KR101440310B1

KR101440310B1 - 패널의 자동 압흔 검사장치

Info

Publication number: KR101440310B1
Application number: KR1020130014095A
Authority: KR
Inventors: 김성민; 이청용; 조원우
Original assignee: 세광테크 주식회사
Priority date: 2013-02-07
Filing date: 2013-02-07
Publication date: 2014-09-18
Also published as: KR20140101066A

Abstract

본 발명은 패널의 모든 검사고정을 일률적으로 자동화하여 패널을 효율적으로 검사하고 패널을 동시다발적으로 검사하면서 패널의 정밀한 검사를 제공하도록, 패널을 전공정으로부터 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부에 의해 로딩된 패널을 촬영가능하게 설치되고 패널을 촬영한 영상정보에 의하여 패널 상의 칩 부착상태 및 압흔상태를 검사하는 검사부와; 상기 검사부에 의해 검사된 패널이 공급되면 상기 검사부의 검사판정 여부에 따라 각각 패널을 구분하여 후공정으로 배출하는 언로딩부와; 상기 로딩부, 검사부, 언로딩부를 향해 패널을 순차적으로 공급하도록 패널을 픽업한 후 X축 방향으로 이동가능하게 형성되는 이송부;를 포함하고, 상기 검사부는 상기 이송부에 의해 공급된 패널을 검사가능한 상태로 얼라인한 후 고정하는 교정유닛과, 상기 교정유닛으로부터 얼라인 조정된 패널을 촬영하여 검사하는 검사유닛을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 제공한다.

Description

패널의 자동 압흔 검사장치 {Apparatus for Auto Testing Trace of Pannel}

본 발명은 패널의 자동 압흔 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패널의 모든 검사공정을 일률적으로 자동화하여 패널을 효율적으로 검사하고 패널을 동시다발적으로 검사하면서 패널의 정밀한 검사를 도모하는 것이 가능한 패널의 자동 압흔 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 휴대폰, 노트북, PDA, 네비게이션 등과 같은 휴대용 전자기기에는 액정화면을 구동시키되 저전압 구동, 저소비 전력, 풀 칼라 구현 등의 특징을 실현할 수 있도록 패널의 내부에 다양한 형태의 고밀도 반도체칩을 실장하여 사용한다.

이러한 고밀도의 반도체칩을 패널 상에 실장하기 위한 방식으로는 COG(chip on glass)방식, FOG(film on glass)방식, COF(chip on flex)방식, TFOG(touch film on glass)방식, OLB(outer lead bonding)방식 등이 적용되는 실장설비로부터 실장될 수 있다.

상기와 같은 다양한 실장방식에 의한 공정은 통상적으로 패널의 전극에 절연성의 고분자물질인 이방성 도전 필름(이하, ACF라고 함)을 부착하고, ACF상에 반도체칩을 배치한 후 적절한 압력으로 가압함에 따라 범프(bump)와 LCD 패널의 전극이 접촉하여 서로 도통하게 제조하는 방식이다.

이처럼 패널 상에 반도체칩을 실장하는 다양한 공정으로부터 패널을 제조하는 경우, ACF의 부착상태는 매우 중요한 요소이다. 즉 ACF 내에 있는 도전입자의 깨짐정도가 제품의 양품/불량 여부를 판정하는데, 큰 영향을 끼친다.

따라서 패널에 반도체칩을 본딩하는 작업 이후에는 이물검사나 탑재위치검사, 압흔검사(ACF 도전입자의 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포) 등을 검사하는 공정이 필수적인 공정이며, 이처럼 패널을 검사하기 위한 공정에는 압흔 검사장치가 사용된다.

상기와 같은 압흔 검사장치와 관련하여 개시되어 있었던 종래기술로써, 대한민국 특허청의 등록특허공보 제785420호(2007.12.06.)에는 일측에 부착된 탭 영역에 대한 압흔 검사를 위한 압흔 검사 대상의 기판이 안착되는 스테이지; 상기 기판의 압흔 검사 영역을 촬영하는 적어도 하나의 카메라; 상기 카메라가 결합되며, 상기 스테이지에 대해 상기 카메라를 상대적으로 이동시키는 광학계이동부; 상기 기판의 변위를 측정하되 상기 카메라의 이동방향에 대해 상기 카메라의 전방에 마련되는 적어도 하나의 변위센서; 및 상기 기판의 압흔 검사 영역에 도달하기 전에 상기 기판의 압흔 검사 영역의 평탄도 정보를 상기 변위센서로부터 미리 입수하여 상기 카메라의 이동을 제어하는 제어부를 포함하여 구성함에 따라 압흔 검사의 택트 타임이 감소될 수 있는 것을 특징으로 하는 압흔 검사기가 공지되어 있다.

그러나 종래 압흔 검사장치는 이전공정에서 패널을 로딩하는 작업과 패널을 검사한 후 언로딩하는 작업이 모두 수동으로 행해져 작업이 불편함은 물론 많은 작업자가 투입되어야하며 로딩과 언로딩하는 과정에서 작업시간이 많이 소요되는 문제가 있었다.

나아가 압흔 검사장치를 향해 패널을 로딩하거나 언로딩하는 장비를 구축하여 설비하는 경우에도 패널을 하나씩 로딩하여 검사한 후 언로딩하게 되므로 택트타임이 지연되는 문제점이 있었다.

그리고 종래에는 카메라를 통해 패널을 검사하는 과정에서 카메라와 패널 간에 위치 각도가 불균일하여 검사가 어려우며 검사결과에 정확성이 떨어지고, 검사할 때 패널이 그늘지거나 어두운 환경에서는 작업이 곤란하며 검사 정밀도가 현저히 떨어져 제품의 품질 및 양품생산율이 크게 낮아지게 되는 등의 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 패널을 검사하기 위해 이전공정에 로딩하는 수단과 패널을 검사한 후 언로딩하는 수단을 구성하여 패널검사의 전반적인 작업공정을 자동화하므로 작업의 편의성을 도모함은 물론 작업인원이 절감되고, 패널을 2매씩 로딩한 후 검사가능하여 택트타임을 단축할 수 있는 패널의 자동 압흔 검사장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.

뿐만 아니라 본 발명은 패널을 검사하는 과정에서 카메라를 기준으로 불균일한 패널의 각도를 조정하여 고정하고 패널을 향해 빛을 조명토록 구성하므로 카메라로부터 검사 정확성을 높이고 고정밀 검사를 도모할 수 있는 패널의 자동 압흔 검사장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 제안하는 패널의 자동 압흔 검사장치는 패널을 전공정으로부터 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부에 의해 로딩된 패널을 촬영가능하게 설치되고 패널을 촬영한 영상정보에 의하여 패널 상의 칩 부착상태 및 압흔상태를 검사하는 검사부와; 상기 검사부에 의해 검사된 패널이 공급되면 상기 검사부의 검사판정 여부에 따라 각각 패널을 구분하여 후공정으로 배출하는 언로딩부와; 상기 로딩부, 검사부, 언로딩부를 향해 패널을 순차적으로 공급하도록 패널을 픽업한 후 X축 방향으로 이동가능하게 형성되는 이송부;를 포함하고, 상기 검사부는 상기 이송부에 의해 공급된 패널을 검사가능한 상태로 얼라인한 후 고정하는 교정유닛과, 상기 교정유닛으로부터 얼라인 조정된 패널을 촬영하여 검사하는 검사유닛을 포함하여 이루어진다.

상기 로딩부는 상측에 위치하고 전공정에서 공급되는 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제1이송스테이지와, 상기 제1이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제1이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제1승강수단과, 상기 제1승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제1이송수단으로 이루어진다.

상기 제1이송수단은 좌우 한 쌍을 이루고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1안내레일과, 상기 제1안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제1이송프레임과, 상기 제1이송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1이송축과, 상기 제1이송축의 한쪽에 설치되어 회전 동력을 인가하는 제1구동모터로 구성한다.

상기 검사부의 교정유닛은 상기 이송부로부터 공급된 패널의 상측에 위치하고 상기 검사유닛에 의한 검사공정 전에 패널을 얼라인할 수 있도록 X축 방향으로 왕복 이동하면서 패널을 촬영하는 얼라인카메라와, 상하로 이동가능하여 상기 얼라인카메라를 통해 얼라인된 패널에 접촉가능하고 패널을 고정상태로 유지시키도록 클램핑하는 클램프부재로 이루어진다.

상기 교정유닛에는 상기 얼라인카메라에 거리를 두고 설치되어 패널의 하측에 위치하고 패널을 얼라인하는 과정에서 패널을 향해 빛을 조명하도록 형성되는 보조조명을 구성한다.

상기 클램프부재에는 패널을 향해 근접한 위치에서 빛을 조명가능할 수 있도록 검사조명이 일체형으로 구성한다.

상기 검사부의 검사유닛은 상기 이송부에 의해 공급된 패널이 위치하고 패널을 검사가능하게 지지하는 검사지지수단과, 상기 검사지지수단에 위치하여 상기 교정유닛에 의해 고정상태인 패널을 촬영하여 검사하는 검사촬영수단으로 이루어진다.

상기 검사지지수단은 상기 이송부로부터 공급된 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용될 수 있도록 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 검사스테이지와, 상기 검사스테이지의 하부에 연결되고 상기 검사스테이지를 승강시키는 동시에 회전시킬 수 있도록 형성되는 Z축 이송수단과, 상기 Z축 이송수단의 하부에 연결되고 상기 Z축 이송수단 및 상기 검사스테이지를 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동시키도록 형성되는 Y축 이송수단으로 구성한다.

상기 검사스테이지는 상기 검사촬영수단으로부터 검사공정이 진행되는 한쪽에 투명한 석영재질로 형성된 백업테이블을 구성한다.

상기 Y축 이송수단은 Y축 방향으로 연장 형성되는 한 쌍의 레일과, 상기 레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 구비되는 반송프레임과, 상기 반송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 구동축과, 상기 구동축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 회전모터로 구성한다.

상기 검사촬영수단은 X축 방향으로 연장 형성되는 가이드레일과, 상기 가이드레일 상에 연결 결합하여 X축 방향을 향해 좌우로 왕복이동가능하게 구비되는 X축 이송프레임과, 상기 X축 이송프레임의 한쪽에 설치되고 상기 검사지지수단에 위치한 패널을 촬영하여 칩 부착 및 압흔 상태를 검사하는 검사카메라를 포함하고, 상기 검사카메라의 한쪽에 설치되고 상기 검사카메라가 패널을 향해 상하로 이동되어 패널과의 거리를 조절가능하게 승강시키는 Z축 조절수단으로 구성한다.

상기 언로딩부는 상측에 위치하고 상기 이송부로부터 공급되는 패널이 상부에 위치하도록 흡착하고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제2이송스테이지와, 상기 제2이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제2이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제2승강수단과, 상기 제2승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제2이송수단으로 이루어진다.

상기 제2이송수단은 Y축 방향으로 길게 연장 형성되는 한 쌍의 제2안내레일과, 상기 제2안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제2이송프레임과, 상기 제2이송프레임에 나사 결합되어 회동가능하게 형성되는 제2이송축과, 상기 제2이송축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 제2구동모터로 구성한다.

상기 이송부는 고정브라켓과, 상기 고정브라켓의 상측에 X축 방향으로 길게 연장하여 형성되는 주행레일과, 상기 주행레일 상에 좌우로 수평이동가능하게 설치되고 복수의 패널을 흡착할 수 있도록 복수의 흡착노즐이 구비되는 픽업수단으로 이루어진다.

상기 픽업수단은 상기 로딩부로부터 공급되는 패널을 상기 검사부를 향해 이송시키는 제1픽업수단과, 상기 검사부로부터 검사를 마친 패널을 상기 언로딩부를 향해 이송시키는 제2픽업수단으로 구성한다.

본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치에 의하면 패널을 검사공정을 일률적으로 자동화 및 기계화하므로 작업자의 작업환경을 개선하는 동시에 인건비를 절감하고 검사작업의 신속성 및 정확성을 향상시킬 수 있는 효과를 얻는다.

뿐만 아니라 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치는 패널을 로딩하여 검사한 후 언로딩하는 전반적인 과정에서 패널을 2매씩 반송하며 검사하므로 검사작업의 택트타임을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치는 패널을 검사하기 전에 얼라인한 후 고정하므로 검사과정에서 작업의 오류를 줄이고 패널의 검사결과가 정화하여 검사작업의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치는 패널을 얼라인하는 작업에서 패널을 향해 조명하여 얼라인 작업의 정확성을 높이고 패널 상의 칩 부착 정도 및 압흔을 검사하는 작업에서 패널을 고정하는 클램프부재 상에 조명이 일체로 구성되므로 고도의 정밀한 검사를 도모하고 작업성을 높일 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 평면도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예에 있어서 로딩부를 나타내는 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예에 있어서 로딩부를 나타내는 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 일실시예에서 검사부의 교정유닛을 나타내는 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 일실시예에서 검사부의 교정유닛을 나타내는 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 일실시예에서 검사부의 검사유닛을 나타내는 정면도.
도 7은 본 발명에 따른 일실시예에서 검사부의 검사유닛을 나타내는 측면도.
도 8은 본 발명에 따른 일실시예에서 언로딩부를 나타내는 정면도.
도 9는 본 발명에 따른 일실시예에서 언로딩부를 나타내는 평면도.
도 10은 본 발명에 따른 일실시예에서 이송부를 나타내는 측면도.
도 11은 본 발명에 따른 일실시예에서 이송부를 나타내는 평면도.

본 발명은 패널을 전공정으로부터 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부에 의해 로딩된 패널을 촬영가능하게 설치되고 패널을 촬영한 영상정보에 의하여 패널 상의 칩 부착상태 및 압흔상태를 검사하는 검사부와; 상기 검사부에 의해 검사된 패널이 공급되면 상기 검사부의 검사판정 여부에 따라 각각 패널을 구분하여 후공정으로 배출하는 언로딩부와; 상기 로딩부, 검사부, 언로딩부를 향해 패널을 순차적으로 공급하도록 패널을 픽업한 후 X축 방향으로 이동가능하게 형성되는 이송부;를 포함하고, 상기 검사부는 상기 이송부에 의해 공급된 패널을 검사가능한 상태로 얼라인한 후 고정하는 교정유닛과, 상기 교정유닛으로부터 얼라인 조정된 패널을 촬영하여 검사하는 검사유닛을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 로딩부는 상측에 위치하고 전공정에서 공급되는 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제1이송스테이지와, 상기 제1이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제1이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제1승강수단과, 상기 제1승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제1이송수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 제1이송수단은 좌우 한 쌍을 이루고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1안내레일과, 상기 제1안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제1이송프레임과, 상기 제1이송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1이송축과, 상기 제1이송축의 한쪽에 설치되어 회전 동력을 인가하는 제1구동모터를 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 검사부의 교정유닛은 상기 이송부로부터 공급된 패널의 상측에 위치하고 상기 검사유닛에 의한 검사공정 전에 패널을 얼라인할 수 있도록 X축 방향으로 왕복 이동하면서 패널을 촬영하는 얼라인카메라와, 상하로 이동가능하여 상기 얼라인카메라를 통해 얼라인된 패널에 접촉가능하고 패널을 고정상태로 유지시키도록 클램핑하는 클램프부재를 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 교정유닛에는 상기 얼라인카메라에 거리를 두고 설치되어 패널의 하측에 위치하고 패널을 얼라인하는 과정에서 패널을 향해 빛을 조명하도록 형성되는 보조조명을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 클램프부재에는 패널을 향해 근접한 위치에서 빛을 조명가능할 수 있도록 검사조명이 일체형으로 구성되는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 검사부의 검사유닛은 상기 이송부에 의해 공급된 패널이 위치하고 패널을 검사가능하게 지지하는 검사지지수단과, 상기 검사지지수단에 위치하여 상기 교정유닛에 의해 고정상태인 패널을 촬영하여 검사하는 검사촬영수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 검사지지수단은 상기 이송부로부터 공급된 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용될 수 있도록 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 검사스테이지와, 상기 검사스테이지의 하부에 연결되고 상기 검사스테이지를 승강시키는 동시에 회전시킬 수 있도록 형성되는 Z축 이송수단과, 상기 Z축 이송수단의 하부에 연결되고 상기 Z축 이송수단 및 상기 검사스테이지를 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동시키도록 형성되는 Y축 이송수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 검사스테이지는 상기 검사촬영수단으로부터 검사공정이 진행되는 한쪽에 투명한 석영재질로 형성된 백업테이블이 구성되는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 Y축 이송수단은 Y축 방향으로 연장 형성되는 한 쌍의 레일과, 상기 레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 구비되는 반송프레임과, 상기 반송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 구동축과, 상기 구동축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 회전모터를 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 검사촬영수단은 X축 방향으로 연장 형성되는 가이드레일과, 상기 가이드레일 상에 연결 결합하여 X축 방향을 향해 좌우로 왕복이동가능하게 구비되는 X축 이송프레임과, 상기 X축 이송프레임의 한쪽에 설치되고 상기 검사지지수단에 위치한 패널을 촬영하여 칩 부착 및 압흔 상태를 검사하는 검사카메라를 포함하고, 상기 검사카메라의 한쪽에 설치되고 상기 검사카메라가 패널을 향해 상하로 이동되어 패널과의 거리를 조절가능하게 승강시키는 Z축 조절수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 언로딩부는 상측에 위치하고 상기 이송부로부터 공급되는 패널이 상부에 위치하도록 흡착하고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제2이송스테이지와, 상기 제2이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제2이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제2승강수단과, 상기 제2승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제2이송수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 제2이송수단은 Y축 방향으로 길게 연장 형성되는 한 쌍의 제2안내레일과, 상기 제2안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제2이송프레임과, 상기 제2이송프레임에 나사 결합되어 회동가능하게 형성되는 제2이송축과, 상기 제2이송축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 제2구동모터를 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 이송부는 고정브라켓과, 상기 고정브라켓의 상측에 X축 방향으로 길게 연장하여 형성되는 주행레일과, 상기 주행레일 상에 좌우로 수평이동가능하게 설치되고 복수의 패널을 흡착할 수 있도록 복수의 흡착노즐이 구비되는 픽업수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한 상기 픽업수단은 상기 로딩부로부터 공급되는 패널을 상기 검사부를 향해 이송시키는 제1픽업수단과, 상기 검사부로부터 검사를 마친 패널을 상기 언로딩부를 향해 이송시키는 제2픽업수단을 포함하는 패널의 자동 압흔 검사장치를 기술구성의 특징으로 한다.

다음으로 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

먼저 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치의 일실시예는 도 1에 나타낸 바와 같이, 로딩부(100)와, 검사부(200)와, 언로딩부(300)와, 이송부(400)를 포함하여 이루어진다.

본 발명에서의 패널(P)은 일반적인 패널에 한정되는 것이 아니며, 플렉서블(flexible) 패널 등과 같은 다양한 유형의 패널을 포함한다.

상기 로딩부(100)는 이전 공정(예를 들면, 본딩공정 등)을 마치고 운송되는 패널(P)을 안전하게 받아 로딩하는 기능을 수행한다.

상기 로딩부(100)는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 이전 공정으로부터 운송된 패널(P)을 상부에 안전하게 흡착한 후 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동하여 상기 이송부(400)에 공급하도록 구성되는 것으로서, 제1이송스테이지(110)와 제1승강수단(120) 및 제1이송수단(130)으로 이루어진다.

상기 제1이송스테이지(110)는 패널(P)이 공급되는 상면이 평탄한 평면을 갖는 판자형상으로 이루어지고, 상측에 위치하여 항상 수평상태를 유지할 수 있도록 형성된다.

상기 제1이송스테이지(110)는 상면에 패널(P)을 흡착가능하게 진공홀(도면에 미도시)이 형성된다. 즉 상기 제1이송스테이지(110)는 상부에 패널(P)이 위치하되 상기 진공홀로부터 패널(P)을 진공흡착하도록 형성된다.

상기 제1이송스테이지(110)는 복수의 패널(P)이 적용가능하게 상기 제1승강수단(120)을 기준으로 좌우 대칭된 구조를 이루며 복수로 구성된다. 예를 들면, 도 2 및 도 3에서처럼 한번에 2매의 패널(P)을 반송가능하게 상기 제1이송스테이지(110)를 좌우로 2개가 한 쌍을 이루도록 구성한다.

상기 제1승강수단(120)은 상기 제1이송스테이지(110)의 하부에 연결 설치된다.

상기 제1승강수단(120)은 상기 제1이송스테이지(110)를 상하로 왕복이동가능하게 형성된다. 즉 상기 제1승강수단(120)은 상기 제1이송스테이지(110)를 승강시켜 상기 이송부(400)로부터 픽업가능한 위치까지 패널(P)이 이동될 수 있도록 Z축 방향으로 이동시킨다.

상기에서 제1승강수단(120)은 복수(2개)의 상기 제1이송스테이지(110)를 동시에 수직이동시킬 수 있게 구성된다.

상기 제1이송수단(130)은 상기 제1승강수단(120)의 하부에 연결 설치되고 상기 제1이송스테이지(110)와 상기 제1승강수단(120)을 전후로 왕복이동가능하게 형성된다.

상기 제1이송수단(130)은 패널(P)이 Y축 방향을 향해 직선으로 수평이동토록 구성되는 것으로서, 제1안내레일(131)과 제1이송프레임(133), 제1이송축(135)과 제1구동모터(137)로 이루어진다.

상기 제1안내레일(131)은 바닥면에 고정 설치되어 상기 제1이송프레임(133)의 이동방향 및 이동거리를 안내하는 것으로, 좌우 한 쌍을 이루고 Y축 방향으로 길게 연장하여 형성된다.

상기 제1이송프레임(133)은 상기 제1안내레일(131) 상에 연결 결합하여 위치한다.

상기 제1이송프레임(133)에는 상기 제1승강수단(120)이 상부에 고정 설치되고, 상기 제1안내레일(131)을 따라 주행하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비된다.

상기 제1이송축(135)은 상기 제1구동모터(137)의 구동에 의해 회전한다.

상기 제1이송축(135)은 상기 제1안내레일(131)의 사이에 위치하여 상기 제1이송프레임(133)에 나사 결합되고, 상기 제1안내레일(131)과 동일하게 Y축 방향으로 연장하여 형성된다.

상기 제1이송축(135)은 상기 제1안내레일(131)의 길이만큼 Y축 방향을 향해 충분히 연장된 길이로 형성하는 것이 바람직하다.

상기 제1구동모터(137)는 상기 제1이송축(135)을 회전시키도록 동력을 인가하는 기능을 수행하는 것으로, 상기 제1이송축(135)의 한쪽에 연결되도록 설치된다.

상기 검사부(200)는 상기 로딩부(100)에 의해 로딩된 패널(P)을 촬영가능하게 설치되고, 패널(P)을 촬영한 영상정보에 의하여 패널(P) 상의 칩 부착상태 및 압흔상태를 검사하는 기능을 수행한다.

상기 검사부(200)는 상기 이송부(400)에 의해 공급된 패널(P)을 검사가능한 상태로 얼라인한 후 고정하는 교정유닛(210)과, 상기 교정유닛(210)으로부터 얼라인 조정된 패널(P)을 촬영하여 검사하는 검사유닛(220)으로 이루어진다.

상기 검사부(200)의 교정유닛(210)은 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 패널(P)의 검사상태를 조정하도록 패널(P)을 촬영하는 엘라인카메라(211)와, 상기 엘라인카메라(211)로부터 조정된 패널(P)을 클램핑하는 클램프부재(216)로 구성된다.

상기 엘라인카메라(211)는 상기 검사유닛(220)에 의한 검사공정 전에 패널(P)을 얼라인하는 기능을 수행한다.

상기 엘라인카메라(211)는 상기 이송부(400)로부터 상기 검사유닛(220) 상에 공급된 패널(P)의 상측에 위치하고, 패널(P)을 얼라인할 수 있도록 X축 방향으로 왕복 이동하면서 패널(P)을 촬영한다.

상기 엘라인카메라(211)는 전하결합소자를 사용하여 영상을 전기신호로 변환함에 따라 정밀한 이미지를 촬영가능한 CCD 카메라를 적용하여 구성하는 것이 바람직하다.

상기 교정유닛(210)에는 상기 엘라인카메라(211)로부터 패널(P)을 선명하게 촬영할 수 있도록 보조조명(212)을 구성한다.

상기 보조조명(212)은 상기 엘라인카메라(211)에 거리를 두고 하측에 설치된다.

상기 보조조명(212)은 상기 엘라인카메라(211)로부터 패널(P)을 얼라인하는 과정에서 패널(P)을 향해 환하게 빛을 조명하도록 형성된다. 즉 상기 보조조명(212)은 패널(P)의 하측에 위치하여 패널(P)을 향해 상향조명토록 형성된다.

상기와 같이 교정유닛(210)에 보조조명(212)을 구성하게 되면, 패널(P)을 얼라인하는 과정에서 보다 선명하게 촬영할 수 있어 엘라인카메라(211)에 의해 패널(P)의 위치를 교정하는 얼라인작업의 정확성을 향상시키는 것이 가능하다.

상기 클램프부재(216)는 상기 엘라인카메라(211)로부터 얼라인된 패널(P)을 흔들림 없이 검사가 이뤄질 수 있도록 고정하는 역할을 수행한다.

상기 클램프부재(216)는 상기 검사유닛(220) 상에 위치하는 패널(P)보다 상측에 거리를 두고 위치하고 상기 패널(P)을 향해 상하로 이동가능하게 형성된다. 즉 상기 클램프부재(216)는 상기 엘라인카메라(211)를 통해 얼라인된 패널(P)을 향해 상하로 이동하여 접촉가능하고 패널(P)을 고정상태로 유지시키도록 클램핑한다.

상기에서 클램프부재(216)에는 패널(P) 상에 접하는 접촉면적을 최소화하도록 하부에 패널(P)을 향해 돌출된 구조를 갖는 접촉단부(217)를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 클램프부재(216)에는 패널(P)을 향해 근접한 위치에서 빛을 조명가능할 수 있도록 검사조명(218)이 일체형으로 구성된다.

상기 검사조명(218)은 패널(P)에 접하는 하부에 구비되어 패널(P)에 최대한 근접하게 위치하고 패널(P)을 향해 하향지향하여 조명할 수 있도록 구비된다.

상기와 같이 클램프부재(216)에 검사조명을 일체형으로 구성하게 되면, 검사유닛(220)에 의한 검사가 용이함은 물론 검사의 정확성을 향상시키고, 주변에 간섭요소를 제거하여 원활한 작업성을 도모하는 것이 가능하다.

상기 검사부(200)의 검사유닛(220)은 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 패널(P)을 검사가능하게 지지하는 검사지지수단(230)과, 패널(P)을 촬영하여 검사하는 검사촬영수단(240)으로 이루어진다.

상기 검사지지수단(230)은 상기 이송부(400)에 의해 공급된 패널(P)이 위치하고 상기 검사촬영수단(240)으로부터 패널(P)을 검사가능한 상태로 지지하는 것으로서, 검사스테이지(231)와 Z축 이송수단(233) 및 Y축 이송수단(235)으로 구성된다.

상기 검사스테이지(231)는 상면이 평탄한 평면을 이루어 패널(P)이 수평상태를 유지하며 위치하되 상기 이송부(400)로부터 공급된 패널(P)을 흡착가능하게 상면에 진공홀이 형성된다. 즉 상기 검사스테이지(231)에 패널(P)이 위치하되 상기 진공홀에 의해 패널(P)을 진공흡착된 상태로 위치하도록 구성한다.

상기 검사스테이지(231)는 복수의 패널(P)이 적용가능하게 상기 Z축 이송수단(233)을 기준으로 좌우 대칭된 구조를 이루며 복수로 구성된다. 예를 들면, 한번에 2매의 패널(P)을 검사가능하게 상기 검사스테이지(231)를 좌우로 2개가 한 쌍을 이루도록 구성한다.

또한 상기 검사스테이지(231)는 상기 검사촬영수단(240)으로부터 검사공정이 진행되는 한쪽에 투명한 석영재질로 형성된 백업테이블(232)이 구성된다. 즉 상기 백업테이블(232)은 상기 교정유닛(210)의 보조조명(212)의 빛을 투과가능하고 상기 검사촬영수단(240)에 의한 촬영이 가능하도록 투명한 재질을 갖는다.

상기 Z축 이송수단(233)은 상기 검사스테이지(231)의 하부에 연결 설치된다.

상기 Z축 이송수단(233)은 상기 검사스테이지(231)를 상하로 왕복이동가능하게 형성된다. 즉 상기 Z축 이송수단(233)은 상기 검사스테이지(231)를 승강시켜 상기 이송부(400)로부터 패널(P)이 안전하게 공급될 수 있도록 Z축 방향으로 이동시킨다.

상기 Z축 이송수단(233)은 상기 검사스테이지(231)를 소정의 각도로 회전시킬 수 있도록 형성된다. 즉 상기 Z축 이송수단(233)은 상기 교정유닛(210)의 엘라인카메라(211)로부터 패널(P)을 얼라인가능하도록 상기 엘라인카메라(211)를 통해 전달되는 신호에 따라 상기 검사스테이지(231)를 회전시켜 패널(P)을 검사가능한 상태로 얼라인하게 된다.

상기 Y축 이송수단(235)은 상기 Z축 이송수단(233)의 하부에 연결 설치되고 상기 Z축 이송수단(233) 및 상기 검사스테이지(231)를 전후로 왕복이동가능하게 형성된다.

상기 Y축 이송수단(235)은 패널(P)이 Y축 방향을 향해 직선으로 수평이동될 수 있도록 구성되는 것으로서, 레일(236)과 반송프레임(237), 구동축(238)과 회전모터(239)로 이루어진다.

상기 레일(236)은 바닥면에 고정 설치되어 상기 반송프레임(237)의 이동방향 및 이동거리를 안내하는 것으로, 좌우 한 쌍을 이루고 Y축 방향으로 연장하여 형성된다.

상기 반송프레임(237)은 상기 레일(236) 상에 연결 결합하여 위치하고, 상기 레일(236)을 따라 주행하여 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 구비된다.

상기 구동축(238)은 상기 회전모터(239)의 구동에 의해 회전하고, 상기 반송프레임(237)에 나사 결합된 상태를 이룬다.

상기 회전모터(239)는 상기 구동축(238)을 회전시키도록 동력을 인가하는 기능을 수행하는 것으로, 상기 구동축(238)의 한쪽에 연결 설치된다.

상기 검사촬영수단(240)은 상기 검사지지수단(230)의 검사스테이지(231)에 위치하여 상기 교정유닛(210)의 클램프부재(216)에 의해 고정상태인 패널(P)을 촬영하여 검사하도록 구성된다.

상기 검사촬영수단(240)은 가이드레일(241)과 X축 이송프레임(243) 및 검사카메라(245)로 이루어진다.

상기 가이드레일(241)은 브라켓 상에 지지된 상태로 X축 방향으로 연장하여 형성된다. 즉 상기 가이드레일(241)은 브라켓 상에 상하 거리를 두고 한 쌍을 이루어 상기 X축 이송프레임(243)이 안전하게 이동될 수 있도록 지지한다.

상기 X축 이송프레임(243)은 상기 가이드레일(241) 상에 연결 결합하여 X축 방향을 향해 좌우로 왕복이동가능하게 구비된다.

상기 X축 이송프레임(243)의 한쪽에는 상기 검사카메라(245)가 설치된다.

상기 검사카메라(245)는 상기 검사지지수단(230)에 위치한 패널(P)을 촬영하여 칩 부착 및 압흔 상태를 검사한다.

상기 검사카메라(245)는 패널(P)을 촬영하는 렌즈(248)를 포함하며 경통(249)을 구비한 하나의 조립체를 이룬다. 즉 상기 검사카메라(245)는 렌즈(248)와 경통(249)을 통하여 입사된 패널(P)의 검사개소의 영상을 촬영할 수 있다.

상기 검사카메라(245)의 렌즈(248)는 자동촛점방식이며, 화소분해능(pixel resolution)은 0.86㎛/Pixel인 것이 바람직하다.

도면에 나타내지는 않았지만 상기 검사카메라(245)로부터 얻어진 영상정보는 제어시스템으로 전송되어 기설정된 기준 값과 비교, 분석, 판단된다. 즉 상기 검사카메라(245)에 의한 영상정보는 제어시스템을 통해 검사되는데, 영상정보를 수치화하여 압흔개수, 압흔면적을 판독한 후 기준 값과 비교함에 따라 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포 등의 항목을 검사하게 되고, 이물검사와 칩 탑재위치의 검사, NG범프의 판정, 압흔불량의 판정 등을 동시에 수행하게 된다.

상기 검사카메라(245)의 한쪽에는 패널(P)과의 거리를 자동으로 조절가능하게 상기 검사카메라(245)의 위치를 승강시키는 Z축 조절수단(247)이 구성된다.

상기 Z축 조절수단(247)을 상기 검사카메라(245)와 상기 X축 이송프레임(243)의 사이에 위치하도록 설치된다.

상기 Z축 조절수단(247)은 상기 검사카메라(245)가 패널(P)을 향해 상하로 이동하여 상기 검사카메라(245)의 촬영위치를 자동조절한다. 즉 상기 Z축 조절수단(247)은 상기 검사카메라(245)와 패널(P)과의 거리를 측정하는 센서(도면에 미도시)를 구비하여 센서로부터 전달되는 신호에 따라 상기 Z축 조절수단(247)이 상기 검사카메라(245)의 위치를 자동으로 조절하게 된다.

상기 언로딩부(300)는 상기 검사부(200)의 검사판정 여부에 따라 각각 패널(P)을 구분하여 후공정으로 배출하는 기능을 수행한다.

예를 들면, 상기 언로딩부(300)는 상기 검사부(200)의 검사촬영수단(240)에 의해 검사된 패널(P)이 상기 이송부(400)를 통해 공급되면 상기 검사촬영수단(240)에서 검사결과 양품인 경우 다음 공정으로 배출하고, 상기 검사촬영수단(240)의 검사결과 불량판정을 받은 경우 별도로 배출시키되 판정결과에 따라 각각 다른 방향으로 이동하여 구분된 장소에 배출한다.

상기 언로딩부(300)는 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 검사부(200)에서 검사판정을 완료한 패널(P)을 배출하기 위해 구성되는 것으로서, 제2이송스테이지(310)와 제2승강수단(320) 및 제2이송수단(330)으로 이루어진다.

상기 제2이송스테이지(310)는 패널(P)이 상부에 위치하여 수평상태를 유지할 수 있도록 상면이 평탄한 평면을 이룬다.

상기 제2이송스테이지(310)는 상기 이송부(400)로부터 공급되는 패널(P)이 상부에 위치하도록 진공홀을 구비하여 패널(P)을 진공 흡착시키도록 형성된다.

상기 제2이송스테이지(310)는 복수(2매)의 패널이 적용가능하게 상기 제2승강수단(320)을 기준으로 좌우 대칭된 구조를 이루며 복수(2개)로 구성된다.

상기 제2승강수단(320)은 상기 제2이송스테이지(310)의 하부에 연결 설치되고 상기 제2이송스테이지(310)를 상하로 왕복이동가능하게 형성된다. 즉 상기 제2승강수단(320)은 상기 제2이송스테이지(310)를 승강시켜 상기 이송부(400)로부터 패널(P)을 공급받을 수 있도록 Z축 방향으로 이동시킨다.

상기 제2이송수단(330)은 상기 제2승강수단(320)의 하부에 연결 설치되고 상기 제2이송스테이지(310)와 상기 제2승강수단(320)을 전후로 왕복이동가능하게 형성된다.

상기 제2이송수단(330)은 Y축 방향으로 길게 연장 형성되는 한 쌍의 제2안내레일(331)과, 상기 제2안내레일(331) 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제2이송프레임(333)과, 상기 제2이송프레임(333)에 나사 결합되어 회동가능하게 형성되는 제2이송축(335)과, 상기 제2이송축(335)의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 제2구동모터(337)로 이루어진다.

상기에서 제2안내레일(331)과 제2이송축(335)은 Y축 방향을 향해 충분히 연장된 길이로 형성하는 것이 바람직하다.

상기 이송부(400)는 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 로딩부(100), 검사부(200), 언로딩부(300)를 향해 패널(P)을 순차적으로 공급하도록 패널(P)을 픽업한 후 X축 방향으로 이동가능하게 형성되는 것으로서, 고정브라켓(410)과 주행레일(420) 및 픽업수단(430)으로 이루어진다.

상기 고정브라켓(410)은 하부가 바닥면에 고정 설치되고, 상측으로 연장하여 소정의 높이 상에 상기 픽업수단(430)이 위치할 수 있도록 전반적인 구성을 지지한다.

상기 고정브라켓(410)의 상측에는 상기 주행레일(420)이 X축 방향으로 길게 연장하여 형성된다. 즉 상기 주행레일(420)은 상기 로딩부(100)가 설비된 위치로부터 상기 검사부(200)를 거쳐 상기 언로딩부(300)가 설비된 위치까지 상기 픽업수단(430)이 이동될 수 있도록 연장하여 형성된다.

상기 픽업수단(430)은 패널(P)의 픽업위치에서 패널(P)을 흡착하여 픽업가능하게 구성되고, 상기 주행레일(420) 상에 좌우로 수평이동가능하게 설치된다.

상기 픽업수단(430)에는 복수의 패널(P)을 흡착할 수 있도록 흡착력을 생성시키는 흡착노즐(435)이 복수로 구비된다.

상기에서 흡착노즐(435)은 외부로부터 공기를 빨아들이는 단순한 흡입력을 생성시켜 패널(P)을 픽업하도록 구성하는 것도 가능하고, 상기 흡착노즐(435)로부터 진공을 생성시켜 패널(P)을 비접촉으로 흡착하는 방식으로 픽업하도록 구성하는 것도 가능하다.

상기 픽업수단(430)은 하나의 상기 주행레일(420) 상에 2개의 상기 픽업수단(430)이 구성된다. 즉 상기 픽업수단(430)은 상기 로딩부(100)로부터 공급되는 패널(P)을 상기 검사부(200)를 향해 이송시키는 제1픽업수단(430a)과, 상기 검사부(200)로부터 검사를 마친 패널(P)을 상기 언로딩부(300)를 향해 이송시키는 제2픽업수단(430b)으로 구성한다.

상기 제1픽업수단(430a)은 상기 로딩부(100)에서 상기 검사부(200)로 반복해서 왕복 이동하는 것으로, 상기 로딩부(100)로부터 패널(P)을 픽업한 후 상기 검사부(200)에 패널(P)을 공급하도록 위치한다.

상기 제2픽업수단(430b)은 상기 검사부(200)에서 상기 언로딩부(300)로 반복해서 왕복 이동하는 것으로, 상기 검사부(200)에서 검사를 마친 패널(P)을 픽업한 후 상기 언로딩부(300)에 패널(P)을 공급하도록 위치한다.

다음으로 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치의 작동관계를 살펴본다.

먼저 패널(P)의 본딩공정을 통해 반도체칩이 본딩되는 이전공정을 마친 패널(P)이 로딩부(100)로 투입되면, 제1이송스테이지(110)에서 패널(P)을 흡착한 후 상기 제1이송수단(130)에 의해 Y축 방향으로 이동되고 제1승강수단(120)이 Z축 방향으로 승강하여 상기 제1이송스테이지(110)에 위치한 패널(P)을 상기 이송부(400)의 픽업수단(430) 중 제1픽업수단(430a)에서 픽업가능한 위치로 이송한다.

이어 상기 이송부(400)의 제1픽업수단(430a)은 상기 제1이송스테이지(110) 상에 위치한 패널(P)을 흡착한 후 주행레일(420)을 따라 X축 방향으로 이동하여 검사부(200)의 검사지지수단(230) 상에 패널(P)이 위치할 수 있도록 이송한다.

이때 상기 검사부(200)의 검사지지수단(230)이 상기 이송부(400)의 제1픽업수단(430a)을 향해 이동하되 Y축 이송수단(235)에 의해 검사스테이지(231)를 Y축 방향으로 이동시킨 후 Z축 이송수단(233)이 상기 제1픽업수단(430a)에 위치한 패널의 위치로 수직이동시켜 상기 제1픽업수단(430a)으로부터 상기 검사스테이지(231) 상에 패널(P)이 공급되고, 다시금 상기 Z축 이송수단(233)과 상기 Y축 이송수단(235)에 의해 검사가능한 원위치로 상기 검사스테이지(231)를 복귀토록 이동한다.

이후 상기 검사지지수단(230)의 검사스테이지(231) 상에 위치한 패널(P)을 향해 교정유닛(210) 중 엘라인카메라(211)가 X축 방향으로 이동하면서 패널(P)을 촬영하는데, 이때 상기 엘라인카메라(211)는 패널(P)의 검사위치를 바로잡기 위해 촬영하며 상기 엘라인카메라(211)의 촬영신호에 따라 상기 Z축 이송수단(233)이 제어되어 상기 검사스테이지(231)를 소정 각도로 회전시키므로 패널(P)의 검사위치를 얼라인한다. 이와 같은 패널(P)의 얼라인 과정에서는 상기 교정유닛(210)의 보조조명(212)이 패널(P)을 향해 빛이 조명된 상태에서 얼라인 작업이 진행된다.

이어 얼라인 작업이 완료된 패널(P)을 향해 상기 교정유닛(210)의 클램프부재(216)가 이동하여 패널(P)에 접촉하므로 얼라인 작업된 패널(P)을 고정상태로 유지시키되 상기 클램프부재(216)는 검사조명(218)에 의해 패널(P)의 상측에서 조명하면서 패널(P)을 고정한다.

연이어 상기 검사부(200)의 검사유닛(220) 중 검사촬영수단(240)에 의해 패널(P)을 검사하는데, 검사카메라(245)가 X축 이송프레임(243)에 의해 X축 방향으로 이동하면서 패널(P)을 촬영하며, 상기 검사카메라(245)는 패널(P)을 촬영하는 과정에서 Z축 조절수단(247)에 의해 패널(P)과의 거리를 조절하면서 패널(P)을 촬영하므로 패널(P) 상의 칩 부착 상태 및 압흔 상태를 정밀하게 검사한다.

이후 상기 검사부(200)의 검사카메라(245)로부터 검사를 마친 후에는 패널(P)을 향해 상기 이송부(400)의 제2픽업수단(430b)이 상기 검사스테이지(231) 상에 위치한 패널(P)을 흡착하고, 상기 제1픽업수단(430a)과 동일한 방식에 의해 X축 방향으로 이동하여 언로딩부(300)의 제2이송스테이지(310) 상에 패널(P)이 위치할 수 있게 이송한다.

여기서 상기 언로딩부(300)는 제2이송수단(330)에 의해 Y축 방향으로 이동한 후 제2승강수단(320)이 Z축 방향으로 제2이송스테이지(310)를 승강시켜 상기 이송부(400)의 제2픽업수단(430b)에 위치한 패널(P)을 흡착한 다음 다시 상기 제2승강수단(320)이 Z축 방향으로 하강하고, 상기 제2이송스테이지(310) 상에 위치한 패널(P)이 상기 검사부(200)의 검사결과에 따라 양품인 경우는 후방을 향해 불량인 경우는 전방을 향해 각각 다른 방향으로 상기 제2이송수단(330)에 의해 이동하여 패널(P)을 배출한다.

즉 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치에 의하면, 패널을 검사공정을 일률적으로 자동화 및 기계화하므로 작업자의 작업환경을 개선하는 동시에 인건비를 절감하고 검사작업의 신속성 및 정확성을 향상시키는 것이 가능하다.

뿐만 아니라 본 발명은 패널을 로딩하여 검사한 후 언로딩하는 전반적인 과정에서 패널을 2매씩 반송하며 검사하므로 검사작업의 택트타임을 단축하여 생산성을 향상시키는 것이 가능하다.

또한 본 발명은 패널을 검사하기 전에 얼라인한 후 고정하므로 검사과정에서 작업의 오류를 줄이고 패널의 검사결과가 정화하여 검사작업의 신뢰성을 높이는 것이 가능하다.

또한 본 발명은 패널을 얼라인하는 작업에서 패널을 향해 조명하여 얼라인 작업의 정확성을 높이고 패널 상의 칩 부착 정도 및 압흔을 검사하는 작업에서 패널을 고정하는 클램프부재 상에 조명이 일체로 구성되므로 고도의 정밀한 검사를 도모하고 작업성을 높이는 것이 가능하다.

상기에서는 본 발명에 따른 패널의 자동 압흔 검사장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허등록청구범위와 명세서 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

100 : 로딩부 110 : 제1이송스테이지 120 : 제1승강수단
130 : 제1이송수단 131 : 제1안내레일 133 : 제1이송프레임
135 : 제1이송축 137 : 제1구동모터 200 : 검사부
210 : 교정유닛 211 : 얼라인카메라 212 : 보조조명
216 : 클램프부재 217 : 접촉단부 218 : 검사조명
220 : 검사유닛 230 : 검사지지수단 231 : 검사스테이지
232 : 백업테이블 233 : Z축 이송수단 235 : Y축 이송수단
236 : 레일 237 : 반송프레임 238 : 구동축
239 : 회전모터 240 : 검사촬영수단 241 : 가이드레일
243 : 이송프레임 245 : 검사카메라 247 : Z축 조절수단
248 : 렌즈 249 : 경통 300 : 언로딩부
310 : 제2이송스테이지 320 : 승강수단 330 : 제2이송수단
331 : 제2안내레일 333 : 제2이송프레임 335 : 제2이송축
337 : 제2구동모터 400 : 이송부 410 : 고정브라켓
420 : 주행레일 430 : 픽업수단 430a : 제1픽업수단
430b : 제2픽업수단 435 : 흡착노즐 P : 패널

Claims

패널을 전공정으로부터 로딩하는 로딩부와;
상기 로딩부에 의해 로딩된 패널을 촬영가능하게 설치되고 패널을 촬영한 영상정보에 의하여 패널 상의 칩 부착상태 및 압흔상태를 검사하는 검사부와;
상기 검사부에 의해 검사된 패널이 공급되면 상기 검사부의 검사판정 여부에 따라 각각 패널을 구분하여 후공정으로 배출하는 언로딩부와;
상기 로딩부, 검사부, 언로딩부를 향해 패널을 순차적으로 공급하도록 패널을 픽업한 후 X축 방향으로 이동가능하게 형성되는 이송부;를 포함하고,
상기 검사부는 상기 이송부에 의해 공급된 패널을 검사가능한 상태로 얼라인한 후 고정하는 교정유닛과, 상기 교정유닛으로부터 얼라인 조정된 패널을 촬영하여 검사하는 검사유닛을 포함하여 이루어지며,
상기 검사부의 교정유닛은, 상기 이송부로부터 공급된 패널의 상측에 위치하고 상기 검사유닛에 의한 검사공정 전에 패널을 얼라인할 수 있도록 X축 방향으로 왕복 이동하면서 패널을 촬영하는 얼라인카메라와, 상하로 이동가능하여 상기 얼라인카메라를 통해 얼라인된 패널에 접촉가능하고 패널을 고정상태로 유지시키도록 클램핑하는 클램프부재를 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 로딩부는, 상기 로딩부의 상측에 위치하고 전공정에서 공급되는 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제1이송스테이지와, 상기 제1이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제1이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제1승강수단과, 상기 제1승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제1이송수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 2에 있어서,
상기 제1이송수단은, 좌우 한 쌍을 이루고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1안내레일과, 상기 제1안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제1이송프레임과, 상기 제1이송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 제1이송축과, 상기 제1이송축의 한쪽에 설치되어 회전 동력을 인가하는 제1구동모터를 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
삭제
청구항 1에 있어서,
상기 교정유닛에는 상기 얼라인카메라에 거리를 두고 설치되어 패널의 하측에 위치하고 패널을 얼라인하는 과정에서 패널을 향해 빛을 조명하도록 형성되는 보조조명을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 클램프부재에는 패널을 향해 근접한 위치에서 빛을 조명가능할 수 있도록 검사조명이 일체형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 검사부의 검사유닛은, 상기 이송부에 의해 공급된 패널이 위치하고 패널을 검사가능하게 지지하는 검사지지수단과, 상기 검사지지수단에 위치하여 상기 교정유닛에 의해 고정상태인 패널을 촬영하여 검사하는 검사촬영수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 7에 있어서,
상기 검사지지수단은, 상기 이송부로부터 공급된 패널을 흡착가능하게 진공홀이 형성되고 복수의 패널이 적용될 수 있도록 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 검사스테이지와, 상기 검사스테이지의 하부에 연결되고 상기 검사스테이지를 승강시키는 동시에 회전시킬 수 있도록 형성되는 Z축 이송수단과, 상기 Z축 이송수단의 하부에 연결되고 상기 Z축 이송수단 및 상기 검사스테이지를 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동시키도록 형성되는 Y축 이송수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 8에 있어서,
상기 검사스테이지는 상기 검사촬영수단으로부터 검사공정이 진행되는 한쪽에 투명한 석영재질로 형성된 백업테이블이 구성되는 것을 특징으로 하는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 8에 있어서,
상기 Y축 이송수단은, Y축 방향으로 연장 형성되는 한 쌍의 레일과, 상기 레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 구비되는 반송프레임과, 상기 반송프레임에 나사 결합되고 Y축 방향으로 연장 형성되는 구동축과, 상기 구동축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 회전모터를 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 7에 있어서,
상기 검사촬영수단은, X축 방향으로 연장 형성되는 가이드레일과, 상기 가이드레일 상에 연결 결합하여 X축 방향을 향해 좌우로 왕복이동가능하게 구비되는 X축 이송프레임과, 상기 X축 이송프레임의 한쪽에 설치되고 상기 검사지지수단에 위치한 패널을 촬영하여 칩 부착 및 압흔 상태를 검사하는 검사카메라를 포함하고,
상기 검사카메라의 한쪽에 설치되고 상기 검사카메라가 패널을 향해 상하로 이동되어 패널과의 거리를 조절가능하게 승강시키는 Z축 조절수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 언로딩부는, 상기 언로딩부의 상측에 위치하고 상기 이송부로부터 공급되는 패널이 상부에 위치하도록 흡착하고 복수의 패널이 적용가능하게 좌우 대칭된 구조로 구성되는 복수의 제2이송스테이지와, 상기 제2이송스테이지의 하부에 연결 설치되고 상기 제2이송스테이지를 승강시켜 패널이 Z축 방향을 향해 상하로 왕복이동가능하게 형성되는 제2승강수단과, 상기 제2승강수단의 하부에 연결 설치되고 패널이 Y축 방향을 향해 전후로 왕복이동가능하게 형성되는 제2이송수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 12에 있어서,
상기 제2이송수단은, Y축 방향으로 길게 연장 형성되는 한 쌍의 제2안내레일과, 상기 제2안내레일 상에 연결 결합하여 Y축 방향으로 활주가능하게 구비되는 제2이송프레임과, 상기 제2이송프레임에 나사 결합되어 회동가능하게 형성되는 제2이송축과, 상기 제2이송축의 한쪽에 설치되어 동력을 인가하는 제2구동모터를 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 이송부는, 고정브라켓과, 상기 고정브라켓의 상측에 X축 방향으로 길게 연장하여 형성되는 주행레일과, 상기 주행레일 상에 좌우로 수평이동가능하게 설치되고 복수의 패널을 흡착할 수 있도록 복수의 흡착노즐이 구비되는 픽업수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.
청구항 14에 있어서,
상기 픽업수단은, 상기 로딩부로부터 공급되는 패널을 상기 검사부를 향해 이송시키는 제1픽업수단과, 상기 검사부로부터 검사를 마친 패널을 상기 언로딩부를 향해 이송시키는 제2픽업수단을 포함하여 이루어지는 패널의 자동 압흔 검사장치.