JP4626205B2 - 基板の受渡し方法、及びその装置 - Google Patents
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Description
B:基板処理装置(受け側装置)
G:基板
S:空気
V:隙間
12,13:リンク部材(上下動手段)
24:前端部
25:後端部
Claims (2)
- 送り側装置と受け側装置とが所定の隙間をおいて配置されて、
基板の受渡し開始直後において前記隙間で基板の前端部が片持ち状に撓む際には、受け側装置が送り側装置よりも相対的に低くなるように設定すると共に、
基板の受渡し終了直前において前記隙間で基板の後端部が片持ち状に撓む際には、受け側装置が送り側装置よりも相対的に高くなるように設定して、
基板の前後端部が受け側及び送り側の各装置に接触するのを回避して、空気浮上により基板を移送して受け渡す方法であって、
前記送り側装置の基板は、空気浮上された当該基板の後端部を基板把持装置により把持した状態で、当該基板把持装置を送り方向に移動させることにより、当該基板を移送することを特徴とする基板の受渡し方法。 - 送り側装置と受け側装置とが所定の隙間をおいて配置されて、
基板の受渡し開始直後において前記隙間で基板の前端部が片持ち状に撓む際には、受け側装置が送り側装置よりも相対的に低くなるように設定すると共に、
基板の受渡し終了直前において前記隙間で基板の後端部が片持ち状に撓む際には、受け側装置が送り側装置よりも相対的に高くなるように設定して、
基板の前後端部が受け側及び送り側の各装置に接触するのを回避して、空気浮上により基板を移送して受け渡す装置であって、
所定間隔をおいて配置された基板の送り側装置と受け側装置の少なくとも一方には、装置を上下動させる手段を備え、
前記送り側装置には、空気浮上された前記基板の後端部を把持して、この状態で当該基板を送り方向に移動可能な基板把持装置が設けられていることを特徴とする基板の受渡し装置。
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