JP4848263B2 - 板状部材検査装置 - Google Patents
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Description
W ・・・板状部材
3 ・・・載置台
61 ・・・光照射部
62 ・・・光検出部
72 ・・・演算部
31 ・・・突出支持部
31a・・・先端部
Claims (6)
- 板状部材を水平に載置するための載置台と、
前記載置台に載置された板状部材に光を照射する光照射部と、
光が照射された板状部材からの反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部からの光検出信号を受け付けて、前記板状部材に生じる反り量を算出する演算部と、を備え、
前記載置台が、その上面に設けられ、前記板状部材の下面に接触して、その板状部材を水平に支持する互いに離間した複数の突出支持部を備えており、
前記演算部が、成膜加工が施された板状部材の反り量と成膜加工が施されていない板状部材の反り量との差を算出し、さらにその差から前記突出支持部の支持反力の曲げモーメント影響を除去して、前記成膜加工が施された板状部材における成膜加工により生じる反り量を算出するものであることを特徴とする板状部材検査装置。 - 前記突出支持部が、長尺状をなし、互いに平行に配置されていることを特徴とする請求項1記載の板状部材検査装置。
- 前記突出支持部が等間隔に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の板状部材検査装置。
- 前記突出支持部の先端部が曲面加工されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の板状部材検査装置。
- 前記演算部が、前記成膜加工が施されていない板状部材の反り量から、前記成膜加工が施された板状部材の反り量、及び前記突出支持部の支持反力の曲げモーメントによる反り量を差し引くことにより、前記成膜加工が施された板状部材における成膜加工により生じる反り量を算出するものであることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の板状部材検査装置。
- 前記反り量が曲率により示される請求項1、2、3、4又は5記載の板状部材検査装置。
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