JP3825232B2

JP3825232B2 - ウエハ搬送システム及びその搬送方法

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Publication number: JP3825232B2
Application number: JP2000228799A
Authority: JP
Inventors: 正光篠塚
Original assignee: 株式会社Ｓｅｎ−Ｓｈｉ・アクセリスカンパニー
Priority date: 2000-07-28
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2006-09-27
Anticipated expiration: 2020-07-28
Also published as: US20020014390A1; US6547504B2; JP2002043395A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数段のウエハ支持部を有する中間カセット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システム及びその搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来は、図１０に示すように、アーム式ロボット１０５により、ウェハカセット１０４からウエハ１０１を一旦アライナー装置１０２に持っていき、そこでアライニングが終わったウェハ１０１を中間カセット（シャトル）１０３に持っていく。
【０００３】
すなわち、中間カセット１０３とは別の場所にあるアライナー装置１０２にて、オリフラ、ノッチ等の目印によるウェハ１０１の回転位置を適正にするためのにウェハ１０１に対してアライニングを行い、その後、中間カセット１０３に載せる。ここで、１０５は主カセット（バキュームカセット）であり、１０６はアンロード用カセット（シャトル）である。
【０００４】
例えば、ウェハカセット１０４から中間カセット１０３にウェハ１０１を搬送する場合、ウェハカセット１０４→（アーム式ロボット１０５による搬送）→アライナー装置１０２→（アーム式ロボット装置１０５による搬送）→中間カセット１０３という流れになり、ロボット搬送が2回必要になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて成されたものであり、その目的は、ロボット装置による搬送をウェハ1枚につき1回で可能にすると共に、処理済みウエハと未処理ウエハの入れ替え時間の短縮を実現することを可能にしたウエハ搬送システム及びその搬送方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、複数段のウエハ支持部を有する中間カセット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システムにおいて、前記中間カセット装置に対して、前記アーム式ロボット装置に保持されたウエハを、前記アライナー装置に載せ替えすると共にアライニングを実施した後、前記アライナー装置から、前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成した。
【０００７】
また、前記アライナー装置にポジショナーを設け、ポジショナーによりウェハをセンタリングして、アライナー装置のウエハ保持回転部の上下動もしくはポジショナーの上下動により、該ウェハを該ウエハ保持回転部に載せ替えするようにした。
【０００８】
また、ポジショナーを同軸上に設けた前記アライナー装置において、ポジショナーによりウェハをセンタリングして、該ウエハをアライナー装置のウエハ保持回転部に載せ替えし、アライナー装置全体の上下動により、前記中間カセット装置のウエハ支持部に受け渡すよう構成にした。
【０００９】
また、前記アライナー装置の中心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とがほぼ同軸上となるように配置するよう構成した。
【００１０】
また、前記アライナー装置が前記中間カセット装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と中間カセット装置のウエハ載置の中心とをほぼ同軸に位置できるよう構成した。
【００１１】
また、前記中間カセット装置が前記アライナー装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とをがほぼ同軸に位置できるよう構成した。
【００１２】
また、前記アライナー装置のポジショナーの中心と前記アライナーのウエハ保持回転部の中心とを垂直な同軸上に位置するように設置した。
【００１３】
また、前記アライナー装置を上下に昇降可能に構成し、アライナー装置の昇降により、前記中間カセット装置の複数段のウエハ支持部にウエハを順次上端の段から下端の段へと載置するよう構成した。
【００１４】
また、前記アライナー装置を前記中間カセット装置のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上に配置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受けるよう構成した。
【００１５】
また、前記アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受け、前記中間カセット装置が上下動してウエハを渡すように構成した。
【００１６】
また、前記中間カセット装置の複数段のウエハ支持部を、下方開放形状で空間部を有する構成とし、前記アライナー装置をこの空間部の中を上下昇降可能に構成した。
【００１７】
また、前記アライナー装置のポジショナーとウエハ保持回転部を、中間カセット装置の複数段の下方開放形状のウエハ支持部の空間部の間を上下昇降可能に構成した。
【００１８】
また、前記中間カセット装置を上下に昇降可能に構成し、中間カセット装置の昇降により、中間カセット装置の複数段のウエハ支持部に、アライナー装置からウエハを順次上の段から下の段へと載置するよう構成した。
【００１９】
また、前記アライナー装置を、前記中間カセット装置の水平移動線上もしくはシャトル駆動による回転時のウエハ載置中心軌道線上に配置し、中間カセット装置を水平移動させてウエハを受け渡し、アライナー装置が上下動すように構成した。
【００２０】
また、前記中間カセット装置を水平移動させてウエハを受け渡し、中間カセット装置が上下動するように構成した。
【００２１】
また、前記アーム式ロボット装置から、上下動して位置が変更できる前記アライナー装置にウエハを渡し、アライナー装置または前記中間カセットが上下動して中間カセットのウエハ支持部にウエハを受け取り載置するよう構成した。
【００２２】
また、前記中間カセット装置とのウエハの受け渡しを行うウエハ供給カセットからのウエハの搬送途中において、前記アーム式ロボット装置が上下動し、上下動して位置が変更できる前記アライナー装置に受け渡し、アライナー装置または中間カセットが上下動してウエハを受け取り載置するよう構成した。
【００２３】
また、前記中間カセット装置の上段のウエハ支持部のスロット段より順に、搬送載置されたウェハをアライニングし、同じウエハ支持部スロット段上に再載置するように構成した。
【００２４】
また、前記ウェハの目印を検出するセンサーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構成した。
【００２５】
また、未処理のウエハを前記中間カセット装置のウエハ支持部から真空容器に備えられた主カセット装置へ受渡しを行うとともに、該真空容器から真空処理室内へ自動で搬入すると共に、処理済のウエハを真空処理室内から真空容器へ自動で搬出するよう構成した。
【００２８】
また、前記主カセット装置の保持部をアライナー装置が進入できる構成とし、主カセット装置またはアライナー装置が上下動し、アライナー装置からウエハを受け取るよう構成した。
【００２９】
また、前記アーム式ロボット装置は、複数の前記供給収納カセット間を水平移動自在に構成した。
【００３０】
また、本発明では、真空室内処理装置に備えられた真空カセット装置における複数段のウエハ保持棚との間で複数のウエハを一括して受け渡しをするためのウエハ搬送装置であって、真空カセット装置の側方にウエハロード用のシャトル装置とウエハアンロード用のシャトル装置とを配置し、各シャトル装置は、真空カセット装置の複数段のウエハ保持棚に対応する複数のウエハ支持部を有するシャトルカセットを備え、各シャトルカセットは、カセット装置との間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置とそこから離れた待機位置との間を移動可能に構成されており、複数段のウエハ保持棚はそれぞれウエハをその中央領域で保持し、複数のウエハ支持部はそれぞれウエハをその直径方向の両側であって中央領域から外れた箇所で支持したウエハ搬送システムにおいて、シャトル装置への搬送経路中にアライナー装置を配設するとともに、前記中間カセット装置であるシャトル装置に対して、アーム式ロボット装置に保持されたウエハをアライナー装置に載せ替えすると共に、アライニングを実施した後、前記アライナー装置から前記中間カセット装置であるシャトル装置のウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成した。
【００３１】
さらに、本発明では、複数段のウエハ支持部を有する中間カセット装置と、ウエハ搬送を行うアーム式ロボット装置と、ウェハのアライニングを行うアライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有し、ウエハをアライニングした後にウエハ支持部にウエハを受け渡すようにしたウエハ搬送方法において、
前記中間カセット装置に対して、供給収納カセットからウエハを前記アーム式ロボット装置により取り出して保持し、この保持されたされたウエハを、前記中間カセット装置のウエハ支持部に載せ替えするとともに、このウエハを前記アライナー装置に載せ換えてアライニングを実施し、アライニングを実施したウエハを、前記アライナー装置から前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接受渡しするようにした。
【００３２】
【作用】
本発明は、イオン注入装置等の真空室内で被処理物（シリコンウエハ）の処理作業を行う装置において、処理済と未処理のシリコンウェハを真空容器から搬出搬入する装置において、バキュームカセットと称するシリコンウェハの載せ換え作業を一括で行うスイング式カセット（以下、シャトルと称する）に載せるウェハのノッチ（オリフラ）合わせ（以下、この動作をアライニングと称する）を、シヤトル内で昇降できるアライニング装置〈以下、昇降型アライナーと称す）にて行うようにした。
【００３３】
これにより、シャトルヘのウェハの搬送時間を短縮し、時間当たりのウェハ処理能力の向上が図れる。例えば、ウェハカセットからシャトルにウェハを搬送する場合、カセット → （アーム式ロボット装置による搬送） → アライナー装置→ 中間カセットとなり、ロボット搬送を1回で行える。
【００３４】
従来、シャトルとアライナーはそれそれ別の場所にあるが、上記のような配置にすることで、装置の省スペース化が図れる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態を図により説明する。
【００３６】
まず、図１を参照して、本発明のウエハ搬送システムの全体構成を説明する。
【００３７】
図１において、このウエハ搬送システムは、バッチ処理型のイオン注入装置における真空容器１０に備えられた主カセット装置（バキュームカセット）２０における、例えば１３段のウエハ保持棚との間で１３枚のウエハを一括して受け渡しをするためのものであり、主カセット２０を間にして配置された中間カセット（ウエハロード用のシャトル装置）３０とウエハアンロード用のカセット装置（シャトル装置）４０、中間カセット装置とウエハの受け渡しを行うウエハ供給カセット６０とを含む。なお、真空容器１０はその一部のみを示している。
【００３８】
中間カセット３０、ウエハアンロード用カセット４０はそれぞれ、１３段のウエハ保持棚に対応する１３段のウエハ支持部を有する。中間カセット３０、ウエハアンロード用カセット４０は、主カセット２０との間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置と、そこから離れた待機位置との間を回動可能に構成されている。
【００３９】
第１の実施の形態では、さらに、ウエハ供給カセット６０から１３枚の未処理ウエハを１枚ずつ取り出して、前記待機位置にある中間カセット装置３０に渡すと共に、前記待機位置にあるウエハアンロード用のカセット装置４０から１３枚の処理済みウエハを１枚ずつ受け取って、ウエハ供給カセット６０に渡すためのハンドリング装置５０を備えている。ハンドリング装置５０は、レール７０に沿って水平に移動自在に構成されている。
【００４０】
主カセット装置２０は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、１３段のウエハ保持棚２１を備え、各ウエハ保持棚２１は、ウエハ２２をその中央領域において複数点で保持するようになっている。主カセット装置２０は、さらに、真空容器１０の内外に出入り自在に設けられており、複数のウエハ２２の受け渡しは、主カセット装置２０を真空容器１０の外に出した状態で行われる。
【００４１】
図２に示すように、主カセット装置２０における１３段のウエハ保持棚２１は、所定距離だけ上下動可能に構成されている。そして、１３枚の未処理ウエハ２２を一括して中間カセット装置３０から主カセット装置２０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１は前記所定距離だけ下動した位置にあって、１３段のウエハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ上動して１３枚の未処理ウエハを一括して受けることができる。
【００４２】
このようにして、中間カセット装置３０は主カセット装置２０に対して１３枚のウエハ（未処理）２２を、一度に渡すことができるような構造になっている。ここで、２３は、ウエハ処理室である。ウエハ処理室２３では、ウエハ２２に対してイオン注入装置（図示せず）を使用してイオンが注入される。
【００４３】
上記の構造は、ウエハアンロード用のカセット装置４０についてもまったく同じであるので、図示説明は省略するが、複数の処理済みウエハ２２を一括して主カセット装置２０からウエハアンロード用のカセット装置４０に渡す場合には、１３段のウエハ保持棚２１は前記所定距離だけ上動した位置にあって、１３段のウエハ支持部が前記受渡し位置に来ると前記所定距離だけ下動して１３枚の処理済みウエハを一括して１３段のウエハ支持部に渡すことができる。
【００４４】
なお、ハンドリング装置５０については公知のもの（例えば、特開平３−１５４７９１号）を利用するので、図示及び説明は省略する。
【００４５】
次に、本搬送システムの一般的な動作について簡単に説明する。
【００４６】
（１）１３枚の未処理のウエハ２２をハンドリング装置５０で、中間カセット装置３０に載せて待機させておく。
【００４７】
（２）真空容器１０においてイオン注入処理が完了すると、処理済のウエハ２２を移し替えられた主カセット装置２０が、真空容器１０の上方にせり出してくる。
【００４８】
（３）処理済のウエハ２２を受け取るために、アンロード用のカセット装置４０がウエハの受渡し位置に回動されてくる。
【００４９】
（４）主カセット装置２０が、所定距離（ここでは１０ｍｍ）下がって処理済みのウエハ２２をアンロード用のカセット装置４０に渡す。
【００５０】
（５）処理済みのウエハ２２を受け取るとアンロード用のカセット装置４０は、元の待機位置に回動する。このようにして処理済みのウエハ２２は、一括して主カセット装置２０から搬出される。
【００５１】
（６）アンロード用のカセット装置４０が待機位置に回動してから、（１）にて待機していた中間カセット装置３０がウエハ２２の受渡し位置に回動されてくる。
【００５２】
（７）主カセット装置２０が１０ｍｍ上がって、未処理のウエハ２２を中間カセット装置３０から一括して受け取る。
【００５３】
（８）中間カセット装置３０が、元の待機位置に回動する。
【００５４】
（９）未処理のウエハ２２を受け取った主カセット装置２０は真空容器１０内に収納され、主カセット装置２０からイオン注入位置に移し替えられてイオン注入が開始する。
【００５５】
（１０）ハンドリング装置５０で、アンロード用のカセット装置４０の処理済みウエハ２２をウエハ供給カセット装置６０に移し替え、新しいウエハ供給カセット６０から未処理のウエハ２２を中間カセット３０に載せて待機させておく。
【００５６】
次に、昇降型アライナー装置３００の構成について、図３（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
【００５７】
昇降型アライナー装置３００は、ウェハ保持回転部３１、ポジショナー３２、ノッチ（オリフラ）検出部３３、昇降駆動部３４より構成される。
【００５８】
ウエハ保持回転部３１はウエハの裏面を保持し、ウエハを回転させる。ノッチ（オリフラ）検出のため、正転、逆転できるようになっている。この場合、ウェハは真空チャックにより保持される。
【００５９】
ポジショナー３２は、ウェハの中心とウェハ保持回転部３１の回転中心とが同芯軸上にくるように配置されており、ウェハを載せるだけでウェハのセンタリングするとき、ロボットハンドと干渉しないような形状となっている。
【００６０】
ノッチ（オリフラ）検出部３３は、ウェハの回転中にノッチもしくはオリフラの位置を検出するアライニング中、中間カセット（シャトル）３０にあるウェハと干渉しないように、透過型センサーを図３及び図４に示すように配置する。
【００６１】
図（ｂ）に示す昇降駆動部３４は、上下に昇降自在に構成されている。また、ウェハカセット内のウェハが手許に出てきている場合、ロボットで搬送すると、手前にずれた（せり出した）位置に置いてしまことがある。このため、このせり出しを検知するセンサー（せり出しセンサー）３５を取り付けてある。このせり出しセンサー３５としては、透過型もしくは反射型、限定反射型の光学式センサー、あるいはその他の電気式・機械式等の精密位置決めセンサーなどが使用可能である。
【００６２】
次に、図３を参照して、中間カセット装置（シャトル）３０との位置関係を以下に説明する。
【００６３】
中間カセット装置３０は門型になっており、昇降型アライナー装置３００は中間カセット装置（シャトル）３０の間に位置する。昇降型アライナー装置３００は、ポジショナー３２の中心と中間カセット装置３０のウェハの中心とが垂直な同軸上にあるように設置される。
【００６４】
次に、図５を参照して、本発明のアライニング及びポジショニング動作を説明する。
【００６５】
（１）昇降型アライナー３１はポジショナー３２を下げた状態で中間カセット装置（シャトル）３０の最上段のウェハアライニング位置に待機する。（図５（ａ））。
【００６６】
（２）中間カセット装置３０にある未処理のウェハをハンドリングロボット５０でウェハ保持回転部３１に置く。ウェハを置いた後、ロボットハンド５０は次のウェハをカセットに取りに行く。
【００６７】
ここで、ポジショナー３２を下げた状態で待機し、ウェハが搬送されたらポジショナー３２を上げてウェハを受け取るなどできる。もしくは、中間カセット（シャトル）３０のウェハ同士の間隔が広く、ウェハとポジショナー３２との隙間が十分とれる場合は、ポジショナー３２を上げた状態で待機し、ロボットハンド５０から搬送されたウェハを直接ポジショナー３２が受けとることも可能である。いずれの場合もこの後に（４）の動作に移る。（図５（ｂ））。
【００６８】
（３）ポジショナー３２は上がり、ウェハをセンタリングする。（図５（ｃ））。
【００６９】
（４）ウェハ保持回転部３１のポジショナー３２が下がり、ウェハをウェハ回転保持部３１で保持する。（図５（ｃ））。
【００７０】
（５）ウェハと共にウェハ保持回転部３１が回転し、ノッチ（オリフラ）が検出され、必要な位置で回転を停止する。（図５（ｄ））。
【００７１】
（６）真空チャックをOFFする。アライナーユニット３１が13mm下がり、真空チャック上にあるウェハは中間カセット（ロードシャトル）３０に受け渡される。同時に、このアライナー３１の停止位置が2枚目のウェハアライニング位置になる。（図５（ｅ））。
【００７２】
（７）2枚目のウェハがチャック上に置かれる。これの繰り返しで上段から順に処理を行う。
【００７３】
（８）最下段のウェハのアライニングが終わると、アライナー３１は中間カセット装置（シャトル）３０の回転運動との干渉をさけるられる位置まで下降する。（図５（ｆ））。
【００７４】
（９）中間カセット装置（シャトル）３０が主カセット装置（バキュームカセット）２０に回転し、ウェハを受け渡す。
【００７５】
（１０）中間カセット装置（シャトル）３０が空の状態で元の位置に帰ってくる。
【００７６】
（１１）（１）の動作から繰り返す。
【００７７】
（第２の実施の形態）
次に、図６を参照して、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００７８】
第２の実施の形態では、図６に示すように、アライナー装置６００が、中間カセット装置３０の方へ水平移動して、アライナー装置６００の中心と中間カセット装置３０のウエハ載置の中心とをほぼ同軸に位置できるようになっている。
【００７９】
このアライナー装置６００の水平移動は、水平移動用シリンダ６１０を介して行われる。アライニングの際には、ウエハは、アライナー装置６００に真空チャックにより吸着された状態にある。
【００８０】
（第３の実施の形態）
次に、図７を参照して、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００８１】
第３の実施の形態では、図７に示すように、中間カセット装置３０が、アライナー装置７００の方へ水平移動して、アライナー装置７００の中心と中間カセット装置３０のウエハ載置の中心とをがほぼ同軸に位置できるようになっている。アライニングの際には、ウエハは、アライナー装置７００に真空チャックにより吸着された状態にある。
【００８２】
（第４の実施の形態）
次に、図８を参照して、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００８３】
第４の実施の形態では、アライナー装置を中間カセット装置３０のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上に配置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハをアーム式ロボット装置５０から受けるようにした。
【００８４】
そして、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記アーム式ロボット装置５０から受け、中間カセット装置３０が上下動してウエハを受け渡す。
【００８５】
（第５の実施の形態）
次に、図９を参照して、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００８６】
第５の実施の形態では、主カセット装置２０の保持部をアライナー装置９００が進入できる構成とし、主カセット装置２０またはアライナー装置９００が上下動し、アライナー装置９００からウエハを受け取るようする。
【００８７】
第５の実施の形態では、中間カセット３０は存在せずに、主カセット装置２０は、ウエハをアームロボット装置５０を介してアライナー装置９００から直接受け取る。
【００８８】
（その他の実施の形態）
また、他の実施の形態としては、アライナー装置を図１に示すウエハ供給カセット６０に設置するようにしても良い。
【００８９】
また、上記実施例では、アライナー装置にポジショナーが設けられており、このポジショナーでウエハのセンタリングが行われていた。
【００９０】
しかし、その他の実施の形態として、アライナー装置自体にはポジショナーを設けないで、他の場所（例えば、シャトル棚等）にポジショナーを独立して設けることにより、ウエハのセンタリングを行うようにしても良い。
【００９１】
【発明の効果】
本発明によれば、12インチウェハ13枚を例にすると、従来の方式で数分（ウェハ13枚）かかっていたロード時間が約半分になる。
【００９２】
また、シャトルヘウェハを搬送する場合、昇降型アライナーを使うと、ロボット搬送が一回で済む。
【００９３】
また、ウェハをアライナーに搬送し終わったロボットは、アライニングの動作を待つことなく、次のウェハを取りに行くことができ、搬送能力を上げることができる。
【００９４】
さらに、昇降できるアライナーによりシャトルの各位置でウェハのアライニングができる。
【００９５】
さらに、ロボット装置による搬送をウェハ1枚につき1回でできる。
【００９６】
さらに、処理済みウエハと未処理ウエハの入れ替え時間の短縮を実現することのできると共に、ウエハ搬送システムの省スペース化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるウエハ搬送システムの全体構成を示す図である。
【図２】主カセット（バキュームカセット）と中間カセットの構成及びウエハの受け渡し状態を示す図である。
【図３】中間カセットの詳細な構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図４】アライナー装置に取り付けられたオリフラセンサーを示す図である。
【図５】本発明のウエハ搬送システムのアライニング・ポジショニング動作を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態によるウエハ搬送システムを示す図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態によるウエハ搬送システムを示す図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態によるウエハ搬送システムを示す図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態によるウエハ搬送システムを示す図である。
【図１０】従来のウエハ搬送システムを示す図である。
【符号の説明】
１０真空容器
２０主カセット装置（バキュームカセット）
２１ウエハ保持棚
３０中間カセット装置（ウエハロード用のカセット）
４０ウエハアンロード用のカセット（シャトル）装置
５０ハンドロボット装置
６０ウエハ供給カセット

Claims

複数段のウエハ支持部を有する中間カセット装置と、ウエハの搬送を行うアーム式ロボット装置と、ウエハのアライニングを行うアライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有するウエハ搬送システムにおいて、
前記中間カセット装置に対して、前記アーム式ロボット装置に保持されたウエハを、前記アライナー装置に載せ替えすると共にアライニングを実施した後、前記アライナー装置から、前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成したことを特徴とするウエハ搬送システム。
前記アライナー装置にポジショナーを設け、ポジショナーによりウエハをセンタリングして、アライナー装置のウエハ保持回転部の上下動もしくはポジショナーの上下動により、該ウエハを該ウエハ保持回転部に載せ替えするようにしたことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
ポジショナーを同軸上に設けた前記アライナー装置において、ポジショナーによりウエハをセンタリングして、該ウエハをアライナー装置のウエハ保持回転部に載せ替えし、アライナー装置全体の上下動により、前記中間カセット装置のウエハ支持部に受け渡すよう構成にしたことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置の中心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とが同軸上となるように配置するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置が前記中間カセット装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と中間カセット装置のウエハ載置の中心とを同軸に位置できるよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置が前記アライナー装置の方へ水平移動して、前記アライナー装置の中心と前記中間カセット装置のウエハ載置の中心とを同軸に位置できるよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置のポジショナーの中心と前記アライナーのウエハ保持回転部の中心とを垂直な同軸上に位置するように設置したことを特徴とする請求項２のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置を上下に昇降可能に構成し、アライナー装置の昇降により、前記中間カセット装置の複数段のウエハ支持部にウエハを順次上端の段から下端の段へと載置するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置を前記中間カセット装置のウエハ挿入経路上のウエハ載置中心軌道線上に配置し、アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受けるよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置を水平移動させて、ウエハを前記アーム式ロボット装置から受け、前記中間カセット装置が上下動してウエハを渡すように構成したことを特徴とする請求項８のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置の複数段のウエハ支持部を、下方開放形状で空間部を有する構成とし、前記アライナー装置をこの空間部の中を上下昇降可能に構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置のポジショナーとウエハ保持回転部を、前記中間カセット装置の複数段の下方開放形状のウエハ支持部の空間部の間を上下昇降可能に構成したことを特徴とする請求項２のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置を上下に昇降可能に構成し、中間カセット装置の昇降により、中間カセット装置の複数段のウエハ支持部に、前記アライナー装置からウエハを順次上の段から下の段へと載置するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記アライナー装置を、前記中間カセット装置の水平移動線上もしくはシャトル駆動による回転時のウエハ載置中心軌道線上に配置し、中間カセット装置を水平移動させてウエハを受け渡し、アライナー装置が上下動するように構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置を水平移動させてウエハを受け渡し、中間カセット装置が上下動するように構成したことを特徴とする請求項１４のウエハ搬送システム。
前記アーム式ロボット装置から、上下動して位置が変更できる前記アライナー装置にウエハを渡し、アライナー装置または前記中間カセットが上下動して中間カセットのウエハ支持部にウエハを受け取り載置するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置とのウエハの受け渡しを行うウエハ供給カセットからのウエハの搬送途中において、前記アーム式ロボット装置が上下動し、上下動して位置が変更できる前記アライナー装置に受け渡し、アライナー装置または中間カセットが上下動してウエハを受け取り載置するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記中間カセット装置の上段のウエハ支持部のスロット段より順に、搬送載置されたウエハをアライニングし、同じウエハ支持部スロット段上に再載置するように構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記ウェハの目印を検出するセンサーを、前記アライナー装置に斜めに設置したよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
未処理のウエハを前記中間カセット装置のウエハ支持部から真空容器に備えられた主カセット装置へ受渡しを行うとともに、該真空容器から真空処理室内へ自動で搬入すると共に、処理済のウエハを真空処理室内から真空容器へ自動で搬出するよう構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
前記主カセット装置の保持部を前記アライナー装置が進入できる構成とし、主カセット装置またはアライナー装置が上下動し、アライナー装置からウエハを受け取るよう構成したことを特徴とする請求項２０のウエハ搬送システム。
前記アーム式ロボット装置は、複数の前記供給収納カセット間を水平移動自在に構成したことを特徴とする請求項１のウエハ搬送システム。
真空室内処理装置に備えられた真空カセット装置における複数段のウエハ保持棚との間で複数のウエハを一括して受け渡しをするためのウエハ搬送装置であって、真空カセット装置の側方にウエハロード用のシャトル装置とウエハアンロード用のシャトル装置とを配置し、各シャトル装置は、真空カセット装置の複数段のウエハ保持棚に対応する複数のウエハ支持部を有するシャトルカセットを備え、各シャトルカセットは、カセット装置との間でウエハの受け渡しを行う受渡し位置とそこから離れた待機位置との間を移動可能に構成されており、複数段のウエハ保持棚はそれぞれウエハをその中央領域で保持し、複数のウエハ支持部はそれぞれウエハをその直径方向の両側であって中央領域から外れた箇所で支持したウエハ搬送システムにおいて、
シャトル装置への搬送経路中にアライナー装置を配設するとともに、前記中間カセット装置であるシャトル装置に対して、アーム式ロボット装置に保持されたウエハをアライナー装置に載せ替えすると共に、アライニングを実施した後、前記アライナー装置から前記中間カセット装置であるシャトル装置のウエハ支持部へと直接ウエハの受渡しを行うよう構成したことを特徴とするウエハ搬送システム。
複数段のウエハ支持部を有する中間カセット装置と、ウエハ搬送を行うアーム式ロボット装置と、ウエハのアライニングを行うアライナー装置と、ウエハの供給収納カセットとを有し、ウエハをアライニングした後にウエハ支持部にウエハを受け渡すようにしたウエハ搬送方法において、
前記中間カセット装置に対して、供給収納カセットからウエハをアーム式ロボット装置により取り出して保持し、
この保持されたウエハを、前記中間カセット装置のウエハ支持部に載せ替えするとともに、
このウエハを前記アライナー装置に載せ換えてアライニングを実施し、
アライニングを実施したウエハを、前記アライナー装置から前記中間カセット装置のウエハ支持部へと直接受渡しするようにしたことを特徴とするウエハ搬送方法。