JP4546066B2 - 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置 - Google Patents
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Description
図3によって、従来の基板の位置決め方法を説明する。
LCD( Liquid Crystal Display :液晶ディスプレイ)基板や PDP( Plasma Display Panel )等の FPD( Flat Panel Display )、及び、半導体ウェハ等の各種基板、並びに、それらのリソグラフィに使用するマスク基板等は、蒸着・エッチング等の膜製造技術を用いて製作される。しかし、これによって基板上に形成される電極パターンや配線パターンについて、製造途中並びに製造の最終工程で、その良否を判定する必要がある。これは、後工程に不良品を流さないために必要な手段である。そのために、形成されたパターンの寸法や形成位置が所定の範囲内にあるか否かを測定することが必要となる。図3は、上記のような基板の線幅を測定するための従来の線幅測定装置の構成の一例を示すブロック図である。
検査対象物の基板 1 は、基板搬送ハンド 18 で搬送され、基板クランプ台 2 上に載置される。図3では、基板搬送ハンド 18 が左右(両矢印の方向)に動き、基板 1 を搬送する。尚、詳細は図5による。
次に、基板受取りピン 191 〜 194 を下降させ、基板クランプ台 2 上に構成された100個の基板平面維持ピン2001 〜 2100(図5(a) に小さな○印で示す)に基板 1 を受け渡す。図5(a) では、数が多くてすべて描くことができないので、その1部分の基板平面維持ピンを示している。また、図5(b) では、基盤クランプ台 2 上の基板平面維持ピン 2001 〜 2100 及び吸着パッド 2201 〜 2212 を省略している。
この基板平面維持ピン 2001 〜 2100 は、基板クランプ台 2 に取り付けられ、基板 1 全体の平面の平坦さを保っている。尚、例えば、LCD のような表示基板では、大きさが約 700 × 700 mm(板厚 0.5 mm )であり、基板平面維持ピンの配列ピッチが 70 mm である。
即ち、押し当てローラ 203 ,204 ,212 で基板を矢印の方向に押し(例えば、押す力は、2 N )、基準ローラ 201 ,202 ,211 に押し付ける。基準ローラ 201 ,202 ,211 は、押し当てローラ 203 ,204 ,212 の力に負けない力(例えば、5 N )を保持できるようになされている。その状態で図5に示す基板 1 の裏面を基板クランプ台 2 に設けられた吸着パッド 2201 〜 2212(図5(a) の黒丸で示す)で吸着しホールドする。
基板吸着後、押し当てローラ 203 ,204 ,212 は基板押し当て解除で外側に退避する。基準ローラ 201 ,202 ,211 も外側に退避する(特許文献1参照。)。
この検査方法を以下に説明する。
アライメントマーク 111 ,112 の位置をアライメント用対物レンズ 12 で観察し、アライメントマーク観察位置のXY ステージ座標及びアライメントマーク検出画像を登録する。次に変倍機構 10 を用いて、検査用対物レンズ 11 に交換し、検査対物レンズ 11 で基板 1 を観察し、検査したい位置座標 121 〜 128 及び検査画像も同様に登録する。
光学倍率は、5 × 3.3 = 16.5 倍で、
CCD カメラサイズ 6 mm × 6 mm を使用すると、CCD カメラの視野は、
6 mm / 16.5 = 0.36 mm × 0.36 mm の視野になり、
基板基準面からアライメントマーク 111 ,112 までの距離の公差が、± 0.1 mm 以内であるため、0.36 mm × 0.36 mm の範囲であれば、アライメントマークの位置が多少ずれても、アライメントマーク 111 ,112 が CCD カメラの視野内に入る。従って、アライメントマーク 111 ,112 を画像処理で位置認識(位置検出)できる。
即ち、
光学倍率は、50 × 3.3 = 165 倍で、
CCD カメラサイズ 6 mm × 6 mm を使用すると、CCD カメラの視野は、
6 mm / 165 = 0.036 mm = 36μm × 36μm となる。
この基板 1 の裏面と 100 個の基板平面維持ピン 2001 〜 2100 が接触した状態で、基板基準面 101 と 102 が基準ローラ 201 、202 、211 に接触し、位置決めするように押し当てローラ 203 、204 、212 で基板を押すためには、押し当てローラ 203 、204 、212 の押す力は、1 〜 2 N 必要である。
基板の裏面と基板平面維持ピン 269 個が接触するためには、前記の基板の大きさが、700 mm × 700 mm の時に比べて摩擦抵抗が大きく、更に基板が大きくなると、基板基準面の基準ローラに押し当てローラで基板を押し当てる力は 2.5 〜 6 N 以上を必要とする。このような大きな力で基板を押すと、基板の変形や外形損傷、または、内部配線パターンの損傷を惹き起こし、製品の歩留まりがひどく悪化する。
本発明の目的は、上記のような問題を解決し、基板の外形損傷または、内部配線パターンの損傷を惹き起こすことのない力で基板の位置決めをする方法及び基板の検査装置を提供することにある。
また好ましくは、本発明の基板位置決め方法の吸着機構部は、平面状のクランプ機構部あるいは複数の突起部を有するクランプ機構部のいずれかからなり、基板移動機構部は、位置合わせ手段を用いて基板を所定の位置に位置合わせした後、基板をクランプ機構部上に載置することものである。
また、好ましくは、本発明の基板位置決め方法の基板移動機構部は、基板を吸着する複数の吸着機構部を有し、位置合わせ手段を用いて基板を所定の位置に位置合わせする時、複数の吸着機構部の内、基板のほぼ中央部に位置する吸着機構部の吸着力を基板の周辺部に位置する吸着機構部の吸着力より弱くするものである。
また好ましくは、本発明の基板の検査装置のクランプ機構部は、基板を載置する面が平面であるものである。
また好ましくは、本発明の基板の検査装置のクランプ機構部は、複数の突起部からなるものである。
また好ましくは、本発明の基板の検査装置の基板移動機構部は、基板を吸着する複数の吸着機構部および複数の吸着機構部の吸着力を制御する吸着力制御部を有し、位置合わせ手段を用いて基板を所定の位置に位置合わせする時、吸着力制御部は、複数の吸着機構部の一部の吸着機構部の吸着力を他の吸着機構部の吸着力より弱くするように制御するものである。
また好ましくは、本発明の基板の検査装置の基板移動機構部は、基板を吸着する複数の吸着機構部および複数の吸着機構部の吸着力を制御する吸着力制御部を有し、位置合わせ手段を用いて基板を所定の位置に位置合わせする時、吸着力制御部は、複数の吸着機構部の内、基板のほぼ中央部に位置する吸着機構部の吸着力を基板の周辺部に位置する吸着機構部の吸着力より弱くするように制御するものである。
(1)基板押し当て力が 1 N 以内に収まる。
(2)基板の損傷なしに、基板固定が容易に可能となる。
本発明の基板の位置決め方法は、例えば、図5に示すように、基板受取り位置で基板クランプ台 2 の4点の穴 1911 ,1921 ,1931 ,1941 から基板受取りピン 191 ,192 ,193 ,194 を上昇させ、基板搬送ハンド 18 から基板を受取った後、基板搬送ハンド 18 を退避させる。その後、基板受取りピン 191 ,192 ,193 ,194 を降下させて、基板 1 を基板平面維持ピン 2001 〜 2100 に受渡すが、この基板 1 を基板平面維持ピン 2001 〜 2100 に受け渡す前に、基板押し当て位置決めを行なう。これにより、基板受取りピン 191 ,192 ,193 ,194 だけの摩擦抵抗で基板 1 を押すことができるため、基板 1 を押す力を弱くすることができるので、摩擦抵抗が小さく、基板の変形や外形損傷を無くすことができる。
図1及び図6と図7を用いて基板受取りと吸着板への位置決め方法を説明する。図1は、本発明の基板受取りと吸着板(吸着機構部)への位置決めの一実施例を説明するための図で、図7は、本発明の基板受取りと吸着板への位置決めの一実施例の処理の流れを説明するフローチャートである。
ステップ 601 では、Y 軸移動ステージ 4 と X 軸移動ステージ 3 の移動による基板受取り位置で、基板クランプ台(クランプ機構部)2 の8点の穴(図1(a) 参照)から基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 を上昇させ、基板搬送ハンド 18 上の基板 1 を持ち上げる。即ち、基板 1 を搬送アーム 18 から基板受け取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 に受け取る。そして、基板受け取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 を持ち上げ、基板 1 が搬送アーム 18 から持ち上がったことを上側位置センサ 1932(後述の図2参照)が感知する。
ステップ 602 では、基板 1 が充分に持ち上がったら(図1(b) 参照)、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 の吸着溝(例えば、吸着溝 1983 )の圧力を大気圧以下に下げ基板を吸着する。基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 は、吸着部を柔らかい材料、例えば、シリコン樹脂 1982 を用いて、吸着し易いようにしている。
ステップ 603 では、基板搬送ハンド 18 を退避する(図1では左側に退避)。
ステップ 605 では、後述する図2の基板クランプ位置センサ 1933 が基板 1 の下降を感知し、図1(c) に示す様に、基板平面維持ピン 2001〜2100 に接触する高さより上で、かつ、基準ローラ 201 、202 、211 及び押し当てローラ 203 ,204 ,212 が基板 1 を押すことができる高さで基板 1 を停止する。
次にステップ 606 では、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 は、吸着を停止しピン内を低圧から大気圧にするかまたは吸着力を弱くする。
尚、基板 1 を吸着したり、吹き上げたりするためには、エアーコンプレッサー等が必要であるが、図1では省略している。
即ち、ステップ 608 では、押し当てローラ 203 、204 、212 で基板を押し(押す力は、例えば、1 N )、基準ローラ 201 、202 、211 に押し付ける。基準ローラ 201 、202 、211 は、押し当てローラ 203 、204 、212 の力に負けない力( 5 N )を保持する。
ステップ 610 では、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 の吸着溝の圧力を大気圧から低圧(真空チャック)にして、基板 1 を吸着する。
ステップ 611 では、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 が基板 1 を吸着したなら、押し当てローラ 203 、204 、212 の基板押し当てを解除して外側に退避する。また、基準ローラ 201 、202 、211 も、外側に退避する。
ステップ 613 では、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 を下降させる。降下は、ゆっくり実施するのが良い。
ステップ 614 では、吸着パッド 2201 〜 2212 が基板 1 を吸着し、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 は、ピン内を低圧から大気圧にし基板 1 の吸着を停止する。
ステップ 615 では、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 は、X ステージ 3 と Y ステージ 4 が自由に移動できるように下側に移動し、図1(d) に示すように、下側センサ 1934(後述の図2参照)で停止する。
上記実施例では、基板受取りピン内の気圧を大気圧に比べて述べた。しかし、検査装置等が一定雰囲気内にある場合には、その雰囲気(例えば、窒素ガス)の雰囲気圧に比べての高低によって吸着や吸着の停止を行うことは自明である。
図2によって、基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 の一実施例の概略構造を説明する。図2は、本発明の基板受け取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 の一実施例の概略構成を示す図である。(a) は基板受け取りピンの吸着と吹き上げとを説明するための概略図、(b) はセンサ遮蔽板 1942-1 と、上側位置リミッタ 1931 、上側位置センサ 1932 、下側位置センサ 1934 、下側位置リミッタ 1935 との関係を説明するための概略図、(c) は基板クランプ位置センサ遮蔽板1942-2 と基板クランプ位置センサ 1933 との関係を説明するための概略図である。
上側位置リミッタ 1931 、上側位置センサ 1932 、下側位置センサ 1934 、下側位置リミッタ 1935 と基板クランプ位置センサ 1933 はセンサ取付板 1945 に取り付いていて固定されている。センサ取付板 1945 は、ナット部 1944 に伴って上下方向に移動しない。これらのリミッタ、センサは、例えば、フォトセンサである。
基板クランプ位置センサ遮蔽板 1942-2 が下降し、この開放部が基板クランプ位置センサ1933 の光軸を通過したことを感知して、その高さでナット部 1944 が下方向の移動を停止する。そして、ステップ605 〜ステップ 609 、及びステップ 610 〜ステップ 612 を実行する。
また、下側位置リミッタ 1935 は、センサ遮蔽板 1942-1 の開放部がその光軸を通過したことによって、それ以上ナット部 1944 が下方向に移動しないように、ステッピングモータ 1941 に供給する電源をオフするストッパである。(ステップ 613 〜ステップ 615 参照)
図2(a) において、1951 は吹き上げ機構付きの基板受け取りピン194 の空気流通パイプ系統、1952 は吸着機構だけの基板受け取りピン(例えば、基板受け取りピン 191 ,192 ,193 ,195 〜 198 の空気流通パイプ系統を示す。
基板平面維持ピンの場合には、位置決め等による基板との接触などにより、複数のピンのうちのいずれかが曲がったり折れたりするような破損を起こし易い。そしてピン数が多いためその破損が簡単には発見できずまたその平面度の補正もかなり面倒な作業となる。その場合には、基板の一部に局部的なそりが発生し、測定精度が落ちることになる。このような問題点を克服するための本発明の他の実施例を図8を参照して説明する。
従って、このような複数の基板平面維持ピンではなく、基板クランプ台を平面の基板クランプ台とすることが考えられる。
図8の実施例では、図1における基板平面維持ピン 2001 〜 2100 のかわりに、面精度の高い基板クランプ台 2′とし、基板受取りピン 191 、192 、……、198 (図8では、基板受取りピン 196 、197 、198 のみを示す)が上下に移動可能な穴を基板クランプ台 2′に設けている。また、同様に、吸着パッド 2201′〜 2212′(図8では、吸着パッド 2207′〜 2210′のみを示す)としての穴を基板クランプ台 2′に設けている。そして、基板 1 が基板受取りピン 191 ,192 ,‥‥‥,198 の下降によって基板クランプ台 2′まで降りてきたとき、この吸着パッド2201′〜 2212′が基板 1 を吸着する。
その他、図1と同様の機能であるので、説明を省略する。
Claims (4)
- 配線パターンが形成された基板を基板搬送アームで搬送する搬送部と、上記搬送部により搬送される上記基板を載置する載置台と、上記載置台の動作を制御する移動制御部と、上記載置台に載置され位置合わせされた上記基板の配線パターンを撮像する撮像装置と、上記撮像装置からの映像信号を処理する信号処理装置と、上記移動制御部と上記撮像装置と上記信号処理装置を制御するCPUと、を有する基板の検査装置の基板の位置決め方法において、
上記基板搬送アームによって上記基板を搬送し、上記載置台のXステージおよびYステージを移動して上記載置台のクランプ機構部を基板受取り位置に移動し、上記クランプ機構部の複数の穴からそれぞれ上記載置台の基板受取りピンを上昇させ、上記基板搬送アーム上の上記基板を持ち上げる第1ステップ、上記基板受取りピンそれぞれの吸着溝の圧力を雰囲気圧以下にして上記基板を吸着する第2ステップ、上記基板搬送アームを退避する第3ステップ、上記基板受取りピンを下降する第4ステップ、上記基板受取ピンを上記載置台の基板平面維持ピンに接触する高さより上で、かつ、上記載置台の基準ローラ及び押し当てローラが上記基板を押すことができる高さで停止する第5ステップ、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧から雰囲気圧にするかまたは吸着力を弱くする第6ステップ、中央の上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を雰囲気圧以上にする第7ステップ、上記基準ローラ及び上記押し当てローラによって上記基板の基板位置を位置決めする第8ステップ、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧にして上記基板を吸着する第9ステップ、上記押し当てローラ及び上記基準ローラを外側に退避する第10ステップ、上記クランプ機構部に備えた吸着パッドを雰囲気圧以下にする第11ステップ、上記基板受取りピンを下降する第12ステップ、上記吸着パッドが上記基板を吸着し、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧から雰囲気圧にし吸着を停止する第13ステップ、および、上記基板受取りピンを上記Xステージと上記Yステージが自由に移動できるように下側に移動し停止する第14ステップとを備えたことを特徴とする基板の位置決め方法。 - 配線パターンが形成された基板を基板搬送アームで搬送する搬送部と、上記搬送部により搬送される上記基板を載置する載置台と、上記載置台の動作を制御する移動制御部と、上記載置台に載置され位置合わせされた上記基板の配線パターンを撮像する撮像装置と、上記撮像装置からの映像信号を処理する信号処理装置と、上記移動制御部と上記撮像装置と上記信号処理装置を制御するCPUと、を有する基板の検査装置において、
上記移動制御部は、上記基板搬送アームによって上記基板が搬送されると、上記載置台のXステージおよびYステージを移動して上記載置台のクランプ機構部を基板受取り位置に移動し、上記クランプ機構部の複数の穴からそれぞれ上記載置台の基板受取りピンを上昇させ、上記基板搬送アーム上の上記基板を持ち上げる手段、上記基板受取りピンそれぞれの吸着溝の圧力を雰囲気圧以下にして上記基板を吸着する手段、上記基板搬送アームを退避する手段、上記基板受取りピンを下降する手段、上記基板受取ピンを上記載置台の基板平面維持ピンに接触する高さより上で、かつ、上記載置台の基準ローラ及び押し当てローラが上記基板を押すことができる高さで停止する手段、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧から雰囲気圧にするかまたは吸着力を弱くする手段、上記基準ローラ及び上記押し当てローラによって上記基板の基板位置を位置決めする手段、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧にして上記基板を吸着する手段、上記押し当てローラ及び上記基準ローラを外側に退避する手段、上記クランプ機構部に備えた吸着パッドを雰囲気圧以下にする手段、上記基板受取りピンを下降する手段、上記吸着パッドが上記基板を吸着し、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧から雰囲気圧にし吸着を停止する手段、および、上記基板受取りピンを上記Xステージと上記Yステージが自由に移動できるように下側に移動し停止する手段とを備えたことを特徴とする基板の検査装置。 - 請求項2記載の基板の検査装置において、上記クランプ機構部は、複数の突起部からなることを特徴とする基板の検査装置。
- 請求項2記載の基板の検査装置において、上記移動制御部は、さらに、中央の上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を雰囲気以上にする手段を有し、当該手段を、上記基板受取りピンの吸着溝の圧力を低圧から雰囲気圧にするかまたは吸着力を弱くする手段を動作させた後であって、上記基準ローラ及び上記押し当てローラによって上記基板の基板位置を位置決めする手段を動作させる前に、動作させることを特徴とする基板の検査装置。
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