KR20070070946A

KR20070070946A - 평판표시장치용 검사장비 및 검사 방법

Info

Publication number: KR20070070946A
Application number: KR1020050133993A
Authority: KR
Inventors: 윤경식
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2005-12-29
Filing date: 2005-12-29
Publication date: 2007-07-04
Also published as: KR101166828B1; US20070152701A1; CN100456087C; US7675625B2; CN1991446A

Abstract

본 발명은 평판표시장치용 검사 장비 및 검사 방법에 관한 것으로, 특히 글래스 기판의 불량 검사를 위한 택트 타임을 최대한 단축하고, 제품을 단순화시켜 제조 단가가 저감될 수 있도록 하며, 풋 프린트를 저감시킬 수 있도록 한 새로운 구조의 평판표시장치용 검사 장비 및 검사 방법을 제공하고자 한 것이다.

이를 위한 본 발명의 평판표시장치용 검사장비는, 몸체를 이루는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 상단을 따라 설치되고, 글래스 기판을 상기 베이스 프레임의 일측으로부터 타측으로 반송하는 반송부; 상기 반송부에 의해 반송되는 글래스 기판을 촬영하여 그 촬영된 데이터로 글래스 기판의 불량 여부를 검사하는 자동 검사부; 그리고, 상기 베이스 프레임의 어느 한 측에 설치되며, 상기 반송부에 의해 반송된 글래스 기판의 전면이 전방측을 향하도록 기울여서 상기 글래스 기판을 목시(目視) 검사하는 육안 검사부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.

이와 같은 본 발명에 따르면, 풋 프린트의 저감 및 택트 타임의 단축을 얻을 수 있게 된다.

평판표시장치용 검사장비, 반사 조명부, 투과 조명부, 안착 스테이지

Description

평판표시장치용 검사장비 및 검사 방법{Apparatus for Testing flat panel display device and testing method thereof}

도 1 은 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비의 외관 구조를 설명하기 위해 나타낸 사시도

도 2 는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비를 설명하기 위해 나타낸 측면도

도 3 및 도 4 는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비에 의한 글래스 기판의 불량 검사 과정을 설명하기 위한 동작도

도 5 는 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비의 외관 구조를 설명하기 위해 나타낸 사시도

도 6 은 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비 중 반전 유닛의 동작 상태를 설명하기 위해 나타낸 사시도

도 7 은 본 발명의 제3실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비를 설명하기 위해 나타낸 측면도

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100. 베이스 프레임 110. 요입홈

200. 반송부 210. 롤러

300. 자동 검사부 310. 제1조명 유닛

320. 촬영 유닛 400. 육안 검사부

410. 안착 프레임 411. 파지부

420. 제2구동 유닛 430. 제2조명 유닛

440. 반사판 500. 반전 유닛

510. 안착판 530. 승강 유닛

600. 투과 조명부 610. 제3조명 유닛

620. 장착 프레임

본 발명은 평판표시장치의 글래스 기판을 검사하는 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글래스 기판의 불량 검사를 위한 택트 타임(Tact Time)을 최대한 단축하고, 제품을 단순화시켜 제조 단가가 저감될 수 있도록 하며, 풋 프린트(Foot Print)를 저감시킬 수 있도록 한 새로운 구조의 평판표시장치 검사 장비 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.

일반적으로 평판 표시장치(Flat Panel Display Device)는 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있도록 구성된 표시장치로써, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 발광 표시장치(Light Emitting Display) 등이 이에 속한다.

특히, 상기한 평판 표시장치를 검사하기 위한 검사 장비는 글래스 기판(예컨대, LCD 패널)으로 빛을 제공하여 이 빛의 반사량을 작업자가 검사함으로써 불량을 판단할 수 있도록 구성된 장비이다.

상기한 검사 장비는 작업자의 목시(目視) 검사에 의해 불량을 확인하는 육안검사기와, 비젼 시스템(Vision System)을 이용한 자동검사기(Auto-Probe)를 포함하여 구성된다.

즉, 자동검사기를 이용하여 육안으로 구분하기 어려운 불량을 포함한 각종 불량을 검사함과 더불어 육안검사기를 이용하여 작업자에 의한 목시 검사를 수행하여 상기 글래스 기판의 불량을 검사하는 것이다.

이때, 상기 불량이라 함은 특정 좌표에 대한 픽셀 불량과, 특정 좌표의 라인 불량 및 이물 불량이 포함된다.

하지만, 전술한 종래의 평판표시장치용 검사장비는 자동검사기와 육안검사기가 각기 별개로 제공되기 때문에 검사를 위한 공정 라인의 풋 프린트가 클 수밖에 없었던 문제점을 가진다.

뿐만 아니라, 상기 자동검사기에서 상기 육안검사기로(혹은, 육안검사기에서 자동검사기로) 글래스 기판을 반송하기 위한 반송 장치가 별도로 필요하기 때문에 제조 단가가 높을 수밖에 없었던 문제점을 가진다.

또한, 상기 글래스 기판의 불량 검사를 위한 과정이 두 곳에서 순차적으로 진행되어야 하기 때문에 작업 시간 즉, 택트 타임이 길어질 수밖에 없었던 문제점 을 가진다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 전체적인 장비의 풋 프린트를 최소화하고, 택트 타임을 단축시킬 수 있도록 하며, 제조 단가도 저감할 수 있도록 한 새로운 구조의 평판표시장치용 검사 장비 및 이를 이용한 평판표시장치용 검사 방법을 제공하고자 한 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판표시장치용 검사장비는, 몸체를 이루는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 상단을 따라 설치되고, 글래스 기판을 상기 베이스 프레임의 일측으로부터 타측으로 반송하는 반송부; 상기 반송부에 의해 반송되는 글래스 기판을 촬영하여 그 촬영된 데이터로 글래스 기판의 불량 여부를 검사하는 자동 검사부; 그리고, 상기 베이스 프레임의 어느 한 측에 설치되며, 상기 반송부에 의해 반송된 글래스 기판의 전면이 전방측을 향하도록 기울여서 상기 글래스 기판을 목시(目視) 검사하는 육안 검사부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.

여기서, 상기 반송부는 상기 베이스 프레임의 상면을 따라 구름 가능하게 설치되는 다수의 롤러와, 상기 각 롤러를 구동하는 제1구동 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

상기 자동 검사부는 상기 글래스 기판으로 조명을 제공하는 제1조명 유닛과, 상기 글래스 기판을 촬영하는 촬영 유닛과, 상기 촬영 유닛에 의해 촬영된 데이터 를 분석하여 불량을 추출하는 검사 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

상기 육안 검사부는 글래스 기판이 안착되는 안착 프레임과, 상기 안착 프레임이 전방을 향해 기울어지도록 구동되는 제2구동 유닛과, 상기 안착 프레임에 얹혀진 글래스 기판으로 조명을 제공하는 제2조명 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

상기 육안 검사부가 설치된 부위인 베이스 프레임의 상면에는 해당 부위로 반송된 기판을 선택적으로 좌우 회전시키는 반전 유닛이 더 설치됨을 특징으로 한다.

상기 베이스 프레임의 각 부위 중 상기 육안 검사부가 위치된 부위의 후방측에는 그 전방측을 향해 조명을 제공하는 투과 조명부가 더 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판표시장치용 검사장비를 이용한 검사방법은 베이스 프레임의 일측에 글래스 기판을 제공하는 기판 제공단계; 상기 제공된 글래스 기판을 상기 베이스 프레임의 타측으로 반송하는 기판 반송단계; 상기 반송되는 글래스 기판을 촬영하여 상기 글래스 기판의 불량을 자동으로 검사하는 자동 불량검사단계; 그리고, 상기 베이스 프레임의 타측으로 반송된 글래스 기판을 미리 설정된 각도만큼 세운 후 상기 글래스 기판으로 조명을 제공하여 상기 글래스 기판의 불량 검사를 실시하는 목시 검사단계:가 포함되어 진행됨을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 평판표시장치용 검사장비의 바람직한 실시예들을 첨부 된 도 1 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명한다.

첨부된 도 1 및 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.

이를 통해 알 수 있듯이, 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비는 크게 베이스 프레임(100)과, 반송부(200)와, 자동 검사부(300)와, 육안 검사부(400)를 포함하여 구성된다.

먼저, 상기 베이스 프레임(100)에 대하여 설명한다.

상기 베이스 프레임(100)은 평판표시장치용 검사장비의 몸체를 이루는 부위이다.

상기한 베이스 프레임(100)은 공정 진행 방향을 따라 길게 형성되고, 그 상단 내측 부위는 별도의 구조물이 존재하지 않도록 형성된다.

즉, 상기 베이스 프레임(100)은 전방측(도면상 좌측)과 후방측 및 양측 끝단에만 프레임이 존재하도록 구성되며, 내부는 빈 공간을 이루도록 형성되는 것이다.

다음으로, 상기 반송부(200)에 대하여 설명한다.

상기 반송부(200)는 베이스 프레임(100)의 상단을 따라 설치되고, 그 상면에는 글래스 기판(1)이 얹혀지도록 구성되어, 상기 글래스 기판(1)을 상기 베이스 프레임(100)의 일측으로부터 타측으로 반송하는 장치이다.

상기한 반송부(200)는 상기 베이스 프레임(100)의 상면을 따라 구름 가능하게 설치되는 다수의 롤러(210)와 상기 각 롤러(210)를 구동하는 제1구동 유닛(도시는 생략됨)을 포함하여 구성된다.

이때, 상기 각 롤러(210)의 축(211)은 벨트(도시는 생략됨) 등에 의해 하나의 제1구동 유닛(도시는 생략됨)으로부터 구동력을 동시에 전달받도록 구성될 수도 있고, 상기 각 롤러(210) 모두에 제1구동 유닛이 각각 구비될 수도 있다.

다음으로, 상기 자동 검사부(300)에 대하여 설명한다.

상기 자동 검사부(300)는 상기 반송부(200)에 의해 반송되는 글래스 기판(1)을 촬영하여 그 촬영된 데이터로 글래스 기판(1)의 불량 여부를 검사하는 장치이다.

상기한 자동 검사부(300)는 제1조명 유닛(310)과, 촬영 유닛(320) 및 검사 유닛(도시는 생략됨)을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 제1조명 유닛(310)은 상기 글래스 기판(1)으로 조명을 제공하도록 구성된 장치이다.

특히, 상기한 제1조명 유닛(310)은 첨부된 도 1과 같이 상기 베이스 프레임(100)의 상단(각 롤러에 비해서는 저부)에 전후 방향을 따라 길게 설치되어 그 상측을 통과하는 글래스 기판(1)의 저면을 향해 조명을 제공한다.

이때, 상기 제1조명 유닛(310)은 냉음극관(CFL: Cold Fluorescent Lamp) 및 냉음극 형광램프(CCFL;Cold Cathode Fluorescent Lamp) 등의 관내전극형광램프나, 관외에 전극이 구비도는 외부전극형광램프(EEFL;External Electrode Fluorescent Lamp) 혹은, LED(Light Emitting Diode) 중 어느 하나로 구성됨이 바람직하다.

그리고, 상기 촬영 유닛(320)은 상기 글래스 기판(1)을 촬영하도록 구성된 카메라 장치이다.

이때, 상기 촬영 유닛(320)은 상기 베이스 프레임(100)의 상부 공간 중 상기 제1조명 유닛(310)과 대응되는 위치(제1조명 유닛의 상측)에 설치된다.

물론, 도시되지는 않았지만 전술한 제1조명 유닛(310)과 상기 촬영 유닛(320)은 서로 간의 위치가 바뀌어 설치될 수도 있다. 즉, 상기 제1조명 유닛(310)은 상기 베이스 프레임(100)의 상부 공간에 설치됨과 더불어 상기 촬영 유닛(320)은 상기 베이스 프레임(100)의 저부 공간에 설치될 수도 있는 것이다.

그리고, 상기 검사 유닛은 상기 촬영 유닛(320)에 의해 촬영된 데이터를 분석하여 글래스 기판(1)의 불량을 추출하도록 구성된 장치이다.

이때, 상기 검사 유닛은 상기 촬영 유닛(320)으로부터 데이터를 유선 또는, 무선으로 제공받아 연산 처리하는 컴퓨터로 구성됨이 바람직하다.

한편, 전술한 자동 검사부(300)에는 상기 검사 유닛에 의해 추출된 불량 정보를 작업자가 확인할 수 있도록 디스플레이부(예컨대, 모니터, 도시는 생략됨)가 더 구비됨이 보다 바람직하다.

다음으로, 상기 육안 검사부(400)에 대하여 설명한다.

상기 육안 검사부(400)는 상기 반송부(200)에 의해 반송된 글래스 기판(1)의 전면이 전방측(작업자가 위치된 측)으로 기울여서 상기 작업자에 의해 글래스 기판(1)을 목시 검사하도록 구성된 장치이다.

상기한 육안 검사부(400)는 안착 프레임(410)과, 제2구동 유닛(420)과, 제2조명 유닛(430)을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 안착 프레임(410)은 글래스 기판(1)이 안착되는 부위로써, 상 기 글래스 기판(1)의 둘레측 저면을 받치도록 테두리만 존재하면서 내부는 개구된 사각틀 형상으로 형성된다. 이때, 상기 안착 프레임(410)의 전방측 끝단에는 상기 글래스 기판(1)의 전방측 끝단을 감싸는 파지부(411)가 절곡 형성됨이 보다 바람직하다.

특히, 상기 안착 프레임(410)은 베이스 프레임(100)의 상면 내측에 요입되게 위치되도록 설치됨이 바람직하다.

이를 위해, 상기 베이스 프레임(100)의 상면 중 상기 안착 프레임(410)이 안착되는 부위에는 요입홈(110)이 각각 형성된다.

이때, 상기 요입홈(110)의 요입 깊이는 반송부(200)를 구성하는 각 롤러(210)의 상면 높이에 비해 낮은 위치에 이르는 깊이를 이루도록 형성됨이 바람직하다.

이는, 상기 안착 프레임(410)이 글래스 기판(1)에 대한 자동 검사 과정이 진행되는 도중에는 상기 글래스 기판(1)의 반송에 간섭을 주지 않도록 하기 위함이다.

그리고, 상기 제2구동 유닛(420)은 상기 안착 프레임(410)이 전방을 향해 기울어지도록 구동되는 장치이다.

상기한 제2구동 유닛(420)은 상기 안착 프레임(410)의 전방측 끝단과 축결합되는 모터로 구성된다.

그리고, 상기 제2조명 유닛(430)은 상기 안착 프레임(410)에 얹혀진 글래스 기판(1)으로 조명을 제공하도록 구성된 장치이다.

이때, 상기 제2조명 유닛(430)은 첨부된 도 2와 같이 상기 안착 프레임(410)이 위치된 부위의 상측 공간상에 설치된다.

특히, 본 발명의 제1실시예에 따른 육안 검사부(400)에는 첨부된 도 2와 같이 상기 제2조명 유닛(430)으로부터 제공된 광원을 상기 글래스 기판(1)으로 반사하는 적어도 하나 이상의 반사판(440)이 더 포함되어 구성됨을 제시한다.

이하, 전술된 본 발명의 제1실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비를 이용하여 글래스 기판(1)을 검사하는 과정에 대하여 첨부된 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하면 후술하는 바와 같다.

우선, 베이스 프레임(100)의 일측(육안 검사부가 설치된 측과는 반대측)으로부터 글래스 기판(1)이 반입된 후 반송부(200)를 구성하는 각 롤러(210)의 상면으로 상기 반입된 글래스 기판(1)이 얹힌다.

이의 상태에서 제1구동 유닛(도시는 생략됨)의 구동이 이루어지면, 각 롤러(210)의 회전이 이루어지면서 상기 글래스 기판(1)은 상기 베이스 프레임(100)의 타측(육안 검사부가 설치된 측)으로 이동된다.

또한, 이때에는 자동 검사부(300)를 구성하는 제1조명 유닛(310)의 발광이 이루어지면서 그 상부를 지나가는 상기 글래스 기판(1)의 저면을 향해 조명을 제공하게 되고, 상기 자동 검사부(300)를 구성하는 촬영 유닛(320)은 그 저부를 지나가는 상기 글래스 기판(1)을 지속적으로 촬영하면서 스캔한다. 이의 상태는 첨부된 도 3과 같다.

그리고, 상기 촬영 유닛(320)에 의해 촬영된 데이터는 검사 유닛(도시는 생 략됨)에 의해 불량 검출이 이루어지며, 이렇게 검출된 결과 정보는 디스플레이부(도시는 생략됨)를 통해 디스플레이되어 상기 글래스 기판(1)의 불량을 작업자가 알 수 있게 된다.

다음으로, 전술한 일련의 자동 검사가 완료되면 글래스 기판(1)은 상기 베이스 프레임(100)의 타측인 육안 검사부(400)를 구성하는 안착 프레임(410)의 직상방에 위치된다. 이는 첨부된 도 4와 같다.

이의 상태에서, 작업자의 필요에 의해 목시(目視) 검사를 수행하고자 한다면, 제2구동 유닛(420)의 구동이 이루어지면서 상기 안착 프레임(410)이 점차 상향 경사지게 이동된다.

즉, 첨부된 도 1과 같이 상기 제2구동 유닛(420)과 축 결합된 부위를 기준으로 상기 안착 프레임(410)의 후방측이 점차 상승되는 것이다. 이때, 상기 글래스 기판(1)은 상기 안착 프레임(410)의 파지부(411)에 의해 그 전방측이 파지된 상태이기 때문에 경사진 방향으로 흘러 내림은 방지된다.

그리고, 상기 안착 프레임(410)이 소정 각도를 이루면서 경사지게 위치되면 제2조명 유닛(430)의 발광이 이루어지면서 상기 안착 프레임(410)에 안착된 글래스 기판(1)의 상면(전면)으로 조명이 제공된다. 이의 상태는 첨부된 도 2와 같다.

이에 따라, 작업자는 상기 육안 검사부(400)의 전방측에서 상기 글래스 기판(1)을 목시 검사하여 상기 글래스 기판(1)의 불량을 확인하게 된다.

결국, 전술한 일련의 과정에 의해 글래스 기판(1)에 대한 자동 검사 및 육안 검사가 연속적으로 진행되며, 이로 인해 불량 검사를 위한 공정 진행 시간 즉, 택 트 타임의 단축을 이룰 수 있게 된다.

한편, 첨부된 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비가 도시되고 있다.

이와 같은, 본 발명의 제2실시예에서는 반전 유닛(500)이 더 포함됨을 제시한다.

이때, 상기 반전 유닛(500)은 글래스 기판(1)을 좌 혹은, 우측으로 반전시키도록 구성된 장치이다.

즉, 상기 반전 유닛(500)에 의해 상기 글래스 기판(1)에 대한 자동 검사가 상기 글래스 기판(1)이 반전된 상태에서도 수행될 수 있으며, 이로 인해 상기 글래스 기판(1)의 전부위에 대한 정확한 불량 검사가 이루어질 수 있다는 장점을 가진다.

상기한 반전 유닛(500)은 첨부된 도 5 및 도 6과 같이 안착판(510)과, 회전 유닛(도시는 생략됨)과, 승강 유닛(530)을 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 안착판(510)은 글래스 기판(1)이 얹히는 부위로써 원판형으로 형성된다.

또한, 상기 회전 유닛은 상기 안착판(510)을 회전시키도록 구동되는 장치로써, 베이스 프레임(100)의 내측 하단에 설치된다.

또한, 상기 승강 유닛(530)은 상기 안착판(510)을 선택적으로 승강시키도록 구동되는 장치로써, 액츄에이터(도시는 생략됨) 등에 축결합되며, 적어도 하나 이상(바람직하게는 다수) 제공됨이 바람직하다.

이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 반전 유닛(500)의 동작 과정을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 최초의 상태는 첨부된 도 5와 같다.

이때, 글래스 기판(1)은 육안 검사부(500)가 구비된 측으로 반송된 후 각 롤러(210) 상면에 안착된 상태이다.

만일, 상기한 상태에서 글래스 기판(1)을 반전(좌 혹은, 우측으로의 회전)시키고자 할 경우에는 상기 각 승강 유닛(530)이 상승된다.

이로 인해, 상기 안착판(510)을 상향 이동되면서 상기 글래스 기판(1)이 각 롤러(210)의 상면으로부터 이격된다.

그리고, 상기 글래스 기판(1)이 상기 각 롤러(210)의 상면으로부터 이격되면 회전 유닛이 구동되면서 상기 안착판(510)을 회전시키게 되며, 이로 인해 상기 글래스 기판(1)은 원하는 위치로 반전된다.

이후, 상기 각 승강 유닛(530)이 하강되면서 상기 반전된 글래스 기판(1)은 다시 상기 각 롤러(210)의 상면에 얹히게 되고, 계속해서 상기 각 롤러(210)의 역방향 구동이 이루어지면서, 상기 반전된 글래스 기판(1)은 자동 검사부(300)가 위치된 측으로 반송되면서 불량 검사가 수행된다.

한편, 첨부된 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비가 도시되고 있다.

상기한 본 발명의 제3실시예에서는 투과 조명부(600)가 더 포함되어 구성됨을 제시한다.

상기한 투과 조명부(600)는 육안 검사부(400)가 위치된 부위의 후방측에 설치되면서, 그 전방측을 향해 조명을 제공하도록 구성된 장치이다.

즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비는 투과 조명부(600)를 추가로 구비함으로써 투과 조명을 이용한 글래스 기판(1)의 불량 검사도 수행할 수 있도록 한 것이다.

이때, 상기 투과 조명부(600)는 광원을 제공하는 적어도 하나 이상의 제3조명 유닛(610)과, 상기 제3조명 유닛(610)이 설치되는 장착 프레임(620)을 포함하여 구성된다.

이하, 본 발명의 제3실시예에 따른 글래스 기판(1)의 불량 검사를 위한 과정에 대하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

우선, 투과 조명을 이용한 글래스 기판(1)에 대한 불량 검사를 수행하고자 할 경우에는 제2구동 유닛(420)의 구동이 이루어지면서 첨부된 도 8과 같이 안착 스테이지(410)를 완전히 수직한 상태로 회동시키게 된다.

계속해서, 투과 조명부(600)를 구성하는 제3조명 유닛(610)이 발광되면서 상기 안착 스테이지(410)에 안착된 글래스 기판(1)의 배면으로 조명을 제공하게 된다.

이로 인해, 상기 글래스 기판(1)의 전방측에 위치된 작업자는 상기 글래스 기판(1)을 목시 검사할 수 있게 된다.

전술한 투과 조명을 이용한 글래스 기판(1)에 대한 불량 검사는 본 발명의 제1실시예에서 제시된 반사 조명을 이용한 글래스 기판(1)에 대한 불량 검사를 수 행하기 전이나 후에 실시될 수 있다.

한편, 전술된 바와 같이 본 발명에 따른 평판표시장치용 검사장비는 각 실시예에서와 같이 필요에 따라 그 다양한 변경이 가능하다.

이상에서와 같이 본 발명의 각 실시예에 따른 평판표시장치용 검사장비는 자동 검사부와 육안 검사부가 하나의 장비로 일체화되어 구성됨으로써 전체적인 장비의 풋 프린트가 최소화될 수 있다는 효과를 가진다.

또한, 상기 육안 검사부를 별도로 구성할 필요가 없기 때문에 장치의 추가를 방지하고, 이로 인해 제조 단가의 저감을 이룰 수 있다는 효과를 가진다.

또한, 글래스 기판에 대한 자동 검사와 육안 검사가 연속적으로 진행될 수 있기 때문에 전체적인 택트 타임을 단축시킬 수 있다는 효과를 가진다.

Claims

몸체를 이루는 베이스 프레임;

상기 베이스 프레임의 상단을 따라 설치되고, 글래스 기판을 상기 베이스 프레임의 일측으로부터 타측으로 반송하는 반송부;

상기 반송부에 의해 반송되는 글래스 기판을 촬영하여 그 촬영된 데이터로 글래스 기판의 불량 여부를 검사하는 자동 검사부; 그리고,

상기 베이스 프레임의 어느 한 측에 설치되며, 상기 반송부에 의해 반송된 글래스 기판의 전면이 전방측을 향하도록 기울여서 상기 글래스 기판을 목시(目視) 검사하는 육안 검사부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 1 항에 있어서,

상기 반송부는

상기 베이스 프레임의 상면을 따라 구름 가능하게 설치되는 다수의 롤러와,

상기 각 롤러를 구동하는 제1구동 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 1 항에 있어서,

상기 자동 검사부는

상기 글래스 기판으로 조명을 제공하는 제1조명 유닛과,

상기 글래스 기판을 촬영하는 촬영 유닛과,

상기 촬영 유닛에 의해 촬영된 데이터를 분석하여 불량을 추출하는 검사 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 3 항에 있어서,

상기 제1조명 유닛은 상기 베이스 프레임의 저부에 설치되어 상기 글래스 기판의 저면을 향해 조명을 제공하고,

상기 촬영 유닛은 상기 베이스 프레임의 상부 중 상기 제1조명 유닛과 대응되는 위치에 설치되어 상기 글래스 기판을 촬영하도록 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 1 항에 있어서,

상기 육안 검사부는

글래스 기판이 안착되는 안착 프레임과,

상기 안착 프레임이 전방을 향해 기울어지도록 구동되는 제2구동 유닛과,

상기 안착 프레임에 얹혀진 글래스 기판으로 조명을 제공하는 제2조명 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 5 항에 있어서,

상기 안착 프레임은

글래스 기판에 대한 자동 검사 과정이 진행되는 도중에는 상기 글래스 기판의 반송에 간섭을 주지 않기 위해 상기 베이스 프레임의 상면 내측에 요입되게 위치되도록 설치됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 6 항에 있어서,

상기 안착 프레임은 테두리만 존재하고, 내부는 개구된 사각틀의 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 5 항에 있어서,

상기 제2조명 유닛은

상기 안착 프레임이 위치된 부위의 상측 공간상에 설치됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 5 항에 있어서,

상기 육안 검사부에는

상기 제2조명 유닛으로부터 제공된 광원을 상기 글래스 기판으로 반사하는 적어도 하나 이상의 반사판을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 1 항에 있어서,

상기 육안 검사부가 설치된 부위인 베이스 프레임의 상면에는

해당 부위로 반송된 글래스 기판을 선택적으로 좌우 회전시키는 반전 유닛이 더 설치됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 10 항에 있어서,

상기 반전 유닛은

글래스 기판이 얹히면서 회전 가능함과 동시에 승강 가능하게 설치된 안착판과,

상기 안착판을 회전시키도록 구동되는 회전 유닛과,

상기 안착판을 승강시키도록 구동되는 적어도 하나 이상의 승강 유닛을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 1 항에 있어서,

상기 베이스 프레임의 각 부위 중

상기 육안 검사부가 위치된 부위의 후방측에는 그 전방측을 향해 조명을 제공하는 투과 조명부가 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
제 12 항에 있어서,

상기 투과 조명부는

광원을 제공하는 적어도 하나 이상의 제3조명 유닛과,

상기 제3조명 유닛이 내장된 장착 프레임을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비.
베이스 프레임의 일측에 글래스 기판을 제공하는 기판 제공단계;

상기 제공된 글래스 기판을 상기 베이스 프레임의 타측으로 반송하는 기판 반송단계;

상기 반송되는 글래스 기판을 촬영하여 상기 글래스 기판의 불량을 자동으로 검사하는 자동 불량검사단계; 그리고,

상기 베이스 프레임의 타측으로 반송된 글래스 기판을 미리 설정된 각도만큼 세운 후 상기 글래스 기판으로 조명을 제공하여 상기 글래스 기판의 불량 검사를 실시하는 목시 검사단계:가 포함되어 진행됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사장비를 이용한 검사 방법.
제 14 항에 있어서,

상기 글래스 기판을 반전시켜 상기 베이스 프레임의 타측으로부터 상기 자동 불량검사가 진행되는 측을 향해 재반송하여 상기 자동 불량검사를 재차적으로 진행하는 단계가 더 포함됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사 장비를 이용한 검사 방법.
제 15 항에 있어서,

상기 목시 검사단계는

상기 글래스 기판을 미리 설정된 각도만큼 경사지게 기울인 후 상기 글래스 기판의 전면을 향해 조명을 제공함으로써 상기 글래스 기판의 불량 검사를 실시하는 반사 조명 검사단계가 포함됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사 장비를 이용한 검사 방법.
제 15 항 또는, 제 16 항에 있어서,

상기 목시 검사단계는

상기 글래스 기판을 지면으로부터 수직하게 세운 후 상기 글래스 기판의 배면을 향해 조명을 제공함으로써 상기 글래스 기판의 불량 검사를 실시하는 투과 조명 검사단계가 포함됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 검사 장비를 이용한 검사 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 반사 조명 검사 단계는 상기 투과 조명 검사 단계 전에 실시됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 육안 검사장비를 이용한 검사 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 반사 조명 검사 단계는 상기 투과 조명 검사 단계 후에 실시됨을 특징으로 하는 평판표시장치용 육안 검사장비를 이용한 검사 방법.