KR102465275B1 - 디스펜싱 마운트 시스템 - Google Patents

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KR102465275B1 KR1020210030740A KR20210030740A KR102465275B1 KR 102465275 B1 KR102465275 B1 KR 102465275B1 KR 1020210030740 A KR1020210030740 A KR 1020210030740A KR 20210030740 A KR20210030740 A KR 20210030740A KR 102465275 B1 KR102465275 B1 KR 102465275B1
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    • H05K13/083—Quality monitoring using results from monitoring devices, e.g. feedback loops

Abstract

본 발명은 작업헤드모듈이 구비되는 디스펜싱 마운트 시스템에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 하나 또는 복수의 카메라 모듈이 수용된 캐리어를 일정한 방향으로 이송시키도록 구성되는 이송부; 상기 이송부의 일 측에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하는 디스펜스부; 및 상기 디스펜스부에 인접한 위치에 구비되어 상기 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 효과가 있다.

Description

디스펜싱 마운트 시스템{DISPENSING MOUNT SYSTEM}
본 발명은 디스펜싱 마운트 시스템에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 디스펜싱 마운트 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 인라인 시스템(In-line system)이란 피공정물을 하나의 이송 라인 내에서 제조하는 시스템을 통칭한다. 이러한 인라인 시스템은 제조 공정의 전자동화를 실현시킴으로써 관리 인력을 최소화시킬 수 있는 장점이 있다.
따라서, 관리 인력의 최소화를 실현시키고자 하는 다수의 기관에서 채용하여 다양한 피공정물을 제조하고 있다.
국내등록특허공보 제1487382호는 반도체를 제조하는데 있어서 사용되는 인라인 시스템에 대하여 기재하였다. 상기 문헌에 기재된 발명은 복수의 롤러에 의해 일정한 방향으로 이동하는 기판에 반도체 제조공정이 수행되는 공정챔버, 기판이 이동하는 방향을 기준으로 상기 공정챔버의 전후방에 배치되는 복수의 로드록챔버, 상기 로드록챔버와 연결되어 기판을 상하로 이동시키는 로딩스테이션 및 언로딩스테이션을 포함하여 이루어진다. 상기 복수의 구성은 상부와 하부로 구획되는 프레임에 의해 지지된다. 상기 로딩스테이션은 기판을 프레임 하부에서 상부로 이송시키며, 상기 언로딩스테이션은 상기 공정챔버에서 반도체 제조공정을 거친 기판을 프레임 상부에서 하부로 이송시킨다.
그러나 상기 문헌의 발명에서 상기 공정챔버는 반도체 제조공정을 수행하는 구성이 결합된 후에 다른 구성으로 변환할 수 없다는 단점이 존재한다. 즉, 공정챔버에 결합되는 반도체 제조 구성의 변환이 용이하지 않아, 제조되는 최종 피공정물에 대한 형상 또는 기능에 대한 다원화가 이루어질 수 없다는 문제가 있다.
국내등록특허공보 제1487382호 "인라인 반도체 제조시스템" (2015. 01. 22.)
본 발명은 위와 같은 과제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 디스펜싱 마운트 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템은, 하나 또는 복수의 카메라 모듈이 수용된 캐리어를 일정한 방향으로 이송시키도록 구성되는 이송부; 상기 이송부의 일 측에 구비되어 상기 이송부에 의해 이송되는 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하는 디스펜스부; 및 상기 디스펜스부에 인접한 위치에 구비되어 상기 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 이송부에는, 이송레일; 상기 이송레일의 전방 일 측에 구비되는 이오나이저; 상기 이송레일의 레일 상에 구비되되 상기 이오나이저의 후방에 구비되는 제1스테이지; 및 상기 이송레일의 레일 상에 구비되되 상기 제1스테이지의 후방에 구비되는 제2스테이지가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 디스펜스부에는, 상기 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈의 상면 높이를 측정하도록 구성되는 레이저프로브; 상기 레이저프로브에 의해 측정된 카메라 모듈의 상면 높이에 따라 조정된 높이에 니들이 배치되어 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하도록 구성되는 작업모듈; 및 상기 카메라 모듈의 비전 검사를 수행하는 제1모듈비전카메라가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 점검부에는, 상기 디스펜스부의 니들을 클리닝시키는 니들클리닝모듈; 및 상기 니들의 상태를 점검하도록 구성되는 하부비전카메라가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한, 복수의 자재가 부착된 웨이퍼를 투입하도록 구성되는 웨이퍼투입부; 상기 자재의 사전 검사를 수행하여 불량 여부를 검출하는 턴테이블부; 및 상기 턴테이블부에서 양품으로 판단된 자재를 상기 카메라 모듈에 부착시키는 어태치부가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 웨이퍼투입부에는, 하나 또는 복수의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼매거진; 상기 웨이퍼매거진에 적재된 웨이퍼를 전달시키는 웨이퍼전달모듈; 상기 웨이퍼전달모듈에 의해 전달되는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼테이블; 상기 웨이퍼테이블의 하부에 구비되는 이젝터모듈; 및 상기 웨이퍼테이블의 일 측에 구비되는 히팅건이 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 턴테이블부에는, 회전판; 상기 회전판에서 회전되는 자재를 클리닝시키는 자재클리닝모듈; 및 상기 회전판에서 회전되는 자재의 비전 검사를 수행하는 자재비전카메라가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 어태치부에는, 상기 웨이퍼를 촬영하여 상기 웨이퍼에 부착되어 있는 자재의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 웨이퍼비전카메라; 상기 이송부에 의해 이송되는 카메라 모듈을 촬영하여 상기 카메라 모듈의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 제2모듈비전카메라; 및 상기 자재를 픽업하여 어태치하도록 구성되는 어태치피커가 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 자재를 상하부로 업다운시키거나 회전시키도록 구성되는 플립부가 더 포함되고, 상기 플립부에는, 상기 웨이퍼에서 자재를 픽업하는 그리퍼; 상기 그리퍼를 상하부로 업다운시키는 승강모터; 및 상기 그리퍼를 회전시키도록 구성되는 회전모터가 포함되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템에 의하면, 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 캐리어가 카메라 모듈에 대한 제조 공정이 이루어지는 제1스테이지 및 제2스테이지로 이동되기 전, 캐리어에 수용된 카메라 모듈이 이오나이저에 의해 전처리되도록 함으로써, 카메라 모듈에 발생될 수 있는 정전기 등을 방지할 수 있도록 구성되는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 레이저프로브가 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라모듈의 상면 높이를 측정하여 작업모듈의 높이가 조정되도록 구성됨으로써, 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈 및 이송된 카메라 모듈에 대해 수행하고자 하는 제조 공정에 따라 카메라 모듈과 작업모듈간의 사이 간격이 적절히 조절되어 용이하게 제조 공정이 수행될 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 카메라 모듈에 대한 제조 공정이 수행되기 전, 니들에 대한 점검 및 보정이 수행되도록 구성됨으로써, 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈에 대한 제조 공정에서의 오류 발생률을 감소시키도록 구성되는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 웨이퍼테이블에 안착된 웨이퍼에서 자재가 픽업되는 경우 이젝터모듈이 구동되어 자재의 픽업이 용이하게 이루어지도록 하고, 자재가 픽업된 이후 익스팬딩되었던 늘어진 웨이퍼 테이프에 히팅건이 열을 가하도록 구성되어 웨이퍼의 재사용이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 회전판에서 회전되는 자재를 클리닝시키고 자재비전카메라를 통해 비전 검사를 수행하도록 구성됨으로써, 카메라 모듈에 부착되기 전 자재의 불량 상태를 미리 확인할 수 있도록 구성되는 효과가 있다.
또한 본 발명에 의하면, 자재를 부착시키기 전, 카메라 모듈의 위치 좌표를 파악하고 파악된 위치 좌표에 자재가 부착되도록 함에 따라, 카메라 모듈에 자재를 어태치시키는 과정에서의 불량률을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템을 나타내는 사시도.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 이송부를 나타내는 도면.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 디스펜스부를 나타내는 도면.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 점검부를 나타내는 도면.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 웨이퍼투입부를 나타내는 도면.
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 턴테이블을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 어태치부를 나타내는 도면.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 플립부를 나타내는 도면.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가잔 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 에에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 명세서의 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 실시 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하, 도면을 참조하여 설명하기에 앞서, 본 발명의 요지를 드러내기 위해서 필요하지 않은 사항, 즉, 통상의 지식을 가진 당업자가 자명하게 부가할 수 있는 공지 구성에 대해서는 도시하지 않거나, 구체적으로 기술하지 않았음을 밝혀둔다.
본 발명은 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 디스펜싱 마운트 시스템에 관한 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템을 나타내는 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 이송부를 나타내는 도면이며, 도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 디스펜스부를 나타내는 도면이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 점검부를 나타내는 도면이다.
첨부된 도 1에 따르면, 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에는, 하나 또는 복수의 카메라 모듈이 수용된 캐리어를 일정한 방향으로 이송시키도록 구성되는 이송부(100), 상기 이송부(100)의 일 측에 구비되어 상기 이송부(100)에 의해 이송되는 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하는 디스펜스부(200) 및 상기 디스펜스부(200)에 인접한 위치에 구비되어 상기 디스펜스부(200)의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부(300)가 포함된다.
본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에는, 상기 이송부(100), 디스펜스부(200) 및 점검부(300)의 작동을 전체적으로 제어하도록 구성되는 제어부(800)가 포함될 수 있다.
이러한 본 발명에 디스펜싱 마운트 시스템은 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 것이다.
이를 더욱 상세하게 설명하자면, 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템은 상기 카메라 모듈이 상기 이송부(100)의 캐리어에 의해 일정한 방향으로 이송되는 상태에서 상기 점검부(300)에 의해 점검 및 보정된 디스펜스부(200)가 용액을 도포하도록 구성되어 후술되는 자재의 부착이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
첨부된 도 2a 및 도 2b에 따르면, 본 발명의 상기 이송부(100)에는, 이송레일(110), 상기 이송레일(110)의 전방 일 측에 구비되는 이오나이저(120), 상기 이송레일(110)의 레일 상에 구비되되 상기 이오나이저(120)의 후방에 구비되는 제1스테이지(130) 및 상기 이송레일(110)의 레일 상에 구비되되 상기 제1스테이지의 후방에 구비되는 제2스테이지(140)가 포함될 수 있다.
상기 이송레일(110)은 전술한 바와 같이 상기 복수의 카메라 모듈이 수용된 캐리어를 일정한 방향으로 이송시키는 것으로서, 상기 이송레일(110)이 상승된 상태에서 상기 캐리어의 이송이 이루어지다가 상기 카메라 모듈의 제조 공정이 수행되는 상기 제1스테이지(130) 및 제2스테이지(140)에서 레일이 하강되면서 상기 캐리어가 안착되어 상기 카메라 모듈의 제조 공정이 이루어지도록 구성될 수 있다.
아울러, 상기 이송레일(110)은 컨베이어 벨트 형상으로 이루어져 상기 캐리어를 이송시키도록 구성될 수 있으며, 상기 이송레일(110)은 상기 제1스테이지(130) 및 제2스테이지(140)에서 하강되어 상기 카메라 모듈의 제조 공정이 수행될 수 있도록 상승 및 하강이 가능하게 구성될 수 있다.
상기 이오나이저(120)는 일반적으로 정전 파괴나 기기의 오작동 등의 문제의 원인이 되는 정전기를 이온으로 중화하고 제전하는 것으로서, 눈에 보이지 않는 정전기를 제전하고 반도체 웨이퍼나 워크에 티끌, 먼지가 부착되지 않도록 하며, 피더의 정체를 방지하도록 구성되는 것이다.
즉, 본 발명의 이오나이저(120)는 이온을 발생시키는 방식에 따라, 교류 전압을 방전침에 인가하여 +와 -이온을 교대로 발생시키는 AC방식과, 방전침에 직류 전압을 인가하여 +또는 - 이온 중 어느 한 쪽의 이온만을 발생시키는 DC방식으로 이루어질 수 있다.
첨부된 도 3a 내지 도 3c에 따르면, 본 발명의 디스펜스부(200)에는, 상기 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈의 상면 높이를 측정하도록 구성되는 레이저프로브(210), 상기 레이저프로브(210)에 의해 측정된 카메라 모듈의 상면 높이에 따라 조정된 높이에 니들(221)이 배치되어 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하도록 구성되는 작업모듈(220) 및 상기 카메라 모듈의 비전 검사를 수행하는 제1모듈비전카메라(230)가 포함될 수 있다.
이때 상기 디스펜스부(200)에는 상기 레이저프로브(210), 작업모듈(220) 및 카메라 모듈에 대한 실시간 감시를 수행하는 라이브비전카메라(240)가 더 포함될 수 있으며, 이러한 상기 라이브비전카메라(240)는 일반적인 CCTV(Closed circuit television) 역할을 수행하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 디스펜스부(200)에는 상기 작업모듈(220)의 니들(221)을 틸팅시키도록 구성되는 틸팅모듈(250)이 더 포함될 수 있으며, 이러한 틸팅모듈(250)은 상기 디스펜스부(200)의 장비 조립시 각 직교축의 직각도, 평행도, 세타 틸트(각도) 등을 세팅하기 위한 용도로 구동될 수 있으며, 미세 조정을 통해 상기 작업모듈(220)의 제조 공정이 정확하게 이루어질 수 있도록 할 수 있다.
상기 레이저프로브(210)는 상기 카메라 모듈의 상면 높이를 측정하여 상기 작업모듈(220)의 니들(221)의 배치 높이를 조정할 수 있도록 하기 위한 것으로서, 상기 레이저프로브(210)는 측정기의 조준선과 레이저 광축을 일치시키고 지향성이 우수한 레이저를 조사한 뒤, 상기 레이저가 표적으로부터 반사되어 돌아오는 시간을 측정하여 거리를 계산하는 방식으로 상기 카메라 모듈의 상면 높이를 측정하도록 구성될 수 있다.
상기 레이저프로브(210)에는 표적에 레이저를 조사하는 트랜스미터, 표적에서 반사되어 돌아온 레이저를 감지하는 광검출기, 상기 트랜스미터에서 조사된 레이저가 조사된 시점으로부터 상기 광검출기로 되돌아온 시점까지의 시간 계산을 위한 계수기 및 상기 트랜스미터, 광검출기 및 계수기를 통해 검출 및 계산된 내용이 디스플레이되도록 하는 디스플레이모듈이 포함될 수 있으며, 이러한 상기 레이저프로브(210)의 트랜스미터, 광검출기, 계수기 및 디스플레이모듈은 상기 제어부(800)에 의해 제어되도록 구성될 수 있다.
상기 작업모듈(220)은 상기 이송부(100)의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대해 제조 공정을 수행하기 위한 구성을 포함하는 것으로 이루어질 수 있다.
이러한 상기 작업모듈(220)에는 Z축서보모터가 포함되어 상기 니들(221)의 위치가 상승 및 하강되도록 구성될 수 있으며, X축서보모터 및 Y축서보모터가 포함되어 상기 니들(221)의 평면 위치가 조정되도록 구성될 수도 있다.
한편 상기 작업모듈(220)의 니들(221) 위치는, 후술되는 하부비전카메라(320)에서 촬영되는 니들(221)의 외관 이미지 및 배경 이미지 등에 의해 조정되도록 구성될 수 있으며 이에 대한 설명은 후술하기로 한다.
본 발명에서는 상기 작업모듈(220)의 니들(221)에서 용액이 분사되어 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하는 경우를 예로 하여 설명하고 있으나, 실시 환경에 따라, 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에 포함되는 작업모듈(220)은 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 위해서라면 그 구성요소가 얼마든지 변경될 수도 있다.
상기 제1모듈비전카메라(230)는 상기 이송부(100)의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 비전 검사를 수행함과 동시에 상기 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈의 위치를 체크하도록 구성되는 것이다.
더욱 상세하게, 상기 제1모듈비전카메라(230)는 산업용 카메라 내부에서 보호되는 디지털 센서를 이용하여 상기 카메라 모듈의 외부 이미지 정보를 수집함으로써, 상기 카메라 모듈의 표면 마무리 검사, 물리적 결함 추적, 부품 누락 여부 검사 및 일련번호 판독 등을 수행하도록 구성될 수 있다.
이러한 상기 제1모듈비전카메라(230)는 동 사업 분야에서 제품의 외관 이미지를 검사하여 불량을 판독하하기 위해 널리 사용되는 것이므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.
첨부된 도 4a 및 도 4b에 따르면, 본 발명의 점검부(300)에는, 상기 디스펜스부(200)의 니들(221)을 클리닝시키는 니들클리닝모듈(310) 및 상기 니들(221)의 상태를 점검하도록 구성되는 하부비전카메라(320)가 포함될 수 있다.
상기 니들클리닝모듈(310)은 상기 카메라 모듈에 대한 상기 디스펜스부(200)의 니들(221)의 제조 공정이 수행되기 전에 상기 니들(221)의 클리닝이 이루어지도록 함으로써, 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정 상의 오류가 발생되는 것을 방지하도록 구성되는 것이다.
이러한 상기 니들클리닝모듈(310)은 에어를 분사하거나 세정액을 분사하는 등의 방법으로 상기 니들(221)을 클리닝하도록 구성될 수 있으며, 이는 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템의 실시 환경에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.
상기 하부비전카메라(320)는 상기 제1모듈비전카메라(230)와 동일 유사한 제품으로 구성될 수 있으나, 상기 제1모듈비전카메라(230)가 상기 카메라 모듈의 외관 이미지를 통해 상기 카메라 모듈의 불량 상태를 검사하도록 구성되는 것이라면, 상기 하부비전카메라(320)는 상기 니들(221)의 하부에 설치되어 상기 니들(221)을 외관 이미지를 통해 상기 니들(221)의 위치, 균형 및 이상 유무(니들 휨 등)를 점검하여 상기 니들(221)에 의한 상기 카메라 모듈의 제조 공정에 있어서 오작동이 발생하지 않도록 하는 것이다.
즉, 상기 하부비전카메라(320)는 상기 니들(221)의 외관 이미지만을 수집하는 것이 아니라, 상기 니들(221)의 외관 이미지를 수집할 당시의 배경 이미지 등을 통해 상기 니들(221)의 좌표 등을 수집하도록 구성될 수 있다.
이때, 상기 하부비전카메라(320)에서 수집된 상기 니들(221)의 외관 이미지 및 배경 이미지를 통한 상기 니들(221)의 좌표 계산 등은 상기 제어부(800)에 포함되는 처리 모듈에 의해 이루어질 수 있다.
한편, 본 발명의 점검부(300)에는 상기 레이저프로브(210)의 위치 파악을 위해 설치되는 교정지그(330)가 포함될 수 있다.
상기 교정지그(330)는 상기 레이저프로브(210)와 함께 상기 제1모듈비전카메라(230)에 의해 위치가 측정된 이후, 직교축 서보의 거리값으로 위치 편차를 계산하여 상기 레이저프로브(210)의 위치를 파악하기 위한 용도로 사용될 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 웨이퍼투입부를 나타내는 도면이고, 도 6a 및 도 6b는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 턴테이블을 나타내는 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 어태치부를 나타내는 도면이다.
첨부된 도 1에 따르면, 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에는, 복수의 자재가 부착된 웨이퍼를 투입하도록 구성되는 웨이퍼투입부(400), 상기 자재의 사전 검사를 수행하여 불량 여부를 검출하는 턴테이블부(500) 및 상기 턴테이블부(500)에서 양품으로 판단된 자재를 상기 카메라 모듈에 부착시키는 어태치부(600)가 더 포함될 수 있다.
이러한 상기 웨이퍼투입부(400), 턴테이블부(500) 및 어태치부(600)는 상기 웨이퍼투입부(400)에서 투입되는 웨이퍼에서 상기 카메라 모듈에 부착될 자재를 분리하여 클리닝한 이후 상기 카메라 모듈에 어태치시키도록 구성되는 것이다.
첨부된 도 5a 및 도 5b에 따르면, 본 발명의 웨이퍼투입부(400)에는, 상기 웨이퍼투입부(400)에는, 하나 또는 복수의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼매거진(410), 상기 웨이퍼매거진(410)에 적재된 웨이퍼를 전달시키는 웨이퍼전달모듈(420), 상기 웨이퍼전달모듈(420)에 의해 전달되는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼테이블(430), 상기 웨이퍼테이블(430)의 하부에 구비되는 이젝터모듈(440) 및 상기 웨이퍼테이블(430)의 일 측에 구비되는 히팅건(450)이 포함될 수 있다.
이러한 상기 웨이퍼투입부(400)는, 상기 웨이퍼매거진(410)에 적재된 하나 또는 복수의 웨이퍼가 상기 웨이퍼전달모듈(420)에 의해 픽업되어 상기 웨이퍼테이블(430)에 안착됨으로써 후술되는 어태치피커(630)에 의한 자재 픽업이 용이하게 이루어지도록 구성될 수 있다.
이때 상기 이젝터모듈(440)은, 상기 웨이퍼테이블(430)의 하부에 구비된 상태에서, 상기 어태치피커(630)에 의해 자재가 픽업될 때, 웨이퍼 테이프의 하단을 석션하여 내부의 이젝터핀(미도시)이 상대적으로 상기 웨이퍼 테이프의 높이보다 상승하도록 함으로써 웨이퍼 테이프와 접착되어 있던 자재가 웨이퍼 테이프로부터 이격되도록 하는 것이다.
아울러 상기 히팅건(450)은, 상기 웨이퍼 테이프로부터 자재가 픽업되면서 익스팬딩되었던 늘어진 웨이퍼 테이프에 열을 가하여 웨이퍼 테이프가 펴지도록 함으로써, 상기 웨이퍼를 상기 웨이퍼매거진(410)으로 재투입하게 되어도 늘어진 웨이퍼 테이프로 인해 복수의 웨이퍼가 서로 부착되는 것을 방지하도록 구성되어 웨이퍼의 재사용이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
즉, 상기 이젝터모듈(440) 및 히팅건(450)은 상기 어태치피커(630)에 의한 자재의 픽업에 의해 상기 웨이퍼 테이프가 팽창되어 늘어지게 되는 것을 방지하여 자재의 픽업 시에 발생될 수 있는 좌표 오류 등의 문제를 방지하도록 구성되는 것이다.
첨부된 도 6a 및 도 6b에 따르면, 본 발명의 턴테이블부(500)에는, 회전판(510), 상기 회전판(510)에서 회전되는 자재를 클리닝시키는 자재클리닝모듈(520) 및 상기 회전판(510)에서 회전되는 자재의 비전 검사를 수행하는 자재비전카메라(530)가 포함될 수 있다.
상기 어태치피커(630)에 의해 이송된 자재는 상기 회전판(510)의 중앙에 구비되는 포켓(431)에 위치될 수 있고, 상기 포켓(431)에 위치된 자재는 상기 회전판(510)에 의해 회전되면서 상기 자재클리닝모듈(520)에 의해 클리닝되도록 구성될 수 있다.
이때, 상기 자재클리닝모듈(520)은 블로우 앤 석션(Blow and Suction) 방식으로 상기 자재를 클리닝하도록 구성될 수 있으며, 이러한 상기 자재클리닝모듈(520)의 자재 클리닝 방식은 실시 환경에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.
상기 자재비전카메라(530)는 상기 자재클리닝모듈(520)에 의해 클리닝된 자재의 비전 검사를 수행하여 상기 자재의 양품 및 불량품 여부가 판단되도록 구성될 수 있다.
이러한 상기 자재의 양품 및 불량품 여부 판단은 전술한 상기 제1모듈비전카메라(230)의 구동 원리와 같이, 상기 자재비전카메라(530)에서 수집된 이미지 정보를 이용하여 상기 제어부(800)의 판단하에 이루어지도록 구성될 수 있으며, 이에 대한 자세한 설명은 생략하도록 한다.
한편 상기 턴테이블부(500)에는, 상기 자재비전카메라(530)에서 수집된 이미지 정보를 통해 해당 자재가 불량품인 것으로 판단되는 경우, 상기 불량품인 것으로 판단된 자재가 이송되어 처리되도록 하는 NG박스(540)가 더 포함될 수 있다.
첨부된 도 7에 따르면, 본 발명의 어태치부(600)에는, 상기 웨이퍼를 촬영하여 상기 웨이퍼에 부착되어 있는 자재의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 웨이퍼비전카메라(610), 상기 이송부(100)에 의해 이송되는 카메라 모듈을 촬영하여 상기 카메라 모듈의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 제2모듈비전카메라(620) 및 상기 자재를 픽업하여 어태치하도록 구성되는 어태치피커(630)가 포함될 수 있다.
특히, 상기 어태치피커(630)는 상기 웨이퍼에서 자재를 픽업하여 상기 턴테이블부(500)의 회전판(510)에 안착시켰다가 다시 픽업하여 상기 카메라 모듈에 어태치시키도록 구성될 수 있다.
더욱 상세하게 상기 어태치피커(630)는, 상기 웨이퍼비전카메라(610)에서 수집되는 웨이퍼의 이미지 정보를 통해 웨이퍼에 부착되어 있는 자재의 위치 좌표를 파악하여 상기 자재를 픽업하도록 구성될 수 있고, 상기 픽업된 자재를 상기 턴테이블부(500)의 회전판(510)에 안착시켜 상기 자재클리닝모듈(520)에 의해 클리닝되도록 할 수 있으며, 상기 자재클리닝모듈(520)에 의해 클리닝된 자재를 다시 픽업하도록 구성될 수 있고, 상기 다시 픽업된 자재를 상기 제2모듈비전카메라(620)에서 수집되는 카메라 모듈의 이미지 정보를 통해 파악된 어태치 위치에 자재를 어태치하도록 구성될 수 있다.
다시 말하자면, 상기 웨이퍼에 부착된 자재는 상기 어태치피커(630)에 의해 각 공정들을 경유하여 최종적으로 상기 카메라 모듈에 부착되도록 구성될 수 있다.
이러한 일련의 공정들은 상기 제어부(800)의 제어에 따라 순차적으로 이루어지도록 구성될 수 있으며, 상기 제어부(800)에는 상기 어태치피커(630)에 의해 상기 자재가 픽업될 때 상기 어태치피커(630)의 힘에 의해 자재가 손상되는 것을 방지하기 위한 별도의 공압조절모듈이 포함될 수 있다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명에 따른 디스펜싱 마운트 시스템의 플립부를 나타내는 도면이다.
첨부된 도 8a 내지 도 8c에 따르면, 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에는 상기 자재를 상하부로 업다운시키거나 회전시키도록 구성되는 플립부(700)가 더 포함될 수 있다.
상기 플립부(700)에는, 상기 웨이퍼투입부(400)에 의해 투입된 웨이퍼에서 자재를 픽업하는 그리퍼(710), 상기 그리퍼(710)를 상하부로 업다운시키는 승강모터(720) 및 상기 그리퍼(710)를 회전시키도록 구성되는 회전모터(730)가 포함될 수 있다.
상기 플립부(700)는, 상기 그리퍼(710)가 상기 웨이퍼에서 자재를 픽업한 상태에서, 상기 회전모터(730)가 구동되어 상기 픽업된 자재의 상부와 하부를 반전시키도록 구성되거나, 상기 승강모터(720)가 구동되어 상기 픽업된 자재를 상부 또는 하부로 승강시키도록 구성되는 것이다.
한편, 상기 회전모터(730)에 의해 승강되거나, 승강모터(720)에 의해 승강된 자재는 상기 어태치피커(630)에 의해 픽업되어 상기 턴테이블부(500)로 이송되도록 구성될 수 있으며, 상기 자재가 어태치피커(630)에 의해 픽업된 이후의 자세한 내용은 전술한 바와 같다.
이때 상기 플립부(700)에는, 상기 플립부(700)를 사용하지 않을 시에 상기 플립부(700)를 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템에서 탈거하지 않고 공정에서 단순 스킵할 수 있도록 하는 스킵실린더(740)가 더 포함될 수 있다.
이러한 상기 스킵실린더(740)는, 상기 제어부(800)의 제어에 따라 상기 그리퍼(710)를 일 측으로 이동시켜 상기 플립부(700)에 의한 공정이 본 발명의 디스펜싱 마운트 시스템의 공정에서 스킵되도록 할 수 있으며, 상기 스킵실린더(740)는 공압 등을 이용하여 상기 그리퍼(710)를 이동시키도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 스킵실린더(740)에 의해 상기 플립부(700)의 공정이 스킵되는 경우 상기 웨이퍼에 부착되어 있는 자재는 상기 어태치피커(630)에 의해 픽업되어 상기 턴테이블부(500)로 곧장 이송되어 제조 공정이 수행되도록 구성될 수 있다.
이상 본 발명에 의하면, 디스펜스부의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부가 포함됨으로써, 이송부의 캐리어에 수용되어 일정한 방향으로 이송되는 카메라 모듈에 대한 디스펜싱 공정이 용이하고 정확한 위치에 이루어지도록 하는 효과가 있다.
이상의 설명에서는 본 발명의 다양한 실시 예들을 제시하여 설명하였으나 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함을 알 수 있다.
100 : 이송부
110 : 이송레일 120 : 이오나이저
130 : 제1스테이지 140 : 제2스테이지
200 : 디스펜스부
210 : 레이저프로브 220 : 작업모듈
221 : 니들 230 : 제1모듈비전카메라
240 : 라이브비전카메라 250 : 틸팅모듈
300 : 점검부
310 : 니들클리닝모듈 320 : 하부비전카메라
330 : 교정지그
400 : 웨이퍼투입부
410 : 웨이퍼매거진 420 : 웨이퍼전달모듈
430 : 웨이퍼테이블 431 : 포켓
440 : 이젝터모듈 450 : 히팅건
500 : 턴테이블부
510 : 회전판 520 : 자재클리닝모듈
530 : 자재비전카메라 540 : NG박스
600 : 어태치부
610 : 웨이퍼비전카메라 620 : 제2모듈비전카메라
630 : 어태치피커
700 : 플립부
710 : 그리퍼 720 : 승강모터
730 : 회전모터 740 : 스킵실린더
800 : 제어부

Claims (9)

  1. 하나 또는 복수의 카메라 모듈이 수용된 캐리어를 일정한 방향으로 이송시키도록 구성되는 이송부(100);
    상기 이송부(100)의 일 측에 구비되어 상기 이송부(100)에 의해 이송되는 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하는 디스펜스부(200); 및
    상기 디스펜스부(200)에 인접한 위치에 구비되어 상기 디스펜스부(200)의 상태를 점검하고 보정하도록 구성되는 점검부(300);
    가 포함되며,
    복수의 자재가 부착된 웨이퍼를 투입하도록 구성되는 웨이퍼투입부(400);
    상기 자재의 사전 검사를 수행하여 불량 여부를 검출하는 턴테이블부(500); 및
    상기 턴테이블부(500)에서 양품으로 판단된 자재를 상기 카메라 모듈에 부착시키는 어태치부(600);
    가 더 포함되고,
    상기 웨이퍼투입부(400)에는,
    하나 또는 복수의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼매거진(410);
    상기 웨이퍼매거진(410)에 적재된 웨이퍼를 전달시키는 웨이퍼전달모듈(420);
    상기 웨이퍼전달모듈(420)에 의해 전달되는 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼테이블(430);
    상기 웨이퍼테이블(430)의 하부에 구비되며 웨이퍼에 부착된 자재가 웨이퍼로부터 이격되도록 하는 이젝터모듈(440); 및
    상기 웨이퍼테이블(430)의 일 측에 구비되며, 상기 이젝터모듈(440)에 의해 자재가 이격되면서 늘어진 웨이퍼 테이프를 가열하도록 구성되어 늘어진 웨이퍼 테이프가 펴지도록 함으로써 늘어진 웨이퍼 테이프에 의해 복수의 웨이퍼가 서로 부착되는 것을 방지하도록 구성되는 히팅건(450);
    이 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송부(100)에는,
    이송레일(110);
    상기 이송레일(110)의 전방 일 측에 구비되는 이오나이저(120);
    상기 이송레일(110)의 레일 상에 구비되되 상기 이오나이저(120)의 후방에 구비되는 제1스테이지(130); 및
    상기 이송레일(110)의 레일 상에 구비되되 상기 제1스테이지의 후방에 구비되는 제2스테이지(140);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 디스펜스부(200)에는,
    상기 캐리어에 수용되어 이송되는 카메라 모듈의 상면 높이를 측정하도록 구성되는 레이저프로브(210);
    상기 레이저프로브(210)에 의해 측정된 카메라 모듈의 상면 높이에 따라 조정된 높이에 니들(221)이 배치되어 상기 카메라 모듈에 대한 제조 공정을 수행하도록 구성되는 작업모듈(220); 및
    상기 카메라 모듈의 비전 검사를 수행하는 제1모듈비전카메라(230);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 점검부(300)에는,
    상기 디스펜스부(200)의 니들(221)을 클리닝시키는 니들클리닝모듈(310); 및
    상기 니들(221)의 상태를 점검하도록 구성되는 하부비전카메라(320);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 턴테이블부(500)에는,
    회전판(510);
    상기 회전판(510)에서 회전되는 자재를 클리닝시키는 자재클리닝모듈(520); 및
    상기 회전판(510)에서 회전되는 자재의 비전 검사를 수행하는 자재비전카메라(530);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 어태치부(600)에는,
    상기 웨이퍼를 촬영하여 상기 웨이퍼에 부착되어 있는 자재의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 웨이퍼비전카메라(610);
    상기 이송부(100)에 의해 이송되는 카메라 모듈을 촬영하여 상기 카메라 모듈의 위치 좌표를 파악하도록 구성되는 제2모듈비전카메라(620); 및
    상기 자재를 픽업하여 어태치하도록 구성되는 어태치피커(630);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 자재를 상하부로 업다운시키거나 회전시키도록 구성되는 플립부(700)가 더 포함되고,
    상기 플립부(700)에는,
    상기 웨이퍼에서 자재를 픽업하는 그리퍼(710);
    상기 그리퍼(710)를 상하부로 업다운시키는 승강모터(720); 및
    상기 그리퍼(710)를 회전시키도록 구성되는 회전모터(730);
    가 포함되는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 마운트 시스템.
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