JP4605469B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
この発明での課題は、エアを有効に用いて効果的に物品の撓みを防止することにある。
請求項2の発明での課題は、物品の撓みをより正確にコントロールすることにある。
(1) 基板先端24の撓みを防止すると共に、ローラ11に基板先端24が接触した際の振動を防止できる。
(2) 基板22の撓みを防止するのに必要な間だけノズル14を動作させるので、効率的である。またこの間の風量を基板22の撓みが一定となるようにフィードバック制御し、一定の条件で基板をコンベヤ間を乗り移らせることができる。
(3) 基板後端26の撓みも同様に小さくできる。
(4) ノズル14を上下のコンベヤ4,6のいずれかに設置すると、コンベヤ4,6間の僅かな隙間での撓みも防止できる。
4 上流側コンベヤ
6 下流側コンベヤ
8 ローラ
9 下流端の手前のローラ
10 下流端のローラ
11 上流端のローラ
12 エア通路
14 ノズル
16,28 光源
18,30 光検出部
20 制御部
22 ガラス基板
24 基板先端
26 基板後端
Claims (2)
- 複数の搬送装置を間隔を開けて上流側から下流側へ配置して、前記搬送装置間で物品を一定の高さレベルで水平に乗り移らせて搬送するシステムであって、
前記各搬送装置は前記物品を支持する複数のローラを備え、
上流側の搬送装置の下流端のローラと下流側の搬送装置の上流端のローラとの間に、前記物品を搬送装置間で乗り移らせる際に前記物品の下流側の端部が前記一定の高さレベルよりも下がらないようにするため前記物品の底面へ向けて上向きの気流を吹き付けるためのノズルと前記物品の先端が到着したことを検出するセンサとを設けると共に、
前記センサが物品の先端を検出した後、物品の先端が前記上流端のローラの最高位置を通過するまでの間、前記ノズルから気流を吹き付けるように制御するための制御手段を設けたことを特徴とする搬送システム。 - 前記下流端のローラと前記上流端のローラとの間での前記物品の高さレベルを検出する高さセンサを設けて、前記制御部で、前記高さセンサの検出結果に従って前記ノズルからの気流の風量を制御することを特徴とする、請求項1の搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076231A JP4605469B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006076231A JP4605469B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007246274A JP2007246274A (ja) | 2007-09-27 |
JP4605469B2 true JP4605469B2 (ja) | 2011-01-05 |
Family
ID=38590965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006076231A Expired - Fee Related JP4605469B2 (ja) | 2006-03-20 | 2006-03-20 | 搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4605469B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110723571A (zh) * | 2018-07-16 | 2020-01-24 | 海德堡印刷机械股份公司 | 具有页张传送带的印刷机 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4824723B2 (ja) * | 2008-06-17 | 2011-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
KR101296659B1 (ko) * | 2008-11-14 | 2013-08-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 세정 장치 |
JP5549311B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-07-16 | 株式会社Ihi | 浮上搬送装置及び方向転換装置 |
JP6055253B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-12-27 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板浮上装置および基板浮上量測定方法 |
CN108502543B (zh) * | 2017-02-28 | 2020-01-24 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种基板传输装置及方法 |
JP7486382B2 (ja) | 2020-08-31 | 2024-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置および搬送方法 |
CH719986A1 (de) * | 2022-08-25 | 2024-03-15 | Ferag Ag | Förderanlage. |
CN115557251A (zh) * | 2022-10-14 | 2023-01-03 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 一种真空镀膜玻璃的气动辅助传导设备及方法 |
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- 2006-03-20 JP JP2006076231A patent/JP4605469B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2007246274A (ja) | 2007-09-27 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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