JP4691375B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
図5は、線幅測定装置の略構成を示すブロック図である。また、図7は、従来の透過照明部の構成を示すブロック図である。
線幅測定器は、例えば、LCD( Liquid Crystal Display )基板等の表面に形成された膜パターンの寸法やパターン間隔、位置等を測定し、それらの寸法が定められた値の範囲に入っているかどうか測定する装置である(例えば、特許文献1参照。)。
測定装置は、外部HOSTまたは制御 PC 19 の指令により測定を開始する。測定は、予め設定されたレシピに基づいて、自動またはマニュアル動作で開始され、測定結果は測定結果表示用モニタ 16 に表示され、かつ測定結果は例えば制御 PC 19 内の HD( Hard Disk )等の磁気ディスクの所定のエリアに書込まれる。また、それらの測定結果データは、外部HOSTの要求により、外部HOSTに配信される。
なお、エアー除振台 12 によって、外部の振動がステージに伝わらないようにしている。
このため、図6(a) に示すような輝度波形が得られる。ここで、線幅を測定するときは、例えば、一番高い部分の輝度レベルと一番低い部分の輝度レベルとの差が 50 %の位置での間隔を測定する。
また、大型化により、ピン 3 の高さ調整が困難になることから、ピン 3 の長さ(ピン長)を大きくする必要もあった。
しかし、現在の WD(被測定対象物 2 と透過照明ヘッド部 6 との距離)のままでステージ厚の増加とピン長を増加することはできないため、WD を大きくする必要がある。WD を大きくした時の透過照明ヘッド部の様子を図8に示す。図8は、WD を大きくした時の従来の透過照明部の構成例を示すブロック図である。
前述の説明のように、線幅を輝度レベルの指定スライスレベルの位置で計算しているため、突起部分があると一番高いまたは一番低い輝度レベルが、実際よりも大きな値で観測されてしまい、測定誤差が生じる。
またこの突起部分の輝度レベルはフォーカスが少しずれただけでも変わってしまうため、測定の再現性に悪影響を与えてしまう。
図8の場合は、WD を現在(図7)の 30 mm から 75 mm にしたため、透過照明ヘッド部の口径が 46 mm であるので、透過照明光の NA 値は 0.77 から 0.31 になる。また使用している対物レンズの NA 値は、5倍のレンズで 0.13 であり50倍のレンズでは 0.50 である。このように対物レンズのNA 値は、高倍率のレンズほど大きくなるので、高倍率のときほど測定誤差が生じやすくなる。
透過照明ヘッド部の口径を大きくすることによって改善することもできるが、その場合ステージ厚も大きくする必要があるため、現在のステージ厚で改善することが要求される。
即ち、本発明の測定装置は、被測定対象物を光学的に拡大して測定する測定装置において、透過照明と被測定対象物の間に拡散板を挿入し、拡散板を通過した透過照明からの光が被測定対象物を透過した後光学的に拡大される。
また、好ましくは、拡散板は、測定時の光量不足が発生しない程度に光を透過するものである。
図1では、拡散板 4 は試料台 5 の上に配置され、ピン 3 は拡散板 4 の該当する箇所にあけられた貫通穴を通ることによって、拡散板 4 を動かさずに自在に上下する。
もちろん、拡散板 4 の位置は、NA 値を満足させればどこでも良い。例えば、ピン 3 の中腹の位置に固定しても良い。また、上下駆動機構を設け、任意に上下位置を変更するようにしても良い。
これは拡散板を使用したことにより対物レンズ 1 に入射する光の明るさ(光量)が少なくなってしまうためである。このため、光量不足が発生しない程度に光を透過し、かつエッジ部の突起部分の無くなる拡散板を選定して使用することになる。
Claims (1)
- ガラス基板である被測定対象物を当該被測定対象物の上部に備えた顕微鏡部で光学的に拡大し、拡大した上記被測定対象物を撮像した画像を画像処理して上記被測定対象物の表面に形成されたパターンの寸法やパターン間隔または位置を測定する測定装置において、上記被測定対象物をピンを使って載置する試料台と、上記試料台を透過し、上記被測定対象物の測定箇所を上記試料台の下方から照らす透過照明と、上記試料台の上に配置され、上記透過照明からの光を拡散する拡散板とを備え、上記ピンは上記拡散板の該当する箇所にあけられた貫通穴を通ることによって上記拡散板を動かさずに自在に上下し、上記透過照明からの光は、上記拡散板を通過して拡散され、上記顕微鏡部の対物レンズに入る光のNA値が大きくなり、上記被測定対象物を透過した後光学的に拡大されることを特徴とする測定装置。
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Citations (6)
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---|---|---|---|---|
JPH0628614U (ja) * | 1992-09-07 | 1994-04-15 | 株式会社ソキア | 画像処理型測定機 |
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JP2004186681A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-07-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置 |
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---|---|---|---|---|
JPH0628614U (ja) * | 1992-09-07 | 1994-04-15 | 株式会社ソキア | 画像処理型測定機 |
JP2001221951A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-08-17 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2002189174A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-05 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡用照明装置 |
JP2004170400A (ja) * | 2002-10-30 | 2004-06-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 寸法測定方法及び装置 |
JP2004186681A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-07-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置 |
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