CN1991446A - 用于检查平板显示器件的装置及其检查方法 - Google Patents

用于检查平板显示器件的装置及其检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1991446A
CN1991446A CNA2006100943538A CN200610094353A CN1991446A CN 1991446 A CN1991446 A CN 1991446A CN A2006100943538 A CNA2006100943538 A CN A2006100943538A CN 200610094353 A CN200610094353 A CN 200610094353A CN 1991446 A CN1991446 A CN 1991446A
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass substrate
panel display
display device
check
flat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006100943538A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100456087C (zh
Inventor
尹景湜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Display Co Ltd
Original Assignee
LG Philips LCD Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Philips LCD Co Ltd filed Critical LG Philips LCD Co Ltd
Publication of CN1991446A publication Critical patent/CN1991446A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100456087C publication Critical patent/CN100456087C/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8803—Visual inspection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

公开了一种用于检查平板显示器件的装置及其检查方法。尽可能地缩短了检查玻璃基板的工时，通过简化产品而降低了制造成本，并减小了占地面积。该装置包括：底框；载送器，将玻璃基板从底框一侧载送到相对侧；自动探测器，用于捕捉玻璃基板的图像并使用捕捉到的数据检查玻璃基板是否为次品；以及视觉检查器，使玻璃基板的前侧向前倾斜并使得可以用肉眼来检查玻璃基板。根据该装置，缩短了工时并减小了占地面积。

Description

用于检查平板显示器件的装置及其检查方法
技术领域
本发明涉及用于检查平板显示器件的玻璃基板的装置，更具体地，涉及一种用于检查平板显示器件的装置及其检查方法，其中尽可能地缩短了检查玻璃基板的次品的工时(tact time)，通过简化产品而降低了制造成本，并且减小了占地面积(foot print)。
背景技术
通常，平板显示器件是被设计为减小阴极射线管的缺点：体积大且重量重的显示器件，在平板显示器件中，有液晶显示器、场发射显示器、等离子显示板以及发光显示器。
具体地，设计了用于检查如上所述的平板显示器件的装置以按将光投射到玻璃基板(例如，LCD板)上并且工人检查反射光的量的方式来确定平板显示器件是否为次品。
用于检查平板显示器件的装置包括通过工人的视觉检查来确定次品的视觉检查器以及使用视觉系统的自动探测器。
换言之，通过使用自动探测器，可以检查包括肉眼难以检测的缺陷在内的各种缺陷，并且工人使用视觉检查器来执行视觉检查以确定玻璃基板是否为次品。
在这种情况下，缺陷包括关于特定坐标的像素缺陷、特定坐标的行缺陷以及杂质缺陷。
然而，在常规的用于检查平板显示器件的装置中，因为自动探测器和视觉检查器是分立设置的，所以用于检查的处理线的占地面积必然很大。
此外，因为需要单独的载送器来将玻璃基板从自动探测器载送到视觉检查器(或者从视觉检查器载送到自动探测器)，所以制造成本必然很高。
此外，因为必须在两个位置依次执行用于检查玻璃基板的缺陷的过程，所以生产时间(即工时)必然较长。
发明内容
因此，本发明旨在提供一种用于检查平板显示器件的装置及其检查方法，其基本消除了由于现有技术的局限和缺点导致的一个或更多个问题。
本发明的目的是提供一种用于检查平板显示器件的装置及使用该装置的平板显示器件检查方法，其中使得整个装置的占地面积最小，缩短了工时，并且降低了制造成本。
本发明的附加优点、目的以及特征将在以下说明中部分地得到阐述，并且部分地在本领域普通技术人员考察以下内容时显见，或者可以通过对本发明的实践来获知。可以使用文字说明及其权利要求以及附图中具体指出的结构来实现并获得本发明的目的及其他优点。
为了实现这些目的和其他优点并根据本发明的目的，如在此具体实现和概况描述的，一种用于检查平板显示器件的装置包括：底框，用于形成装置主体；载送器，沿底框的上侧安装以将玻璃基板从底框一侧载送到底框的相对侧；自动探测器，用于捕捉由载送器载送的玻璃基板的图像并使用捕捉到的数据来检查玻璃基板是否为次品；以及视觉检查器，安装在底框一侧上以使由载送器载送的玻璃基板的前侧向前倾斜并用肉眼检查玻璃基板。
这里，载送器包括沿底框上侧滚动的多个辊和用于驱动各个辊的第一驱动单元。
自动探测器包括：第一照明单元，用于照射玻璃基板；图像捕捉单元，用于捕捉玻璃基板的图像；以及检查单元，用于分析由图像捕捉单元捕捉到的数据并用于提取玻璃基板的缺陷。
视觉检查器包括：承载框，玻璃基板加载于其上；第二驱动单元，被驱动以使得承载框的前侧向前倾斜；以及第二照明单元，用于照射加载在承载框上的玻璃基板。
在本发明的另一方面中，一种使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法包括以下步骤：将玻璃基板设置于底框的一侧；将所设置的玻璃基板载送到底框的相对侧；使用自动探测器来捕捉所载送的玻璃基板的图像以确定玻璃基板的缺陷；以及预先将被载送到底框相对侧的玻璃基板竖立成预定角度，并照射该玻璃基板，以用肉眼检查该玻璃基板是否为次品。
应当理解，对本发明的以上一般性描述和以下详细描述都是示例性和说明性的，旨在提供对如权利要求所述的本发明的进一步说明。
附图说明
附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解，并且被并入且构成本申请的一部分，附图例示了本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中：
图1是例示根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的外观的立体图；
图2是例示根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的侧面图；
图3和图4是例示由根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置执行的对玻璃基板的缺陷检查过程的操作图；
图5是例示根据本发明第二优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的外观的立体图；
图6是例示根据本发明第二优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的反转单元的操作的立体图；以及
图7是例示根据本发明第三优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的侧面图。
具体实施方式
下面将详细说明本发明的优选实施例，其示例示于图1至7中。只要可能，就在全部附图中使用相同的标号来表示相同或相似的部分，并将略去对相同部分的附加描述。
附图1和2是例示根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置的示意图。
如图所示，根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置大体包括底框100、载送器200、自动探测器300以及视觉检查器400。
首先来描述底框100。
底框100是形成用于检查平板显示器件的装置的主体的部分。
底框100沿处理进行的方向纵向地形成，使得在其内上侧周围没有独立的结构。
换言之，底框100被构成为使得框架仅位于前侧(图中的左侧)、后侧和侧面，而内部空间是空的。
接着，将描述载送器200。
载送器200被安装为沿底框100的上端移动，并被构造为使得玻璃基板1加载在其上侧，从而载送器200将玻璃基板1从底框100的一侧载送到其相对侧。
载送器200包括：多个辊210，被安装为沿底框100的上侧滚动；和第一驱动单元(未示出)，用于驱动各个辊210。
在这种情况下，可以使各个辊210的轴211通过皮带(未示出)同时接收来自第一驱动单元(未示出)的驱动力，或者可以为它们分别装备第一驱动单元。
下面，将描述自动探测器300。
自动探测器300是用于捕捉由载送器200载送的玻璃基板1的图像、并使用捕捉到的玻璃基板1的数据来检查玻璃基板1是否为次品的装置。
自动探测器300包括第一照明单元310、图像捕捉单元320以及检查单元(未示出)。
具体地，如图1所示，第一照明单元310沿前后方向纵向地安装在底框100的上侧(与各个辊相比位于下侧)，来照射在第一照明单元310上通过的玻璃基板1的下表面。
在这种情况下，第一照明单元310优选地包括具有内电极的荧光灯(例如，冷荧光灯(CFL)和冷阴极荧光灯(CCFL))、外电极荧光灯(EEFL)(其中电极设置在管外)或者发光二极管(LED)中的一种。
此外，图像捕捉单元320是用于捕捉玻璃基板1的图像的摄像机。
图像捕捉单元320安装在底框100的上部空间中的与第一照明单元310的位置相对应的位置处(在第一照明单元的上侧)。
无需强调，尽管图中未示出，但是可以交换第一照明单元310和图像捕捉单元320的位置地安装它们。换言之，第一照明单元310可以安装在底框100的上侧，而图像捕捉单元320可以安装在底框100的下侧。
此外，检查单元是用于分析由图像捕捉单元320捕捉到的数据以确定玻璃基板1的缺陷的装置。
优选地，检查单元由用于经由有线线路或无线线路从图像捕捉单元320接收数据并处理数据的计算机来实现。
同时，自动探测器300优选地进一步包括使得工人可以确认由检查单元提取的缺陷的显示器(例如，监视器(未示出))。
接着，将描述视觉检查器400。
视觉检查器400是用于使得由载送器200载送的玻璃基板1倾斜以使得玻璃基板的前侧向前(朝向工人站立的一侧)倾斜从而工人可以用肉眼检查玻璃基板1的装置。
视觉检查器400包括承载框410、第二驱动单元420以及第二照明单元430。
这里，承载框410是玻璃基板1加载并放置于其上的部分，并被形成为仅具有用于支承玻璃基板1的周边下侧的边缘且内部为空的矩形框的形式。同时，承载框410的前端优选地设置有从其前端弯曲的夹爪411以包住玻璃基板1的前端。
特别地，承载框410优选地被安装为陷入底框100的内上部。
为此，底框100的上表面的其上放置有承载框410的部分分别形成有凹部110。
在这种情况下，凹部110的深度优选地低于载送器200的各个辊210的最高水平面。
这是为了防止在对玻璃基板1进行自动探测期间承载框410干扰对玻璃基板1的载送。
此外，第二驱动单元420是被驱动以使得承载框410向前倾斜的装置。
第二驱动单元420包括轴与承载框410的前端耦合的电机。
如图2所示，第二照明单元430安装在承载框410所在的部分的上方空间中。
特别地，如图2所示，本发明第一优选实施例的视觉检查器400进一步包括至少一个用于将从第二照明单元430提供的光反射到玻璃基板1的反射板440。
下面，将参照附图1至4如下描述使用根据本发明第一优选实施例的用于检查平板显示器件的装置来检查玻璃基板1的方法。
首先，在从底框100的一侧(安装有视觉检查器的相对侧)载送玻璃基板1之后，将载送的玻璃基板1加载到载送器200的各个辊210的上侧。
在这种状态下，当驱动第一驱动单元(未示出)时，各个辊210滚动，并且玻璃基板1移动到底框100的相对侧(安装有视觉检测器的一侧)。
此外，此时，自动探测器300的第一照明单元310照射玻璃基板1的下表面，自动探测器300的图像捕捉单元320连续捕捉玻璃基板1的图像并扫描玻璃基板1。图3中绘出了这种状态。
通过检查单元(未示出)来使用由图像捕捉单元320捕捉到的数据以提取缺陷，将上述提取的结果信息显示在显示器(未示出)上，从而工人可以确认玻璃基板1是否为次品。
接着，当完成了如上所述的顺序自动探测时，玻璃基板1位于视觉检查器400的承载框410的正上侧，即，底框100的相对侧。这示于图4中。
在这种状态下，当工人希望以肉眼对玻璃基板1执行视觉检查时，驱动第二驱动单元420，移动承载框410以使其逐渐向上倾斜。
换言之，如图1所示，将承载框410的后侧围绕着承载框410通过轴与第二驱动单元420耦合的部分逐渐升高。此时，因为承载框410的夹爪411夹住了玻璃基板1的前侧，所以防止了玻璃基板1沿倾斜方向滑下。
此外，当承载框410位于预定角度时，第二照明单元430发光以照射加载在承载框410上的玻璃基板1的上表面(正面)。这种状态示于图2中。
由此，工人站在视觉检查器400的前面来以肉眼检查玻璃基板1，并确定玻璃基板1是否为次品。
因此，由于如上所述的顺序，连续执行对玻璃基板1的自动探测和视觉检查，从而可以缩短用于检查缺陷的处理时间，即工时。
同时，图5例示了根据本发明第二优选实施例的用于检查平板显示器件的装置。
根据本发明第二优选实施例的用于检查平板显示器件的装置进一步包括反转单元500。
反转单元500是用于向左或者向右反转玻璃基板1的装置。
换言之，可以在由反转单元500反转玻璃基板1的状态下执行对玻璃基板1的自动探测，从而可以关于玻璃基板1的整个区域是否有缺陷来精确地检查玻璃基板1。
如图5和6所示，反转单元500包括承载板510、转动单元(未示出)以及提升单元530。
这里，承载板510是其上承载有玻璃基板1的部分，并被形成为圆形板。
此外，转动单元是被驱动以使承载板510转动并被安装在底框100的内下侧的装置。
提升单元530是被驱动以选择性地升高和降低承载板510的装置，并通过轴与致动器(未示出)耦合。提升单元530的数量为至少一个(优选地为多个)。
下面，将如下详细描述根据本发明第二优选实施例的用于检查平板显示器件的装置中的反转单元500。
首先，图5中示出了初始状态。
此时，将玻璃基板1载送至视觉检查器400所在的一侧，并将其加载在各个辊210的上侧。
如果反转处于上述状态的玻璃基板1(向左或者向右转动玻璃基板)，则各个提升单元530升高。
由于该操作，承载板510向上移动，并且玻璃基板1与辊210的上侧分离。
当玻璃基板1与各个辊210的上侧分离时，驱动转动单元以使承载板510转动，从而将玻璃基板1反转到期望位置。
之后，各个提升单元530下降，再次将经反转的玻璃基板1加载到各个辊210的上侧。连续地，反向驱动各个辊210，并将经反转的玻璃基板1载送至自动探测器300所在的一侧以执行缺陷检查。
同时，图7例示了根据本发明第三优选实施例的用于检查平板显示器件的装置。
根据本发明第三优选实施例的用于检查平板显示器件的装置进一步包括透射照明单元600。
该透射照明单元600是安装在视觉检查器400所在的部分的后侧以照射玻璃基板的后侧的装置。
换言之，根据本发明第三优选实施例的用于检查平板显示器件的装置进一步包括透射照明单元600，以使用透射照射来执行对玻璃基板1的缺陷检查。
在这种情况下，透射照明单元600包括至少一个用于发光的第三照明单元610和第三照明单元610安装于其上的安装架620。
下面，将如下详细描述使用根据本发明第三优选实施例的用于检查平板显示器件的装置来检查玻璃基板1是否为次品的过程。
首先，当使用透射照射对玻璃基板1进行缺陷检查时，驱动第二驱动单元420来使承载框410转动，以使其如图7所示完全沿垂直方向直立。
此外，透射照明单元600的第三照明单元610发光以照射加载在承载框410上的玻璃基板1的背面。
由此，位于玻璃基板1前面的工人可以用肉眼检查玻璃基板1。
可以在使用本发明第一优选实施例中给出的反射照射来对玻璃基板1进行缺陷检查之前或之后执行使用透射照射对玻璃基板1的缺陷检查。
同时，如上所述，可以如在各个优选实施例中所描述的，根据需要来按照多种方式修改根据本发明的用于检查平板显示器件的装置。
如上所述，根据本发明各个优选实施例的用于检查平板显示器件的装置被构造为使得自动探测器分别与相应的视觉检查器一体形成，从而可以使占地面积最小。
此外，因为无需单独的视觉检查器，所以不需要附加装置，使得制造成本最少。
此外，因为可以连续执行对玻璃基板的自动探测和视觉检查，所以还可以缩短整体工时。
对本领域技术人员来说，显然可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下对本发明进行各种变型和修改。由此，本发明旨在覆盖落入所附权利要求及其等同物范围内的对本发明的各种变型和修改。

Claims (19)

1、一种用于检查平板显示器件的装置，包括：
底框，用于形成装置主体；
载送器，沿着底框的上侧安装，用于将玻璃基板从底框的一侧载送到底框的相对侧；
自动探测器，用于捕捉由载送器载送的玻璃基板的图像并使用捕捉到的数据来检查玻璃基板是否为次品；以及
视觉检查器，安装在底框的一侧，用于使由载送器载送的玻璃基板的前侧向前倾斜并用肉眼检查该玻璃基板。
2、根据权利要求1所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，载送器包括：
沿底框的上侧滚动的多个辊；以及
用于驱动各个辊的第一驱动单元。
3、根据权利要求1所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，自动探测器包括：
第一照明单元，用于照射玻璃基板；
图像捕捉单元，用于捕捉玻璃基板的图像；以及
检查单元，用于分析由图像捕捉单元捕捉到的数据并提取玻璃基板的缺陷。
4、根据权利要求3所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，第一照明单元安装在底框下侧，用于照射玻璃基板的下表面；并且
图像捕捉单元安装在底框上侧的与第一照明单元的位置对应的位置处，用于捕捉玻璃基板的图像。
5、根据权利要求1所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，视觉检查器包括：
承载框，其上承载着玻璃基板；
第二驱动单元，被驱动为使得承载框的前侧向前倾斜；以及
第二照明单元，用于照射承载框上承载的玻璃基板。
6、根据权利要求5所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，承载框被安装为陷入底框的内上侧，以使得在对玻璃基板进行自动探测期间承载框不会干扰对玻璃基板的载送。
7、根据权利要求5所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，承载框被形成为仅具有边缘且内部为空的矩形框的形式。
8、根据权利要求5所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，第二照明单元安装在承载框所在的部分的上方空间中。
9、根据权利要求5所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，视觉检查器进一步包括用于将从第二照明单元提供的光反射到玻璃基板的至少一个反射板。
10、根据权利要求1所述的用于检查平板显示器件的装置，进一步包括反转单元，该反转单元安装在底框的上侧，即安装有视觉检测器的部分，用于选择性地将所载送的玻璃基板向左和向右转动到期望位置。
11、根据权利要求10所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，反转单元包括：
承载板，被安装为转动并升高以在其上承载玻璃基板；
转动单元，其被驱动为使承载板转动；以及
至少一个提升单元，其被驱动为使承载板升高。
12、根据权利要求1所述的用于检查平板显示器件的装置，进一步包括透射照明单元，该透射照明单元安装在底框的各个部分中的视觉检查器所在部分的后侧，用于照射玻璃基板的后侧。
13、根据权利要求12所述的用于检查平板显示器件的装置，其中，透射照明单元包括：
至少一个第三照明单元，用于发光；以及
安装架，第三照明单元安装于其中。
14、一种使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，包括以下步骤：
(1)将玻璃基板设置于底框的一侧；
(2)将所设置的玻璃基板载送到底框的相对侧；
(3)使用自动探测器来捕捉所载送的玻璃基板的图像以确定玻璃基板的缺陷；以及
(4)预先将被载送到底框相对侧的玻璃基板竖立成预定角度，并照射该玻璃基板，以用肉眼检查该玻璃基板是否为次品。
15、根据权利要求14所述的使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，进一步包括步骤(5)：反转玻璃基板以将该玻璃基板从底框的所述相对侧载送到执行自动探测的一侧，从而再次执行自动探测。
16、根据权利要求14所述的使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，其中步骤(4)包括如下的子步骤(a)：使玻璃基板倾斜为预定角度，并向玻璃基板的正面提供反射照射，以执行对玻璃基板的缺陷检查。
17、根据权利要求16所述的使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，其中步骤(4)进一步包括如下的子步骤(b)：在将玻璃基板从基础面垂直立起之后向该玻璃基板的背面提供透射照射，以执行对玻璃基板的缺陷检查。
18、根据权利要求17所述的使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，其中在子步骤(b)之前执行子步骤(a)。
19、根据权利要求17所述的使用用于检查平板显示器件的装置的检查方法，其中在子步骤(b)之后执行子步骤(a)。
CNB2006100943538A 2005-12-29 2006-06-30 用于检查平板显示器件的装置及其检查方法 Active CN100456087C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050133993A KR101166828B1 (ko) 2005-12-29 2005-12-29 평판표시장치용 검사장비 및 검사 방법
KR1020050133993 2005-12-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1991446A true CN1991446A (zh) 2007-07-04
CN100456087C CN100456087C (zh) 2009-01-28

Family

ID=38213827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2006100943538A Active CN100456087C (zh) 2005-12-29 2006-06-30 用于检查平板显示器件的装置及其检查方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7675625B2 (zh)
KR (1) KR101166828B1 (zh)
CN (1) CN100456087C (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100451742C (zh) * 2007-07-06 2009-01-14 友达光电股份有限公司 液晶面板检测方法及装置
CN102368055A (zh) * 2011-09-06 2012-03-07 安徽科宏玻璃机械有限公司 一种镀膜平板玻璃灯光检验台
CN102374995A (zh) * 2010-08-11 2012-03-14 乐金显示有限公司 用于检查显示设备的装置和方法
WO2012142967A1 (en) * 2011-04-21 2012-10-26 Ati-China Co., Ltd. Apparatus and method for photographing glass defects in multiple layers
CN105417166A (zh) * 2015-12-25 2016-03-23 苏州频发机电科技有限公司 一种液晶玻璃基板去残输送装置
CN108508030A (zh) * 2018-05-17 2018-09-07 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 玻璃基板检查装置及使用其检查玻璃基板的方法
CN109633951A (zh) * 2019-02-26 2019-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 破片检测装置及破片检测方法
CN111474599A (zh) * 2020-05-19 2020-07-31 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板的异物检测装置及其检测方法

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8432540B2 (en) * 2010-03-31 2013-04-30 Cooper S.K. Kuo Support mechanism for inspection systems
KR101218572B1 (ko) * 2011-02-15 2013-01-04 하이텍교역 주식회사 평판디스플레이 검사를 위한 자동화 연결장치
KR101839453B1 (ko) * 2011-08-02 2018-03-16 엘지디스플레이 주식회사 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 장비 및 제조 방법
US8854616B2 (en) * 2011-08-03 2014-10-07 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Visual inspection apparatus for glass substrate of liquid crystal display and inspection method thereof
DE102011109793B4 (de) * 2011-08-08 2014-12-04 Grenzbach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur sicheren Detektion von Materialfehlern in transparenten Werkstoffen
JP6104016B2 (ja) * 2013-04-01 2017-03-29 株式会社日本マイクロニクス 液晶パネル検査装置
CN104730217B (zh) * 2015-04-16 2016-09-07 京东方科技集团股份有限公司 一种玻璃基板的缺陷分布显示方法及显示装置
CN207209309U8 (zh) * 2017-09-29 2018-09-07 京东方科技集团股份有限公司 背光源位置校正装置
KR20220025964A (ko) * 2020-08-24 2022-03-04 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사용 지그
TWI826340B (zh) * 2023-07-14 2023-12-11 友達光電股份有限公司 檢測設備

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5701178A (en) * 1994-07-05 1997-12-23 Corning Incorporated Non-damaging flatness and thickness gauge for glass
JP3178644B2 (ja) * 1995-02-10 2001-06-25 セントラル硝子株式会社 透明板状体の欠点検出方法
US5870203A (en) * 1996-03-15 1999-02-09 Sony Corporation Adaptive lighting control apparatus for illuminating a variable-speed web for inspection
US6671041B2 (en) * 1997-09-24 2003-12-30 Olympus Optical Co., Ltd. Apparatus for inspecting a substrate
JP4166340B2 (ja) * 1997-09-24 2008-10-15 オリンパス株式会社 基板検査装置
DE19813072A1 (de) * 1998-03-25 1999-09-30 Laser Sorter Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien
DE19813073A1 (de) * 1998-03-25 1999-09-30 Laser Sorter Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien, insbesondere von Drips, Fäden und Linien
AU2001288641A1 (en) * 2000-09-01 2002-03-13 Mark M. Abbott Optical system for imaging distortions in moving reflective sheets
JP2002082067A (ja) * 2000-09-05 2002-03-22 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
JP4132046B2 (ja) * 2001-07-05 2008-08-13 日本板硝子株式会社 シート状透明体の欠点を検査する装置
JP4254085B2 (ja) * 2001-08-28 2009-04-15 株式会社日立プラントテクノロジー 液晶パネル基板の検査装置及び検査方法
TWI264532B (en) * 2001-11-05 2006-10-21 Olympus Corp Substrate inspection device
CN1220256C (zh) * 2002-12-27 2005-09-21 友达光电股份有限公司 基板缺陷检知装置
JP4072466B2 (ja) * 2002-12-27 2008-04-09 日本板硝子株式会社 板状体の光学的歪みを評価する装置および方法
KR100541449B1 (ko) * 2003-07-23 2006-01-11 삼성전자주식회사 패널검사장치
US7077019B2 (en) * 2003-08-08 2006-07-18 Photon Dynamics, Inc. High precision gas bearing split-axis stage for transport and constraint of large flat flexible media during processing
WO2005072265A2 (en) * 2004-01-22 2005-08-11 Wintriss Engineering Corporation Illumination system for material inspection
EP2166344A1 (en) * 2004-11-24 2010-03-24 Asahi Glass Company, Limited Defect inspection method and apparatus for transparent plate materials
US7369240B1 (en) * 2006-07-20 2008-05-06 Litesentry Corporation Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100451742C (zh) * 2007-07-06 2009-01-14 友达光电股份有限公司 液晶面板检测方法及装置
CN102374995A (zh) * 2010-08-11 2012-03-14 乐金显示有限公司 用于检查显示设备的装置和方法
TWI459073B (zh) * 2010-08-11 2014-11-01 Lg Display Co Ltd 檢測顯示裝置之設備及其方法
WO2012142967A1 (en) * 2011-04-21 2012-10-26 Ati-China Co., Ltd. Apparatus and method for photographing glass defects in multiple layers
CN104081192A (zh) * 2011-04-21 2014-10-01 艾悌亚信息技术（上海）有限公司 一种对玻璃多层面摄像的摄像装置及其方法
CN104081192B (zh) * 2011-04-21 2017-02-22 艾悌亚信息技术（上海）有限公司 一种对玻璃多层面摄像的摄像装置及其方法
CN102368055A (zh) * 2011-09-06 2012-03-07 安徽科宏玻璃机械有限公司 一种镀膜平板玻璃灯光检验台
CN105417166A (zh) * 2015-12-25 2016-03-23 苏州频发机电科技有限公司 一种液晶玻璃基板去残输送装置
CN105417166B (zh) * 2015-12-25 2017-12-15 苏州频发机电科技有限公司 一种液晶玻璃基板去残输送装置
CN108508030A (zh) * 2018-05-17 2018-09-07 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 玻璃基板检查装置及使用其检查玻璃基板的方法
CN109633951A (zh) * 2019-02-26 2019-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 破片检测装置及破片检测方法
CN111474599A (zh) * 2020-05-19 2020-07-31 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 玻璃基板的异物检测装置及其检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101166828B1 (ko) 2012-07-19
KR20070070946A (ko) 2007-07-04
CN100456087C (zh) 2009-01-28
US7675625B2 (en) 2010-03-09
US20070152701A1 (en) 2007-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1991446A (zh) 用于检查平板显示器件的装置及其检查方法
CN1179206C (zh) 基片检验装置
CN101115988B (zh) 用于检测玻璃板端面缺陷的装置和方法
CN1837900A (zh) 目测装置以及使用目测装置检查显示面板的方法
US7800568B2 (en) Apparatus and method for inspecting liquid crystal display
JP3967759B2 (ja) 透明基板端面部の検査装置およびその検査方法
JP6104016B2 (ja) 液晶パネル検査装置
CN1648645A (zh) 检查显示面板的设备和方法
CN1924513A (zh) 用于玻璃面板的微观检测装置
CN1582393A (zh) 基板检查装置
CN1621818A (zh) 玻璃基板的切断面检查装置
CN1790032A (zh) 显示用面板的检查装置
CN1841049A (zh) 焊盘图案检查方法以及检查装置
CN111638222A (zh) 一种滤光片的缺陷检测系统及方法
CN1261751C (zh) 脆性材料基板端面部的检查方法及其装置
KR101440310B1 (ko) 패널의 자동 압흔 검사장치
CN1849508A (zh) 检测玻璃板缺陷的方法及装置
CN1627059A (zh) 玻璃基板的检查装置及检查方法
KR101663756B1 (ko) 인라인형 액정 셀 검사 장치
KR101149056B1 (ko) 오엘이디 패널의 검사장치
CN1815206A (zh) 光学元件的缺陷检测方法和缺陷检测装置
CN114878578A (zh) 一种液晶屏的外观检测设备
CN202748861U (zh) 硬币侧面检测装置
JP2008268055A (ja) 異物検査装置及び異物検査方法
KR102631655B1 (ko) 공정효율성을 높인 비전검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant