JP2003104545A - フラットパネルの方向転換装置及びエッジグリップ式ロボット - Google Patents
フラットパネルの方向転換装置及びエッジグリップ式ロボットInfo
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- JP2003104545A JP2003104545A JP2001339996A JP2001339996A JP2003104545A JP 2003104545 A JP2003104545 A JP 2003104545A JP 2001339996 A JP2001339996 A JP 2001339996A JP 2001339996 A JP2001339996 A JP 2001339996A JP 2003104545 A JP2003104545 A JP 2003104545A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】フラットパネルの製造装置にはパネルを縦向け
に処理する装置と横向けに処理する装置が混在するが、
パネルは縦向け搬送が望ましいので、極力パネルを非接
触で縦横自在に方向転換すると共に、製造装置に出し入
れするロボットを提供する。 【解決手段】装置内浮上ユニット１２によって空気や超
音波を利用してパネル１を浮かし、パネル１のエッジ部
のみを上部ローラ１３と下部ローラとでクランプして非
接触の状態で方向転換すると共に、縦向け方向と横向け
方向で、パネル中間部を非接触ハンドリングするエッジ
クランプ式ロボットである。
に処理する装置と横向けに処理する装置が混在するが、
パネルは縦向け搬送が望ましいので、極力パネルを非接
触で縦横自在に方向転換すると共に、製造装置に出し入
れするロボットを提供する。 【解決手段】装置内浮上ユニット１２によって空気や超
音波を利用してパネル１を浮かし、パネル１のエッジ部
のみを上部ローラ１３と下部ローラとでクランプして非
接触の状態で方向転換すると共に、縦向け方向と横向け
方向で、パネル中間部を非接触ハンドリングするエッジ
クランプ式ロボットである。
Description
【０００１】［発明の属する技術分野］本発明は液晶ガ
ラス基板などフラットパネルの縦と横の方向転換とロボ
ットのハンドに関するものである。フラットパネルの搬
送は破損やスペース面で縦向けの方が有利であり、縦向
けハンドリングが必要である。しかし製造装置には縦向
け処理ができない種類のものがあるので、パネルを縦向
から横向けに、またその逆にと方向転換する必要があ
る。その動作中にはパネルはクリーン度の維持が要求さ
れるので、極力パネルに触れずにハンドリングすること
が望ましい。本発明はパネルのエッジ部のみを持ち、ク
リーン度を保ちながらパネルの方向転換とロボットによ
るハンドリングを行うものである。
ラス基板などフラットパネルの縦と横の方向転換とロボ
ットのハンドに関するものである。フラットパネルの搬
送は破損やスペース面で縦向けの方が有利であり、縦向
けハンドリングが必要である。しかし製造装置には縦向
け処理ができない種類のものがあるので、パネルを縦向
から横向けに、またその逆にと方向転換する必要があ
る。その動作中にはパネルはクリーン度の維持が要求さ
れるので、極力パネルに触れずにハンドリングすること
が望ましい。本発明はパネルのエッジ部のみを持ち、ク
リーン度を保ちながらパネルの方向転換とロボットによ
るハンドリングを行うものである。
【０００２】［従来の技術］従来、液晶などのフラット
パネルはカセットに入れて水平方向で搬送されていた。
搬送のための所要スペースやコスとの面で枚葉縦型搬送
が望ましいが、製造装置は縦型と横型が存在するのでク
リーン度が維持できる有効な方向転換装置がなかった。
また大型化するパネルを非接触の状態でハンドリングす
る縦型や水平型ロボットもなかった。
パネルはカセットに入れて水平方向で搬送されていた。
搬送のための所要スペースやコスとの面で枚葉縦型搬送
が望ましいが、製造装置は縦型と横型が存在するのでク
リーン度が維持できる有効な方向転換装置がなかった。
また大型化するパネルを非接触の状態でハンドリングす
る縦型や水平型ロボットもなかった。
【０００３】［発明が解決しようとする課題］フラット
パネルの枚葉縦型搬送ラインからパネルを引き込み縦向
けの状態で縦型対応の製造装置にパネルのエッジのみを
支えて移載する縦型ロボットがクリーン度を保つために
は望ましい。また横型対応の製造装置にかけるにはクリ
ーン度の維持のためにパネルのエッジ部のみを掴んで縦
横に方向転換させるのが理想的であるある。更に横向け
にしたパネルを同じくエッジ部のみをグリップして製造
装置に出し入れするロボットが望ましい。本発明はこれ
らの課題を解決するものである。
パネルの枚葉縦型搬送ラインからパネルを引き込み縦向
けの状態で縦型対応の製造装置にパネルのエッジのみを
支えて移載する縦型ロボットがクリーン度を保つために
は望ましい。また横型対応の製造装置にかけるにはクリ
ーン度の維持のためにパネルのエッジ部のみを掴んで縦
横に方向転換させるのが理想的であるある。更に横向け
にしたパネルを同じくエッジ部のみをグリップして製造
装置に出し入れするロボットが望ましい。本発明はこれ
らの課題を解決するものである。
【０００４】［課題を解決するための手段］フラットパ
ネル（１）を縦向けに搬送する駆動ローラーやベルトに
よる搬送コンベヤ（２，２’）と多孔質材料の背面から
空気を送り、パネルを非接触の状態で縦向けの状態に保
つ浮上ユニット（３、３’）を備える。パネルの方向転
換装置（１０）には駆動ローラーコンベヤ（１１）、パ
ネルの進行方向の正確な位置を出すための上下動作機能
付のプッシャー（１５）と左右動作機能付のパネル受け
（１６）、上下動機能を持つ下部ローラー（１４）とパ
ネルの動きを押さえる上部ローラー（１３）、パネルを
縦方向から横方向に転換する方向転換機構（１７）、パ
ネルが横方向になった時に非接触の状態でたわみを防止
する装置内浮上ユニット（１２）を備える。横向けにな
ったパネルを製造装置に出し入れするためのロボット
（２０）にはロボットハンド（２１）にパネルのがたつ
きを押さえるためのスライド動作をするエッジクランプ
機構（２３，２３’）及びストッパー（２４）とパネル
のたわみ防止用ハンド内浮上ユニット（２２）を備え
る。縦型ロボットにはパネル（１）の荷重を支えるハン
ド部爪（２８）、パネルを固定する吸着パッド（２
７）、パネルのたわみ防止用ハンド内浮上ユニット（２
２’）を備える。搬送コンベヤ、方向転換装置、ロボッ
トに取りつけられる浮上ユニットは多孔質材料の背面か
ら空気を送り込んで、空気でパネルを押すことによって
非接触の状態を保つものであるが、この方法以外に小さ
い無数の穴を明けた浮上ユニットから空気を吹き出す方
法や超音波発生装置によって、非接触の状態を保つ方法
でも本目的は達成できる。
ネル（１）を縦向けに搬送する駆動ローラーやベルトに
よる搬送コンベヤ（２，２’）と多孔質材料の背面から
空気を送り、パネルを非接触の状態で縦向けの状態に保
つ浮上ユニット（３、３’）を備える。パネルの方向転
換装置（１０）には駆動ローラーコンベヤ（１１）、パ
ネルの進行方向の正確な位置を出すための上下動作機能
付のプッシャー（１５）と左右動作機能付のパネル受け
（１６）、上下動機能を持つ下部ローラー（１４）とパ
ネルの動きを押さえる上部ローラー（１３）、パネルを
縦方向から横方向に転換する方向転換機構（１７）、パ
ネルが横方向になった時に非接触の状態でたわみを防止
する装置内浮上ユニット（１２）を備える。横向けにな
ったパネルを製造装置に出し入れするためのロボット
（２０）にはロボットハンド（２１）にパネルのがたつ
きを押さえるためのスライド動作をするエッジクランプ
機構（２３，２３’）及びストッパー（２４）とパネル
のたわみ防止用ハンド内浮上ユニット（２２）を備え
る。縦型ロボットにはパネル（１）の荷重を支えるハン
ド部爪（２８）、パネルを固定する吸着パッド（２
７）、パネルのたわみ防止用ハンド内浮上ユニット（２
２’）を備える。搬送コンベヤ、方向転換装置、ロボッ
トに取りつけられる浮上ユニットは多孔質材料の背面か
ら空気を送り込んで、空気でパネルを押すことによって
非接触の状態を保つものであるが、この方法以外に小さ
い無数の穴を明けた浮上ユニットから空気を吹き出す方
法や超音波発生装置によって、非接触の状態を保つ方法
でも本目的は達成できる。
【０００５】［発明の実施の形態］
（イ）フラットパネルは浮上ユニット（３）から吹き出
された空気の圧力で縦向けの状態なったまま搬送コンベ
ヤ（２）によって方向転換装置（１０）に送り込む。方
向転換装置（１０）内でも、駆動ローラーコンベヤ（１
１）と同じく装置内浮上ユニット（１２）によってパネ
ルを定位置まで引き込む。（図１、図２） （ロ）製造装置（４）ではパネルの受け渡しに精密な精
度が必要な場合が多く、正確な位置出しのために、プッ
シャー（１５）でパネルをパネル受け（１６）に押し当
てて、パネル進行方向（Ｘ方向）の正確な位置だしを行
う。（図４） （ハ）同時にＹ方向の位置出しと方向転換時のパネルの
ずれを防止するために下部ローラー（１４）を上昇させ
て、上部ローラー（１３）でパネル（１）を挟み込む。
（図４） （ニ）方向転換機構（１７）はパネル（１）を縦向けの
状態から横向けに転換させる。（図３） （ホ）ロボット（２０）はパネル（１）下面の空間（２
５、２５’、２５”）にロボットハンド（２１）を伸ば
すと共に上昇させる。この動作によって、パネルは複数
のハンド内浮上ユニットによってわずかに浮上した状態
になるが、同時にスライド機能を持つエッジクランプ機
構（２３、２３’）を働かせて、パネル（１）のエッジ
部を固定させる。エッジクランプ機構と上部ローラー
（１３）、下部ローラー（１４）で４面のエッジを固定
するが、パネル中間部は浮上ユニットが働いているので
非接触の状態を保っている。ロボットは製造装置（４）
のパネル受けの方向にあわせて伸縮や旋回及びロボット
（２０）の走行などの動作を行ってパネルを移載する。
（図３，図５、図６、図７） （ヘ）製造装置（４）でパネルの処理が終われば、パネ
ルの製造装置（４）への供給とは逆の動作を行う。即ち
ロボット（２０）により製造装置（４）からパネルを取
り出して、方向転換装置（１０）に載せ、方向転換装置
はパネルを横から縦向けに方向転換する。縦向けのパネ
ルは駆動ローラーコンベヤ（１１）によって、搬送コン
ベヤ（２’）に送り込まれる。（図１） （ト）造装置（４）へのパネルの出し入れの速度やサイ
クルタイムを上げるためには、方向転換装置（１０，１
０’）を２段にして処理の終わったパネルを方向転換装
置（１０）に置き、供給されてきたパネルを方向転換装
置（１０’）から取って製造装置にかけることができ
る。更に方向転換装置は変更せずに、ロボットハンド
（２１）にロボットハンド（２１’）を加えて処理の終
わったパネルと供給パネルの動作を同時に行うことによ
ってサイクルタイムを向上させることもできる。（図
９、図１０） （チ）縦型製造装置にパネルを立てたまま出し入れする
場合には縦型ロボットのハンド部の爪（２８）でパネル
を掬い取り、同時に吸着パッド（２７）でパネルの上面
を吸着することでパネルを固定する。パネルのたわみは
ハンド内浮上ユニット（２２’）で非接触状態に保つこ
とで安定的に移載動作を行う。（図８）
された空気の圧力で縦向けの状態なったまま搬送コンベ
ヤ（２）によって方向転換装置（１０）に送り込む。方
向転換装置（１０）内でも、駆動ローラーコンベヤ（１
１）と同じく装置内浮上ユニット（１２）によってパネ
ルを定位置まで引き込む。（図１、図２） （ロ）製造装置（４）ではパネルの受け渡しに精密な精
度が必要な場合が多く、正確な位置出しのために、プッ
シャー（１５）でパネルをパネル受け（１６）に押し当
てて、パネル進行方向（Ｘ方向）の正確な位置だしを行
う。（図４） （ハ）同時にＹ方向の位置出しと方向転換時のパネルの
ずれを防止するために下部ローラー（１４）を上昇させ
て、上部ローラー（１３）でパネル（１）を挟み込む。
（図４） （ニ）方向転換機構（１７）はパネル（１）を縦向けの
状態から横向けに転換させる。（図３） （ホ）ロボット（２０）はパネル（１）下面の空間（２
５、２５’、２５”）にロボットハンド（２１）を伸ば
すと共に上昇させる。この動作によって、パネルは複数
のハンド内浮上ユニットによってわずかに浮上した状態
になるが、同時にスライド機能を持つエッジクランプ機
構（２３、２３’）を働かせて、パネル（１）のエッジ
部を固定させる。エッジクランプ機構と上部ローラー
（１３）、下部ローラー（１４）で４面のエッジを固定
するが、パネル中間部は浮上ユニットが働いているので
非接触の状態を保っている。ロボットは製造装置（４）
のパネル受けの方向にあわせて伸縮や旋回及びロボット
（２０）の走行などの動作を行ってパネルを移載する。
（図３，図５、図６、図７） （ヘ）製造装置（４）でパネルの処理が終われば、パネ
ルの製造装置（４）への供給とは逆の動作を行う。即ち
ロボット（２０）により製造装置（４）からパネルを取
り出して、方向転換装置（１０）に載せ、方向転換装置
はパネルを横から縦向けに方向転換する。縦向けのパネ
ルは駆動ローラーコンベヤ（１１）によって、搬送コン
ベヤ（２’）に送り込まれる。（図１） （ト）造装置（４）へのパネルの出し入れの速度やサイ
クルタイムを上げるためには、方向転換装置（１０，１
０’）を２段にして処理の終わったパネルを方向転換装
置（１０）に置き、供給されてきたパネルを方向転換装
置（１０’）から取って製造装置にかけることができ
る。更に方向転換装置は変更せずに、ロボットハンド
（２１）にロボットハンド（２１’）を加えて処理の終
わったパネルと供給パネルの動作を同時に行うことによ
ってサイクルタイムを向上させることもできる。（図
９、図１０） （チ）縦型製造装置にパネルを立てたまま出し入れする
場合には縦型ロボットのハンド部の爪（２８）でパネル
を掬い取り、同時に吸着パッド（２７）でパネルの上面
を吸着することでパネルを固定する。パネルのたわみは
ハンド内浮上ユニット（２２’）で非接触状態に保つこ
とで安定的に移載動作を行う。（図８）
【０００６】［発明の効果］液晶ガラス基板などのフラ
ットパネルはパネルを水平方向にして２０枚程度をカセ
ットに入れて搬送しているが、パネルの大型化と薄型化
によってパネルが割れ易くなり、水平方向のハンドリン
グが困難になってきている。本発明はパネルを縦向けに
して搬送及びハンドリングするものであり、更に大型
化、薄型化されるパネルの取り扱いを可能にするもので
ある。また製造装置もパネルを枚葉で処理するものが大
半であり、本発明によってカセットを使うことなく製造
装置に直接枚葉でパネルの供給と回収が可能になるの
で、余分なパネルのバッファーを持つ必要がなくなり、
製造工程の流れが速くなる。また横向きのパネルを縦向
けにすることによって、搬送やハンドリングに要するス
ペースが大幅に削減できるので、高価なクリーンルーム
の投資額削減とクリーン化のための省エネルギー化に貢
献する。本発明はフラットパネル製造工場合理化に有効
なパネルハンドリング設備である。
ットパネルはパネルを水平方向にして２０枚程度をカセ
ットに入れて搬送しているが、パネルの大型化と薄型化
によってパネルが割れ易くなり、水平方向のハンドリン
グが困難になってきている。本発明はパネルを縦向けに
して搬送及びハンドリングするものであり、更に大型
化、薄型化されるパネルの取り扱いを可能にするもので
ある。また製造装置もパネルを枚葉で処理するものが大
半であり、本発明によってカセットを使うことなく製造
装置に直接枚葉でパネルの供給と回収が可能になるの
で、余分なパネルのバッファーを持つ必要がなくなり、
製造工程の流れが速くなる。また横向きのパネルを縦向
けにすることによって、搬送やハンドリングに要するス
ペースが大幅に削減できるので、高価なクリーンルーム
の投資額削減とクリーン化のための省エネルギー化に貢
献する。本発明はフラットパネル製造工場合理化に有効
なパネルハンドリング設備である。
【図１】搬送コンベヤ、方向転換装置、ロボットの平面
図である。
図である。
【図２】搬送コンベヤの断面図である。
【図３】方向転換装置の断面図である。
【図４】方向転換装置の正面図である。
【図５】方向転換装置とロボットの平面図である。
【図６】ローラーによるパネル受け部の詳細断面図であ
る。
る。
【図７】水平型ロボットのハンド部の詳細断面図であ
る。
る。
【図８】縦型ロボットの側面図である。
【図９】２段式方向転換装置の側面図である。
【図１０】ロボット２台方式の側面図である。
１ フラットパネル ２、２’搬送コンベヤ
３ 浮上ユニット ４ 製造装置 １０、１０’方向転換装置 １１ 駆動ローラ・コンベ
ヤ １２ 装置内浮上ユニット １３ 上部ローラー
１４ 下部ローラー １５ プッシャー １６ パネル受け
１７ 方向転換機構 ２０ ロボット ２１、２１’ロボットハン
ド ２２、２２’ハンド内浮上ユニット ２３，２３’
エッジクランプ機構 ２４ ストッパー ２５，２５’、２５”パネ
ル下面空間 ２６ ロボットハンド内チャンバー ２７ 吸着パ
ッド ２８ ハンド部爪
３ 浮上ユニット ４ 製造装置 １０、１０’方向転換装置 １１ 駆動ローラ・コンベ
ヤ １２ 装置内浮上ユニット １３ 上部ローラー
１４ 下部ローラー １５ プッシャー １６ パネル受け
１７ 方向転換機構 ２０ ロボット ２１、２１’ロボットハン
ド ２２、２２’ハンド内浮上ユニット ２３，２３’
エッジクランプ機構 ２４ ストッパー ２５，２５’、２５”パネ
ル下面空間 ２６ ロボットハンド内チャンバー ２７ 吸着パ
ッド ２８ ハンド部爪
【手続補正書】
【提出日】平成１４年５月１３日（２００２．５．１
３）
３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｓ
Ｆターム(参考） 2H088 FA17 FA30 MA20
2H090 HC18
3C007 AS01 BS10 BS15 DS01 ES02
ES17 ET08 EV02 EV05 EV30
EW16 FS01 HS11 HS30 NS12
5F031 CA05 FA02 FA07 FA14 FA18
FA21 GA06 GA08 GA10 GA15
GA24 GA32 GA35 GA38 GA50
GA53 GA63 KA02 PA18 PA23
Claims (3)
- 【請求項１】液晶ガラス基板などのフラットパネルのエ
ッジ部のみを保持して、パネルの中間部のたわみを非接
触の状態を保つために、空気の圧力又は超音波を利用し
て支え、パネルを縦と横に自在に方向転換させる装置 - 【請求項２】液晶ガラス基板などのフラットパネルのエ
ッジ部のみをグリップして、パネル中間部のたわみを空
気の圧力又は超音波を利用して非接触の状態で支えるハ
ンドを持ったフラットパネル水平移載ロボット - 【請求項３】縦向け状態のフラットパネルの底面を爪で
受け、上面を吸着パッドで吸い付けて、中間部のパネル
のたわみを空気の圧力又は超音波を利用して非接触の状
態で支えるハンドを持ったフラットパネル縦型移載ロボ
ット
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339996A JP2003104545A (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | フラットパネルの方向転換装置及びエッジグリップ式ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339996A JP2003104545A (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | フラットパネルの方向転換装置及びエッジグリップ式ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003104545A true JP2003104545A (ja) | 2003-04-09 |
Family
ID=19154263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001339996A Pending JP2003104545A (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | フラットパネルの方向転換装置及びエッジグリップ式ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003104545A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005340399A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Zosen Corp | ガラス基板の作業台装置 |
| JP2006327819A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の移載装置および移載方法 |
| KR100865823B1 (ko) | 2005-03-29 | 2008-10-28 | 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 | 유리판의 이동 탑재 장치, 삽입 방법, 삽입 장치 및 유리판 수납용 상자형 용기의 위치 조정 장치 |
| JP2008277613A (ja) * | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Ihi Corp | 基板ハンドリング装置、基板搭載方法、基板取出方法 |
| KR100905447B1 (ko) | 2007-12-24 | 2009-07-02 | 주식회사 톱텍 | 평판 디스플레이 패널의 수평공급장치 |
| JP2010006545A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | 分岐浮上コンベア及び基板浮上搬送システム |
| WO2011046129A1 (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-21 | ローツェ株式会社 | 薄板状物の把持装置、および薄板状物の把持方法 |
| KR101041061B1 (ko) | 2003-12-16 | 2011-06-13 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 장치 |
| KR101112509B1 (ko) * | 2003-08-21 | 2012-02-24 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송 시스템 |
| KR101112508B1 (ko) | 2003-07-08 | 2012-06-27 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 판형체 반송 장치 |
| WO2018054383A1 (zh) * | 2016-09-26 | 2018-03-29 | 清华大学 | 晶圆传输装置 |
| CN111620115A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-09-04 | 中建材轻工业自动化研究所有限公司 | 一种气浮翻转设备 |
-
2001
- 2001-10-02 JP JP2001339996A patent/JP2003104545A/ja active Pending
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