
には、ゲート線Ｇとデータ線Ｄの交点の短絡欠陥があ
る。これを図３により説明する。図２において、例えば
ゲート線Ｇ2 とデータ線Ｄ1 の交点Ｐ21が短絡したとす
る。この短絡により、ゲート線Ｇ2 とデータ線Ｄ1 に接
続されているコンデンサＣとＴＦＴ基板とが、すべて動
作不能となるので影響するところが大きい。このような
短絡欠陥は短絡検査装置により検査され、可能なときは
修理されている。
には、ゲート線Ｇとデータ線Ｄの交点の短絡欠陥があ
る。これを図３により説明する。図２において、例えば
ゲート線Ｇ2 とデータ線Ｄ1 の交点Ｐ21が短絡したとす
る。この短絡により、ゲート線Ｇ2 とデータ線Ｄ1 に接
続されているコンデンサＣとＴＦＴ基板とが、すべて動
作不能となるので影響するところが大きい。このような
短絡欠陥は短絡検査装置により検査され、可能なときは
修理されている。
【０００４】図３は短絡検査装置１０の概略の構成を示
す。短絡検査装置１０は、レンズ系３a を有し、Ｚ移動
機構３b によりＺ移動する赤外線カメラ３と、ＸＹ移動
機構４a によりＸ，Ｙ移動する載置台４、両移動機構３
b,４a に対する移動制御部５、画像処理部６、およびプ
リンタ（ＰＲＮＴ）７よりなる。レンズ系３a は焦点距
離Ｌ1 を有し、その焦点深度±δＬはかなり浅いものが
使用されている。検査においては、載置台４にＴＦＴ基
板１を載置し、これに対して、赤外線カメラ３をＺ移動
機構３b によりＺ移動して合焦させる。ついで移動制御
部５によりＸＹ移動機構４a を制御してＴＦＴ基板１を
ＸまたはＹ方向に移動し、ＴＦＴ基板１を複数に分割し
た領域に赤外線カメラ３を順次に対応させて、いわゆる
分割検査を行う。一方ＴＦＴ基板１には、図４に示すよ
うに、各データ線Ｄを接地し、各ゲート線Ｇに対して試
験電圧ＶS を加圧する。例えば交点Ｐ21が短絡している
と、これが発熱して放射する赤外線が赤外線カメラ３に
より撮像され、その画像信号は画像処理部６により処理
されて短絡した交点Ｐ21と、その位置が検出される。こ
の検出データに対して移動機構５より領域番号が付加さ
れて、プリンタ７にプリントされ、これを参照して短絡
点Ｐ21が修理される。なお、上記の移動制御部５による
ＸＹ移動機構４a とＺ移動機構３b の移動制御は自動化
され、赤外線カメラ３はオートフォーカスされる。
す。短絡検査装置１０は、レンズ系３a を有し、Ｚ移動
機構３b によりＺ移動する赤外線カメラ３と、ＸＹ移動
機構４a によりＸ，Ｙ移動する載置台４、両移動機構３
b,４a に対する移動制御部５、画像処理部６、およびプ
リンタ（ＰＲＮＴ）７よりなる。レンズ系３a は焦点距
離Ｌ1 を有し、その焦点深度±δＬはかなり浅いものが
使用されている。検査においては、載置台４にＴＦＴ基
板１を載置し、これに対して、赤外線カメラ３をＺ移動
機構３b によりＺ移動して合焦させる。ついで移動制御
部５によりＸＹ移動機構４a を制御してＴＦＴ基板１を
ＸまたはＹ方向に移動し、ＴＦＴ基板１を複数に分割し
た領域に赤外線カメラ３を順次に対応させて、いわゆる
分割検査を行う。一方ＴＦＴ基板１には、図４に示すよ
うに、各データ線Ｄを接地し、各ゲート線Ｇに対して試
験電圧ＶS を加圧する。例えば交点Ｐ21が短絡している
と、これが発熱して放射する赤外線が赤外線カメラ３に
より撮像され、その画像信号は画像処理部６により処理
されて短絡した交点Ｐ21と、その位置が検出される。こ
の検出データに対して移動機構５より領域番号が付加さ
れて、プリンタ７にプリントされ、これを参照して短絡
点Ｐ21が修理される。なお、上記の移動制御部５による
ＸＹ移動機構４a とＺ移動機構３b の移動制御は自動化
され、赤外線カメラ３はオートフォーカスされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の短絡検査
装置１０においては、ＴＦＴ基板１に対する赤外線カメ
ラ３の合焦は、かならずしも容易ではない。その理由
は、赤外線カメラ３は赤外線のみに感度があり、可視光
は無感であるため、ＴＦＴ基板１に短絡点がないときは
合焦できない。また、レンズ系３a は焦点深度δＬが浅
く、ＴＦＴ基板１の厚さには僅かではあるがバラツキが
あるなどのため、赤外線カメラ３を機械的に焦点距離Ｌ
1 の位置に設定しても正確に合焦せず、従って短絡点の
映像がボケてその検出に支障する。そこで、赤外線カメ
ラ３を容易かつ正確に合焦させるなんらかの手段が必要
である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、ＴＦ
Ｔ基板１に対して赤外線カメラ３を、容易かつ正確に合
焦させる方法を提供することを目的とする。
装置１０においては、ＴＦＴ基板１に対する赤外線カメ
ラ３の合焦は、かならずしも容易ではない。その理由
は、赤外線カメラ３は赤外線のみに感度があり、可視光
は無感であるため、ＴＦＴ基板１に短絡点がないときは
合焦できない。また、レンズ系３a は焦点深度δＬが浅
く、ＴＦＴ基板１の厚さには僅かではあるがバラツキが
あるなどのため、赤外線カメラ３を機械的に焦点距離Ｌ
1 の位置に設定しても正確に合焦せず、従って短絡点の
映像がボケてその検出に支障する。そこで、赤外線カメ
ラ３を容易かつ正確に合焦させるなんらかの手段が必要
である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、ＴＦ
Ｔ基板１に対して赤外線カメラ３を、容易かつ正確に合
焦させる方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、ＴＦＴ基板
に対する赤外線カメラの合焦方法であって、前記の短絡
検査装置の赤外線カメラにレーザ距離計を付加して固定
する。予め、所定の位置に明瞭な短絡点を有するＴＦＴ
基板をテスト板として載置台に載置し、テスト板に対し
て赤外線カメラを合焦し、この合焦位置におけるレーザ
距離計のテスト板に対する距離Ｌ2 を測定して記憶す
る。短絡検査においては、載置台に載置された被検査の
ＴＦＴ基板に対して、赤外線カメラをＺ移動して焦点距
離Ｌ1 の概略の位置に停止し、この停止位置におけるレ
ーザ距離計のＴＦＴ基板に対する距離Ｌ2 ’を測定し、
測定された距離Ｌ2 ’と記憶された距離Ｌ2 との差（Ｌ
2 −Ｌ2 ’）＝ΔＬを求め、ΔＬ分赤外線カメラをＺ移
動してＴＦＴ基板に合焦させるものである。
に対する赤外線カメラの合焦方法であって、前記の短絡
検査装置の赤外線カメラにレーザ距離計を付加して固定
する。予め、所定の位置に明瞭な短絡点を有するＴＦＴ
基板をテスト板として載置台に載置し、テスト板に対し
て赤外線カメラを合焦し、この合焦位置におけるレーザ
距離計のテスト板に対する距離Ｌ2 を測定して記憶す
る。短絡検査においては、載置台に載置された被検査の
ＴＦＴ基板に対して、赤外線カメラをＺ移動して焦点距
離Ｌ1 の概略の位置に停止し、この停止位置におけるレ
ーザ距離計のＴＦＴ基板に対する距離Ｌ2 ’を測定し、
測定された距離Ｌ2 ’と記憶された距離Ｌ2 との差（Ｌ
2 −Ｌ2 ’）＝ΔＬを求め、ΔＬ分赤外線カメラをＺ移
動してＴＦＴ基板に合焦させるものである。
【０００７】
【作用】上記の合焦方法においては、赤外線カメラに付
加されたレーザ距離計は、赤外線カメラとともにＺ移動
する。予め、載置台に載置されたテスト板の短絡点に赤
外線カメラを合焦させる。この短絡点は明瞭で所定の位
置にあり、赤外線カメラの画像信号の波形を観察しなが
らＺ移動を繰り返すことにより正確に合焦することがで
きる。ついで、この合焦位置におけるレーザ距離計のテ
スト板に対する距離Ｌ2 がレーザ距離計自身により測定
されメモリに記憶される。短絡検査においては、載置台
に載置された被検査のＴＦＴ基板に対して、赤外線カメ
ラはＺ移動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止され、
この停止位置におけるレーザ距離計のＴＦＴ基板に対す
る距離Ｌ2 ’が、やはり自身により測定される。この距
離Ｌ2 ’と上記の距離Ｌ2 との差（Ｌ2 -Ｌ2 ’）＝Δ
Ｌを求めて、ΔＬ分赤外線カメラをＺ移動するとＴＦＴ
基板に正確に合焦する。
加されたレーザ距離計は、赤外線カメラとともにＺ移動
する。予め、載置台に載置されたテスト板の短絡点に赤
外線カメラを合焦させる。この短絡点は明瞭で所定の位
置にあり、赤外線カメラの画像信号の波形を観察しなが
らＺ移動を繰り返すことにより正確に合焦することがで
きる。ついで、この合焦位置におけるレーザ距離計のテ
スト板に対する距離Ｌ2 がレーザ距離計自身により測定
されメモリに記憶される。短絡検査においては、載置台
に載置された被検査のＴＦＴ基板に対して、赤外線カメ
ラはＺ移動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止され、
この停止位置におけるレーザ距離計のＴＦＴ基板に対す
る距離Ｌ2 ’が、やはり自身により測定される。この距
離Ｌ2 ’と上記の距離Ｌ2 との差（Ｌ2 -Ｌ2 ’）＝Δ
Ｌを求めて、ΔＬ分赤外線カメラをＺ移動するとＴＦＴ
基板に正確に合焦する。
【０００８】
【実施例】図１は、この発明の一実施例における短絡検
査装置１０’の構成を示す。短絡検査装置１０’は、前
記した図３の短絡検査装置１０に対して、レーザ距離計
８と、メモリ（ＭＥＭ）９a を有する移動量算出回路９
を付加し、レーザ距離計８は赤外線カメラ３の適当な位
置に固定し、移動量算出回路９は赤外線カメラ３と移動
制御部５に接続して構成される。
査装置１０’の構成を示す。短絡検査装置１０’は、前
記した図３の短絡検査装置１０に対して、レーザ距離計
８と、メモリ（ＭＥＭ）９a を有する移動量算出回路９
を付加し、レーザ距離計８は赤外線カメラ３の適当な位
置に固定し、移動量算出回路９は赤外線カメラ３と移動
制御部５に接続して構成される。
【０００９】以下図１により、短絡検査装置１０’にお
ける赤外線カメラ３の合焦手順を説明する。まず、所定
の位置に明瞭な短絡点を有するＴＦＴ基板を用意し、こ
れをテスト板１’として載置台４に載置する。この短絡
点を赤外線カメラ３により撮像し、その画像信号の波形
を適当な表示器（図示省略）に表示し、これを観察しな
がら、赤外線カメラ３をＺ移動して波形が尖鋭となる位
置、すなわち正確な合焦位置に停止する。ついで、この
合焦位置におけるレーザ距離計８とテスト板１’の距離
Ｌ2 を、レーザ距離計８自身で測定し、距離Ｌ2 のデー
タを移動量算出回路９のメモリ（ＭＥＭ）９a に記憶す
る。なお、この距離Ｌ2 はレーザ距離計８の固有値であ
るから、複数の被検査ＴＦＴ基板１に対して共通に適用
される。短絡検査においては、被検査のＴＦＴ基板１を
載置台４に載置し、これに対して赤外線カメラ３をＺ移
動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止すると、ＴＦＴ
基板１に対して合焦するか、ほぼ合焦するか、またはま
ったく合焦しないか、いずれにしても構わない。ここで
ＴＦＴ基板１に対するレーザ距離計８の距離Ｌ2 ’を自
身で測定し、このデータを移動量算出回路９に入力し、
上記の記憶されている距離Ｌ2 との差（Ｌ2 −Ｌ2 ’）
＝ΔＬを算出する。このΔＬのデータを移動制御部５に
渡してＺ移動機構３a を制御すると、赤外線カメラ３は
ΔＬ分Ｚ移動してＴＦＴ基板１に合焦する。ただし、合
焦は焦点深度±δＬの範囲内でよいので、Ｚ移動量は
（ΔＬ±δＬ）の範囲内としてよい。以上の赤外線カメ
ラ３の合焦は各ＴＦＴ基板１に対して順次になされて、
従来と同様に短絡が検査される。
ける赤外線カメラ３の合焦手順を説明する。まず、所定
の位置に明瞭な短絡点を有するＴＦＴ基板を用意し、こ
れをテスト板１’として載置台４に載置する。この短絡
点を赤外線カメラ３により撮像し、その画像信号の波形
を適当な表示器（図示省略）に表示し、これを観察しな
がら、赤外線カメラ３をＺ移動して波形が尖鋭となる位
置、すなわち正確な合焦位置に停止する。ついで、この
合焦位置におけるレーザ距離計８とテスト板１’の距離
Ｌ2 を、レーザ距離計８自身で測定し、距離Ｌ2 のデー
タを移動量算出回路９のメモリ（ＭＥＭ）９a に記憶す
る。なお、この距離Ｌ2 はレーザ距離計８の固有値であ
るから、複数の被検査ＴＦＴ基板１に対して共通に適用
される。短絡検査においては、被検査のＴＦＴ基板１を
載置台４に載置し、これに対して赤外線カメラ３をＺ移
動して焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止すると、ＴＦＴ
基板１に対して合焦するか、ほぼ合焦するか、またはま
ったく合焦しないか、いずれにしても構わない。ここで
ＴＦＴ基板１に対するレーザ距離計８の距離Ｌ2 ’を自
身で測定し、このデータを移動量算出回路９に入力し、
上記の記憶されている距離Ｌ2 との差（Ｌ2 −Ｌ2 ’）
＝ΔＬを算出する。このΔＬのデータを移動制御部５に
渡してＺ移動機構３a を制御すると、赤外線カメラ３は
ΔＬ分Ｚ移動してＴＦＴ基板１に合焦する。ただし、合
焦は焦点深度±δＬの範囲内でよいので、Ｚ移動量は
（ΔＬ±δＬ）の範囲内としてよい。以上の赤外線カメ
ラ３の合焦は各ＴＦＴ基板１に対して順次になされて、
従来と同様に短絡が検査される。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の合焦方
法においては、赤外線カメラにレーザ距離計を付加し、
適当なテスト板を使用することにより、従来困難であっ
たＴＦＴ基板に対する合焦が容易かつ正確になされるも
ので、ＴＦＴ基板の短絡検査の信頼性の向上に寄与する
効果には大きいものがある。
法においては、赤外線カメラにレーザ距離計を付加し、
適当なテスト板を使用することにより、従来困難であっ
たＴＦＴ基板に対する合焦が容易かつ正確になされるも
ので、ＴＦＴ基板の短絡検査の信頼性の向上に寄与する
効果には大きいものがある。
【図１】図１は、この発明の一実施例における短絡検査
装置の構成図である。
装置の構成図である。
【図２】図２は、ＴＦＴ基板と、これに対する制御回路
の概略の構成を示す。
の概略の構成を示す。
【図３】図３は、従来の短絡検査装置の概略構成図であ
る。
る。
【図４】図４は、ＴＦＴ基板の短絡検査方法に対する補
助説明図である。
助説明図である。
１…ＴＦＴ基板、１’…テスト板、２…ＴＦＴ基板制御
回路、２a …走査回路、２b …データ回路、３…赤外線
カメラ、３a …レンズ系、３b …Ｚ移動機構、４…載置
台、４a …ＸＹ移動機構、５…移動制御部、６…画像処
理部、７…プリンタ（ＰＲＮＴ）、８…レーザ距離計、
９…移動量算出回路、９a …メモリ（ＭＥＭ）、Ｇ…ゲ
ート線、Ｄ…データ線（またはドレイン線）、Ｐ…ゲー
ト線とデータ線の交点、１０…従来の短絡検査装置、１
０’…この発明を適用した短絡検査装置。
回路、２a …走査回路、２b …データ回路、３…赤外線
カメラ、３a …レンズ系、３b …Ｚ移動機構、４…載置
台、４a …ＸＹ移動機構、５…移動制御部、６…画像処
理部、７…プリンタ（ＰＲＮＴ）、８…レーザ距離計、
９…移動量算出回路、９a …メモリ（ＭＥＭ）、Ｇ…ゲ
ート線、Ｄ…データ線（またはドレイン線）、Ｐ…ゲー
ト線とデータ線の交点、１０…従来の短絡検査装置、１
０’…この発明を適用した短絡検査装置。
Claims (1)
- 【請求項１】焦点距離Ｌ1 のレンズ系を有し、Ｚ移動機
構によりＺ移動する赤外線カメラと、液晶パネル用のＴ
ＦＴ基板を載置する載置台とを具備し、該載置台に載置
されたＴＦＴ基板のデータ線とゲートの交点が短絡によ
り発熱した赤外線を、該赤外線カメラにより撮像し、そ
の画像信号を画像処理して該短絡点を検出する短絡検査
装置において、 前記赤外線カメラにレーザ距離計を付加して固定し、予
め、所定の位置に明瞭な短絡点を有するＴＦＴ基板をテ
スト板として前記載置台に載置し、該テスト板の短絡点
に対して該赤外線カメラを合焦し、該合焦位置における
該レーザ距離計の該テスト板に対する距離Ｌ2 を測定し
て記憶し、短絡検査においては、前記載置台に載置され
た被検査のＴＦＴ基板に対して、該赤外線カメラをＺ移
動して前記焦点距離Ｌ1 の概略の位置に停止し、該停止
位置における該レーザ距離計の該ＴＦＴ基板に対する距
離Ｌ2 ’を測定し、該測定された距離Ｌ2 ’と前記記憶
された距離Ｌ2 との差（Ｌ2 −Ｌ2 ’）＝ΔＬを求め、
該ΔＬ分前記赤外線カメラをＺ移動して、該ＴＦＴ基板
に合焦させることを特徴とする、ＴＦＴ基板に対する赤
外線カメラの合焦方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7231295A JPH08248443A (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7231295A JPH08248443A (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08248443A true JPH08248443A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=13485638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7231295A Pending JPH08248443A (ja) | 1995-03-06 | 1995-03-06 | Ｔｆｔ基板に対する赤外線カメラの合焦方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08248443A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100785420B1 (ko) * | 2006-06-13 | 2007-12-13 | 주식회사 에스에프에이 | 압흔 검사기 |
| JP2012508927A (ja) * | 2008-11-17 | 2012-04-12 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 高速光学コード読取 |
| US8275188B2 (en) | 2007-12-31 | 2012-09-25 | Cheng Mei Instrument Technology Co., Ltd. | System and method for inspecting chips in a tray |
| WO2018068505A1 (zh) * | 2016-10-13 | 2018-04-19 | 华为技术有限公司 | 终端设备、对焦方法及装置 |
-
1995
- 1995-03-06 JP JP7231295A patent/JPH08248443A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100785420B1 (ko) * | 2006-06-13 | 2007-12-13 | 주식회사 에스에프에이 | 압흔 검사기 |
| US8275188B2 (en) | 2007-12-31 | 2012-09-25 | Cheng Mei Instrument Technology Co., Ltd. | System and method for inspecting chips in a tray |
| JP2012508927A (ja) * | 2008-11-17 | 2012-04-12 | 株式会社オプトエレクトロニクス | 高速光学コード読取 |
| WO2018068505A1 (zh) * | 2016-10-13 | 2018-04-19 | 华为技术有限公司 | 终端设备、对焦方法及装置 |
| US11209719B2 (en) | 2016-10-13 | 2021-12-28 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Terminal device, focusing method, and focusing apparatus |
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