JP2003218187A

JP2003218187A - ガラス基板移載装置

Info

Publication number: JP2003218187A
Application number: JP2002014110A
Authority: JP
Inventors: Masuo Matsumoto; 増男松元
Original assignee: Nippon Electric Kagoshima Ltd; NEC Kagoshima Ltd
Current assignee: Nippon Electric Kagoshima Ltd; NEC Kagoshima Ltd
Priority date: 2002-01-23
Filing date: 2002-01-23
Publication date: 2003-07-31

Abstract

(57)【要約】【課題】ガラス基板を焼成炉に搬入及び搬出する際、ガ
ラス基板の割れや位置ずれを検知することによって、炉
詰まり現象を回避するとともに、割れや位置ずれが発生
したガラス基板をリジェクトし、設備の安定稼動を図
る。【解決手段】ガラス基板２を焼成炉に搬入及び搬出する
際、炉内専用搬送プレート３上にガラス基板２を受け渡
しする移載ハンド１ａと、ガラス基板２の受け渡しの
際、ガラス基板２を炉内専用搬送プレート３上から浮か
せるための突上げピン１０を有する突上げユニット４と
を備えたガラス基板移載装置５ａにおいて、突上げピン
１０によってガラス基板２を昇降させる際に、ガラス基
板２の割れの有無及び炉内専用搬送プレート３に対する
ガラス基板２の位置ずれの有無を検知する透過型光学セ
ンサＡ〜Ｊを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造工程において、ペースト等が塗布され
たプラズマディスプレイパネル用ガラス基板を焼成炉に
搬入または搬出する際に使用するガラス基板移載装置に
関し、特に、焼成炉に搬入する前のガラス基板の割れや
位置ずれ又は焼成炉から搬出されたガラス基板の割れや
位置ずれを検知する機能を備えたガラス基板移載装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ペースト等が塗布されたプラズマ
ディスプレイパネル用ガラス基板を焼成炉に搬入又は搬
出する際に使用するガラス基板移載装置５は、図８の構
成図に示すように、焼成炉６の一方の側に設置されてお
り、ガラス基板移載装置５から焼成炉６に搬入されたガ
ラス基板２は、焼成後にガラス基板移載装置５に戻るよ
うになっている。このガラス基板移載装置５の構成は、
図９に示すように、ガラス基板２を炉内専用搬送プレー
ト３（以下、単に搬送プレート３と称する）に載せて焼
成炉６に搬入する際に、搬送プレート３上にガラス基板
２を載置するための移載ハンド１と、焼成後に焼成炉６
から搬出されて元の搬入位置に戻った搬送プレート３上
のガラス基板２を、移載ハンド１でチャッキングするた
めに突上げピン１０によって搬送プレート３上から浮か
せるための突上げユニット４とから構成されている。

【０００３】また、図８に示すように、焼成炉６は上下
２段構造を有し（例えば特開２００１−３１６１８６号
公報）、上段には搬送ローラ７が設けられ、下段には搬
出ローラ８が設けられ、さらに、焼成炉６の終点側に
は、ガラス基板２を載せた搬送プレート３を上段から下
段へ移動させるための昇降装置９ａが設けられている。
また、焼成炉６の搬入搬出側とガラス基板移載装置５と
の間には、ガラス基板２を載置した搬送プレート３を下
段から上段へ移動させるための昇降装置９ｂが設けられ
ている。また、ガラス基板移載装置５及び昇降装置９
ａ、９ｂには、搬送プレート３を移動させるための搬送
ローラ７ａがそれぞれ設けられている。

【０００４】このように構成された従来のガラス基板移
載装置を用いてガラス基板の焼成を行なう方法につい
て、図８及び図９を用いて説明する。まず、ガラス基板
移載装置５にセットされた搬送プレート３上に、移載ハ
ンド１によってガラス基板２を載置する。この際、ガラ
ス基板２は一旦突上げピン１０上に置かれ、次いで、突
上げピン１０を下げて搬送プレート３上に置かれる。搬
送プレート３上に置かれたガラス基板２は、昇降装置９
ｂを経て搬送プレート３に載せられたまま搬送ローラ７
の回転により焼成炉６内を搬送され、焼成処理が行われ
る。焼成の終了したガラス基板２は搬送プレート３ごと
昇降装置９ａによって降下され、焼成炉６内の下段に設
けられた搬出ローラ８によって焼成炉６の搬入側に戻
る。搬入側に戻ったガラス基板２は、搬送プレート３と
ともに昇降装置９ｂによって上昇されて元のガラス基板
移載装置５に戻り、次いで、突上げユニット４を上昇さ
せて突上げピン１０でガラス基板２のみを突き上げ、移
載ハンド１の開閉爪１１でガラス基板２をチャックし、
焼成済みのガラス基板２を次工程へと移載する。ここ
で、搬送プレート３には突き上げの際に突上げピン１０
が貫通する穴が開けられており、また、移載ハンド１に
はガラス基板２の４辺をチャックする開閉爪１１が設け
られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような従来のガラ
ス基板移載装置においては、ガラス基板を搬送プレート
上に載置する際に、まず最初に突上げピン上に載せるよ
うになっているためその衝撃でガラス基板が割れること
があり、割れたままのガラス基板をそのまま焼成炉に搬
入してしまうと言う問題が発生していた。

【０００６】また、ガラス基板を搬送プレート上に載置
する際には、搬送プレートはあらかじめ所定の位置で位
置決めされ、移載ハンドもそれに合わせて位置決めされ
ているため、移載ハンドで移載されたガラス基板は搬送
プレート上の正しい位置に載置されるようになってい
る。しかし、移載ハンドによるガラス基板のチャックミ
スや振動などで位置ずれが発生し、搬送プレート上で位
置ずれしたまま焼成炉に搬入されてしまうと言う問題も
発生していた。

【０００７】さらに、ガラス基板を焼成する際には、ガ
ラス基板が焼成炉内を搬送されている間に加熱によって
ガラス基板に熱歪みが発生し、ガラス基板は焼成炉に搬
入する前に搬送プレート上の正しい位置に位置合わせし
て載置されているにもかかわらず、焼成の間に搬送プレ
ート上で位置ずれが発生したり、また、ガラス基板が割
れると言う問題が発生していた。

【０００８】そして、位置ずれや割れが発生した状態の
ガラス基板を載せたまま、搬送プレートは焼成炉から搬
出されてガラス基板移載装置に戻ってしまうため、次に
移載ハンドでガラス基板をチャックする際に、位置ずれ
があると突上げユニットでガラス基板を突き上げた時に
移載ハンドに衝突して破損したり、破損しないまでもチ
ャッキングミスによるトラブルが発生する原因となって
いる。また、ガラス割れがあると、割れたガラス基板が
残されたままの搬送プレート上に、さらに新たなガラス
基板が移載されることになり、品質的なトラブル発生の
原因となっている。また、割れたガラス基板は、移載し
たり搬送したりする際、搬送経路等に落下して設備駆動
部と干渉し、設備稼動状況を悪化させていた。また、ガ
ラスの破片が落下することによって、設備内に微細なガ
ラス片が飛散し、製造品質が悪化する一因ともなってい
た。

【０００９】特に、プラズマディスプレイパネルなどの
製造に使用する大型のガラス基板においては、製造工程
中の移載の際、あるいは焼成の際に、わずかな機械的な
衝撃や熱衝撃によってもガラス基板が損傷を受ける割合
が高く、高価なガラス基板がむだになるという問題を抱
えていた。

【００１０】本発明はこのような問題を解決するために
なされたもので、焼成炉内から搬出されてきた搬送プレ
ート上のガラス基板の割れや位置ずれの有無を検知し、
また、搬入前に搬送プレート上にガラス基板を載置する
際のガラス基板の割れや位置ずれの有無を検知すること
によって、異常の早期発見による炉詰まり現象を回避す
るとともに、割れや位置ずれが発生したガラス基板を載
置した搬送プレートを搬送前にリジェクトし、設備の安
定稼動を図ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、ペースト等が
塗布されたガラス基板を焼成炉に搬入及び搬出する際、
炉内専用搬送プレート上にガラス基板を受け渡しする移
載ハンドと、ガラス基板受け渡しの際、ガラス基板を炉
内専用搬送プレート上から浮かせるための突上げピンを
有する突上げユニットとを備えたガラス基板移載装置に
おいて、前記突上げピンによってガラス基板を昇降させ
る際に、ガラス基板の割れの有無及び炉内専用搬送プレ
ートに対するガラス基板の位置ずれの有無を検知する透
過型光学センサとを備えたものである。

【００１２】また、本発明に用いる前記透過型光学セン
サは、ガラス基板を焼成炉に搬入する前に発生した割れ
及び位置ずれの有無を検知するとともに、焼成炉中で発
生した割れ及び位置ずれの有無を焼成炉から搬出した後
に検知するようにしている。そして、前記ガラス基板の
割れの有無を検知する透過型光学センサは、その出射光
をガラス基板面に対しわずかに傾斜させるとともにガラ
ス基板面の対角線方向に向けて配置され、また、前記焼
成炉中で発生したガラス基板の位置ずれの有無を検知す
る透過型光学センサは、その出射光をガラス基板面に対
しわずかに傾斜させるとともにガラス基板面の４辺に平
行するように配置され、このガラス基板面に対しわずか
に傾斜させた透過型光学センサの出射光は、突上げピン
によって昇降するガラス基板の昇降範囲内にあるように
している。

【００１３】また、本発明において、前記焼成炉に投入
する前に発生したガラス基板の位置ずれの有無を検知す
る透過型光学センサは、その出射光がガラス基板面に対
し垂直で、かつガラス基板面の４辺周囲に配置され、そ
の発光部が前記移載ハンドに設置されている。

【００１４】また、本発明において、前記ガラス基板の
割れ又は位置ずれの有無が検知された場合は、そのガラ
ス基板を載置したまま炉内専用搬送プレートを装置から
除外するようにしている。また、前記ガラス基板は、プ
ラズマディスプレイパネル用ガラス基板である。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明のガラス基板移載装
置における実施の形態について図面を用いて説明する。
図１は本発明の一実施の形態におけるガラス基板移載装
置を焼成炉に設置した状態を示す構成図である。また、
図２は本発明のガラス基板移載装置の一実施の形態を示
す構成図である。なお、従来技術と同じ部品は、同じ符
号を用いて説明する。

【００１６】図１及び図２に示すように、本発明のガラ
ス基板移載装置５ａは、焼成炉６の一方の側に設置さ
れ、ガラス基板２の搬入及び搬出は焼成炉６の同じ一方
の側で行うようになっている。そして、このガラス基板
移載装置５ａは、ガラス基板２を焼成炉６に搬入する際
に搬送プレート３上にガラス基板２を移載するための移
載ハンド１ａと、焼成後に焼成炉６から搬出されてガラ
ス基板移載装置５ａに戻ったガラス基板２を、移載ハン
ド１ａでチャッキングする際に突上げピン１０で搬送プ
レート３上から浮かせるための突上げユニット４とから
構成される。ここで、搬送プレート３には、ガラス基板
２を突き上げる際に突上げピン１０が貫通する穴が開け
られており、また、移載ハンド１ａにはガラス基板２の
４辺をチャックするための開閉爪１１が設けられてい
る。

【００１７】一方、焼成炉６は上下２段構造を有し、上
段には搬送ローラ７及び図示していないがヒータが設け
られ、下段には搬出ローラ８が設けられ、さらに、焼成
炉６の搬送終点側には、ガラス基板２を上段から下段へ
移動させるための昇降装置９ａが設けられている。ま
た、焼成炉６の搬入側でガラス基板移載装置５ａとの間
には、ガラス基板２を下段から上段へ移動させるための
昇降装置９ｂが設けられている。また、ガラス基板移載
装置５ａおよび昇降装置９ａ、９ｂには、搬送プレート
３を移送させるための搬送ローラ７ａがそれぞれ設けら
れている。

【００１８】さらに、本発明のガラス基板移載装置に
は、搬入前のガラス基板に位置ずれや割れが有るかどう
か、または、焼成炉から搬出されたガラス基板に位置ず
れや割れが有るかどうかを検知するために、発光部及び
受光部を一組とした複数組の透過型光学センサ（以下、
単にセンサと称する）が設けられている。その取り付け
位置は、図１及び図２に示すように、出射光が水平方向
（実際にはわずかに傾斜させている）にあるもの（Ａ〜
Ｆ）と、垂直方向にあるもの（Ｇ〜Ｊ）との二つに分け
られる。

【００１９】センサＡ〜Ｆの取り付け個所としては、移
載ハンド１ａで搬送されてきたガラス基板２を一旦突上
げピン１０上に置き、この突上げピン１０を降下させて
ガラス基板２を搬送プレート３上に載せる際、又は、焼
成処理が行なわれたガラス基板２を載置して焼成炉６か
ら搬出された搬送プレート３上からガラス基板２を突上
げピン１０で突き上げる際に、突上げピン１０の先端が
上下方向に移動する範囲、すなわちガラス基板２が上下
する範囲内にセンサからの出射光が存在するような位置
に取り付ける。具体的な取り付け個所としては、突上げ
ユニット４の筐体などである。また、センサＧ〜Ｊは、
ガラス基板２の４辺位置を検出できる位置に取り付けら
れ、具体的には移載ハンド１ａに取り付ける。

【００２０】これらのセンサの作用について、以下に説
明する。まず、センサの配置について、図３の配置図を
用いて説明する。図３（ａ）の平面図に示すように、焼
成炉から搬出された搬送プレート３に対しガラス基板２
がほぼその中央に位置していることを検知するために、
ガラス基板２の４辺方向に４組のセンサＡ、Ｂ、Ｄ、Ｅ
を配置し、各センサの出射光の方向がガラス基板２の４
辺に平行となるようにし、センサＡ、Ｂは平行２辺、セ
ンサＤ、Ｅはそれと直行する平行２辺を形成するように
配置している。さらに、ガラス基板２の対角線方向には
センサＣ、Ｆを配置しており、これは主として割れを検
知するためのものである。また、ガラス基板２の垂直方
向に４組のセンサＧ、Ｈ、Ｉ、Ｊを配置し、それらの出
射光がガラス基板２の４辺周囲に配置されている。

【００２１】これら各センサからの出射光は、図３
（ｂ）の断面図に示すように、センサＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、
Ｅ、Ｆはガラス基板面に対しわずかに傾斜させるように
し、センサＧ、Ｈ、Ｉ、Ｊはガラス基板面に垂直であ
る。ここで、センサセンサＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆから
の出射光に傾斜を持たせた理由は、ガラス基板の有無を
検知するに祭し、ガラス基板面に塗布されているペース
ト等によって出射光を遮断し易くするためである。図で
は、出射光の傾斜の方向を下から上に向けているが、上
から下に向けても差し支えない。

【００２２】このようにセンサを配置した結果、例えば
図４の平面図に示すように、焼成炉から搬出されたガラ
ス基板２が搬送プレート３に対し矢印Ｐ方向にずれてい
る場合には、センサＤが遮光されて位置ずれの有無の検
知が可能であり、また、図５の平面図に示すように、ガ
ラス基板２が搬送プレート３に対し矢印Ｑ方向にずれて
いる場合には、センサＢが遮光されて位置ずれの有無の
検知が可能である。さらに、図６の平面図（ａ）、断面
図（ｂ）に示すように、ガラス基板２を搬送プレート３
に載置するときのＲ方向の位置ずれの有無は、センサＧ
が遮光されて検知することができる。図で示したこれら
の位置ずれは、いずれも一例であって、斜め方向にずれ
ていてもいずれかのセンサで検知が可能である。

【００２３】さらに、焼成炉から搬出されたガラス基板
２の割れを検知するために、図３（ａ）に示したよう
に、ガラス基板２の対角線方向に２組のセンサＣ、Ｆを
配置している。この時の出射光の方向は、図３（ｂ）に
示すように、センサＡ、Ｂ、Ｄ、Ｅと同じで、ガラス基
板面に対し上下方向に傾斜を持たせている。ガラス基板
２に割れがあると、図７の平面図（ａ）、断面図（ｂ）
に示すように、突上げピン１０でガラス基板２を突き上
げた時にガラス基板２の一部が突上げピン１０から外れ
て落下した状態となって傾くため、センサＣ、Ｆによっ
て割れの有無の検知が可能となる。また、ガラス基板２
を焼成炉に搬入する際、移載ハンドで移載したガラス基
板２が突上げピン１０に接触して割れた場合でも、同様
にセンサＣ、Ｆで検知することができる。

【００２４】上記した複数組のセンサの設置個所は、セ
ンサＡ〜Ｆは発光部及び受光部とも突上げユニット４の
筐体に取り付けた部材（図示せず）に設置され、センサ
Ｇ、Ｈ、Ｉ、Ｊは発光部が移載ハンド１ａに設置され、
受光部が前記突上げユニット４の筐体部材に設置され、
センサＧ、Ｈ、Ｉ、Ｊの出射光は、図６（ｂ）に示すよ
うに搬送プレート３に開けられた貫通孔を通り抜けて受
光部に達するようになっている。

【００２５】次に、このように構成された本発明のガラ
ス基板移載装置を用いてガラス基板の焼成を行なう方法
ならびにガラス基板移載装置の動作について、図を用い
て説明する。

【００２６】まず、図１及び図２に示すように、ガラス
基板２は移載ハンド１ａの開閉爪１１によってチャッキ
ングされ、前工程からガラス基板移載装置５ａに移送さ
れてくる。そして、搬送プレート３上から突出している
突上げピン１０上に載せられる。この際、搬送プレート
３は図示していない位置決め機構によってあらかじめ位
置決めされ、ガラス基板移載装置５ａにセットされてい
る。また、移載ハンド１ａも搬送プレート３に合わせて
位置決めされている。

【００２７】次いで、突上げピン１０を降下させ、ガラ
ス基板２を搬送プレート３上に載置する。この時、セン
サＧ、Ｈ、Ｉ、Ｊによってガラス基板２が搬送プレート
３上の正しい位置に置かれたかどうかが判断される。ま
た、割れが発生した場合には、センサＣ、Ｆで検知され
る。このように、搬入前に異常が検知された場合には、
直ちにガラス基板移載装置を停止させ、焼成炉に異常な
ガラス基板が搬入されないようにリジェクトする。

【００２８】次いで、異常が検出されなかったガラス基
板２を載置した搬送プレート３は、ガラス基板移載装置
５ａ及び昇降装置９ｂに設けられている搬送ローラ７ａ
によってガラス基板２を載置したまま焼成炉６内に送り
込まれ、搬送ローラ７の回転により焼成炉６内を搬送さ
れ、焼成処理が行われる。焼成の終了したガラス基板２
は搬送プレート３ごと昇降装置９ａに達し、さらに昇降
装置９ａによって降下され、焼成炉６内の下段に設けら
れた搬出ローラ８によって焼成炉６の搬入側に戻る。搬
入側に戻ったガラス基板２は、搬送プレート３とともに
昇降装置９ｂによって上昇され元のガラス基板移載装置
５ａに戻る。次いで、突上げユニット４を上昇させて突
上げピン１０でガラス基板２のみを突き上げる。この
時、ガラス基板２に位置ずれが発生していると、センサ
Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅのいずれかによって検知され、また、割
れがあった場合にはセンサＣ、Ｆのいずれかで検知され
る。

【００２９】搬入前及び搬出後のいずれの場合において
も、センサが作動すると、突上げユニット４は上昇動作
中でも直ちに停止して下降動作に移り、異常のあったガ
ラス基板２を再び搬送プレート３上に戻すと同時にガラ
ス基板移載装置５ａを停止させ、アラームを発する。ア
ラームがあった場合は、異常のガラス基板２を載せた搬
送プレート３をガラス基板移載装置５ａから除外し、ガ
ラス基板移載装置５ａにダメージを与えないようにす
る。除外する方法は、人手で行なってもよいし、あるい
はセンサからの信号に基づいて動作するリジェクト機構
を設けることによって、自動化することも可能である。
一方、位置ずれや割れのない状態で搬出された焼成済み
のガラス基板２は、移載ハンド１ａでチャッキングさ
れ、次工程へと移載される。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、ガラス基板移載装置に
複数組の透過型光学センサを設置したことによって、焼
成炉内から搬出されてきた搬送プレート上のガラス基板
の割れや位置ずれの有無を検知し、また、搬送プレート
にガラス基板を載置する際のガラス基板の割れや位置ず
れの有無を検知し、その信号に基づいてガラス基板移載
装置を直ちに停止させるようにしている。その結果、割
れや位置ずれが発生した異常なガラス基板が載置された
搬送プレートを焼成炉に搬入する前にリジェクトでき、
また、焼成炉内で発生した異常なガラス基板を次工程に
移送する前にリジェクトできるため、異常の早期発見に
よる炉詰まり現象を回避できるとともに設備の安定稼動
を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態におけるガラス基板移載
装置を焼成炉に設置した状態を示す構成図である。

【図２】本発明のガラス基板移載装置の一実施の形態を
示す構成図である。

【図３】本発明に用いるセンサの配置を示す図で、図
（ａ）は平面図、図（ｂ）は断面図である。

【図４】本発明に用いるセンサによって焼成後のガラス
基板の位置ずれを検知する一例を示す平面図である。

【図５】本発明に用いるセンサによって焼成後のガラス
基板の位置ずれを検知する他の例を示す平面図である。

【図６】本発明に用いるセンサによって焼成前のガラス
基板の位置ずれを検知する一例を示す図で、図（ａ）は
平面図、図（ｂ）は断面図である。

【図７】本発明に用いるセンサによって焼成後のガラス
基板の割れを検知する一例を示す図で、図（ａ）は平面
図、図（ｂ）は断面図である。

【図８】従来のガラス基板移載装置を焼成炉に設置した
状態を示す構成図である。

【図９】従来のガラス基板移載装置を示す構成図であ
る。

【符号の説明】

１、１ａ移載ハンド２ガラス基板３炉内専用搬送プレート４突上げユニット５、５ａガラス基板移載装置６焼成炉７、７ａ搬送ローラ８搬出ローラ９ａ、９ｂ昇降装置１０突上げピン１１開閉爪Ａ〜Ｊ透過型光学センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ペースト等が塗布されたガラス基板を焼
成炉に搬入及び搬出する際、炉内専用搬送プレート上に
ガラス基板を受け渡しする移載ハンドと、ガラス基板受
け渡しの際、ガラス基板を炉内専用搬送プレート上から
浮かせるための突上げピンを有する突上げユニットとを
備えたガラス基板移載装置において、前記突上げピンに
よってガラス基板を昇降させる際に、ガラス基板の割れ
の有無及び炉内専用搬送プレートに対するガラス基板の
位置ずれの有無を検知する透過型光学センサを備えたこ
とを特徴とするガラス基板移載装置。
【請求項２】前記透過型光学センサは、ガラス基板を
焼成炉に搬入する前に発生した割れ及び位置ずれの有無
を検知するとともに、焼成炉中で発生した割れ及び位置
ずれの有無を焼成炉から搬出した後に検知することを特
徴とする請求項１記載のガラス基板移載装置。
【請求項３】前記ガラス基板の割れの有無を検知する
透過型光学センサは、その出射光をガラス基板面に対し
わずかに傾斜させるとともに、ガラス基板面の対角線方
向に向けて配置されていることを特徴とする請求項１記
載のガラス基板移載装置。
【請求項４】前記焼成炉中で発生したガラス基板の位
置ずれの有無を検知する透過型光学センサは、その出射
光をガラス基板面に対しわずかに傾斜させるとともに、
ガラス基板面の４辺に平行するように配置されているこ
とを特徴とする請求項１記載のガラス基板移載装置。
【請求項５】前記ガラス基板面に対しわずかに傾斜さ
せた透過型光学センサの出射光は、前記突上げピンによ
って昇降するガラス基板の昇降範囲内にあることを特徴
とする請求項４又は５記載のガラス基板移載装置。
【請求項６】前記焼成炉に投入する前に発生したガラ
ス基板の位置ずれの有無を検知する透過型光学センサ
は、その出射光がガラス基板面に対し垂直で、かつガラ
ス基板面の４辺周囲に配置されていることを特徴とする
請求項１記載のガラス基板移載装置。
【請求項７】前記焼成炉に投入する前に発生したガラ
ス基板の位置ずれの有無を検知する透過型光学センサ
は、その発光部が前記移載ハンドに設置されていること
を特徴とする請求項６記載のガラス基板移載装置。
【請求項８】前記ガラス基板の割れ又は位置ずれの有
無が検知された場合は、そのガラス基板を載置したまま
炉内専用搬送プレートを移載装置から除外することを特
徴とする請求項１記載のガラス基板移載装置。
【請求項９】前記ガラス基板は、プラズマディスプレ
イパネル用ガラス基板であることを特徴とする請求項１
記載のガラス基板移載装置。