JP2001233452A - 薄板状材の定点搬送装置 - Google Patents

薄板状材の定点搬送装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示パネルを製造する為に用いられるガ
ラス基板等のような大形の薄板状材を搬送して来る搬送
装置から汚染や損傷等させないように受け取って所定位
置へ搬送することができる定点搬送装置を提供するこ
と。 【解決手段】 薄板状材１の一端及び他端を支持して搬
送して来る搬送装置のワーク取出し側一端に、昇降及び
所定角度に回転し得る気体噴射用可動テーブル２０が配
設されている。気体噴射用可動テーブル２０は、薄板状
材１の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を薄板状
材１の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成している
と共に、かかる傾斜分散面２０ａに連なる水平分散面２
０ｂを形成している定点部に薄板状材１の移動を制限す
るストッパー２２を装着している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板状材の定点搬
送装置、更に詳しくは、液晶表示パネルを製造する為に
用いられるガラス基板や、金属箔に高分子フィルムをラ
ミネートした積層材等のような変形し易い薄板状材の定
点搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、周知のように、液晶表示パネルを
製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示
用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一
層の大形薄板化が推進されている。
【０００３】例えば、幅（Ｗ）が６５０ｍｍ、長さ
（Ｌ）が８３０ｍｍ、板厚（ｔ）が０．７ｍｍのガラス
基板が用いられるようになって来たと共に更に薄いガラ
ス基板を用いることが検討されつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、汚染や損傷
等を防止しなければならないガラス基板の大形薄板化
は、基板自体が変形し易くなる為にそれの搬送を困難化
し、従来の一般的な搬送技術では対応できないようにな
って来た。
【０００５】そこで、ガラス基板の一端及び他端夫々の
下面に対する接触によって前記ガラス基板を支持しなが
ら搬送し得るように構成された搬送装置が用いられてい
たが、この搬送装置に対しては定点搬送手段の設置、す
なわち、前記搬送装置のワーク取出し側一端からガラス
基板を所定位置（以下、定点という。）に搬送する為の
手段の設置が必要とされていた。
【０００６】ところが、前記搬送装置によりガラス基板
が自重によって湾曲した状態に搬送されて来る為に、か
かるガラス基板を汚染や損傷させないように前記ワーク
取出し側一端から定点に搬送することの困難があって未
だ十分な定点搬送装置が開発されていないのが現状であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
背景下において発明されたものであって、その目的は、
大形薄板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送
して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記
薄板状材を受け取って定点に搬送することができる定点
搬送装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明に係る薄板状材の定点搬送装置は、請求項１に記載す
るように、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する
接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送
装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るよう
に装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、
前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク
取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向
って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方
向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かか
る傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部
に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限す
るストッパーを装着していることを特徴とするものであ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】正面図である図１において、無限
軌道型搬送装置９の主要部が示されているが、この搬送
装置９は、左側の駆動軸１０に装着された鎖車１１と、
図示されていない右側（図７参照）に同様に設けられて
いる駆動軸１０に装着された鎖車１１とに掛け渡された
無端チェン１２にフィンガー１３ａを一定ピッチに装着
している。
【００１０】なお、同図においては、薄板状材１の一端
をフィンガー１３ａで支持している姿が示されているに
すぎないが、薄板状材１の他端も同様に、左側の駆動軸
１０に装着された一方の鎖車１１と右側の駆動軸１０に
装着された他方の鎖車１１とに掛け渡された無端チェン
に１２に一定ピッチで装着されているフィンガー１３ｂ
（図６参照）で支持されている。
【００１１】より具体的には、図２において、薄板状材
１の一端が右側のフィンガー１３ａで支持されていると
共に他端が左側のフィンガー１３ｂで支持されている。
なお、一方のフィンガー１３ａの上端は、左側から右側
へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィンガー
１３ｂの上端は、右側から左側へ向って下り状態に傾斜
されている。
【００１２】その為、この搬送装置９によると、一対の
無端チェン１２を所定方向へ回動させることにより薄板
状材１を同方向へ搬送することができる。すなわち、薄
板状材１の一端及び他端の下面に対してフィンガー１３
ａ，１３ｂの上端を接触させて薄板状材１を支持し、図
１において右側又は左側へ搬送することができる。
【００１３】その際、薄板状材１の下方に配設されてい
る気体噴射テーブル４から薄板状材１の下面に向って加
圧気体が噴射され、従って、薄板状材１が大形のもので
あっても、その搬送中等において、薄板状材１が自重に
よって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或いは
破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止す
ることができると共に、かかる撓み量の変化を略一定に
保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止する
ことができから、発塵や騒音が発生するといった問題も
解消することができる。
【００１４】なお、薄板状材１は、その例として、液晶
表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられ
るガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモ
ルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用
いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルム
をラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をし
た未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、
汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが
必要とされる。
【００１５】その為、例えば、図３において示されてい
るように、幅（Ｗ）、長さ（Ｌ）の前記ガラス基板にあ
っては、一般に、その周縁部分（ｄが約５ｍｍ）を支持
して搬送することが許容されている。
【００１６】なお、気体噴射テーブル４に供給される気
体は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要
に応じて不活性ガス等を選択することができると共に気
体噴射テーブル４に対する気体の供給は、圧縮機５を運
転し管路６を経て加圧供給することができる。
【００１７】その際、気体噴射テーブル４が薄板状材１
の下面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置
決めされると共に、薄板状材１の自重による撓みが過大
にならないようにその噴射量が所定に制御される。
【００１８】また、薄板状材１の下面に対する気体噴射
テーブル４の接近離反は、圧縮機５等が装着されている
ベースプレート（図示されていない）を昇降手段（例え
ば、エアーシリンダー等）で水平に上下動させて行うこ
とができる。
【００１９】更に、図示のように、薄板状材１を略水平
状態に保つように加圧気体を噴射してもよいと共に加圧
気体の噴射に際しては、管路６に装着されている弁（図
示されていない）が開口される。この弁は、薄板状材１
の有無を感知するセンサー（図示されていない）からの
信号によって開閉制御される。
【００２０】なお、気体噴射テーブル４は、その延長方
向に複数個が連結されているが、それらの気体噴射テー
ブル４からの加圧気体の噴射は、薄板状材１を略水平状
態に保つように噴射することに限定されず、図４，５に
おいて示されているように、薄板状材１が湾曲した状態
に保たれるように噴射してもよく、要するに、薄板状材
１の自重による撓みが過大にならないように薄板状材１
の下面に向って加圧気体を噴射すればよい。
【００２１】また、図５において示されているように、
気体噴射テーブル４を中央部から破線で示されている右
側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側へ移
動せしめたりし得るように設けてもよいと共に、薄板状
材１の有無を感知するセンサーを所定位置に設けてそこ
を通過する直前に気体噴射テーブル４から加圧気体を噴
射すると共にその通過直後において噴射停止させるよう
にしてもよい。
【００２２】このように、上述の搬送装置９によると、
変形し易い薄板状材１を所定方向へ搬送することができ
るが、平面図である図６及び図６の正面図である図７に
おいて示されているように、搬送装置９のワーク取出し
側一端に薄板状材１（破線で示されている）が搬送され
て来ると、気体噴射用可動テーブル２０の傾斜分散面２
０ａから噴射される気体（一般に、浄化された空気であ
って気体噴射テーブル４に供給される気体と同じもの）
によって、その前進側先端部から次第に後端部に向って
浮上状態にされる。
【００２３】すなわち、図６のＡ−Ａ断面図である図８
において示されているように、薄板状材１がフィンガー
１３ａ，１３ｂで支持されて湾曲した姿のままに搬送さ
れて来ると、気体噴射用可動テーブル２０の傾斜分散面
２０ａから噴射される気体によって同図のＢ−Ｂ断面図
である図９において示されているように、少し湾曲した
状態（水平状態に近い状態）にされ、次いで、同図のＣ
−Ｃ断面図である図１０において示されているように水
平浮上状態にされる。
【００２４】なお、傾斜分散面２０ａは、フィンガー１
３ａが装着されている一方の無端チェン１２と、フィン
ガー１３ｂが装着されている他方の無端チェン１２との
間に位置されていると共に薄板状材１の前進方向に上り
状態に傾斜せしめられて形成されているが、その傾斜角
度θは１５度以下に設けられている。
【００２５】その為、傾斜分散面２０ａに連なった水平
分散面２０ｂを形成している定点部２１へ薄板状材１を
水平状態に浮上させて搬送することができると共に、定
点部２１に装着されているストッパー２２群で薄板状材
１の移動を制限することができる。図６においては、こ
のようにして定点部２１に搬送された薄板状材１が破線
で示されている。
【００２６】なお、傾斜分散面２０ａと同様に、水平分
散面２０ｂからも気体が噴射されるが、両分散面２０
ａ，２０ｂには多数の噴射孔２０ｃが所定パターンに設
けられている。また、傾斜分散面２０ａ及び水平分散面
２０ｂを形成し、しかも、水平分散面２０ｂが形成され
ている定点部２１に複数のストッパー２２を装着した気
体噴射用可動テーブル２０は、図示されていない機構に
よって所定角度に回転し得ると共に昇降（上下動）し得
るように装着されている支柱２３に装着されている。
【００２７】その為、定点部２１に薄板状材１が搬送さ
れると、気体噴射用可動テーブル２０を上昇させてフィ
ンガー１３ａ、１３ｂよりも高いレベルに移動させた
後、回転させることにより所定方向へ薄板状材１を配向
させることができ、そして、所定方向へ配向せしめられ
た薄板状材１を図示されていない他の搬送装置へ供給等
することができる。その際、水平分散面２０ｂより上方
のレベルに突出されているストッパー２２群のうち、必
要箇所のストッパーが水平分散面２０ｂより下方のレベ
ルへ没される。
【００２８】しかし、例えば、薄板状材１を真空吸着し
得る荷役装置を使用し、それによって、定点部２１にお
いて水平状態に浮上されている薄板状材１の所定箇所を
吸着保持して移送する場合等においては、ストッパー２
２群を固定ストッパーで構成してもよい。
【００２９】また、気体噴射用可動テーブル２０を必要
に応じて昇降及び回転に加えて水平移動、すなわち、Ｘ
軸、Ｙ軸又はＸＹ両軸方向へ移動し得るように装着して
もよい。なお、図示されていないが、気体噴射用可動テ
ーブル２０に対して気体を供給する装置（例えば、上述
の搬送装置９に装着されているような気体供給装置）が
装着されている。
【００３０】一方、上述の搬送装置９においては、気体
噴射テーブル４を装着するか否かは必要に応じて選択さ
れる。一般には、装着するのが好ましいが、気体噴射テ
ーブル４を装着しても、薄板状材１を略水平状態に保つ
ように気体噴射することが煩わしいといった欠点を完全
には解消し得ない。
【００３１】しかし、本発明においては、薄板状材１の
一端及び他端夫々の下面に対する接触によって薄板状材
１を支持しながら搬送する搬送装置９に対して気体噴射
用可動テーブル２０を設けている為に、大形薄板化され
たガラス基板等のような薄板状材１が湾曲した状態のま
まに搬送装置９のワーク取出し側一端に搬送されて来て
も、かかる薄板状材１を汚染や損傷等させないように良
好に定点に搬送することができる。
【００３２】なお、薄板状材１の一端及び他端夫々の下
面に対する接触によって薄板状材１を支持しながら搬送
する搬送装置は、上述の搬送装置９に限定されず他の型
式のものであってもよい。
【００３３】
【発明の効果】上述のように、本発明によると、大形薄
板化されたガラス基板等のような薄板状材を搬送して来
る搬送装置から汚染や損傷等させないように前記薄板状
材を受け取って定点に搬送することができる搬送装置を
得ることができる。特に、液晶表示パネルを製造する為
に用いられるガラス基板の定点搬送に好適な搬送装置を
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】無限軌道型搬送装置の正面図である。
【図２】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄
板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
【図３】ガラス基板の平面図である。
【図４】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して薄
板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
【図５】気体噴射テーブルを薄板状材の下方で水平方向
へ移動させる態様を示す図である。
【図６】無限軌道型搬送装置のワーク取出し側一端に搬
送されて来た薄板状材を定点部へ搬送する態様を示す平
面図である。
【図７】図６の正面図である。
【図８】図６のＡ−Ａ矢視図である。
【図９】図６のＢ−Ｂ矢視図である。
【図１０】図６のＣ−Ｃ矢視図である。
【符号の説明】
１：薄板状材 ４：気体噴射テーブル ９：無限軌道型搬送装置 １１：鎖車 １２：無端チェン １３ａ，１３ｂ：フィンガー ２０：気体噴射用可動テーブル ２０ａ：傾斜分散面 ２０ｂ：水平分散面 ２１：定点部 ２２：ストッパー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F049 FA01 FA03 LA15 LB08 LB10 3F102 AA20 AB05 AB06 AB09 BA03 5F031 CA05 GA62 PA20

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対
    する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する
    搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得る
    ように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、か
    つ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワ
    ーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面
    に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前
    進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、
    かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定
    点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制
    限するストッパーを装着していることを特徴とする薄板
    状材の定点搬送装置。
  2. 【請求項２】 薄板状材がガラス基板であることを特徴
    とする請求項１に記載の薄板状材の定点搬送装置。
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007008644A (ja) * 2005-06-29 2007-01-18 Ckd Corp 板状ワークの搬送装置
JP2007246274A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Murata Mach Ltd 搬送システム
CN100352000C (zh) * 2004-11-15 2007-11-28 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
JP2008078284A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Olympus Corp 基板搬送装置
JP2009033214A (ja) * 2002-04-18 2009-02-12 Olympus Corp 基板搬送装置
JP2010067896A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP2010159164A (ja) * 2008-12-12 2010-07-22 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置、真空処理システムおよび処理方法
JP2011210767A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および移載方法
JP2012079789A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Lapis Semiconductor Co Ltd 基板搬送アーム及び基板搬送装置
KR101226784B1 (ko) 2010-03-29 2013-01-25 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 기판 처리 장치 및 이재 방법
CN103103839A (zh) * 2011-11-09 2013-05-15 江苏赛福天钢索股份有限公司 钢丝绳股的输送装置
JP2013118307A (ja) * 2011-12-05 2013-06-13 Ihi Corp 搬送装置
US9469487B2 (en) 2013-02-26 2016-10-18 Ihi Corporation Conveyance device
WO2021171903A1 (ja) * 2020-02-25 2021-09-02 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
CN114678310A (zh) * 2022-02-16 2022-06-28 上海普达特半导体设备有限公司 一种晶圆传输装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04304651A (ja) * 1991-04-01 1992-10-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体ウエハ搬送装置
JPH06127738A (ja) * 1992-10-13 1994-05-10 Fujitsu Ltd 基板搬送方法
JPH09278181A (ja) * 1996-04-11 1997-10-28 Canon Inc ワーク搬送装置及び搬送方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04304651A (ja) * 1991-04-01 1992-10-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体ウエハ搬送装置
JPH06127738A (ja) * 1992-10-13 1994-05-10 Fujitsu Ltd 基板搬送方法
JPH09278181A (ja) * 1996-04-11 1997-10-28 Canon Inc ワーク搬送装置及び搬送方法

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4633161B2 (ja) * 2002-04-18 2011-02-16 オリンパス株式会社 基板搬送装置
JP2009033214A (ja) * 2002-04-18 2009-02-12 Olympus Corp 基板搬送装置
JP2009071323A (ja) * 2002-04-18 2009-04-02 Olympus Corp 基板搬送装置
JP2009051672A (ja) * 2002-04-18 2009-03-12 Olympus Corp 基板搬送装置
CN100352000C (zh) * 2004-11-15 2007-11-28 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
JP2007008644A (ja) * 2005-06-29 2007-01-18 Ckd Corp 板状ワークの搬送装置
JP2007246274A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP4605469B2 (ja) * 2006-03-20 2011-01-05 村田機械株式会社 搬送システム
JP2008078284A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Olympus Corp 基板搬送装置
JP4638931B2 (ja) * 2008-09-12 2011-02-23 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP2010067896A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP2010159164A (ja) * 2008-12-12 2010-07-22 Tokyo Electron Ltd 真空処理装置、真空処理システムおよび処理方法
JP2011210767A (ja) * 2010-03-29 2011-10-20 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および移載方法
KR101226784B1 (ko) 2010-03-29 2013-01-25 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 기판 처리 장치 및 이재 방법
JP2012079789A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Lapis Semiconductor Co Ltd 基板搬送アーム及び基板搬送装置
CN103103839A (zh) * 2011-11-09 2013-05-15 江苏赛福天钢索股份有限公司 钢丝绳股的输送装置
JP2013118307A (ja) * 2011-12-05 2013-06-13 Ihi Corp 搬送装置
US9469487B2 (en) 2013-02-26 2016-10-18 Ihi Corporation Conveyance device
WO2021171903A1 (ja) * 2020-02-25 2021-09-02 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの製造方法
CN114678310B (zh) * 2022-02-16 2023-12-22 上海普达特半导体设备有限公司 一种晶圆传输装置
CN114678310A (zh) * 2022-02-16 2022-06-28 上海普达特半导体设备有限公司 一种晶圆传输装置

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