KR101163636B1

KR101163636B1 - 웨이퍼 이송장치

Info

Publication number: KR101163636B1
Application number: KR20100032943A
Authority: KR
Inventors: 박승일; 허윤성
Original assignee: (유)에스엔티
Priority date: 2010-04-09
Filing date: 2010-04-09
Publication date: 2012-07-09
Also published as: KR20110113508A

Abstract

웨이퍼 이송장치가 개시된다. 웨이퍼를 보트에 로딩하는 로딩부; 보트에서 웨이퍼를 언로딩하는 언로딩부; 보트를 이송하도록 로딩부와 언로딩부 사이에 개재되는 이송부; 및 보트가 퍼니스(furnace)에 투입 또는 인출되도록, 이송부에 의해 이송되는 보트를 승강시키는 승강부를 포함하는 웨이퍼 이송장치는, 웨이퍼를 퍼니스에 투입 및 인출하는데 있어서, 그 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

웨이퍼 이송장치 {Apparatus for Transferring Wafer}

본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

결정질 실리콘을 이용한 태양전지를 제조하는데 있어서, 실리콘 웨이퍼는 PN접합을 형성하기 위한 확산(diffusion)공정을 거치게 된다. 확산공정은 예를 들어 튜브 퍼니스(tube furnace)와 같은 처리장치를 이용하여 고온의 환경에서 p형 실리콘 웨이퍼에 n형 불순물을 확산시킴으로써 수행될 수 있다.

자동화된 태양전지 생산라인에서 이러한 공정을 수행하기 위해서는, 작업자가 각각의 웨이퍼를 보트에 적재하고, 이 보트를 튜브 퍼니스에 투입해야 하며, 확산공정이 끝난 다음에는, 작업자가 튜브 퍼니스에서 보트를 인출하고, 보트에서 각각의 웨이퍼를 하역해야 하였다.

기존의 이러한 공정은 태양전지 생산의 공정시간 증가와 함께 원가 상승 요인으로 작용하여, 그 생산성 향상을 저해하는 원인이 되었다.

본 발명은 웨이퍼를 퍼니스에 투입 및 인출하는 공정의 생산성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 웨이퍼를 보트에 로딩하는 로딩부; 보트에서 웨이퍼를 언로딩하는 언로딩부; 보트를 이송하도록 로딩부와 언로딩부 사이에 개재되는 이송부; 및 보트가 퍼니스(furnace)에 투입 또는 인출되도록, 이송부에 의해 이송되는 보트를 승강시키는 승강부를 포함하는 웨이퍼 이송장치가 제공된다.

여기서, 승강부는 보트의 양단을 지지하는 지지부; 지지부를 승강시키는 수직구동부; 및 지지부가 수직구동부로부터 이격되도록 지지부와 수직구동부 사이에 개재되는 수평구동부를 포함할 수 있다.

그리고, 로딩부는 웨이퍼를 수직 방향으로 세우는 자세변경부; 및 세워진 웨이퍼를 보트에 로딩하는 적재부를 포함할 수 있으며, 로딩부는 웨이퍼를 이송하는 이송컨베이어; 이송컨베이어와 자세변경부 사이에 개재되는 위치변경부를 더 포함할 수 있다.

이 때, 위치변경부는 웨이퍼를 척킹하는 척킹부; 척킹부를 이동시키는 이동부; 및 이동부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 포함할 수 있으며, 자세변경부는 복수의 웨이퍼가 나란히 삽입되는 카세트; 카세트에 웨이퍼를 투입하는 투입컨베이어; 및 웨이퍼가 세워지도록 카세트를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.

그리고, 자세변경부는 카세트에 웨이퍼가 순차적으로 투입되도록 카세트를 승강시키는 승강구동부를 더 포함할 수 있다.

그리고, 이송부는 보트를 로딩부 측에서 언로딩부 측으로 이송시키는 제1 컨베이어; 및 보트를 언로딩부 측에서 로딩부 측으로 이송시키는 제2 컨베이어를 포함할 수 있으며, 제1 컨베이어와 제2 컨베이어는 상하로 배치될 수 있다.

이 때, 로딩부 및 언로딩부는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어에 보트가 로딩 또는 언로딩되도록, 보트를 상하로 승강시키는 서브승강부를 더 포함할 수 있다.

그리고, 서브승강부는 보트의 양단을 지지하는 지지부; 지지부를 승강시키는 수직구동부; 및 지지부가 수직구동부로부터 이격되도록 지지부와 수직구동부 사이에 개재되는 수평구동부를 포함할 수 있다.

그리고, 보트에는 웨이퍼를 수용하는 슬롯이 경사지게 형성되며, 로딩부는 슬롯이 수직 방향으로 배치되도록 보트를 지지하는 안착부를 더 포함할 수 있다.

그리고, 언로딩부는 보트로부터 웨이퍼를 언로딩하는 하역부; 및 언로딩된 웨이퍼를 수평 방향으로 눕히는 자세변경부를 포함할 수 있으며, 언로딩부는 웨이퍼를 이송하는 이송컨베이어; 이송컨베이어와 자세변경부 사이에 개재되는 위치변경부를 더 포함할 수 있다.

이 때, 위치변경부는 웨이퍼를 척킹하는 척킹부; 척킹부를 이동시키는 이동부; 및 상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 포함할 수 있으며, 자세변경부는 복수의 웨이퍼가 나란히 삽입되는 카세트; 카세트에 웨이퍼를 인출하는 인출컨베이어; 및 웨이퍼가 눕혀지도록 카세트를 회전시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.

그리고, 자세변경부는 카세트에 웨이퍼가 순차적으로 인출되도록 카세트를 승강시키는 승강구동부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 예에 따르면, 웨이퍼를 퍼니스에 투입 및 인출하는데 있어서, 그 생산성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치를 이용한 튜브 퍼니스 공정 라인을 나타낸 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 로딩부를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 로딩부를 나타낸 평면도.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 자세변경부를 나타낸 정면도.
도 6은 보트를 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 적재부의 척킹부의 동작을 나타낸 정면도.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 서브승강부를 나타낸 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 서브승강부의 동작을 나타낸 측면도.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치 승강부를 나타낸 사시도.
도 11은 튜브 퍼니스 장치를 나타낸 정면도.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 승강부와 튜브 퍼니스 장치를 나타낸 측면도.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 바람직한 실시 예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)를 이용한 튜브 퍼니스 공정 라인을 나타낸 정면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시 예의 웨이퍼 이송장치(10000)는, 로딩부(1000), 언로딩부(2000), 이송부(4000) 및 승강부(3000)를 포함함으로써, 웨이퍼를 보트(20)에 로딩 및 언로딩하는 공정과 웨이퍼가 로딩된 보트(20)를 튜브 퍼니스 장치(10)에 투입 및 인출하기 위한 준비 공정을 자동으로 수행할 수 있어, 웨이퍼의 PN접합을 형성하기 위한 확산 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 로딩부(1000)를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 로딩부(1000)를 나타낸 평면도이다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 로딩부(1000)는 웨이퍼를 보트(20)에 로딩할 수 있다. (도 2의 S100) 본 실시 예의 웨이퍼는 태양전지를 제조하기 위한 기판(substrate)을 말할 수 있다.

로딩부(1000)는 이송컨베이어(1100), 위치변경부(1200), 자세변경부(1300), 적재부(1400) 및 서브승강부(1600)를 포함할 수 있다.

로딩부(1000)는 이전 공정으로부터 이송컨베이어(1100)를 통해 웨이퍼를 전달받을 수 있다. 이송컨베이어(1100)는 복수일 수 있으며, 본 실시 예에서는 예를 들어 4개가 나란히 배치될 수 있다.

위치변경부(1200)는 이송컨베이어(1100)와 자세변경부(1300) 사이에 배치되어, 이송컨베이어(1100)에 도달한 웨이퍼를 자세변경부(1300)에 전달할 수 있다. 위치변경부(1200)는 척킹부(1206), 이동부(1204) 및 가이드레일(1202)을 포함할 수 있다.

가이드레일(1202)은 나란히 배치되는 이송컨베이어(1100) 상에, 이송컨베이어(1100)를 가로지르는 방향으로 배치되어, 이동부(1204)의 이동 경로를 가이드할 수 있다.

이동부(1204)는 가이드레일(1202) 상을 주행하며, 후술할 척킹부(1206)를 이동시킬 수 있다. 이동부(1204)의 하측에는 척킹부(1206)가 결합될 수 있다.

척킹부(1206)는 이송컨베이어(1100) 상에 도달한 웨이퍼를 척킹(chucking)하여 후술할 투입컨베이어(1308)로 전달할 수 있다. 척킹부(1206)는 이동부(1204)와 상하로 이격 가능하게 결합될 수 있으며, 예를 들어 진공흡착 장치와 같은 웨이퍼를 척킹할 수 있는 장치일 수 있다.

자세변경부(1300)는 후술할 적재부(1400)가 웨이퍼를 척킹할 수 있도록 웨이퍼를 수직 방향으로 세울 수 있다. 자세변경부(1300)는 투입컨베이어(1308), 카세트(1302), 회전구동부(1304) 및 승강구동부(1306)를 포함할 수 있다.

투입컨베이어(1308)는 이송컨베이어(1100)의 일측에 인접하여 배치될 수 있다. 투입컨베이어(1308)는 후술할 카세트(1302)에 웨이퍼가 삽입되도록, 웨이퍼를 카세트(1302) 측으로 이송시킬 수 있다.

카세트(1302)는 복수의 웨이퍼가 삽입될 수 있도록 복수의 슬롯이 그 내부에 형성될 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 자세변경부(1300)를 나타낸 정면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 승강구동부(1306)는 카세트(1302)에 웨이퍼가 순차적으로 투입될 수 있도록 카세트(1302)를 승강시킬 수 있다.

즉, 투입컨베이어(1308)가 웨이퍼를 순차적으로 카세트(1302)를 향해 이송하여 카세트(1302)의 슬롯에 웨이퍼가 삽입되면, 승강구동부(1306)는 카세트(1302)를 복수의 슬롯 간의 간격만큼 카세트(1302)를 승강시켜, 다음 슬롯이 웨이퍼를 투입 받을 수 있는 위치에 카세트(1302)를 배치시킬 수 있다.

회전구동부(1304)는 카세트(1302)의 슬롯이 웨이퍼로 모두 채워지면, 후술할 적재부(1400)가 웨이퍼를 척킹할 수 있도록 카세트(1302)를 90도 회전시킴으로써, 웨이퍼를 세울 수 있다.

도 6은 보트(20)를 나타낸 사시도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 보트(20)는 웨이퍼를 튜브 퍼니스 장치(10)에 투입하기 위해, 웨이퍼를 로딩할 수 있는 장치일 수 있다.

보트(20)는 복수의 웨이퍼가 삽입 가능하도록 그 내부에 복수의 슬롯(22)이 나란히 형성될 수 있다. 보트(20)의 양단에는 후술할 지지부(1602)에 의해 척킹될 수 있도록 지지돌기(24)가 형성될 수 있다.

전술한 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 적재부(1400)는 카세트(1302)에 삽입된 웨이퍼를 보트(20)에 로딩할 수 있다. 적재부(1400)는 가이드레일(1410), 이동부(1420), 척킹부(1430)를 포함할 수 있다.

가이드레일(1410)은 제1 가이드레일(1402) 및 제2 가이드레일(1404)을 포함할 수 있다. 제1 가이드레일(1402)은 보트(20)와 평행하게 배치될 수 있으며, 제2 가이드레일(1404)은 제1 가이드레일(1402) 상에 제1 가이드레일(1402)과 직각 방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있다.

이동부(1420)는 제2 가이드레일(1404) 상에, 제2 가이드레일(1404)이 연장되는 방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이동부(1420)의 하측에는 척킹부(1430)가 결합될 수 있다.

척킹부(1430)는 카세트(1302)에 삽입된 복수의 웨이퍼를 보트(20)에 로딩할 수 있다. 척킹부(1430)는 이동부(1420)의 하측으로 승강 가능하게 이동부(1420)와 결합될 수 있으며, 세워진 복수의 웨이퍼를 척킹 가능하도록 복수의 슬롯이 그 내부에 형성될 수 있다. 척킹부(1430)는 예를 들어 진공흡착 장치와 같은 웨이퍼를 척킹할 수 있는 장치일 수 있다.

도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 적재부(1400)의 척킹부(1430)의 동작을 나타낸 정면도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 보트(20)에 형성되는 슬롯(22)은 웨이퍼가 경사지게 배치되어 이후 튜브 퍼니스 장치(10)에서 불순물의 확산이 용이하기 위해, 일측으로 경사지게 형성될 수 있다.

따라서, 로딩부(1000)의 보트(20)를 지지하는 안착부(1500)는 슬롯(22)이 수직 방향으로 배치되도록 보트(20)를 경사지게 지지할 수 있다. 즉, 안착부(1500)는 지지판(1502)과 엑츄에이터(1504)를 포함할 수 있으며, 지지판(1502)의 일측은 회전 가능하게 결합되며, 그 타측은 엑츄에이터(1504)에 의해 승강 가능하게 지지될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 서브승강부(1600)를 나타낸 사시도이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 서브승강부(1600)는 웨이퍼의 로딩이 완료된 보트(20)를 후술할 제1 컨베이어(4010)로 이동시킬 수 있으며(도 2의 S200), 제2 컨베이어(4020)에 의해 이송되는 언로딩된 보트(20)를 안착부(1500)로 이동시킬 수 있다. (도 2의 S1300)

서브승강부(1600)는 지지부(1602), 수직구동부(1620) 및 수평구동부(1610)를 포함할 수 있다. 지지부(1602)는 보트(20)의 지지돌기(24)를 지지할 수 있다. 지지부(1602)의 중앙부에는 보트(20)의 지지돌기(24)가 삽입 가능하도록 양측으로 연장되는 홈이 형성될 수 있으며, 지지부(1602)는 보트(20)의 양측으로 이동하여 홈의 내부에 지지돌기(24)를 삽입함으로써, 보트(20)를 척킹할 수 있다. 지지부(1602)의 양측에는 가이드부재(1604)가 결합될 수 있으며, 가이드부재(1604)는 지지부(1602)에서 지지돌기(24)가 이탈하는 것을 방지할 수 있다.

수평구동부(1610)는 지지부(1602)를 후술할 수직구동부(1620)로부터 이격시킬 수 있다. 즉, 수평구동부(1610)는 수평 방향으로 연장 가능한 암 구조를 가질 수 있으며, 그 일단에는 지지부(1602)가 결합되며, 그 타단에는 수직구동부(1620)가 결합될 수 있다. 수직구동부(1620)는 수평구동부(1610)를 상하로 승강시킴으로써, 지지부(1602)를 상하로 승강시킬 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 서브승강부(1600)의 동작을 나타낸 측면도이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 보트(20)에 웨이퍼가 로딩되면, 지지부(1602)는 보트(20)를 척킹하고, 수평구동부(1610)의 동작으로 보트(20)를 제1 컨베이어(4010)와 제2 컨베이어(4020) 상으로 이동시킬 수 있다.

다음으로, 수직구동부(1620)가 수평구동부(1610)를 하강시켜 제1 컨베이어(4010) 상에 보트(20)를 안착시킴으로써, 로딩부(1000)는 보트(20)를 제1 컨베이어(4010)에 로딩시킬 수 있다.

또한, 제2 컨베이어(4020)에 의해 언로딩된 보트(20)가 이동되면, 지지부(1602)는 보트(20)를 척킹하고, 수직구동부(1620)가 보트(20)를 승강시키고, 수평구동부(1610)가 보트(20)를 안착부(1500) 상으로 이동시킴으로써, 서브승강부(1600)는 제2 컨베이어(4020)에 의해 이송된 보트(20)를 안착부(1500) 상에 안착시킬 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이송부(4000)는 로딩부(1000)와 언로딩부(2000) 사이에 개재되어 보트(20)를 이송할 수 있다. 이송부(4000)는 제1 컨베이어(4010)와 제2 컨베이어(4020)를 포함할 수 있다.

제1 컨베이어(4010)는 로딩부(1000) 측에서 언로딩부(2000) 측으로 보트(20)를 이송시킬 수 있으며, 제2 컨베이어(4020)는 언로딩부(2000) 측에서 로딩부(1000) 측으로 보트(20)를 이송시킬 수 있다. 이 때, 제1 컨베이어(4010)와 제2 컨베이어(4020)는 상하로 배치되어, 공간 사용효율과 서브승강부(1600)의 보트(20) 이동의 동선을 최소활 할 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 승강부(3000)를 나타낸 사시도이다. 도 10에 도시된 바와 같이, 승강부(3000)는 이송부(4000)에 의해 이송되는 보트(20, 도 2의 S300)를 승강시켜, 보트(20)가 튜브 퍼니스에 투입되도록 이동시킬 수 있다. (도 2의 S400)

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 승강부(3000)는 이송부(4000)의 중앙부에 이송부(4000)와 인접하여 배치될 수 있다. 승강부(3000)의 구성과 동작은 전술한 서브승강부(1600)의 그것들과 동일 할 수 있다.

도 11은 튜브 퍼니스 장치(10)를 나타낸 정면도이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 튜브 퍼니스 장치(10)는 확산공정을 수행할 수 있는 장치를 말할 수 있다. 튜브 퍼니스 장치(10)는 튜브 퍼니스(12)와 입출장치(14)를 포함할 수 있다.

튜브 퍼니스(12)는 복수 일 수 있으며, 복수의 튜브 퍼니스(12)는 상하로 배치될 수 있다. 입출장치(14)는 각각의 튜브 퍼니스(12) 전방에 배치될 수 있다. 입출장치(14)는 튜브 퍼니스(12) 전방에 배치된 보트(20)의 일단을 푸쉬함으로써, 보트(20)를 튜브 퍼니스(12) 내부로 투입시킬 수 있다. (도 2의 S500)

도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치(10000)의 승강부(3000)와 튜브 퍼니스 장치(10)를 나타낸 측면도이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 승강부(3000)는 제1 컨베이어(4010)에 의해 이송된 보트(20)를 척킹하여, 투입될 튜브 퍼니스(12)의 위치까지 상승시킨 후, 그 튜브 퍼니스(12) 전방에 보트(20)를 안착시킬 수 있다.

그리고, 처리가 완료된 보트(20)가 입출장치(14)에 의해 튜브 퍼니스(12) 전방으로 인출되면, (도 2의 S600) 승강부(3000)는 보트(20)를 척킹하여 제1 컨베이어(4010) 상에 배치할 수 있다. 이로써, 승강부(3000)에 의해 보트(20)의 튜브 퍼니스(12) 투입 준비 공정은 자동화 될 수 있다.

처리가 완료된 보트(20)는 제1 컨베이어(4010)에 의해 언로딩부(2000)로 이송 될 수 있다. (도 2의 S800) 언로딩부(2000)는 처리가 완료된 웨이퍼가 다음 공정으로 이송될 수 있도록 보트(20)에서 웨이퍼를 언로딩할 수 있다.

언로딩부(2000)는 서브승강부(2600), 하역부(2400), 자세변경부(2300), 위치변경부(2200), 이송컨베이어(2100)를 포함할 수 있다. 언로딩부(2000)의 구성은 상술한 로딩부(1000)의 구성과 동일한 구조를 가질 수 있다.

언로딩부(2000)의 서브승강부(2600)는 보트(20)를 상승시켜 안착부(2500)에 안착시키고, (도 2의 S900) 하역부(2400), 자세변경부(2300), 위치변경부(2200) 및 이송컨베이어(2100)는, 상술한 로딩부(1000)의 동작을 역순으로 수행함으로써, 보트(20)에서 웨이퍼를 언로딩할 수 있다. (도 2의 S1000)

언로딩된 보트(20)는 서브승강부(2600)에 의해 하강하여(도 2의 S1100), 제2 컨베이어(4020)에 의해 로딩부(1000)로 이송되어(도 2의 S1200), 로딩부(1000)의 서브승강부(1600)에 의해 상승되어(도 2의 S1300), 로딩 준비를 할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

전술한 실시 예 외의 많은 실시 예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.

1000: 로딩부 1100: 이송컨베이어
1200: 위치변경부 1300: 자세변경부
1400: 적재부 1500: 안착부
1600: 서브승강부 2000: 언로딩부
3000: 승강부 4000: 이송부
10000: 웨이퍼 이송장치

Claims

웨이퍼를 보트에 로딩하는 로딩부;
상기 보트에서 상기 웨이퍼를 언로딩하는 언로딩부;
상기 보트를 이송하도록 상기 로딩부와 상기 언로딩부 사이에 개재되는 이송부; 및
상기 보트가 퍼니스(furnace)에 투입 또는 인출되도록, 상기 이송부에 의해 이송되는 상기 보트를 승강시키는 승강부를 포함하고
상기 보트에는 상기 웨이퍼가 삽입되는 슬롯이 형성되며,
상기 슬롯은, 삽입된 상기 웨이퍼가 상기 퍼니스에서 수직 방향에 대해 일측으로 경사지게 배치되도록, 상기 수직 방향에 대해 상기 일측으로 경사지게 형성되고,
상기 로딩부는 상기 보트를 지지하는 안착부를 더 포함하며,
상기 안착부는, 상기 웨이퍼가 상기 슬롯에 상기 수직 방향으로 삽입되도록 상기 보트를 경사지게 지지하여, 경사지게 형성된 상기 슬롯을 상기 수직 방향으로 배치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 승강부는
상기 보트의 양단을 지지하는 지지부;
상기 지지부를 승강시키는 수직구동부; 및
상기 지지부가 상기 수직구동부로부터 이격되도록 상기 지지부와 상기 수직구동부 사이에 개재되는 수평구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 로딩부는
상기 웨이퍼를 수직 방향으로 세우는 자세변경부; 및
세워진 상기 웨이퍼를 상기 보트에 로딩하는 적재부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제3항에 있어서,
상기 로딩부는
상기 웨이퍼를 상기 자세변경부에 전달하는 위치변경부;
상기 웨이퍼를 상기 위치변경부에 이송하는 이송컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제4항에 있어서,
상기 위치변경부는
상기 웨이퍼를 척킹하는 척킹부;
상기 척킹부를 이동시키는 이동부; 및
상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제4항에 있어서,
상기 자세변경부는
복수의 상기 웨이퍼가 나란히 삽입되는 카세트;
상기 위치변경부로부터 전달된 복수의 상기 웨이퍼를 상기 카세트에 투입하는 투입컨베이어; 및
상기 카세트에 삽입된 복수의 상기 웨이퍼가 세워지도록 상기 카세트를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제6항에 있어서,
상기 자세변경부는
상기 카세트에 복수의 상기 웨이퍼가 순차적으로 투입되도록 상기 카세트를 승강시키는 승강구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제1항에 있어서,
상기 이송부는
상기 보트를 상기 로딩부 측에서 상기 언로딩부 측으로 이송시키는 제1 컨베이어; 및
상기 보트를 상기 언로딩부 측에서 상기 로딩부 측으로 이송시키는 제2 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제8항에 있어서,
상기 제1 컨베이어와 상기 제2 컨베이어는 상하로 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제9항에 있어서,
상기 로딩부 및 언로딩부는
상기 제1 컨베이어 및 상기 제2 컨베이어에 상기 보트가 로딩 또는 언로딩되도록, 상기 보트를 상하로 승강시키는 서브승강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제10항에 있어서,
상기 서브승강부는
상기 보트의 양단을 지지하는 지지부;
상기 지지부를 승강시키는 수직구동부; 및
상기 지지부가 상기 수직구동부로부터 이격되도록 상기 지지부와 상기 수직구동부 사이에 개재되는 수평구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 언로딩부는
상기 보트로부터 상기 웨이퍼를 언로딩하는 하역부; 및
언로딩된 상기 웨이퍼를 수평 방향으로 눕히는 자세변경부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제13항에 있어서,
상기 언로딩부는
상기 웨이퍼를 상기 자세변경부로부터 전달받는 위치변경부;
상기 웨이퍼를 상기 위치변경부로부터 이송받는 이송컨베이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제14항에 있어서,
상기 위치변경부는
상기 웨이퍼를 척킹하는 척킹부;
상기 척킹부를 이동시키는 이동부; 및
상기 이동부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제14항에 있어서,
상기 자세변경부는,
상기 하역부로부터 언로딩된 복수의 상기 웨이퍼가 나란히 삽입되는 카세트;
상기 카세트에 삽입된 복수의 상기 웨이퍼가 눕혀지도록 상기 카세트를 회전시키는 회전구동부;
상기 카세트로부터 복수의 상기 웨이퍼를 인출하는 인출컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제16항에 있어서,
상기 자세변경부는
상기 카세트로부터 복수의 상기 웨이퍼가 순차적으로 인출되도록 상기 카세트를 승강시키는 승강구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
제13항에 있어서,
상기 보트에는 상기 웨이퍼가 삽입되는 슬롯이 형성되며,
상기 슬롯은, 삽입된 상기 웨이퍼가 상기 퍼니스에서 수직 방향에 대해 일측으로 경사지게 배치되도록, 상기 수직 방향에 대해 상기 일측으로 경사지게 형성되고,
상기 로딩부는 상기 보트를 지지하는 안착부를 더 포함하며,
상기 안착부는, 상기 웨이퍼가 상기 슬롯에 상기 수직 방향으로 삽입되도록 상기 보트를 경사지게 지지하여, 경사지게 형성된 상기 슬롯을 상기 수직 방향으로 배치하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.