JP4173309B2 - センタリング装置及び枚葉式検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、センタリング装置及び枚葉式検査装置に関し、例えば、複数の検査装置等の装置間を移動する自動搬送装置と枚葉式検査装置との間で被処理体を確実に受け渡しするセンタリング装置及び枚葉式検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体装置の検査工程では半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称す。)の検査装置としてプローバが広く用いられている。プローバは、通常、ローダ室とプローバ室とを備え、ウエハ状態でデバイスの電気的特性検査を行う。ローダ室は、複数(例えば、25枚)のウエハが収納されたキャリアを載置するキャリア載置部と、キャリア載置部からウエハを一枚ずつ搬送するウエハ搬送機構(以下、「アーム機構」と称す。)と、アーム機構を介して搬送されるウエハのプリアライメントを行うプリアライメント機構(以下、「サブチャック」と称す。)とを備えている。また、プローバ室は、ウエハを載置してX、Y、Z及びθ方向に移動する載置台(以下、「メインチャック」と称す。)と、メインチャックと協働してウエハのアライメントを行うアライメント機構と、メインチャックの上方に配置されたプローブカードと、プローブカードとテスタ間に介在するテストヘッドとを備えている。
【0003】
従って、ウエハの検査を行う場合には、まずオペレータがロット単位で複数のウエハが収納されたキャリアをローダ室のキャリア載置部に載置する。次いで、プローバが駆動すると、アーム機構がキャリア内のウエハを一枚ずつ取り出し、サブチャックを介してプリアライメントを行った後、アーム機構を介してプローバ室内のメインチャックへウエハを引き渡す。ローダ室ではメインチャックとアライメント機構が協働してウエハのアライメントを行う。アライメント後のウエハをメインチャックを介してインデックス送りしながらプローブカードと電気的に接触させて所定の電気的特性検査を行う。ウエハの検査が終了すれば、メインチャック上のウエハをローダ室のアーム機構で受け取ってキャリア内の元の場所に戻した後、次のウエハの検査を上述の要領で繰り返す。キャリア内の全てのウエハの検査が終了すれば、オペレータが次のキャリアと交換し、新たなウエハについて上述の検査を繰り返す。
【0004】
しかしながら、例えば300mmウエハのように大口径になると、複数枚のウエハが収納されたキャリアは極めて重いため、オペレータがキャリアを持ち運ぶことが殆ど不可能に近くなって来ている。また、持ち運びできたとしても重量物であるため一人での持ち運びには危険を伴う。この問題はプローバに限らず半導体製造装置についても云えることである。
【0005】
そこで、特開平10−303270号公報では自動搬送車(以下、「AGV」と称す。)を使ってキャリアを搬送し、工程設備との間で同一ロットのウエハをキャリア単位で受け渡すことができる搬送方法が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウエハが大口径化すると共に超微細加工が進展すると、一枚のウエハの処理に要する時間が長時間化するため、ウエハをキャリア単位で処理していては処理済みのウエハまでその装置内に長時間に渡り留め置くことになり、生産効率が低下する。そこで、例えば自動搬送車を用いて半導体製造装置との間でウエハを一枚ずつ受け渡し、半導体製造装置においてウエハを一枚ずつ処理する、枚葉方式を採用することで生産効率を高めることができる。ところが、この場合には、自動搬送車と半導体製造装置間でのウエハの受け渡し精度が悪いと、ウエハの受け渡しを行うことができないという課題がある。また、枚葉式を採用するに当たり、異なる口径のウエハを混在させることにより汎用性のある自動搬送システムを構築したいとの要請もある。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、装置間を移動する自動搬送装置と枚葉式検査装置との間で自動搬送装置に付設された搬送機構を用いて枚葉式検査装置の内部において被処理体の受け渡しを確実に行うことができ、検査後の被処理体を枚葉式検査装置内に留め置くことなく検査の度に枚葉式検査装置の内部において自動搬送装置の搬送機構で受け取り、TATを短縮することができるセンタリング装置及び枚葉式検査装置を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のセンタリング装置は、装置間を移動する自動搬送装置から被処理体を一枚ずつ受け取って上記被処理体の電気的特性検査を行う枚葉式検査装置内に設けられ、上記自動搬送装置に付設された搬送機構から上記被処理体を一枚ずつ受け取る際に上記被処理体をセンタリングするセンタリング装置であって、上記枚葉式検査装置内において上記搬送機構との間で上記被処理体を一枚ずつ授受する昇降動可能な支持体と、この支持体から受け取った上記被処理体をセンタリングするセンタリング機構とを備え、上記センタリング機構は、上記支持体の両側に配置され且つ上記被処理体の外周面に即した係合面が形成された支承部を有する一対のセンタリングプレートと、これらのセンタリングプレートを拡縮させる駆動機構とを有することを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項2に記載のセンタリング装置は、請求項1に記載の発明において、上記センタリングプレートは、大きさを異にする複数の係合面を複数段に渡って有することを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項3に記載のセンタリング装置は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記駆動機構は、上記各センタリングプレートからそれぞれ垂下する軸に連結されたリンク機構と、このリンク機構に連結されたシリンダ機構とを有することを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項4に記載のセンタリング装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明において、複数の被処理体を収納する収納部を有することを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項5に記載のセンタリング装置は、請求項4に記載の発明において、上記収納部は大きさを異にする複数種の被処理体を収納する部分を有することを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の請求項6に記載の枚葉式検査装置は、装置間を移動する自動搬送装置からこれに付設された第1の搬送機構を介して被処理体を一枚ずつ受け取ってセンタリングするセンタリング装置と、このセンタリング装置と載置台との間で上記被処理体を搬送する第2の搬送機構と、を備え、上記センタリング装置においてセンタリングされた上記被処理体を、上記第2の搬送機構を介して上記載置台上に載置した後、上記載置台上で上記被処理体に対して電気的特性検査を行った後、上記第1の搬送機構が検査終了後の被処理体を上記センタリング装置から受け取るように構成された枚葉式検査装置であって、上記センタリング装置は、上記第1の搬送機構との間で上記被処理体を一枚ずつ授受する昇降動可能な支持体と、この支持体から受け取った上記被処理体をセンタリングするセンタリング機構と、を備え、上記センタリング機構は、上記支持体の両側に配置され且つ上記被処理体の外周面に即した係合面が形成された支承部を有する一対のセンタリングプレートと、これらのセンタリングプレートを拡縮させる駆動機構とを有することを特徴とするものである。
【0015】
また、本発明の請求項7に記載の枚葉式検査装置は、請求項6に記載の発明において、上記センタリングプレートは、大きさを異にする複数の係合面を複数段に渡って有することを特徴とするものである。
【0016】
また、本発明の請求項8に記載の枚葉式検査装置は、請求項6または請求項7に記載の発明において、上記駆動機構は、上記各センタリングプレートからそれぞれ垂下する軸に連結されたリンク機構と、このリンク機構に連結されたシリンダ機構とを有することを特徴とするものである。
【0017】
また、本発明の請求項9に記載の枚葉式検査装置は、請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載の発明において、複数の被処理体を収納する収納部を有することを特徴とするものである。
【0018】
また、本発明の請求項10に記載の枚葉式検査装置は、請求項9に記載の発明において、上記収納部は大きさを異にする複数種の被処理体を収納する部分を有することを特徴とするものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
まず、本発明のセンタリング装置及び枚葉式検査装置を適用した被処理体(例えば、ウエハ)の搬送システムについて説明する。この搬送システム(Automated material handling system(AMHS))Eは、図1の(a)、(b)に示すように、ウエハ(図示せず)の検査工程を含む工場全体を生産管理するホストコンピュータ1と、このホストコンピュータ1の管理下でウエハの電気的特性検査を行う複数の検査装置(例えば、プローバ)2と、これらのプローバ2に対してそれぞれの要求に応じて異なる口径の複数種のウエハを混載し且つウエハを一枚ずつ自動搬送する複数の自動搬送装置(以下、「AGV」と称す。)3と、これらのAGV3を制御する搬送制御装置(以下、「AGVコントローラ」と称す。)4とを備えている。プローバ2とAGV3は、例えばSEMI規格E23やE84に基づく光結合された並列I/O(以下、「PIO」と称す。)通信インターフェースを有し、両者間でPIO通信を行うことによりウエハWを一枚ずつ受け渡すようにしてある。このプローバ2はウエハWを一枚ずつ枚葉単位で受け取って検査を行うため、枚葉式プローバ2として構成されている。以下では枚葉式プローバ2を単にプローバ2として説明する。また、AGVコントローラ4はホストコンピュータ1とSECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ1の管理下でAGV3を無線通信を介して制御すると共にウエハWをロット単位で管理している。尚、搬送システムには自動搬送装置としてはAGV3に代えてRGVを用いることができる。また、搬送システムは、自動搬送車としてはAGV3、RGVの他、天井軌道に従ってウエハを搬送するOHT等も備えている。
【0021】
また、図1に示すように、複数のプローバ2はグループコントローラ5を介してホストコンピュータ1とSECS通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ1はグループコントローラ5を介して複数のプローバ2を管理している。グループコントローラ5は、プローバ2のレシピデータやログデータ等の検査に関する情報を管理している。また、各プローバ2にはそれぞれテスタ6がSECS通信回線を介して接続され、各プローバ2はそれぞれのテスタ6からの指令に従って所定の検査を個別に実行する。これらのテスタ6はテスタホストコンピュータ(以下、「テスタホスト」と称す。)7を介してホストコンピュータ1とSECS通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ1はテスタホスト7を介して複数のテスタ6を管理している。また、ホストコンピュータ1にはウエハの検査結果に基づいて所定のマーキングを行うマーキング装置8がマーキング指示装置9を介して接続されている。マーキング指示装置9はテスタホスト7のデータに基づいてマーキング装置8に対してマーキングを指示する。更に、ホストコンピュータ1には複数のキャリアCを保管するストッカ10がSECS通信回線を介して接続され、ストッカ10はホストコンピュータ1の管理下で検査の前後のウエハをキャリア単位で保管、分類すると共にキャリア単位でウエハの出し入れを行う。
【0022】
而して、本実施形態のプローバ2は、図2に示すように、ローダ室21と、プローバ室22と、制御装置(図示せず)とを備え、制御装置を介してローダ室21及びプローバ室22内の各機器を駆動制御するように構成されている。ローダ室21は、センタリング装置23、アーム機構24及びサブチャック25を有し、本実施形態のセンタリング装置23を除き従来のプローバに準じて構成されている。
【0023】
本実施形態のセンタリング装置23は、図3の(a)に示すように、枠体231内を上下に区画するプレート232と、このプレート232上の略中央に配設されたウエハ支持体233と、このウエハ支持体233上のウエハWを受け取ってセンタリングするセンタリング機構234と、これらの下方に形成され且つ例えば200mmと300mmの口径を異にするウエハWを複数枚(例えば、6枚)ずつ一時的に収納するウエハ収納部235とを備え、インデクサを介して昇降可能に構成されている。
【0024】
上記ウエハ支持体233はその軸233Aがプレート232を貫通し、プレート232の裏面に固定されたエアシリンダ236に連結され、図3の(a)の矢印Aで示すように昇降可能になっている。ウエハ支持体233の表面には同心円状に複数の溝と放射状の溝が形成され、また、適宜の溝で真空排気路が開口している。そして、真空排気路には真空排気装置(図示せず)が接続され、真空排気装置を介してウエハ支持体233の溝とウエハW間の空間を真空引きしてウエハ支持体233の表面にウエハWを真空吸着する。
【0025】
また、上記センタリング機構234は、図3の(a)に示すように、プローバ2のウエハ搬送機構24側から見て左右両側にウエハ支持体233を挟むように配置され且つウエハWを支承した状態で左右から挟み込む左右一対のセンタリングプレート234Aと、これら両センタリングプレート234Aの長手方向の略中心からプレート232を左右方向に形成された長孔232Aを貫通して垂下する軸234Bと、左右の軸234Bをプレート232の裏面側で連結するリンク機構234Cと、このリンク機構234Cに連結されたエアシリンダ234Dとを有し、エアシリンダ234D及びリンク機構234Cを介して左右のセンタリングプレート234Aが図3の(a)の矢印Bで示すように拡縮してウエハWをセンタリングする。センタリングプレート234Aの表面には例えば200mmと300mmの口径を異にするウエハWを挟み込むために、口径を異にするウエハWの外径に合わせた円弧面234E、234Fが段状に形成されている。
【0026】
従って、ウエハ支持体233から例えば200mのウエハWを受け取る時には左右のセンタリングプレート234AがウエハWの口径よりも拡がった状態である。この状態でセンタリングプレート234Aがウエハ支持体233からウエハWを受け取ると、エアシリンダ234D及びリンク機構234Cを介して左右のセンタリングプレート234Aが近づき左右の円弧面234Eまたは円弧面234FでウエハWを挟んでウエハWのセンタリングを行う。
【0027】
上記ウエハ収納部235は、図3の(a)に示すように、上下段に形成された第1、第2ウエハ収納室235A、235Bからなり、第1ウエハ収納室235Aには例えば200mmのウエハWを収納し、第2ウエハ収納室235Bには300mmのウエハWを収納する。第1ウエハ収納室235Aと第2ウエハ収納室235Bはそれぞれの正面が略揃った位置にある。このウエハ収納部235は後述のようにウエハWを一時的に収納するバッファ機能を果たすことになる。
【0028】
また、アーム機構24は、上下二段のアーム241を有し、それぞれのアーム241でウエハWを真空吸着して保持し、真空吸着を解除することでセンタリング装置23との間でウエハの受け渡しを行い、受け取ったウエハWをプローバ室22へ搬送する。サブチャック25はアーム機構24でウエハWを搬送する間にウエハWのプリアライメントを行う。
【0029】
プローバ室22はウエハチャック26、アライメント機構27及びプローブカード28を有している。メインチャック26はX、Yテーブル261を介してX、Y方向へ移動すると共に図示しない昇降機構及びθ回転機構を介してZ方向及びθ方向へ移動する。アライメント機構27は、従来公知のようにアライメントブリッジ271、CCDカメラ272等を有し、メインチャック26と協働してウエハWとプローブカード28とのアライメントを行う。プローブカード28は複数のプローブ281を有し、プローブ281とメインチャック26上のウエハが電気的に接触し、テストヘッド(図示せず)を介してテスタ6と接続される。
【0030】
一方、AGV3は、図1の(b)、図2に示すように、装置本体31と、装置本体31の一端部に配置され且つキャリアCを載置するキャリア載置部32と、キャリアC内でのウエハの収納位置を検出するマッピングセンサ33と、キャリアC内のウエハを搬送するアーム機構34と、ウエハWのプリアライメントを行うサブチャック35と、光学式のプリアライメントセンサ(図示せず)と、ウエハWのIDコード(図示せず)を読み取る光学式文字読取装置(OCR)36とを備え、AGVコントローラ4との無線通信を介してストッカ10とプローバ2間や複数のプローバ2間を自走してキャリアCを搬送し、アーム機構34を介してキャリアCのウエハWを複数のプローバ2に対して一枚ずつ配るようにしてある。また、キャリアCは異なる口径のウエハを複数枚ずつ収納している。例えばキャリアCは上下二段に区画され、上段に200mmのウエハを複数枚収納し、下段に300mmのウエハを複数枚収納している。
【0031】
アーム機構34はウエハWの受け渡し時に回転及び昇降可能に構成されている。即ち、アーム機構34は、図2に示すように、ウエハWを真空吸着する上下二段のアーム341と、これらのアーム341を前後動可能に支持する正逆回転可能な基台342と、基台342内に収納された駆動機構(図示せず)とを備え、ウエハWを受け渡す際に後述のように上下のアーム341が駆動機構を介して基台342上で個別に前後へ移動し、ウエハWを受け渡す方向へ基台342が正逆回転する。
【0032】
従って、AGV3がAGVコントローラ4の制御下でプローバ2のウエハWの受け渡し位置に到達すると、AGV3においてアーム機構34が駆動してキャリアC内のウエハWを一枚ずつ取り出す。そして、AGV3のアーム機構34がプローバ2のセンタリング装置23との間でウエハWの受け渡しを行う際には、プローバ2とAGV3間で光結合PIO通信を行いウエハWの仕様等を伝達することにより、一枚のウエハWの受け渡しを正確に行う。
【0033】
従って、AGV3ではアーム機構34が昇降し上アーム341を介して所定のウエハWをバッファカセット32内から取り出し、上アーム341を縮めた後、同図に示すようにウエハ搬送機構34が基台342を介して時計方向へ90゜回転し、アーム341をプローバ2のセンタリング装置23側に向ける。引き続き、図3の(a)に示すように、上アーム341が進出すると、図3の(b)に一点鎖線で示すようにウエハWがセンタリング装置23のウエハ支持体233の上方に達する。この時、ウエハ支持体233がエアシリンダ236を介して上昇し、同図の(b)に示すようにウエハ支持体233が上のアーム341からウエハWを真空吸着して受け取った後、エアシリンダ236を介して下降すると、図3の(a)に示すようにウエハ支持体233から既に左右に広がっているセンタリングプレート234AにウエハWを載せると共にウエハ支持体233の真空吸着を解除し、センタリングプレート234A上に通信によって伝達された仕様(口径)に即したウエハWを引き渡す。そして、エアシリンダ234D及びリンク機構234Cを介して左右のセンタリングプレート234Aが近づき、通信伝達されたウエハWが口径の小さいウエハWであれば左右の円弧面234EでウエハWを挟み、通信伝達されたウエハWが口径の大きいウエハWであれば左右の円弧面234FでウエハWを挟み、ウエハWを自動的にセンタリングする。ウエハ支持体233上のウエハWがセンター位置になく位置ズレしていてもセンタリングプレート234A上で確実にセンタリングすることができる。
【0034】
ローダ室21においてウエハWのセンタリング後、図3の(a)に示すようにウエハ搬送機構24のアーム241が駆動してセンタリング装置23内にアーム241が進出し、ウエハWをアーム241上で真空吸着すると共に左右のセンタリングプレート234Aが広がる。次いで、ウエハ搬送機構24はアーム241をセンタリング装置23から後退させた後、プローバ室22までウエハWを搬送する。ウエハWを搬送する間にサブチャック25を介してウエハWのプリアライメントを行うと共にOCRを介してサブチャック25上のウエハWのIDコードを読み取る。プリアライメント後、再びウエハ搬送機構24のアーム241を介してウエハWをサブチャック25から受け取った後、アーム241をプローバ室22に向ける。
【0035】
この間にプローバ室22内ではメインチャック26が待機位置まで移動している。そこで、ウエハ搬送機構24のアーム241が進出するとメインチャック26へウエハWを引き渡す。メインチャック26上にウエハWが載置されると、吸着機構が駆動してウエハWをメインチャック26上に吸着固定する。検査終了後には逆経路でウエハWをセンタリング装置23内へ戻す。ウエハ搬送機構24を介してウエハWをセンタリング装置23内に戻す時に、センタリング装置23とAGV3との間でウエハWの受け渡し中であれば、ウエハ搬送機構24が検査済みのウエハWをウエハ収納部235内に一時的に収納し、ウエハ収納部235がバッファ機能を果たす。
【0036】
また、AGV3が複数設置されている場合であってもプローバ2は複数のAGV3との間でウエハWの受け渡しを行うことができる。例えば図4に示すようにウエハWの検査を行っている間にこのプローバ2に検査中のウエハWとは別のロットのウエハを搬送する他のAGV3’がアクセスした場合には、他のAGV3’とプローバ2間でPIO通信を行い、ウエハ収納部235の空きスペース(同図では便宜上破線でプローバからずらして図示してある。)235Vを指定し、ここに検査後のウエハWを収納することができる。例えば収納場所としてウエハ収納部235を指定した場合には、検査終了後、アーム機構24が下アーム241で検査済みのウエハWをメインチャック26から受け取り、検査済みのウエハWをウエハ収納部235の空きスペース235Vへ収納し、次の別のロットのウエハWのロードを待機する。次いで、上述と同一要領で他のAGV3’のアーム機構34からセンタリング装置23のウエハ支持体233へウエハWをロードする。引き続き、アーム機構24の上アーム241を用いて新たなウエハWをメインチャック26へ引き渡し、その検査を実施する。ウエハWの検査を行っている間に、ウエハ収納部235内の検査済みのウエハWをウエハ支持体233を介してAGV3へ戻す。また、ウエハWの検査中に新たなウエハWをロードする場合にはセンタリング装置23のウエハ収納部235が空いているため、そのまま他のAGV3’からセンタリング装置23へ新たなウエハWをロードし、ウエハ収納部235内へ収納し、検査中のウエハWの検査の終了を待つ。
【0037】
このようにプローバ2は上述のようにウエハWの受け渡しのためのウエハ支持体233が一箇所であっても、ウエハ収納部235をバッファ機構として使うことにより、プローバ2内に例えば検査済みのウエハWが存在していてもウエハWの受け渡しを行うことができ、検査のスループットを高めることができる。ところが、従来のプローバであればこの検査済みウエハWをAGV3でアンロードしない限り、次のAGV3’がアクセスしてもウエハWをロードすることができない。
【0038】
以上説明したように本実施形態によれば、AGV3からプローバ2へのウエハWの移載精度が悪くても、ウエハWをセンタリング機構234を介して確実にセンタリングすることができるため、AGV3からプローバ2へウエハWを確実に引き渡すことができる。従って、AGV3とプローバ2との間でウエハWの受け渡しを確実に行うことができるため、最近のウエハの大口径化及び超微細化により一枚のウエハに形成されるデバイスの数が飛躍的に増え、一枚のウエハの処理時間が飛躍的に長くなっても検査終了後にはその都度そのウエハWをアンロードして直接次の工程へ廻すことができ、TAT(Turn-Around-Time)の短縮を実現することができる。また、センタリング装置23のウエハ収納部235がバッファ機能を有するため、AGV3からウエハWをプローバ2に引き渡す際に検査済みのウエハWが存在すれば、検査済みのウエハWを一時的にウエハ収納部235内に収納し、ウエハ支持体233をウエハWを受け取ることができ、検査のスループットを向上させることができる。
【0039】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて適宜設計変更することができる。例えば、上記実施形態では200mm、300mmの二種類のウエハに対応するセンタリング装置23について説明したが、一種類のウエハに対応するもの、あるいは二種類以上に対応するものであっても良い。また、半導体製造装置としてプローバ2を例に挙げて説明したが、本発明はウエハ等の被処理体に所定の処理を施す半導体製造装置について広く適用することができる。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、装置間を移動する自動搬送装置と枚葉式検査装置との間で自動搬送装置に付設された搬送機構を用いて枚葉式検査装置の内部において被処理体の受け渡しを確実に行うことができ、検査後の被処理体を枚葉式検査装置内に留め置くことなく検査の度に枚葉式検査装置の内部において自動搬送装置の搬送機構で受け取り、TATを短縮することができるセンタリング装置及び枚葉式検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明に用いられる被処理体の搬送システムの一例を示す概念図、(b)はAGVの構成を概念図である。
【図2】(a)はプローバとAGV間のウエハを受け渡す状態を概念的に示す平面図、(b)は(a)の要部を示す断面図である。
【図3】(a)は本発明のセンタリング装置の一実施形態を示す正面図、(b)はAGVからのウエハの受け取り動作の要部を示す側面図である。
【図4】図3に示すウエハ収納部にウエハを一時的にストックする状態を説明するための説明図である。
【符号の説明】
W ウエハ(被処理体)
2 プローバ(検査装置、半導体製造装置)
3 AGV
23 センタリング装置
24 アーム機構(搬送機構)
26 メインチャック(載置台)
234 センタリング機構
234A センタリングプレート
234C リンク機構(駆動機構)
234D エアシリンダ(駆動機構)
234E、234F 円弧面(係合面)
235 ウエハ収納部(収納部)
Claims (10)
- 装置間を移動する自動搬送装置から被処理体を一枚ずつ受け取って上記被処理体の電気的特性検査を行う枚葉式検査装置内に設けられ、上記自動搬送装置に付設された搬送機構から上記被処理体を一枚ずつ受け取る際に上記被処理体をセンタリングするセンタリング装置であって、上記枚葉式検査装置内において上記搬送機構との間で上記被処理体を一枚ずつ授受する昇降動可能な支持体と、この支持体から受け取った上記被処理体をセンタリングするセンタリング機構とを備え、上記センタリング機構は、上記支持体の両側に配置され且つ上記被処理体の外周面に即した係合面が形成された支承部を有する一対のセンタリングプレートと、これらのセンタリングプレートを拡縮させる駆動機構とを有することを特徴とするセンタリング装置。
- 上記センタリングプレートは、大きさを異にする複数の係合面を複数段に渡って有することを特徴とする請求項1に記載のセンタリング装置。
- 上記駆動機構は、上記各センタリングプレートからそれぞれ垂下する軸に連結されたリンク機構と、このリンク機構に連結されたシリンダ機構とを有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンタリング装置。
- 複数の被処理体を収納する収納部を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のセンタリング装置。
- 上記収納部は大きさを異にする複数種の被処理体を収納する部分を有することを特徴とする請求項4に記載のセンタリング装置。
- 装置間を移動する自動搬送装置からこれに付設された第1の搬送機構を介して被処理体を一枚ずつ受け取ってセンタリングするセンタリング装置と、このセンタリング装置と載置台との間で上記被処理体を搬送する第2の搬送機構と、を備え、上記センタリング装置においてセンタリングされた上記被処理体を、上記第2の搬送機構を介して上記載置台上に載置した後、上記載置台上で上記被処理体に対して電気的特性検査を行った後、上記第1の搬送機構が検査終了後の被処理体を上記センタリング装置から受け取るように構成された枚葉式検査装置であって、上記センタリング装置は、上記第1の搬送機構との間で上記被処理体を一枚ずつ授受する昇降動可能な支持体と、この支持体から受け取った上記被処理体をセンタリングするセンタリング機構と、を備え、上記センタリング機構は、上記支持体の両側に配置され且つ上記被処理体の外周面に即した係合面が形成された支承部を有する一対のセンタリングプレートと、これらのセンタリングプレートを拡縮させる駆動機構とを有することを特徴とする枚葉式検査装置。
- 上記センタリングプレートは、大きさを異にする複数の係合面を複数段に渡って有することを特徴とする請求項6に記載の枚葉式検査装置。
- 上記駆動機構は、上記各センタリングプレートからそれぞれ垂下する軸に連結されたリンク機構と、このリンク機構に連結されたシリンダ機構とを有することを特徴とする請求項6または請求項7に記載の枚葉式検査装置。
- 複数の被処理体を収納する収納部を有することを特徴とする請求項6〜請求項8のいずれか1項に記載の枚葉式検査装置。
- 上記収納部は大きさを異にする複数種の被処理体を収納する部分を有することを特徴とする請求項9に記載の枚葉式検査装置。
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