KR20140055115A

KR20140055115A - 글라스 기판 검사 장치

Info

Publication number: KR20140055115A
Application number: KR1020120121476A
Authority: KR
Inventors: 이재호
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-10-30
Filing date: 2012-10-30
Publication date: 2014-05-09
Also published as: US9291577B2; US20140118534A1; KR102044788B1

Abstract

글라스 기판 검사 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 입사하는 빛을 감지하는 광센서를 포함하고, 글라스 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지암, 및 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판과 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부를 포함한다.

Description

글라스 기판 검사 장치 {Inspection Apparatus for Glass substrate}

본 발명은 글라스 기판 검사 장치에 관한 것이다.

TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro luminescent) 등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display)를 제조하기 위하여 사용되는 글라스 기판은, 글라스 용해로(Glass melting Furnace)에서 용해된 용해 글라스를 평판으로 성형하는 성형공정과, 일정한 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후, 가공라인으로 운반하여 가공공정을 수행한다. 글라스 기판의 가공공정에서는 글라스 기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞게 재차 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 글라스 기판의 에지(edge) 부위를 연마하고 있다.

이와 같은 글라스 기판의 성형공정, 절단공정, 및 가공공정에서, 글라스 기판에는 여러가지 요인에 의하여 많은 결함, 예를 들어, 크기 오차, 치핑(chipping), 크랙(crack), 모따기 생략(unchampering), 언베벨(unbevel), 오버베벨(over-bevel), 또는 베벨칩(bevel chip) 등이 발생할 수 있다. 또한, 글라스 기판의 성형공정, 절단공정, 및 가공공정 후, 글라스 기판을 적재하거나 이송하는 등의 취급과정에서도 글라스 기판의 파손 등의 결함이 발생할 수 있다.

이와 같은, 글라스 기판의 결함은 이를 포함하는 평판 디스플레이의 품질의 저하와 직결될 수 있다. 예를 들어, 상기 결함이 평판 디스플레이의 표시 영역에 존재할 경우, 평판 디스플레이의 표시 품질이 저하될 수 있다.

또한, 결함이 존재하는 글라스 기판은 평판 디스플레이의 제조 공정 중에서 완파될 위험성이 있다. 예를 들어, 컬러 필터 제조 공정 중에서 글라스 기판 상의 포토레지스트(photoresist)를 고착화하기 위하여, 오븐에서 30분에서 40분 정도 220℃이상의 온도로 글라스 기판의 열처리 공정을 진행하게 되는데, 이 때, 결함이 존재하는 글라스 기판은 상기와 같은 조건을 견디지 못하고 완파될 수 있다. 이와 같이, 글라스 기판이 완파될 경우, 진행 중이던 열처리 공정을 중단하고, 오븐을 냉각한 후, 오븐 내부의 클리닝을 수행하고, 새로운 글라스 기판을 투입한 후, 다시 오븐을 가열하여 열처리 공정을 진행하여야 하므로, 시간적 및 비용적인 낭비가 발생하게 된다. 또한, 완파된 글라스 기판의 파티클은 오븐 내부에 고착되어 지속적인 오븐 성능 저하를 야기할 수도 있다. 또한, 상기 오븐은 일반적으로 40매 이상의 복수의 글라스 기판들을 한 번에 취급하는데, 상기 복수의 글라스 기판들 중에서 하나의 글라스 기판이 완파될 경우, 나머지 글라스 기판들에 영향을 미쳐 상기 오븐에 투입된 모든 글라스 기판들을 폐기해야되는 상황이 발생할 수도 있다.

고품질의 평판 디스플레이를 최적의 공정으로 제조하기 위해서는 글라스 기판의 성형공정, 절단공정, 및 가공공정 후에 글라스 기판에 발생할 수 있는 결함에 대한 검사를 실시한 후, 글라스 기판의 양품과 불량품을 선별하여, 글라스 기판의 불량품을 사전에 폐기할 필요성이 있다.

이에, 글라스 기판의 성형공정, 절단공정, 및 가공공정 후에 글라스 기판 검사 장치를 이용하여 글라스 기판에 발생할 수 있는 결함에 대한 검사를 실시할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 글라스 기판 검사 장치의 지지부 상에 글라스 기판을 지지한 뒤에 카메라 등의 광학적 기기를 이용하여 글라스 기판의 결함을 검사할 수 있다.

그러나, 글라스 기판이 지지부에 의하여 지지되는 부분은 지지부에 의한 간섭 현상 때문에 정밀한 검사가 어려울 수 있다. 또한, 글라스 기판이 지지부 상에 정확하게 얼라인되지 않을 경우, 글라스 기판의 일부에만 검사가 진행될 수 있을 뿐만 아니라, 글라스 기판의 검사 공정 중에 글라스 기판 검사 장치 또는 기타 장치와의 충돌로 글라스 기판이 파손될 위험성이 있다.

이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 글라스 기판이 지지부에 의하여 지지되는 부분의 결함 및, 글라스 기판이 지지부 상에 정확하게 얼라인되었는지 여부를 광센서를 이용하여 검출하는 글라스 기판 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 입사하는 빛을 감지하는 광센서를 포함하고, 글라스 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지암, 및 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판과 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부를 포함한다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 글라스 기판을 지지하는 지지면 및 지지면 상에 위치하는 광센서를 포함하는 적어도 하나의 지지암, 및 글라스 기판을 촬영하여 글라스 기판을 이미지화하는 적어도 하나의 카메라를 포함한다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 글라스 기판이 투입되고, 글라스 기판을 검사 영역으로 이송하는 이송부, 이송부와 인접하고, 입사하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 광센서, 및 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판과 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부를 포함한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 글라스 기판이 글라스 기판 검사 장치의 지지부에 의하여 지지되는 부분의 결함을 검출할 수 있다.

또한, 글라스 기판이 글라스 기판 검사 장치의 지지부 상에 정확하게 얼라인되었는지 여부를 검출할 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부 및 제어부의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 광센서를 포함하는 지지암의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부 상에 글라스 기판이 얼라인된 것을 도시한 글라스 기판, 지지부, 및 제어부의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부 상에 파손된 글라스 기판이 얼라인된 것을 도시한 파손된 글라스 기판, 지지부 및 제어부의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부 상에 글라스 기판이 얼라인되지 않은 것을 도시한 글라스 기판, 지지부, 및 제어부의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부 및 제어부의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 이송부 및 광센서의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 이송부 상에서 글라스 기판이 이송되는 것을 도시한 글라스 기판, 이송부, 및 광센서의 평면도이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 및 제어부(300)의 평면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 광센서(217)를 포함하는 지지암(210)의 평면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 상에 글라스 기판(900)이 얼라인된 것을 도시한 글라스 기판(900), 지지부(200), 및 제어부(300)의 평면도이다. 도 1 내지 도 4을 참조하면, 글라스 기판 검사 장치는 광센서(217)를 포함하는 지지암(210) 및 제어부(300)를 포함한다. 또한, 글라스 기판 검사 장치는 베이스(100), 지지부(200), 카메라부(400), 이송부(500), 및 케이블 박스(600)를 포함할 수 있다.

글라스 기판 검사 장치는 입사하는 빛을 감지하는 광센서(217)를 포함하고, 글라스 기판(900)을 지지하는 적어도 하나의 지지암(210)을 포함한다. 지지암(210)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.

제어부(300)는 광센서(217)에서 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판(900)과 광센서(217)가 중첩되었는지 여부 또는 글라스 기판(900)의 상태를 판단한다. 제어부(300)의 구체적인 구성에 대해서는 후술한다.

베이스(100)는 글라스 기판 검사 장치에서 하부 영역에 위치할 수 있다. 베이스(100)는 베이스(100)를 제외한 글라스 기판 검사 장치의 구성요소들, 예를 들어, 지지부(200), 제어부(300), 카메라부(400), 이송부(500), 및 케이블 박스(600) 등을 지지할 수 있다. 베이스(100)는 베이스 프레임(110) 및 하중 분사판(130)을 포함할 수 있다. 베이스 프레임(110)은 작업자의 편의를 위하여 바닥으로부터 소정의 높이로 형성될 수 있고, 금속 재질로 이루어질 수 있다. 하중 분사판(130)은 지지부(200), 제어부(300), 카메라부(400), 이송부(500), 및 케이블 박스(600) 등의 하중 및 지지부(200) 상에 배치되는 글라스의 하중을 견딜 수 있도록 설계될 수 있다.

지지부(200)는 베이스(100) 상에 위치할 수 있다. 지지부(200)는 글라스 기판(900)을 지지할 수 있다. 또한, 지지부(200)는, 후술하듯이, 글라스 기판(900)을 검사 영역으로 진입시킬 수도 있다. 지지부(200)는 지지암(210), 지지판(230), 얼라인부(250), 지지대(270), 및 리니어 모터(290)를 포함할 수 있다.

지지암(210)은 글라스 기판(900)의 하부와 접촉하여 글라스 기판(900)을 지지할 수 있다. 여기에서, 글라스 기판(900)의 하부는 베이스(100)와 대향하는 글라스 기판(900)의 일 면일 수 있다. 이와 같이, 지지암(210)이 글라스 기판(900)과 접촉한다면, 지지암(210)과 글라스 기판(900)이 접촉하는 부분은 지지암(210)에 의한 간섭 현상 때문에, 카메라부(400)에 의한 글라스 기판(900)의 정밀한 검사가 어려울 수 있다. 그러나, 글라스 기판(900)의 에지는 평판 디스플레이의 비표시 영역에 대응되거나, 탑 샤시 및 바텀 샤시로 둘러싸여 가려질 수 있기 때문에, 글라스 기판(900)의 중심부에 비하여 정밀한 검사가 필요하지 않을 수 있다. 따라서, 예시적인 실시예에서, 지지암(210)은 글라스 기판(900)의 에지와 접촉하여 글라스 기판(900)을 지지할 수 있다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 지지암(210)은 복수개일 수 있다. 지지암(210)이 지지하는 글라스 기판(900)의 크기 및 형상에 따라 지지암(210)의 개수 및 배치 형태가 변경될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 복수개의 지지암(210)은 라인으로 배치될 수 있다. 또한, 인접한 두 개의 지지암(210)은 소정의 거리만큼 이격될 수 있다. 여기에서, 지지암(210)이 이격된 거리는 글라스 기판(900)의 크기 및 형상에 따라 조정될 수 있다. 즉, 지지암(210)이 세 개 이상일 경우, 인접한 두 개의 지지암(210)이 이격된 거리는 동일할 수 있으며, 상이할 수도 있다. 글라스 기판(900)이 직육면체의 플레이트 형상일 경우, 일부의 지지암(210)은 글라스 기판(900)의 일측 에지와 접촉하도록 제1 라인으로 배치되고, 다른 일부의 지지암(210)은 일측 에지와 대향하는 글라스 기판(900)의 타측 에지와 접촉하도록 제2 라인으로 배치될 수 있다. 제1 라인과 제2 라인은 이격될 수 있고, 평행할 수 있으며, 동일한 길이일 수 있다. 또한, 제1 라인과 제2 라인에 배치된 지지암(210)은 제1 라인과 제2 라인 사이의 공간을 기준으로 대칭일 수 있다.

지지암(210)은 광센서(217)를 포함하는 지지암(210) 및 광센서(217)를 비포함하는 지지암(210)을 포함할 수 있다. 광센서(217)를 포함하는 지지암(210)을 제1 지지암(210a)이라고 정의하고, 광센서(217)를 비포함하는 지지암(210)은 제2 지지암(210b)이라고 정의한다면, 제1 지지암(210a)은 제 1 라인의 양 단 및 제2 라인의 양 단에 위치할 수 있고, 제2 지지암(210b)은 제1 라인의 양 단 사이 및 제2 라인의 양 단 사이에 위치할 수 있다. 도 1 및 도 2에서는 제1 지지암(210a)이 제1 라인의 양 단 및 제2 라인의 양 단에 위치하는 것을 도시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 제1 지지암(210a)이 제1 라인의 일 단 및/또는 제2 라인의 일 단에 위치할 수 있다. 또한, 제1 지지암(210a)은 제1 라인의 양 단 사이 및/또는 제2 라인의 양 단 사이에 위치할 수도 있다. 예시적인 실시예에서, 글라스 기판 검사 장치에 포함되는 모든 지지암(210)은 제1 지지암(210a)일 수도 있다.

제1 지지암(210a)은 글라스의 에지와 접촉할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 제1 지지암(210a)은 글라스 기판(900)의 적어도 일 모퉁이 부분과 접촉할 수 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 제1 지지암(210a)은 글라스 기판(900)의 일측 에지 및 일측 에지와 대향하는 타측 에지와 접촉할 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예에서, 글라스 기판(900)의 무게 중심을 기준으로 점 대칭이 되는 두 개의 제1 지지암(210a)이 글라스 기판(900)의 에지와 접촉할 수 있다.

도 3을 참조하면, 지지암(210)은 지지면(211), 흡착홀(213), 결합 수단(215), 및 광센서(217)를 포함할 수 있다. 지지면(211)은 상술한 글라스 기판(900)의 하부와 대향하는 면일 수 있다. 또한, 지지면(211)은 카메라부(400)와 마주보는 면일 수 있다. 지지면(211)의 적어도 일부는 글라스 기판(900)과 접촉하여 글라스 기판(900)을 지지할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 흡착홀(213)이 글라스 기판(900)을 흡착하여 글라스 기판(900)을 고정시킬 수 있기 때문에, 글라스 기판(900)과 접촉하는 지지면(211)의 일부는 흡착홀(213)이 형성된 부분일 수 있다.

한편, 지지면(211)은 직사각형 형상일 수 있으며, 평평할 수 있다. 도 1에서는 지지면(211)이 평평한 것을 도시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 지지면(211)은 지지하는 글라스 기판(900)의 부분에 대응되도록 오목하거나 볼록할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 지지면(211)이 지지하는 글라스 기판(900)의 부분이 볼록한 형상이라면, 지지면(211)은 오목한 형상일 수 있고, 지지면(211)이 지지하는 글라스 기판(900)의 부분이 오목한 형상이라면, 지지면(211)은 볼록한 형상일 수 있다. 또한, 지지면(211)이라는 용어가 내포하는 의미를 벗어나, 지지면(211)은 선이나 점 형태로 글라스를 지지할 수도 있다. 또한, 지지암(210)이 복수개일 경우, 복수개의 지지암(210)에 포함된 각각의 지지면(211)은 동일 평면 상에 위치할 수 있다. 도 1에서는 복수개의 지지암(210)에 포함된 각각의 지지면(211)이 동일 평면 상에 위치한 것을 도시하지만, 이에 한정된 것은 아니고, 글라스 기판(900)의 형상에 따라, 복수개의 지지암(210)에 포함된 적어도 두 개의 지지면(211)은 상이한 평면 상에 위치할 수도 있다.

흡착홀(213)은 지지면(211)의 일 단부에 형성될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 흡착홀(213)은 일 방향으로 연장된 장공 형상일 수 있다. 여기에서, 일 방향은 지지면(211)의 일 단부와 대응하는 지지면(211)의 일 변과 평행한 방향일 수 있다. 또한, 지지면(211)이 직사각형 형상일 경우, 흡착홀(213)은 지지면(211)의 일 장변에 인접하게 형성될 수 있으며, 흡착홀(213)의 길이 방향은 장변 방향과 동일할 수 있다. 또한, 흡착홀(213)은 지지면(211)의 일 단부에서 글라스 기판(900)의 중심부 방향에 형성될 수 있다. 흡착홀(213)은, 상술하였듯이, 글라스 기판(900)을 흡착하여 글라스 기판(900)을 고정시킬 수 있다.

결합 수단(215)은 흡착홀(213)이 형성된 지지면(211)의 일 단부에 대향되는 지지면(211)의 타 단부에 형성될 수 있다. 결합 수단(215)은, 예를 들어, 볼트일 수 있다. 결합 수단(215)은 적어도 하나일 수 있으며, 예시적인 실시예에서 두 개가 존재할 수 있다. 두 개의 결합 수단(215)은 소정의 거리만큼 이격되고, 두 개의 결합 수단(215)을 연장하는 연장선은 지지면(211)의 타 단부와 대응하는 지지면(211)의 타 변과 평행할 수 있다. 결합 수단(215)은 지지암(210)과 지지판(230)을 결합시킬 수 있다.

광센서(217)는 광센서(217)로 입사하는 빛을 감지한다. 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 수광부를 포함할 수 있고, 광센서(217)의 수광부에 대응하는 발광부는 카메라부(400) 또는 이송부(500)에 위치할 수 있다. 카메라부(400) 또는 이송부(500)에 위치하는 발광부에서 조사된 빛은, 광센서(217)의 수광부로 바로 입사될 수 있고, 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 위치할 경우, 글라스 기판(900)을 투과하여 광센서(217)의 수광부로 입사될 수도 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 수광부뿐만 아니라 발광부도 포함할 수 있다. 광센서(217)의 발광부에서 조사된 빛은 광센서(217)의 수광부로 입사되지 않을 수 있고, 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 위치할 경우, 글라스 기판(900)을 반사하여 광센서(217)의 수광부로 입사될 수도 있다.

광센서(217)는 광센서(217)로 입사하는 빛의 유무뿐만 아니라, 광센서(217)로 입사하는 빛의 특성, 예를 들어, 휘도, 세기, 또는 파장 등을 감지할 수 있다. 또한, 발광부에서 일정한 방향으로 빛을 조사할 경우, 광센서(217)는 발광부에서 조사된 빛이 굴절되었는지 여부를 감지할 수 있을 뿐만 아니라, 어느 정도 굴절되었는지도 감지할 수 있다.

광센서(217)는 지지면(211) 상에 위치할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 흡착홀(213)과 인접하여 위치할 수 있다. 흡착홀(213)이 일 방향으로 연장된 장공 형상일 경우, 광센서(217)는 흡착홀(213)의 단부와 인접하여 위치할 수 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 복수개일 수 있고, 흡착홀(213)의 양 단부와 인접하여 위치할 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 흡착홀(213)의 내측에 형성될 수 있다. 여기에서, 광센서(217)는 흡착홀(213)에 의하여 글라스 기판(900)을 흡착할 때의 흡착 압력을 견딜 수 있도록 흡착홀(213)의 내측벽에 고정될 수 있다.

광센서(217)는 점 형상으로 형성될 수 있다. 도 3은 광센서(217)가 점 형상으로 형성된 것을 도시하지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 광센서(217)는 선 또는 면 형상으로 형성될 수 있으며, 글라스 기판(900)의 에지를 모두 커버할 수 있도록 형성될 수도 있다.

광센서(217)는 광센서(217) 상에서 입사하는 빛을 감지할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 지지면(211) 상의 일정 지점으로부터 입사하는 빛을 감지할 수 있다. 다른 예시적인 실시예에서, 광센서(217)는 지지면(211)과 수직하고 광센서(217)를 통과하는 선 상의 일정 지점으로부터 입사하는 빛을 감지할 수 있다.

지지판(230)은 지지암(210)을 지지할 수 있다. 상술하였듯이, 결합 수단(215)에 의하여 지지판(230)과 지지암(210)이 결합될 수 있다. 지지암(210)은 지지판(230)의 일 단부 상에서 일렬로 정렬될 수 있다. 도 2를 참조하면, 지지암(210)의 일부는 지지판(230)의 일 단부에서 돌출되어 위치할 수 있다. 구체적으로, 지지암(210)의 일부는 지지판(230)과 중첩될 수 있다. 예를 들어, 결합 수단(215)은 지지판(230)과 중첩될 수 있다. 이에 반하여, 지지암(210)의 다른 일부는 지지판(230)과 중첩되지 않을 수 있다. 예를 들어, 흡착홀(213) 및/또는 광센서(217)는 지지판(230)과 중첩되지 않을 수 있다.

지지판(230)은 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b)을 포함할 수 있다. 제1 지지판(230a)과 제2 지지판(230b)은 이격되어 나란히 배치될 수 있다. 상술하였듯이, 지지암(210)은 복수개일 수 있고, 제2 지지판(230b)과 대향하는 제1 지지판(230a)의 일 단부 상에 일부의 지지암(210)이 제1 라인으로 배치될 수 있고, 제1 지지판(230a)과 대향하는 제2 지지판(230b)의 일 단부 상에 다른 일부의 지지암(210)이 제2 라인으로 배치될 수 있다. 상술하였듯이, 제1 라인과 제2 라인은 평행할 수 있으며, 동일한 길이일 수 있다. 또한, 제1 지지판(230a)과 제2 지지판(230b)은 제1 지지판(230a)과 제2 지지판(230b) 사이의 공간은 기준으로 대칭일 수 있다.

얼라인부(250)는 지지판(230) 상에 배치될 수 있다. 하나의 지지판(230) 상에 적어도 하나의 얼라인부(250)가 위치할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 하나의 지지판(230)에는 두 개의 얼라인부(250)가 위치하고, 두 개의 얼라인부(250)는 지지판(230)의 양 단부에 위치할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 얼라인부(250)는 제1 지지암(210a)과 인접하여 위치할 수 있다. 얼라인부(250)는 글라스 기판(900)을 미리 설정된 위치에 얼라인시킬 수 있다.

리니어 모터(290)는 지지대(270)의 일 측면 상에 위치할 수 있다. 리니어 모터(290)는 지지판(230)을 검사 영역으로 진입시킬 수 있다. 여기에서, 검사 영역은 카메라부(400)에 의하여 글라스 기판(900)이 정밀하게 검사되는 영역을 의미할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 리니어 모터(290)는 두 개 존재할 수 있고, 각각의 리니어 모터(290)는 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b)과 연결되어 제1 지지판(230a)과 제2 지지판(230b)을 동시에 검사 영역으로 진입시킬 수 있다.

지지대(270)는 지지판(230)을 지지할 수 있다. 지지대(270)의 일 측면 상에 지지판(230)이 연결될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 지지대(270)는 두 개 존재할 수 있고, 각각의 지지대(270)는 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b)과 연결되어 제1 지지판(230a)과 제2 지지판(230b)을 지지할 수 있다.

제어부(300)는 지지대(270)의 타 측면 상에 위치할 수 있다. 제어부(300)는, 상술하였듯이, 광센서(217)에서 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판(900)과 광센서(217)가 중첩되었는지 여부 또는 상기 글라스 기판(900)의 상태를 판단한다. 이를 더욱 상세히 설명하면, 광센서(217)가 지지면(211) 상에 위치하고 광센서(217) 상에서 입사하는 빛을 감지할 경우, 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 위치하면, 발광부에서 조사된 빛이 광센서(217)로 입사하는 과정에서 글라스 기판(900)에 의하여 빛의 특성이 변화되기 때문에, 제어부(300)는 변화된 빛의 특성을 판단하여 글라스 기판(900)의 존재 여부 및 글라스 기판(900)의 상태를 판단할 수 있다. 광센서(217)가 발광부와 수광부를 모두 포함하는 예시적인 실시예에서, 발광부에서 조사된 빛이 수광부로 입사되지 않을 경우, 제어부(300)는 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 존재하지 않는다고 판단할 수 있다. 발광부에서 조사된 빛이 수광부로 입사된다면, 수광부로 입사되는 빛은 글라스 기판(900)에서 반사되는 빛이므로, 제어부(300)는 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 존재한다고 판단할 수 있다. 여기에서, 수광부로 입사되는 빛의 특성, 예를 들어, 빛의 휘도 또는 세기를 더 조사하여, 광센서(217) 상의 글라스 기판(900)의 상태까지 판단할 수도 있다.

카메라부(400)는 지지부(200) 상에 위치할 수 있다. 카메라부(400)는 적어도 하나의 카메라를 포함할 수 있다. 카메라는 글라스 기판(900)이 검사 영역으로 진입할 경우 글라스 기판(900)의 상부에 위치할 수 있다. 카메라부(400)는 글라스 기판(900)을 촬영하여 글라스 기판(900)을 이미지화할 수 있다. 카메라부(400)는, 글라스 기판(900)에 광을 조사한 후에 조사한 광의 반사도를 측정하는 스캔 카메라(410), 이미지화된 글라스 기판(900)을 육안으로 확인할 수 있도록 디스플레이와 연결된 리뷰 카메라(430), 및 글라스 기판(900)의 식별 코드를 식별할 수 있는 식별 카메라(450)를 포함할 수 있다. 또한, 카메라부(400)는 선명한 화질의 글라스 기판(900) 이미지를 얻기 위하여, 반사 조명(470) 또는 투과 조명(미도시)를 포함할 수도 있다.

이송부(500)는 지지부(200)의 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b) 사이에 위치할 수 있다. 글라스 기판(900)은 이송부(500)로 투입되고, 이송부(500)는 글라스 기판(900)을 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b) 사이 또는 검사 영역으로 이송할 수 있다. 이송부(500)는 이송 레일(510), 받침판(530), 및 리프트(550)를 포함할 수 있다. 이송 레일(510)은 글라스 기판(900)과 접촉하여 글라스 기판(900)을 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b) 사이 또는 검사 영역으로 이송할 수 있다. 받침판(530)은 이송 레일(510)을 지지하고 이송 레일(510)을 구동하는 기능을 할 수 있다. 리프트(550)는 이송 레일(510) 및 받침판(530)을 승강 또는 하강시킬 수 있다. 따라서, 이송 레일(510)이 글라스 기판(900)을 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b) 사이로 이송할 경우, 글라스 기판(900)의 에지는 지지면(211)의 적어도 일부와 중첩되고, 이송부(500)는 하강하여 글라스 기판(900)이 오직 지지면(211)과 접촉할 수 있도록 할 수 있다.

케이블 박스(600)는 베이스(100)의 일 단부 상에 위치할 수 있고, 지지부(200), 카메라부(400), 및 이송부(500)에 연결된 케이블의 길이 조정 및 보관을 할 수 있다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 상에 글라스 기판(900)이 정확하게 얼라인된 경우, 모든 광센서(217) 상에 글라스 기판(900)이 위치할 수 있다. 따라서, 제어부(300)는 광센서(217)에 대응되는 글라스 기판(900)의 에지가 파손되지 않았다고 판단함과 동시에, 글라스 기판(900)이 지지부(200) 상에 정확하게 얼라인되었다고 판단할 수 있다. 여기에서, 글라스 기판(900)이 지지부(200) 상에 정확하게 얼라인되었는지 여부는 얼라인부의 상태, 예를 들어 얼라인부(250)가 글라스 기판(900)의 측면과 접촉하고 있는지 여부를 참조할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 상에 파손된 글라스 기판(901)(900)이 얼라인된 것을 도시한 파손된 글라스 기판(901)(900), 지지부(200) 및 제어부(300)의 평면도이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 상에 글라스 기판(900)이 얼라인되지 않은 것을 도시한 글라스 기판(900), 지지부(200), 및 제어부(300)의 평면도이다.

먼저, 도 5를 참조하면, 파손된 글라스 기판(901)(900)이 지지부(200) 상에 정확하게 얼라인된 경우, 얼라인부(250)는 정상적으로 글라스 기판(900)을 얼라인하지만, 파손된 모퉁이 부분에 대응하는 광센서(217)는 노출될 수 있다. 따라서, 제어부(300)는 정상적인 얼라인부(250)의 상태 및 노출된 광센서(217)에 입사되는 빛의 특성을 판단하여 파손된 글라스를 폐기하도록 명령할 수 있다.

다음으로, 도 6을 참조하면, 글라스 기판(900)이 파손되지는 않았지만 지지부(200) 상에 제대로 얼라인되지 않은 경우, 얼라인부(250)가 비정상적인 동작을 함과 동시에 적어도 하나의 광센서(217)가 노출될 수 있다. 따라서, 제어부(300)는 비정상적인 얼라인부(250)의 상태 및 노출된 광센서(217)에 입사되는 빛의 특성을 판단하여 글라스를 다시 얼라인하도록 명령하거나, 얼라인부(250)의 수리 요청 알람을 울릴 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치에 의하면, 글라스 기판(900)이 지지부(200)에 의하여 지지되는 부분, 예를 들어, 글라스 기판(900)과 광센서(217)가 중첩되는 부분의 결함 및, 글라스 기판(900)이 지지부(200) 상에 정확하게 얼라인되었는지 여부를 광센서(217)를 이용하여 검출할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 지지부(200) 및 제어부(300)의 평면도이다. 설명의 편의 상, 도 1 내지 도 6에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 제1 지지판(230a) 및 제2 지지판(230b)을 연결하는 적어도 하나의 연결부(240)를 더 포함할 수 있다. 또한, 연결부(240)는 적어도 하나의 지지암(210)을 포함할 수 있다. 여기에서, 지지암(210)은 제1 지지암(210a)만 포함할 수 있으며, 제1 지지암(210a) 및 제2 지지암(210b)을 모두 포함할 수도 있다.

연결부(240)는 글라스 기판(900)의 에지 하부에 위치할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 글라스 기판(900)이 직육면체의 플레이트 형상일 경우, 지지판(230) 상의 지지암(210)이 글라스 기판(900)의 장변에 대응하는 글라스 기판(900)의 에지와 접촉할 수 있고, 연결부(240) 상의 지지암(210)이 글라스 기판(900)의 단변에 대응하는 글라스 기판(900)의 에지와 접촉할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 글라스 기판(900)의 모든 에지를 지지함으로써, 글라스 기판(900)을 안정적으로 고정시킬 수 있을 뿐만 아니라, 글라스 기판(900)의 모든 에지의 결함 여부 및 글라스 기판(900)이 지지부(200) 상에 정확하게 얼라인되었는지 여부를 판단할 수 있다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 이송부(500) 및 광센서(700)의 평면도이다. 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치의 이송부(500) 상에서 글라스 기판(900)이 이송되는 것을 도시한 글라스 기판(900), 이송부(500), 및 광센서(700)의 평면도이다. 설명의 편의 상, 도 1 내지 도 6에 도시된 도면에 나타낸 각 엘리먼트와 실질적으로 동일한 엘리먼트는 동일 부호로 나타내고, 중복 설명을 생략한다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 글라스 기판(900)이 투입되고, 글라스 기판(900)을 검사 영역으로 이송하는 이송부(500), 및 이송부(500)와 인접하고, 입사하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 광센서(700), 및 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 글라스 기판(900)과 광센서(700)가 중첩되었는지 여부 또는 글라스 기판(900)의 상태를 판단하는 제어부(300)를 포함한다. 광센서(700)는 글라스 기판(900)이 투입되는 방향에 위치할 수 있다. 또한, 광센서(700)는, 이송부(500)가 글라스 기판(900)을 검사 영역으로 이송할 때, 글라스 기판(900)의 에지 하부에 위치할 수 있다. 또한, 광센서(700)는 한 쌍으로 이루어지고, 한 쌍의 광센서(700)는 이송부(500)의 양 측부에 대향하여 위치할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 글라스 기판 검사 장치는 글라스 기판(900)을 이송 중에 글라스 기판(900)의 에지를 스캔하면서 글라스 기판(900)의 에지의 결함 여부를 판단할 수 있다. 또한, 글라스 기판(900)이 제대로 얼라인되어 이송되는지 여부도 판단할 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 베이스
110: 베이스 프레임
130: 하중 분사판
200: 지지부
210: 지지암
210a: 제1 지지암
210b: 제2 지지암
211: 지지면
213: 흡착홀
215: 결합 수단
217, 700: 광센서
230: 지지판
230a: 제1 지지판
230b: 제2 지지판
240: 연결부
250: 얼라인부
270: 지지대
290: 리니어 모터
300: 제어부
400: 카메라부
410: 스캔 카메라
430: 리뷰 카메라
450: 식별 카메라
470: 반사 조명
500: 이송부
510: 이송 레일
530: 받침판
550: 리프트
600: 케이블 박스
900: 글라스 기판
901: 파손된 글라스 기판

Claims

입사하는 빛을 감지하는 광센서를 포함하고, 글라스 기판을 지지하는 적어도 하나의 지지암; 및
상기 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 상기 글라스 기판과 상기 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 상기 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부
를 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
제 1항에 있어서,
상기 지지암은 지지면을 포함하고,
상기 지지면의 적어도 일부는 상기 글라스 기판과 접촉하며,
상기 광센서는 상기 지지면 상에 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 2항에 있어서,
상기 광센서는 상기 광센서 상에서 입사하는 빛을 감지하는 글라스 기판 검사 장치.
제 2항에 있어서,
상기 지지암은 상기 지지면의 일 단부에 상기 글라스 기판을 흡착하는 흡착홀을 포함하고,
상기 광센서는 상기 흡착홀과 인접하여 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 4항에 있어서,
상기 흡착홀은 일 방향으로 연장된 장공 형상이고,
상기 광센서는 상기 흡착홀의 상기 일 방향의 단부와 인접하여 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 1항에 있어서,
상기 지지암은 상기 글라스 기판의 에지와 접촉하는 글라스 기판 검사 장치.
제 6항에 있어서,
상기 지지암은 상기 글라스 기판의 적어도 일 모퉁이 부분과 접촉하는 글라스 기판 검사 장치.
제 6항에 있어서,
제1 지지판; 및
상기 제1 지지판과 이격되어 나란히 배치되는 제2 지지판을 더 포함하고,
상기 지지암은, 복수개이고, 상기 제2 지지판과 대향하는 상기 제1 지지판의 단부 상에 제1 라인으로 배치되고, 상기 제1 지지판과 대향하는 상기 제2 지지판의 단부 상에 제2 라인으로 배치되는 글라스 기판 검사 장치.
제 8항에 있어서,
상기 제1 라인 및 상기 제2 라인은 평행한 글라스 기판 검사 장치.
제 8항에 있어서,
상기 제1 지지판 및 상기 제2 지지판을 연결하는 적어도 하나의 연결부를 더 포함하고,
상기 연결부는 적어도 하나의 상기 지지암을 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
제 8항에 있어서,
상기 제1 지지판 또는 상기 제2 지지판은 상기 글라스 기판을 미리 설정된 위치에 얼라인시키는 얼라인부를 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
글라스 기판을 지지하는 지지면 및 상기 지지면 상에 위치하는 광센서를 포함하는 적어도 하나의 지지암; 및
상기 글라스 기판을 촬영하여 상기 글라스 기판을 이미지화하는 적어도 하나의 카메라
를 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
제 12항에 있어서,
상기 광센서는 상기 광센서 상에서 입사하는 빛을 감지하고,
상기 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 상기 글라스 기판과 상기 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 상기 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부를 더 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
제 13항에 있어서,
상기 지지암은 상기 지지면의 일 단부에 상기 글라스 기판을 흡착하는 흡착홀을 포함하고,
상기 광센서는 상기 흡착홀과 인접하여 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 12항에 있어서,
상기 지지면의 적어도 일부는 상기 글라스 기판의 에지와 접촉하는 글라스 기판 검사 장치.
제 15항에 있어서,
제1 지지판; 및
상기 제1 지지판과 이격되어 나란히 배치되는 제2 지지판을 더 포함하고,
상기 지지암은, 복수개이고, 상기 제2 지지판과 대향하는 상기 제1 지지판의 단부 상에 제1 라인으로 배치되고, 상기 제1 지지판과 대향하는 상기 제2 지지판의 단부 상에 제2 라인으로 배치되는 글라스 기판 검사 장치.
글라스 기판이 투입되고, 상기 글라스 기판을 검사 영역으로 이송하는 이송부;
상기 이송부와 인접하고, 입사하는 빛을 감지하는 적어도 하나의 광센서; 및
상기 감지된 빛의 특성을 기초로 하여 상기 글라스 기판과 상기 광센서가 중첩되었는지 여부 또는 상기 글라스 기판의 상태를 판단하는 제어부
를 포함하는 글라스 기판 검사 장치.
제 17항에 있어서,
상기 광센서는 상기 글라스 기판이 투입되는 방향에 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 18항에 있어서,
상기 광센서는 한 쌍으로 이루어지고,
상기 한 쌍의 광센서는 상기 이송부의 양 측부에 대향하여 위치하는 글라스 기판 검사 장치.
제 17항에 있어서,
상기 광센서는,
상기 이송부가 상기 글라스 기판을 검사 영역으로 이송할 때,
상기 글라스 기판의 에지 하부에 위치하는 글라스 기판 검사 장치.