KR101112509B1

KR101112509B1 - 반송 시스템

Info

Publication number: KR101112509B1
Application number: KR1020040065862A
Authority: KR
Inventors: 이케하타요시테루; 오노다카요시; 모리모토유이치
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2003-08-21
Filing date: 2004-08-20
Publication date: 2012-02-24
Also published as: TW200524801A; CN101767720A; TWI295658B; KR101152708B1; KR20110079581A; US7344350B2; CN1583531B; CN101767720B; US20050042070A1; KR20050020704A; CN1583531A

Abstract

추진력 부여 수단의 구성을 간소하게 하여 추진력 부여 수단의 중량을 가볍게 할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 반송물(2)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여, 반송물(2)을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 상기 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지를 받는 반송물(2)에 대해서 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)을 구비하고, 추진력 부여 수단(4)을, 반송물(2)에서의 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측(2b)에 대해서 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성한다.

반송물, 청정 공기, 수평 자세, 송풍식 지지 수단, 추진력 부여 수단, 반송 장치, 편측 구동식

Description

반송 시스템{TRANSPORTING SYSTME}

도 1은 실시예 1에서의 판 모양체 반송 장치의 사시도.

도 2는 실시예 1에서의 반송 유닛의 정면 단면도.

도 3은 실시예 1에서의 반송 유닛의 정면 단면의 일부 확대도.

도 4는 실시예 1에서의 반송 유닛의 정면 단면의 일부 확대도.

도 5는 실시예 1에서의 반송 유닛의 측면 단면도.

도 6은 실시예 1에서의 반송 유닛의 평면도.

도 7은 실시예 1에서의 수납 프레임의 측면 단면도.

도 8은 실시예 1에서의 추진력 부여 수단의 정면 단면도.

도 9는 실시예 1에서의 추진력 부여 수단의 측면 단면도.

도 10은 실시예 2에서의 반송 유닛의 정면 단면도.

도 11은 실시예 2에서의 반송 유닛의 정면 단면의 일부 확대도.

도 12는 실시예 2에서의 반송 유닛의 평면도.

도 13은 실시예 2에서의 반송 유닛의 평면도.

도 14는 실시예 3에서의 반송 유닛의 정면 단면도.

도 15는 실시예 3에서의 유리 기판을 기울어진 자세로 지지하는 작용도.

도 16은 실시예 4에서의 반송 시스템의 사시도.

도 17은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛의 사시도.

도 18은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛의 배면도.

도 19는 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛의 일부 확대도.

도 20은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛의 측면도.

도 21은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛의 평면도.

도 22는 실시예 4에서의 추진력 부여 수단의 측면도.

도 23은 실시예 4에서의 추진력 부여 수단의 배면도.

도 24는 실시예 4에서의 추진력 부여 수단의 일부 확대도.

도 25는 실시예 4에서의 정풍판을 나타낸 도면.

도 26은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 수단의 수평 반송 상태와 기립 반송 상태를 나타낸 도면.

도 27은 실시예 4에서의 수평 반송 유닛으로부터 자세 변경용 반송 유닛으로 유리 기판이 옮겨지는 상태를 나타낸 도면.

도 28은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 유닛으로부터 기립 반송 유닛으로 유리 기판이 옮겨지는 상태를 나타낸 도면.

도 29는 실시예 4에서의 반송 시스템의 제어 블록도.

도 30은 실시예 4에서의 반송 시스템의 플로 차트.

도 31은 실시예 4에서의 자세 변경용 반송 수단의 가로축 심지의 위치를 변경한 상태를 나타낸 도면.

도 32는 구별 실시예에서의 반송 유닛의 정면 단면도.

도 33은 구별 실시예에서의 반송 유닛의 정면 단면의 일부 확대도.

[부호의 설명]

(2) 유리 기판(반송물) (2b) 추진측(일단측)

(2c) 외단측 (3) 송풍식 지지 수단

(4) 추진력 부여 수단 (5) 지지프레임

(6a) 자세 변경용 반송 수단(반송 수단) 케이스체

(8) 수납 프레임 (8a) 내벽

(9) 유닛용 프레임 (10) 케이스 측벽

(12) 제진필터 (13) 송풍 팬(송풍 수단)

(14) 팬 필터 유닛(송풍 유닛)

(15) 정풍판(청정 공기 공급부)

(17) 규제 지지 롤러(규제 지지부)

(20) 반송 커버 (21) 외부 배출구

(23) 서브 송풍 유닛 (24) 구동 롤러(구동부)

(24a) 대경부(수취부) (25) 구동 모터

(27) 전동축 (28) 평 기어

(29) 출력 기어 (30) 입력 기어

(33) 규제 롤러(규제부) (42) 다공체

(42a) 환기통 (43) 필터

(43a) 돌기부 (45) 요동용 실린더

(47) 수평용 지지 프레임 (48) 기립용 지지 프레임

H 반송 시스템 P 가로축 심지

본 발명은 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여, 상기 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지를 받는 상기 반송물에 대해서 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하는 반송 장치에 관한 것이다.

이와 같은 반송 장치는, 액정 디스플레이용의 유리 기판 등의 반송물을 반송하기 위한 것이며, 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지되어 있는 반송물에 대해서, 추진력 부여 수단에 의해 추진력을 부여함으로써, 반송물을 반송한다.

종래의 반송 장치에서는, 추진력 부여 수단을, 반송물에서의 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 양단측에 대해 추진력을 부여함으로써, 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송물이 반송되어 있었다(예를 들면, 특개 2002-321820호 공보 참조). 또, 종래, 이와 같은 반송 장치로, 반송 수단에 의해 반송물을 기립 자세로 지지하는 것도 있었다(예를 들면, 특개 2002-308423호 공보 참조).

상기와 같은 반송 장치에서는, 추진력 부여 수단에, 반송물의 가로폭 방향에서의 일단측에 추진력을 부여하는 기구와 일단측의 가로폭 방향에서의 반대측의 타 단측에 추진력을 부여하는 기구와의 한 쌍의 기구를 구비할 필요가 있거나 그 한 쌍의 기구의 한 쪽으로부터 다른 쪽에 동력을 전달하는 기구가 필요하기도 하여, 추진력 부여 수단의 구성이 복잡한 것으로 되어, 추진력 부여 수단의 중량이 무거운 것으로 되어 있었다.

본 발명의 목적은, 추진력 부여 수단의 구성을 간소하게 하여 추진력 부여 수단의 중량을 가볍게 할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

또, 예를 들면, 반송물로서 액정용의 유리 기판을 반송하는 경우, 재단 시에는 유리 기판을 수평 자세로 하는 편이 이것을 실시하기 쉽다. 한편, 상처나 결함 등의 검사 시에는 유리 기판이 기립 자세인 편이 이것을 실시하기 쉽다. 따라서, 유리 기판을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 지지해서 반송하는 반송 수단을 구비한 수평 반송 장치와, 유리 기판을 기립 자세로 지지해서 반송하는 반송 수단을 구비한 기립 반송 장치를 구비하는 것이 바람직하다. 즉, 수평 상태로 재단한 유리 기판을 수평 반송 장치의 반송 수단에 의해 수평 자세로 지지하면서 반송 방향에 반송하고, 그 반송된 수평 자세의 유리 기판을, 수평 반송 장치로부터 기립 반송 장치에 주고받고, 이 기립 반송 장치의 반송 수단에 의해 기립 자세로 지지하면서 반송되는 유리 기판에 대해서 검사를 행하면, 재단과 검사의 양쪽 모두의 작업이 실시하기 쉽고 편리하다.

그리고, 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에서의 유리 기판의 주고받기에 사용되는 반송 장치로서는, 수평 반송 장치의 반송 수단에 지지되어 있는 유리 기판의 측부와 접해서 위치 어긋남을 규제하면서, 그 하면을 접하는 상태에서 건져 올리고, 또한, 그 건져 올린 유리 기판의 자세를 변경하여 기립 반송 장치에 주고받는 기구가 고려된다. 그러나, 이와 같은 구성의 반송 장치의 경우에는, 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에 유리 기판을 주고받을 때에 유리 기판이 손상하기 쉬울 우려가 있다.

또, 반송물을 반송하는 반송 라인을 구성할 때, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 상태와, 반송물을 기립 자세로 반송하는 상태로 전환하는 것이 가능하도록 하면, 예를 들면, 얇아서 파손하기 쉬운 반송물을 반송하려면, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 상태로 해서, 반송물의 파손을 억제하고, 또, 두껍고 튼튼한 반송물을 반송하려면, 반송물을 기립 자세로 반송하는 상태로 해서, 반송 도중의 반송물을 보기 쉽게 하는 등, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 이점과 반송물을 기립 자세로 반송하는 이점이 얻어지게 된다.

따라서, 본 발명의 제2의 목적은, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 상태와, 반송물을 기립 자세로 반송하는 상태로 전환하는 것으로 할 수 있는 반송 라인을 구성할 때에, 편리하게 사용할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

또, 다른 목적은, 반송물의 자세를 수평 자세 또는 대략 수평 자세와 기립 자세와의 사이로 변경하면서 반송하는 것을 효율적으로 실시할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 점에 있다.

본원 발명의 반송 장치는 일 특징에 의하면, 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여, 상기 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단과, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지를 받는 상기 반송물에 대해서 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하는 반송 장치로서,

상기 추진력 부여 수단은 상기 반송물의, 상기 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측에 대해 추진력을 부여하는 편측 구동식이다.

즉, 추진력 부여 수단은 편측 구동식으로서 구성되어 있으므로, 일단측에 대해 추진력을 부여하는 구성으로 되고, 반대측의 타단측에 추진력을 부여할 필요가 없다. 따라서, 추진력 부여 수단의 구성을 간소하게 하여 추진력 부여 수단의 중량을 가볍게 할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 반송물의, 추진력이 부여되는 일단측의 측면에 접하여, 상기 가로폭 방향으로 이동하는 반송물을 받아들이기 위한 수취부를 구비하며 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 반송물을, 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측보다도 상기 가로폭 방향의 타단측이 위쪽에 위치하도록 기울어진 자세로 지지한다.

그러므로, 반송물은, 반송물의 자중에 의해 기울기 하방으로 추진력이 부여되어 반송물의 경사에 따라 이동하려고 하지만, 수취부가 반송물의 측면에 접함으로써 이것을 규제할 수 있다.

따라서, 반송물의 가로폭 방향에서의 한 쪽 측으로의 이동을 수취부에 의해 규제할 수 있어 반송물의 가로폭 방향의 타단측으로의 이동을 반송물의 자중에 의 해 이동하기 어렵게 되도록 할 수 있으므로, 반송물을 반송할 때에 반송물이 가로폭 방향에 어긋나게 되어 버리거나, 기울거나 할 가능성이 적게 되어, 반송물을 원활하게 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단의 청정 공기 공급부가, 상기 반송 방향에서 보아, 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측에 대응하는 측만큼 하방에 위치하도록 배치됨으로써, 상기 반송물을 상기 기울어진 자세로 지지한다.

따라서, 송풍식 지지 기구의 구성을 변경하지 않고 반송물을 기울어진 자세로 지지할 수 있으므로, 반송물을 기울어진 자세로 지지하는 구성으로 하기 쉬운 반송 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측보다 상기 가로폭 방향의 타단측 쪽의 청정 공기를 많이 공급함으로써, 상기 반송물을 상기 기울어진 자세로 지지한다.

즉, 송풍식 지지 수단의 자세를 바꿀 필요가 없고, 또, 송풍식 지지 수단의 구성을 거의 바꾸는 일없이, 반송물을 기울어진 자세로 지지할 수 있으므로, 송풍 장치를 반송물을 기울어진 자세로 지지하는 구성으로 변경하기 쉽다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 반송물에서의 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측과는 가로폭 방향에 있어서 반대측의 측면에 접하여, 상기 반송물의 가로폭 방향으로의 이동을 규제하는 규제부가 구비되어 있다.

규제부에 의해, 반송물이 가로폭 방향의 추진력 부여 수단으로부터 멀어지는 측으로 이동하는 것을 규제할 수 있으므로, 반송물을 보다 안정된 상태로 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 규제부가 상기 가로폭 방향으로 위치 조절 가능하게 구성되어 있다.

즉, 반송물의 가로폭 방향의 크기로 따라, 규제부를 가로폭 방향으로 위치 조절함으로써, 반송물의 가로폭 방향에서의 크기가 커지면 규제부가 방해로 되어 반송물을 반송할 수가 없게 되거나 반송물의 가로폭 방향에서의 크기가 작아지면 규제부와 반송물의 측면과의 간격이 커져 반송물의 가로폭 방향으로의 규제를 충분히 실시할 수 없거나 하는 것이 없어져, 가로폭 방향의 크기가 상이한 다양한 사이즈의 반송물에 대해서 원활하게 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 추진력 부여 수단이 상기 반송물의 하면을 접촉 지지해서 추진력을 부여하는 접촉식의 구동부를 구비하고 있다.

즉, 추진력 부여 수단에서의 접촉식의 구동부에 의해, 반송물의 하면을 지지하면서 추진력을 부여하는 것이므로, 송풍식 지지 수단과의 협동에 의해 반송물을 지지함으로써 반송물을 보다 안정된 상태로 지지할 수 있고, 또, 반송물의 두께 방향의 자중에 의해 반송물의 하면이 구동부에 꽉 눌리므로 마찰력이 높아져, 반송물에 대한 추진력의 부여도 확실하게 행하는 것으로 할 수 있어, 반송물을 원활하게 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 구동부가 상기 수취부를 구비하고 있다.

즉, 수취부는 구동부에 구비되어 있으므로, 수취부를 별도 설치할 필요가 없 어져, 어느 정도 반송 장치의 구성을 복잡화시키지 않고 수취부를 구비하는 것으로 할 수 있고 또, 반송물의 두께 방향의 자중에 의해 반송물의 하면이 구동부에 꽉 눌려 반송물의 가로폭 방향의 자중에 의해 반송물의 측면이 구동부에 꽉 눌리므로 마찰력이 더욱 높아져, 반송물에 대한 추진력의 부여도 보다 확실하게 행하는 것으로 할 수 있어, 반송물을 원활하게 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 먼지를 제거하는 제진필터와, 상기 제진필터를 통해 상기 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있다.

따라서, 송풍 장치와 제진필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 반송물의 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 된다.

따라서, 제작의 용이화가 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2의 목적을 달성하기 위한 반송 장치는, 본 발명의 일 특징에 의하면, 송풍식 지지 수단에 의해 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급함으로써 비접촉 상태로 지지한 반송물에 대해서 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성된 반송 수단이 구비되어 있는 반송 장치로서, 상기 반송 수단이, 상기 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 지지하는 수평 반송 상태와, 반송물을 기립 자세로 지지하는 기립 반송 상태로 변경 가능하다.

즉, 반송 수단이 수평 반송 상태로 변경된 상태에서는, 반송물은 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지를 받으면서 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력이 부여되어 반송 수단이 기립 반송 상태로 변경된 상태에서는, 반송물은 기립 자세로 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지를 받으면서 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 부여할 수 있다.

따라서, 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에 반송물을 주고받도록 하는 반송 시스템을 구성했을 경우에, 그 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에서의 반송물의 수수에 청구항 1에 기재된 반송 장치(이하, 수평 반송 장치나 기립 반송 장치와 구별하기 위해서 청구항 1의 반송 장치를 자세 변경용 반송 장치라 칭한다)를 사용함으로써, 수평 반송 장치의 반송 수단과 자세 변경용 반송 장치의 반송 장치와의 사이에 반송물을 반송할 때나 기립 반송 장치의 반송 수단과 자세 변경용 반송 장치의 반송 수단과의 사이에 반송할 때, 그리고 반송물을 수평 자세로부터 기립 자세 및 기립 자세로부터 수평 자세에 자세 변경시킬 때에는, 반송물을 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지할 수 있으므로, 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에 반송물을 주고받을 때에 반송물을 손상시켜 버릴 가능성을 저감할 수 있다.

또, 자세 변경용 반송 장치를 복수개 배열하여 구비하여, 자세 변경용 반송 장치의 반송 수단끼리의 사이에 주고받도록 반송물을 반송하는 반송 라인을 구성함 으로써, 예를 들면, 얇아서 파손하기 쉬운 반송물을 반송하려면, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 수평 반송 상태로 해서, 반송물의 파손을 억제하고, 또, 두껍고 튼튼한 반송물을 반송하려면, 반송물을 기립 자세로 반송하는 기립 반송 상태로 해서, 반송 도중의 반송물을 보기 쉽게 하는 등, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 이점과 반송물을 기립 자세로 반송하는 이점이 얻어지게 된다.

따라서, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송한 후, 기립 자세로 변경하여 반송하는 등, 반송물의 자세를 변경하면서 반송하는 반송 시스템을 구성할 때나, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 상태와, 반송물을 기립 자세로 반송하는 상태로 전환하는 것으로 할 수 있는 반송 라인을 구성할 때에, 편리하게 사용할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있는 반송 장치를 얻기에 이르렀다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 반송 수단이, 상기 반송 방향에 따르는 가로축 심지 주위의 요동에 의해, 상기 수평 반송 상태와 상기 기립 반송 상태로 변경 가능하다.

이로써, 반송 수단을 수평 자세 상태와 기립 자세 상태로 변경 가능하게 하는 구성의 간소화가 도모된다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 반송 수단을 상기 수평 반송 상태로부터 상기 기립 반송 상태로 변경할 때에, 상기 반송물의 하면을 향해 공급하는 청정 공기의 양을 감소시킨다.

송풍식 지지 수단에 의한 반송물에 대한 지지력은 수평 상태에 비해 기립 자세 쪽이 작아서 끝나는 것이므로, 송풍식 지지 수단에 의해 기립 자세의 반송물의 하면에, 수평 자세의 반송물의 하면에 공급하는 양과 동량의 정상 공기를 공급하면, 반송물이 너무 떠올라 버려, 반송물을 기립 자세로 반송하고 있는 경우에는 송풍식 지지 수단의 존재측과는 반대측으로 반전하거나 반송물의 위쪽을 커버로 가리고 있는 경우에는 그 커버에 접하여 끝날 가능성이 있었다.

그래서, 반송 수단이 수평 반송 상태로부터 기립 반송 상태로 자세 변경하는 것에 수반해서, 송풍식 지지 수단의 반송물의 하면을 향해 공급하는 청정 공기의 공급량을 감소시킴으로써 반송물에 대한 지지력을 저감시킬 수가 있어 반송물에 대해서 자세에 적절한 청정 공기의 양을 공급할 수 있고, 반송 수단을 기립 반송 상태로 했을 때에, 반송물이 송풍식 지지 수단의 존재측과는 반대측으로 반전하거나 다른 물건과 접할 가능성을 없앨 수가 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 추진력 부여 수단이, 상기 반송물의 하면에서의 상기 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측에 접촉 지지해서 추진력을 부여하는 접촉식의 구동부를 구비한 편측 구동식이다.

즉, 추진력 부여 수단으로서는, 반송물에서의 가로폭 방향에서의 일단측에 대해 추진력을 부여하는 구성으로 되고, 상기 일단측의 가로폭 방향에서의 반대측의 타단측에 추진력을 부여할 필요가 없기 때문에 구성의 간소화나 경량화를 도모할 수 있다.

또, 추진력 부여 수단에서의 접촉식의 구동부에 의해, 반송물의 하면을 지지 하면서 추진력을 부여하는 것이므로, 송풍식 지지 수단과의 협동에 의해 반송물을 지지함으로써 반송물을 보다 안정된 상태로 지지할 수 있고, 또, 반송물의 두께 방향의 자중에 의해 반송물의 하면이 구동부에 꽉 눌리므로 마찰력이 높아져, 반송물에 대한 추진력의 부여도 확실하게 행하는 것으로 할 수 있어, 반송물을 원활하게 반송할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 반송물에 대한 추진력이 부여되는 일단측의 측면에 접하여, 상기 수평 반송 상태에서는 상기 가로폭 방향으로의 상기 반송물의 이동을 규제하고, 상기 기립 반송 상태에서는 상기 반송물을 지지하는 규제 지지부를 구비하며, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 수평 반송 상태에 있어서, 상기 반송물을 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측보다도 상기 가로폭 방향의 타단측이 위쪽에 위치하도록 기울어진 자세로 지지한다.

즉, 반송 수단이 수평 반송 상태에서는, 추진력이 부여되는 일단측보다도 가로폭 방향의 타단측이 위쪽에 위치하도록 기울어진 자세로 지지하기 때문에, 반송물은, 그 자중에 의해 기울기 하방으로 추진력이 부여되어 반송물의 경사에 따라 이동하려고 하지만, 규제 지지부가 반송물의 측면에 접함으로써 이것을 규제할 수 있다. 또, 반송 수단이 기립 반송 상태에서는, 규제 지지부를 이용하여 기립 자세의 반송물을 지지할 수 있다. 따라서, 부재의 겸용화에 의해 구성을 간소화 할 수 있다.

즉, 송풍 수단과 제진필터를 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 반송물의 반송 방향으로 배열하여 구비하는 것만으로, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정 공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있으므로, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단한 것으로 되며, 따라서, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 송풍식 지지 수단이, 상기 제진필터를 통한 청정 공기의 통과를 허용하고, 또한, 상기 제진필터측으로의 다른 물건의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐체를 구비하여 구성되어 있다.

상기 차폐체가, 상기 제진필터를 통한 청정 공기의 통과를 허용하는 다공체와, 상기 다공체로부터 상기 제진필터측에 위치하는 필터를 구비하여 구성되어 있다.

즉, 제진필터를 통한 청정 공기의 통과를 허용하고, 또한, 제진필터로의 다른 물건의 낙하를 저지하는 차폐체가 구비되어 있으므로, 그 차폐체에서의 다공체에 의해 큰 다른 물건의 제진필터측으로의 낙하를 저지할 수 있어 제진필터의 파손을 방지할 수 있고, 또, 차폐체에서의 필터에 의해 작은 다른 물건의 제진필터측으로의 낙하를 저지할 수 있다. 또한, 반송물로서 유리 기판을 반송하는 경우, 그 반송되는 유리 기판의 상처나 결함 등의 검사를 행하기 위해, 반송 장치의 반송면, 즉, 반송되는 유리 기판의 하면과 대향하는 면을 흑색으로 하는 것이 요구되지만, 차폐체를 흑색과 함으로써 반송면을 용이하게 흑색으로 할 수 있다.

본 발명의 일 특징에 의하면, 상기 반송 수단의 반송 상측 또는 반송 하측에, 수평 또는 기립 자세로 반송물을 반송하고, 이 반송 수단과의 사이에 반송물을 반송하는 반송 자세 고정형의 반송 장치가 형성되어 있다.

따라서, 수평 반송 장치의 반송 수단과 기립 반송 장치의 반송 수단과의 사이에 반송물을 주고받을 때에 반송물을 손상시켜 버릴 우려를 억제할 수 있으므로, 반송물의 자세를 수평 자세 또는 대략 수평 자세와 기립 자세와의 사이로 변경하면서 반송하는 것을 양호하게 실시할 수 있는 반송 시스템을 제공할 수 있는 것에 이르렀다.

이하, 반송물의 예로서 유리 기판(2)을 사용한 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 이하에 복수의 실시예를 설명하지만, 복수의 실시예에서 개시되는 특징을 조합 것은, 모순이 생기지 않는 이상 본 발명의 범위에 포함된다.

〔실시예 1〕

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 장치 H에서는, 상하2단의 반송 유닛(1)이 유리 기판(2)의 반송 방향에 늘어놓아져 있다. 반송 방향의 상류측에 위치하는 반송 유닛(1)에 이재된 유리 기판(2)을 하류측에 위치하는 반송 유닛(1)으로 반송하기 위해서, 이것을 송풍식 지지 수단(3)으로 지지하면서, 추진력 부여 수단(4)에 의해 추진력을 준다. 다른 개소에서 상류측에 위치하는 반송 유닛(1)으로의 유리 기판(2)의 이재나 하류측에 위치하는 반송 유닛(1)으로부터 다른 개소에의 이재는, 도 시하지 않은 장치에 의해 행해진다. 또, 상하2단의 반송 유닛 중, 위쪽의 유닛은 반송 방향에 따르는 가로축 심지 P주위에 요동 가능하다.

위쪽의 반송 유닛(1)과 아래쪽의 반송 유닛(1)에서의 반송 방향은, 동방향이어도 되고 역방향이어도 되며, 필요에 따라 변경이 가능하다. 즉, 예를 들면, 위쪽의 반송 유닛(1)으로 아래쪽의 반송 유닛(1)과의 반송 방향을 동방향으로서, 위쪽의 반송 유닛(1)으로 아래쪽의 반송 유닛(1)으로 같은 공정을 행할 수 있다. 또, 아래쪽의 반송 유닛(1)의 반송 방향을 위쪽의 반송 유닛(1)의 반송 방향과는 역방향으로서, 위쪽의 반송 유닛(1)에 의해 반송한 유리 기판(2)이 불량이었을 경우에, 아래쪽의 반송 유닛(1)에 의해 반송 원래로 되돌리거나 할 수 있다.

도 2, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 유닛(1)의 각각은, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 대해서 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 케이스체(7)를 구비하고 있다. 그리고, 추진력 부여 수단(4)은, 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측에 대해 추진력을 부여하는 편측 구동식이다. 이후, 이 일단측을 추진측(2b)이라 칭한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 케이스체(7)는, 송풍식 지지 수단(3)을 지지해서 평면에서 보다 대략 직사각형의 유닛용 프레임(9)과 유닛용 프레임(9)의 가로폭 방향의 일단측에 반송 방향에 따라 구비한 수납 프레임(8)과, 수납 프레임(8)과는 반대측에 있어서, 반송 방향에 따라 뻗는 케이스 측벽(10)과, 수납 프레임(8)의 상단부로부터 케이스 측벽(10)의 상단부에 걸쳐서 갖출 수 있는 반송 커버(20)를 구비하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 수납 프레임(8)은 반송 방향에서 보아 각통형으로 구성되어 있다. 그 각통의 2개의 측면은, 유닛용 프레임(9)에 연결되어 있는 내벽(8a)과 개폐 가능한 수납 커버(8c)로 구성되어 있다. 유닛용 프레임(9)과 수납 프레임(8)과 케이스 측벽(10)과 반송 커버(20)에 의해 반송 공간 A가 형성되어 있다. 또한, 수납 프레임(8) 내에 수납 공간 B가 형성되어 있다. 상기 유닛용 프레임(9)은, 프레임 부재를 가지는 지지 프레임분(9a)과, 그 지지 프레임분(9a)으로부터 하방에 위치하여, 외부 공기를 반송 공간 A 내에 도입하는 공기 도입구(11)를 형성한 판 모양의 판 모양 프레임분(9b)으로 구성되어 있다. 수납 프레임(8)의 하벽(8b)에는, 수납 공간 B의 공기를 외부에 배출하는 외부 배출구(21)를 구비하는 동시에, 이 외부 배출구(21)를 폐쇄하는 상태에서 송풍 기능과 제진 기능을 가지는 서브 송풍 유닛(23)이 구비되어 있다. 이 서브 송풍 유닛(23)에 의해 수납 공간 B 내의 공기가 외부에 배출된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 케이스체(7)는, 반송 방향에서 보아 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하도록, 경사용 지지 부재(19)에 의해 경사상태로 지지되어 있다. 그리고, 케이스체(7)가 경사형 태로 지지됨으로써, 송풍식 지지 수단(3)도 경사 자세로 유닛용 프레임(9)에 지지되어 있다. 도 2에서는, 반송 유닛(1)의 경사를 알기 쉽게 하기 위해서, 송풍식 지지 수단(3)을 포함한 반송 유닛(1)전체를, 5˚ 기울여 도시하고 있지만, 본원 발명을 실시하려면, 반송 유닛(1)의 경사 0.5˚ 정도의 약간의 경사로 양호하다.

상기 반송 공간 A 및 상기 수납 공간 B는, 반송 방향으로 배열하여 설치한 상류측의 반송 유닛(1)과 하류측의 반송 유닛(1)으로 서로 연통하고 있다. 반송 장치 H에서의 가장 상류측에 위치하는 반송 유닛(1)에서는, 반송 공간 A 및 수납 공간 B의 상류측 단부가 도시하지 않은 폐쇄 부재에 의해 폐쇄되어 있다. 가장 하류측에 위치하는 반송 유닛(1)에서는, 반송 공간 A 및 수납 공간 B의 하류측 단부가 폐쇄부재에 의해 폐쇄되어 있다. 따라서, 반송 공간 A는, 유닛용 프레임(9)과 상기 수납 프레임(8)의 내벽(8a)과 반송 커버(20)와 폐쇄 부재에 의해 거의 밀폐 상태로 형성되고, 수납 공간 B는, 수납 프레임(8)과 폐쇄 부재에 의해 대략 밀폐 상태로 형성되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 송풍식 지지 수단(3)은, 반송 공간 A에 설치되어 있고, 먼지를 제거하는 제진필터(12)와, 상기 제진필터(12)를 통해 유리 기판(2)의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 팬(13)을 일체적으로 조립한 팬 필터 유닛(14)을, 반송 방향과 반송 방향에 직교하는 가로폭 방향과에 배열하여 구성되어 있다. 송풍 팬(13)은 송풍 수단의 바람직한 일례이다. 그리고, 도 6에 나타낸 바와 같이, 가로폭 방향에 2개 늘어놓은 팬 필터 유닛(14)이 반송 방향으로 3열 늘어놓을 수 있고, 송풍식 지지 수단(3)에는 합계 6개의 팬 필터 유닛(14)이 구비되어 있다.

상기 송풍식 지지 수단(3)에 대하여 더욱 상술하면, 도 3, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 팬 필터 유닛(14)이, 1개의 송풍 팬(13)과 이 1개의 송풍 팬(13)의 위쪽을 덮는 1개의 제진필터(12)를 일체적으로 조립해 구성되어 있다. 그 팬 필터 유닛(14)의 상부측에 위치되어 상기 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 정풍을 행하는 청정 공기 공급부로서의 정풍판(15)이, 도 1, 도 6에 나타낸 바와 같이, 6개의 팬 필터 유닛(14)의 위쪽을 덮도록 구비되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)은, 6개의 팬 필터 유닛(14)과 1개의 정풍판(15)으로 구성되어 있다. 송풍 팬(13)은 전동 모터에 의해 구동된다. 정풍판(15)에는, 팬 필터 유닛의 바로 위에 위치하는 개소에 펀칭 프레스(punching press)에 의해 형성된 환기통(15a)이 구비되어 있다. 여기서, 정풍이란, 공기를 광범위하게 도입하여 균일하게 분배하는 것을 의미한다. 또, 송풍식 지지 수단(3)에 대비할 수 있는 6개의 송풍 팬은 같은 회전 속도로 구동하도록 구성되어 있고, 정풍판(15)을 통과하여 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정 공기의 양이 반송 방향에 있어서도 가로폭 방향에 있어서도 대략 동량의 청정 공기를 공급하도록 송풍식 지지 수단(3)이 구성되어 있다.

그리고, 상기한 바와 같이, 상기 반송 유닛(1)이, 반송 방향에서 보아 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하도록 한 경사형 태로 지지되어 있으므로, 그 반송 유닛(1)의 송풍식 지지 수단(3)은, 반송 방향에서 보아, 유리 기판(2)의 추진측(2b)에 대응하는 측만큼 하방에 위치시키도록 형성되어 있다. 따라서, 도 2 ~ 도 4에 나타낸 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)에 가로폭 방향에 따라 설치되는 정풍판(15)도, 마찬가지로 경사져 있다.

다음에, 상기 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 유리 기판(2)에 대해서 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4), 유리 기판(2)의 추진측(2b)에 대해서 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성되어 있 다. 추진력 부여 수단(4)에는, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지해서 추진력을 부여하는 구동부로서의 구동 롤러(24)가 구비되어 있다. 그리고, 이 구동 롤러(24)에는, 도 4, 도 9에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)의 추진측(2b)의 측면에 접하여, 가로폭 방향으로 이동하는 유리 기판(2)의 수취부로서의 대경부(24a)가 구비되어 있다.

추진력 부여 수단(4)은, 도 4, 도 8, 도 9, 도 10에 나타낸 바와 같이, 전동 모터(25)와 이 전동 모터(25)의 출력 기어와 서로 맞물리는 평 기어(28)를 구비한 전동축(27)과, 전동축(27)에 대비할 수 있던 출력 기어(29)와 서로 맞물리는 입력 기어(30)를 구비한 다수의 출력축(26)을 구비하고 있다. 그리고, 전동 모터(25) 및 전동축(27)은 상기 수납 공간 B 내에 배치되어 있고, 상기 출력축(26)은, 수납 공간 B측 및 반송 공간 A측에 각각 돌출하는 상태로 상기 내벽(8a)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 출력축(26)의 수납 공간 B에 돌출하는 부분에는 상기 입력 기어(30)가 구비되어 있고 출력축(26)의 반송 공간 A에 돌출하는 부분에는 상기 구동 롤러(24)가 구비되어 있다.

따라서, 송풍 팬(13)의 하방으로부터 흡인된 공기가, 송풍 팬(13)에 의해, 제진필터(12)를 통하고, 정풍판(15)의 환기통(15a)을 통하여 청정 공기로서 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급된다. 이 공급된 청정 공기에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 거의 전역이 지지되어 있다. 또, 추진력 부여 수단(4)에 의해, 유리 기판(2)의 추진측(2b)의 하면이 구동 롤러(24)에 의해 접촉 지지되어 있다.

그리고, 구동 롤러(24)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 유리 기판(2)의 추진측(2b)에 대해서 반송 방향으로의 추진력이 부여되어 유리 기판(2)이 반송된다.

그리고, 반송 방향에 있어서도 가로폭 방향에 있어서도 정풍판(15)으로부터 대략 동량의 청정 공기가 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되어, 유리 기판(2)은 정풍판(15)에 대해서 거의 일정한 간격을 가지고 지지를 받게 된다. 따라서, 정풍판(15)이 유리 기판(2)의 추진측(2b)에 대응하는 측만큼 하방에 위치되도록 형성되어 있으므로, 유리 기판(2)도 추진측(2b)보다도 타단측(2c)이 위쪽에 위치하도록 기울어진 자세로 지지되어 있다. 그리고, 이 기울어진 자세의 유리 기판(2)은, 0.5˚ 정도의 약간의 경사이며, 대략 수평 자세에 포함된다.

따라서, 유리 기판(2)이 기운 자세로 지지됨으로써, 유리 기판(2)의 자중에 의해 추진력 부여 수단(4)을 구비한 측으로 이동하려고 하지만, 그 유리 기판(2)의 이동은 구동 롤러(24)의 대경부(24a)와의 접에 의해 규제된다. 또, 유리 기판(2)의 타단측에는 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려워지므로, 반송 종료 시에 유리 기판을 멈출 때 등에, 유리 기판이 가로폭 방향에 어긋나 버리거나 반송 방향에 대해서 자세가 비스듬하게 되어 버리거나 하는 것을 막을 수가 있다. 또, 유리 기판(2)의 자중에 의해 유리 기판(2)이 구동 롤러(24)에 꽉 눌리므로, 구동 롤러가 표류할 가능성이 적은 상태로 유리 기판(2)을 반송할 수 있다. 구동 롤러(24)에 대경부(24a)를 설치하는 대신에, 이하에 설명되는 도 23에서 나타내는 기구를 이용하는 일도 가능하다.

〔실시예 2〕

상기 실시예 1에서는, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 기울어진 자세로 저지하고, 구동 롤러(24)에 대경부(24a)를 구비하는 것에 따라, 유리 기판(2)이 가로폭 방향으로 이동하는 것을 방지했지만, 다음과 같이 구성하여, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 수평 자세로 지지한 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 이동을 방지하도록 구성해도 된다. 그리고, 실시예 1과 같게 구성되는 부분에는, 실시예 1에서 같은 부호를 붙여 설명은 생략한다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 케이스체(7)가, 반송 방향에서 보아 수평용 지지 부재(37)에 의해 수평 상태로 지지를 받고, 그 케이스체(7)에 지지를 받는 송풍식 지지 수단(3)도 수평 자세로 지지되어 있다. 따라서, 정풍판(15)도 수평 자세로 설치되어 있다.

따라서, 반송 방향에 있어서도 가로폭 방향에 있어서도 정풍판(15)으로부터 대략 동량의 청정 공기가 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되어, 유리 기판(2)은 정풍판(15)에 대해서 대략 일정한 간격을 가지고 지지를 받게 된다. 따라서, 정풍판(15)이 수평 상태에 형성되어 있으므로, 유리 기판(2)은 수평 자세로 지지되어 있다.

그리고, 반송 공간 A에, 유리 기판(2)의 추진측(2b)과는 가로폭 방향에 있어서 반대측의 타단측(2c)의 측면에 접하여, 유리 기판(2)의 가로폭 방향으로의 이동에 대한 규제부로서의 다수의 규제 롤러(33)가 구비되어 있다. 이 규제 롤러(33)의 각각은 상기 가로폭 방향으로 위치 조절 가능하다.

다음에, 상기 규제 롤러(33)의 위치 조절 구조에 대하여 설명한다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 상기 규제 롤러(33)가 롤러 지지프레임(34)에 설치된 세로축 심지 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다. 그 롤러 지지프레임(34)이 유닛용 프레임(9)에 지지된 전동식의 모터(35)에 의해 가로폭 방향으로 슬라이드 이동 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 모터(35)에 의해 롤러 지지체(34)를 가로폭 방향으로 슬라이드 이동시킴으로써, 규제 롤러(33)가 가로폭 방향으로 위치 조절 되도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 롤러 지지프레임(34)과 역풍식 지지 수단(3)이 간섭하지 않게, 송풍식 지지 수단(3)에는 롤러 지지프레임(34)의 세로 프레임부(34a)에 대응하는 개소에 凹입부(3a)를 형성하고 있다.

따라서, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 한 쪽 측으로의 이동은 구동 롤러(24)의 대경부(24a)에 의해 규제되어 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 타단측으로의 이동규제 롤러(33)에 의해 규제되어 있으므로, 반송 종료 시에 유리 기판(2)을 정지시킬 때 등에, 유리 기판(2)이 가로폭 방향에 어긋나 버리거나 반송 방향에 대해서 자세가 비스듬하게 되어 버리거나 하는 것을 막을 수가 있다.

그리고, 도 12, 도 13에 나타낸 바와 같이, 규제 롤러(33)의 가로폭 방향에서의 위치를 조절하여, 구동 롤러(24)의 대경부(24a)와 규제 롤러(33)와의 간격을, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 크기로 맞추는 것에 의해, 반송되는 유리 기판(2)이 회전하거나 가로폭 방향에 어긋나는 것이 없어져, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 크기로 관계없이 원활하게 반송할 수 있다.

〔실시예 3〕

상기 실시예 1에서는, 반송 방향에서 보아, 송풍식 지지 수단(3)을 경사 자 세에 저지하여, 청정 공기 공급부를 유리 기판(2)의 타단측(2c)에 대응하는 측만큼 위쪽에 위치하는 경사 자세에 설치하여, 유리 기판(2)을 기울어진 자세로 저지하도록 구성했지만, 정풍판(15)을, 상기 추진력 부여 수단(4)에 의해 추진력이 부여되는 추진측(2b)으로부터 상기 가로폭 방향의 타단측(2c)이 청정 공기를 많이 공급하도록 설치하여, 유리 기판(2)을 상기 기울어진 자세로 저지하도록 구성해도 된다. 그리고, 실시예 1과 같게 구성되는 것에 대하여는, 실시예 1과 같은 부호를 붙여 설명은 생략한다.

즉, 도 14에 나타낸 바와 같이, 상기 케이스체(7)는, 반송 방향에서 보아, 수평용 지지 부재(37)에 의해 수평 상태로 지지되고, 케이스체(7)가 수평 상태로 지지됨으로써, 송풍식 지지 수단(3)도 수평 자세로 유닛용 프레임(9)에 지지되어 있다. 따라서, 송풍식 지지 수단(3)에 가로폭 방향에 따라 설치되는 정풍판(15)도, 반송 방향에서 보아, 수평 자세에 형성되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)을 포함한 반송 유닛(1) 전체가 수평 상태에 구비되어 있다.

송풍식 지지 수단(3)에 대비할 수 있는 6개의 송풍 팬(13)에 있어서, 가로폭 방향으로 추진력 부여 수단(4)을 구비하고 있는 측에 위치하는 3개의 송풍 팬(13)으로부터, 반대측에 위치하는 3개의 송풍 팬(13)이 빠른 회전 속도로 구동하여 송풍량이 많이 되도록 구성되어 있다. 그리고, 정풍판(15)은 반송 방향에서 보아 가로폭 방향에 줄선 2개의 송풍 팬에 대해서 같은 간격을 멀리해서 설치되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)이, 상기 추진측(2b)으로부터 가로폭 방향의 타단측(2c)이 청정 공기를 많이 공급하도록 설치하여, 유리 기판(2)을 기울어진 자세로 저지하도 록 구성되어 있다.

요컨데, 도 15에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)의 추진측(2b)으로부터 타단측(2c) 편에 많은 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)의 추진측(2b)으로부터 타단측(2c)을 크게 떠오르게 함으로써 유리 기판(2)을 기울어진 자세로 하고 있다.

따라서, 실시예 1과 같게, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 한 쪽 측으로의 이동은 구동 롤러(24)의 대경부(24a)에 의해 규제되어 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 타단측에는 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려워지므로, 반송 종료 시에 유리 기판(2)을 정지시킬 때 등에, 유리 기판(2)이 가로폭 방향에 어긋나 버리거나 반송 방향에 대해서 자세가 비스듬하게 되어 버리거나 하는 것을 막을 수가 있다. 또, 유리 기판(2)의 자중에 의해 유리 기판(2)이 구동 롤러(24)에 꽉 눌리므로, 구동 롤러(24)가 표류할 가능성이 적은 상태로 유리 기판(2)을 반송할 수 있다.

〔실시예 4〕

이하, 제4 의 실시예를, 반송물로서 액정용의 유리 기판을 반송하는 반송 시스템에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 제1 실시예와 같은 부품에 관해서는, 같은 참조 번호를 사용하고, 설명은 생략된다.

도 16에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템 H에는, 유리 기판(2)을 기립 자세로 반송하는 기립 반송 유닛(1C)과, 이 기립 반송 유닛(1C)의 반송 상측과 반송 하측과의 양측으로 설치된 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 반송하는 수평 반송 유닛(1B)과, 수평 반송 유닛(1B)과 기립 반송 유닛(1C)과의 사이에 유리 기판(2)을 주고받는 자세 변경용 반송 유닛(1A)이 형성되어 있다.

즉, 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 반송 수단(6a)(이하, 자세 변경용 반송 수단(6a)라고 함)은, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 지지하는 수평 반송 상태와, 유리 기판(2)을 기립 자세로 지지하는 기립 반송 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다. 이것이 수평 반송 상태로 변경되어 있는 것으로, 수평 반송 유닛(1B)과의 사이에 대략 수평 자세의 유리 기판(2)을 서로 반송할 수 있다. 또, 자세 변경용 반송 수단(6a)이 기립 반송 상태로 변경되어 있으므로, 기립 반송 유닛(1C)과의 사이에 기립 자세의 유리 기판(2)을 서로 반송할 수 있다. 기립 반송 유닛(1C)의 횡측 편에는, 기립 반송 유닛(1C)에 의해 반송되는 기립 자세의 유리 기판(2)의 상처나 균열 등의 검사를 행하는 검사 영역 F가 형성되어 있다.

즉, 자세 변경용 반송 수단(6a)은 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 지지하는 수평 반송 상태와 유리 기판(2)을 기립 자세로 지지하는 기립 반송 상태로 변경 가능하게 구성되어 있는 반송 장치가 자세 변경용 반송 유닛(1A)이며, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 지지하는 반송 자세 고정형의 반송 장치가 수평 반송 유닛(1B)이며, 유리 기판(2)을 기립 자세로 지지하는 반송 자세 고정형의 반송 장치가 기립 반송 유닛(1C)이다.

또, 도 29에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템 H에는, 반송 시스템 H의 운전 개시, 운전 정지 및 반송 정지를 지령하는 인위 조작식의 운전 변환 스위치 S나, 이 운전 전환 스위치 S로부터의 지령에 따라, 이들 자세 변경용 반송 유닛(1A), 수평 반송 유닛(1B), 기립 반송 유닛(1C)의 운전을 제어하는 제어장치 E도 구비되어 있다.

자세 변경용 반송 유닛(1A)에 대하여 설명한다.

도 17 ~ 도 19에 나타낸 바와 같이, 자세 변경용 유닛(1A)은 상기 자세 변경용 반송 수단(6a)과, 이것을 지지하는 지지 프레임(5)으로 구성되어 있다. 그리고, 자세 변경용 반송 수단(6a)은 가로폭 방향의 일단측에 위치하여 반송 방향에 따르는 가로축 심지 P주위에 요동시킴으로써, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 지지하는 수평 반송 상태와 유리 기판(2)을 기립 자세로 지지하는 기립 반송 상태로 변경하도록, 상기 지지 프레임(5)에 연결 지지되어 있다.

자세 변경용 반송 수단(6a)에는, 제1 실시예에서의 장치와 마찬가지로, 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 청정 공기를 공급하여, 유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과, 그 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 대해서 반송 방향에서의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 케이스체(7)가 구비되어 있다. 그리고, 추진력 부여 수단(4)은, 유리 기판(2)에서의 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측에 대해서만 추진력을 부여하는 편측 구동식으로 구성되어 있다. 이후, 이 유리 기판(2)에서의 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측을 추진측(2b)라고 칭한다. 또, 도 27, 도 28에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)의 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는지 아닌지를 검출하는 재물 센서 T가 구비되어 있다. 이 재물 센서 T는, 투광부로부터의 광이 수광부에 의해 수광되고, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하는 것을 검출하고, 투광부로부터의 광이 수광부에 의해 수광되면, 반송 경로 상에 유리 기판(2)이 존재하지 않 는 것을 검출한다. 그리고, 재물 센서 T는, 그 수나 설치 개소 등에 대해서는 필요에 따라 변경이 가능하고, 자세 변경용 반송 수단(6a) 상에 유리 기판(2)의 전체가 존재하는지 아닌지를 검출할 수 있는 것이면 된다.

상기 케이스체(7), 수납 프레임(8), 수납 공간 A 및 B는 각각 도 18과 도 19에서 나타낸 바와 같이, 제1 실시예에서의 것과 실질적으로 같다.

도 19, 도 23에 나타낸 바와 같이, 수납 프레임(8)의 내벽(8a)에는, 유리 기판(2)에서의 추진측(2b)의 측면에 접하여, 자세 변경용 반송 수단(6a)이 수평 반송 상태에서는 가로폭 방향으로의 유리 기판(2)의 이동을 규제하고, 자세 변경용 반송 수단(6a)이 기립 반송 상태에서는 유리 기판(2)을 지지하는 규제 지지부로서의 규제 지지 롤러(17)가 구비되어 있고, 이 규제 지지 롤러(17)는 조금 기울인 세로축 심지 주위에서 회전 가능하게 구성되어 있다.

상기 송풍식 지지 수단(3)은, 제1 실시예의 것과 구조가 같지만, 본 실시예에서는, 도 18, 도 20, 도 21에 나타낸 바와 같이, 가로폭 방향에 2개 늘어놓은 팬 필터 유닛(14)을 반송 방향에 2열 늘어놓을 수 있고, 송풍식 지지 수단(3)에는 합계 4개의 팬 필터 유닛(14)이 구비되어 있다. 그리고, 가로폭 방향에 줄선 2개의 송풍식 지지 수단(3)은, 예를 들면 추진력 부여 수단(4)이 존재하고 있는 측의 송풍식 지지 수단(3)에 대해서 추진력 부여 수단(4)이 존재하고 있지 않는 쪽의 송풍식 지지 수단(3)의 송풍량이 많아지도록, 개별적으로 청정 공기의 공급량을 변경 가능하도록 구성되어 있다.

팬 필터 유닛(14)의 상부측에 위치되어 제진필터(12)를 통한 청정 공기의 통 과를 허용하고, 또한 제진필터(12)측으로의 다른 물건의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐체로서의 정풍판(15)이, 도 17, 도 21에 나타낸 바와 같이, 4개의 팬 필터 유닛(14)의 위쪽을 덮도록 구비되어 있다. 즉, 송풍식 지지 수단(3)은, 4개의 팬 필터 유닛(14)과 1개의 정풍판(15)으로 구성되어 있다. 그리고, 송풍 팬(13)은, 이것에 대비할 수 있었던 전동 모터(13a)에 의해 회전된다.

도 25에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에서의 정풍판(15)은 제진필터(12)를 통한 청정 공기의 통과를 허용하는 다공체(42)와, 이 다공체(42)로부터 제진필터(12)측에 위치하는 도 25b 또는 도 25c에 나타낸 바와 같은 필터(43)의 다수를 구비하여 구성되어 있다. 다공체(42)는, 펀칭에 의해 다수의 환기통(42a)이 형성되어 있고, 필터(43)는 마찬가지로 구성된 2매의 다공체(42)의 사이에 협지하는 상태로, 그리고, 돌기부(43a)를 위쪽의 다공체(42)의 환기통(42a)의 하나에 계합해서 가로 방향으로의 위치 어긋남을 방지한 상태로 형성되어 있다.

다음에, 본 실시예에서의 추진력 부여 수단(4)은, 도 19, 도 22 ~ 도 24에 나타낸 바와 같이, 추진력 부여 수단(4)은, 유리 기판(2)의 하면(2a)에서의 추진측(2b)을 접촉 지지해서 추진력을 부여하는 접촉식의 구동부로서의 구동 롤러(24)를 구비한 편측 구동식으로 구성되어 있고, 실시예 1에 개시되는 것과 대략 같다.

다음에, 자세 변경용 반송 수단(6a)의 수평 반송 상태와 기립 반송 상태로 자세 변경하는 구성에 대하여 설명한다. 도 26a, 도 26b에 나타낸 바와 같이, 지지 프레임(5)에는 전동식의 요동용 실린더(45)를 구비하며 그 요동용 실린더(45)의 선단이 자세 변경용 반송 수단(6a)의 케이스체(7)에 연결되어 내려 이 요동용 실린더 (45)가 신축함으로써, 자세 변경용 반송 수단(6a)의 자세가, 도 26a에 나타낸 바와 같이 반송 방향 시에서 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하도록 조금 기울인 수평 반송 상태와, 도 26b에 나타낸 바와 같이 반송 방향 시에서 수직 자세로부터 수평 반송 상태 측에 조금 기울인 기립 반송 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다. 이 요동용 실린더(45)는 종래부터 존재하는 장치이며, 유압 실린더, 또는 공기 실린더를 가진다. 요동용 실린더(45) 대신에, 액츄에이터로서, 기어를 가지는 전동 모터와 서로 맞물리는 이빨을 가지는 로드를 구비한 것이어도 양호하다.

즉, 자세 변경용 반송 수단(6a)을 수평 반송 상태로 함으로써 송풍식 지지 수단(3)은 대략 수평 상태로 되고, 그 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지를 받는 유리 기판(2)은 대략 수평 자세로 지지를 받는다. 또, 자세 변경용 반송 수단(6a)을 기립 반송 상태로 함으로써 송풍식 지지 수단(3)도 기립 상태로 되어, 그 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지를 받는 유리 기판(2)은 기립 자세로 지지를 받는다.

그리고, 자세 변경용 반송 수단(6a)을 수평 반송 상태로부터 기립 반송 상태로 자세 변경시켜 자세 변경용 반송 수단(6a)의 각도가 커지면 커질수록, 상기 제어장치 E에 의해 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 공급되는 청정 공기의 양이 감소하도록 구성되어 있다. 또, 자세 변경용 반송 수단(6a)을 기립 반송 상태로부터 수평 반송 상태에 자세 변경시켜 자세 변경용 반송 수단(6a)의 각도가 작아지면 작아질수록, 상기 제어장치 E에 의해 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해 공급되는 청정 공기의 양이 증대하 도록 구성되어 있다.

따라서, 수평 반송 상태에서는, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역에 다량의 청정 공기가 공급되어 유리 기판(2)을 안정된 상태로 지지를 받아, 기립 반송 상태에서는, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)의 하면(2a)의 대략 전역에 소량의 청정 공기가 공급되어 유리 기판(2)이 너무 떠오르지 않게 지지할 수 있다.

유리 기판(2)의 반송에 대하여 설명하면, 수평 반송 상태에 있어서도 기립 반송 상태에 있어서도, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 하면(2a)의 대략 전면이 지지를 받고, 또한, 추진력 부여 수단(4)에 의해, 유리 기판(2)의 추진측(2b)의 하면(2a)이 구동 롤러(24)에 의해 접촉 지지되어 있다. 또한, 수평 반송 상태로부터 기립 반송 상태 또는 기립 반송 상태로부터 수평 반송 상태로 변경하는 도중에도 반송물을 송풍식 지지 수단(3)에 의해 비접촉 상태로 지지할 수 있다.

그리고, 구동 롤러(24)가 전동 모터(25)에 의해 구동 회전되는 것에 의해, 추진측(2b)에 대해서 반송 방향으로의 추진력이 부여되어 유리 기판(2)이 반송된다.

또, 수평 반송 상태에 있어서도 기립 반송 상태에 있어서도, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)은 기울어진 자세로 지지를 받게 되어, 유리 기판(2)의 자중에 의해 가로폭 방향에서의 경사 하방 측으로 되는 추진력 부여 수단(4)을 구비한 측으로 이동하려고 하지만, 그 유리 기판(2)의 이동상기 규제 지지 롤러(17)에 의해 받아들여진다. 따라서, 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 한 쪽 측으로의 이 동은 규제 지지 롤러(17)에 의해 규제되어 유리 기판(2)의 가로폭 방향의 타단측에는 유리 기판(2)의 자중에 의해 이동하기 어려워지므로, 반송 종료 시에 유리 기판(2)을 제동시킬 때 등에, 유리 기판(2)이 가로폭 방향에 어긋나 버리거나 반송 방향에 대해서 자세가 비스듬하게 되어 버리거나 하는 것을 막을 수가 있다.

자세 변경용 반송 유닛(1A)의 자세 변경용 반송 수단(6a)을 수평 반송 상태로 변경함으로써, 도 27에 나타낸 바와 같이, 이 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 반송 상측 또는 반송 하측에 설치한 수평 반송 유닛(1B)과의 사이에 유리 기판(2)을 반송할 수 있다. 또, 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 자세 변경용 반송 수단(6a)을 기립 반송 상태로 변경함으로써, 도 28에 나타낸 바와 같이, 이 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 반송 상측 또는 반송 하측에 설치한 기립 반송 유닛(1C)과의 사이에 유리 기판(2)을 반송할 수 있다.

수평 반송 유닛(1B) 및 기립 반송 유닛(1C)에 대하여 설명하면, 수평 반송 유닛(1B)은, 수평 반송 수단(6b)이 반송 방향 시에 의해 수납 프레임(8)을 구비하고 있는 측만큼 하방에 위치하도록 조금 기울인 수평 반송 상태로 수평용 지지 프레임(37)에 고정된 상태로 지지되어 구성되어 있고, 기립 반송 유닛(1C)은, 경사용 반송 수단(6c)이 반송 방향 시에 의해 수직 자세로부터 수평 반송 상태 측에 조금 기울인 기립 반송 상태로 고정된 상태로 지지되어 구성되어 있다. 그리고, 자세 변경용 반송 수단(6a)과 수평 반송 수단(6b)과 기립 반송 수단(6c)은 마찬가지로 구성된 반송 수단을 사용하여 구성되어 있고, 자세 변경용 반송 수단(6a)에는 재물 센서 T가 형성되어 있다.

상기 제어장치 E에 대하여 설명한다. 도 29에 나타낸 바와 같이, 제어장치 E는, 운전 변환 스위치 S로부터의 지령에 따라, 반송 시스템 H에 대한 운전 개시, 운전 정지 및 반송 정지를 제어하도록 구성한다. 즉, 제어장치 E는, 운전 변환 스위치 S로부터 운전 개시가 지령되면, 자세 변경용 반송 유닛(1A), 수평 반송 유닛(1B), 기립 반송 유닛(1C)의 각각에 있어서, 송풍식 지지 수단(3), 서브 송풍 유닛(23), 추진력 부여 수단(4)의 각각을 작동시켜, 반송 시스템 H의 운전을 개시시킨다. 또, 제어장치 E는, 운전 변환 스위치 S로부터 운전 정지가 지령되면, 자세 변경용 반송 유닛(1A), 수평 반송 유닛(1B), 기립 반송 유닛(1C)의 각각에 있어서, 송풍식 지지 수단(3), 서브 송풍 유닛(23), 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시켜, 반송 시스템 H의 운전을 정지시킨다. 그리고, 운전 변환 스위치 S로부터 반송 정지가 지령되면, 자세 변경용 반송 유닛(1A), 수평 반송 유닛(1B), 기립 반송 유닛(1C)의 각각에 있어서, 송풍식 지지 수단(3)의 작동을 유지시킨 채로 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시켜, 반송 시스템 H의 유리 기판(2)의 반송을 정지시킨다.

또, 제어장치 E는, 운전 변환 스위치 S로부터 운전 개시가 지령되어 있는 상태에 있어서는, 상기 재물 센서 T의 검출 결과에 따라, 자세 변경용 반송 유닛(1A)에서는, 송풍식 지지 장식 수단(3)의 청정 공기의 공급량을 변경시키거나 추진력 부여 수단(4)의 작동 개시 및 작동 정지시키거나 요동용 실린더(45)를 신축 작동시키거나 하고, 수평 반송 유닛(1B)이나 기립 반송 유닛(1C)에서는, 추진력 부여 수단(4)을 작동 개시 및 작동 정지시키거나 하도록 구성되어 있다.

그리고, 송풍식 지지 장식 수단(3)의 청정 공기의 공급량의 변경은, 송풍 팬(13)에서의 전동 모터(13a)의 구동 속도를 변경함으로써 행한다.

반송 시스템 H의 운전이 개시되는 것에 의해, 유리 기판(2)은, 반송 상측의 수평 반송 유닛(1B)으로부터 반송 하측의 수평 반송 유닛(1B)에 순차 옮겨져서 반송된다. 그리고, 또한 유리 기판(2)이 반송되면, 반송 하측의 수평 반송 유닛(1B)으로부터 수평 반송 상태의 자세 변경용 반송 유닛(1A)으로 옮겨진다.

이하, 운전 변환 스위치 S에 의해 운전 개시가 지령되어 반송 시스템 H의 운전이 개시되어 있는 상태에서의 제어장치 E의 자세 변경용 반송 유닛(1A)에 대한 제어 동작에 대하여 도 30에 나타내는 플로 차트에 따라 설명한다. 그리고, 수평 반송 유닛(1B)으로부터 자세 변경용 반송 유닛(1A)을 통하여 기립 반송 유닛(1C)에 반송하는 경우에 대하여 설명하고, 기립 반송 유닛(1C)으로부터 자세 변경용 반송 유닛(1A)을 통하여 수평 반송 유닛(1B)에 반송하는 경우에 대하여는 설명을 생략한다.

수평 반송 유닛(1B)으로부터 자세 변경용 반송용 유닛(1A)에 유리 기판(2)이 반송되어, 유리 기판(2)의 전체가 자세 변경용 반송 유닛(1A)으로 옮겨진 것을 재물 센서 T가 검출하는 검출 상태로 되면 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다. 그 후, 자세 변경용 반송 수단(6a) 상태를 기립 반송 상태로 하고, 요동용 실린더(45)를 신장 작동시키고 또한 송풍식 지지 수단(3)의 청정 공기의 공급량을 감소시킨다.

자세 변경용 반송 수단(6a)이 기립 반송 상태로 되면 기립 반송 유닛(1C)의 추진력 부여 수단(4)이 작동하고 있는 상태로 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜, 유리 기판(2)을 자세 변경용 반송 유닛(1A)으로부터 기립 반송 유닛(1C)에 반송시킨다. 그리고 자세 변경용 반송 유닛(1A)이 기립 반송 상태로 변경되면서부터 자세 변경용 반송 유닛(1A)의 추진력 부여 수단(4)이 작동한 시간이, 자세 변경용 반송 유닛(1A)으로부터 유리 기판(2)의 전체를 기립 반송 유닛(1C)으로 옮기기 위해 필요한 소정 시간이 경과하면, 자세 변경용 반송 수단(6a) 상태를 수평 반송 상태로 하고, 요동용 실린더(45)를 단축 작동시키고 또한 송풍식 지지 수단(3)의 청정 공기의 공급량을 증대시킨다.

그리고, 자세 변경용 반송 수단(6a)이 수평 반송 상태인 상태 이외로 도시하지 않은 수평 반송 유닛(1B)의 검출 수단에 의해 다음의 유리 기판(2)이 반송되어 오는 것이 검출되면, 그 유리 기판(2)이 자세 변경용 반송 유닛(1A)에 근접하기 전 막바지 위치까지 반송해서 수평 반송 유닛(1B)의 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지하고, 자세 변경용 반송 수단(6a)이 수평 반송 상태인 상태로 변경되면 수평 반송 유닛(1B)의 추진력 부여 수단(4)의 작동이 재개된다.

〔구별 실시예〕

(1) 상기 실시예 1에서는, 반송 방향에서 보아, 송풍식 지지 수단을 경사 자세로 지지하는데, 반송 유닛 전체를 경사 자세로 하였으나, 도 16에 나타낸 바와 같이, 케이스체(7)를 수평식 지지 부재(37)에 의해 수평 자세가 되도록 저지하고, 그 케이스체(7)에서의 유닛용 프레임(9)에 송풍식 지지 수단(3)을 경사 자세로 지지시키도록 구성해도 된다.

(2) 상기 실시예 1 ~ 3에서는, 구동부를 복수의 구동 롤러로 구성했지만, 타이밍 벨트 등의 무단 띠모양체에 의해 구성해도 된다. 그리고, 구동부를, 무단 띠모양체에 의해 구성하는 경우에는, 무단 띠모양체의 작용면에 길이 방향에 따라 일련의 돌기부를 형성하고, 그 돌기부를 가로폭 방향으로 이동하는 반송물에 대한 수취부로서도 된다.

(3) 상기 실시예 2에서는, 규제부를 복수의 규제 롤러로 구성했지만, 회전 가능한 무단 띠모양체에 의해 구성해도 되고, 또, 규제부를 케이스체에 가로폭 방향으로 위치 변경 가능하게 지지시켜도 된다. 즉, 예를 들면, 규제부를 규제 롤러로 구성하고, 그 규제 롤러를 케이스체의 케이스 측벽에 지지시킨 경우에는, 도 33에 나타낸 바와 같이, 케이스 측벽(10)에 고정한 지지 프레임(39)에 전동 실린더(40)을 지지시켜, 그 전동 실린더(40)의 선단부에 규제 롤러(33)를 회전 가능하게 지지시켜도 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 제진필터와 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을 예시했지만, 반드시 제진필터와 송풍 팬을 일체적으로 장착할 필요는 없고, 송풍 팬에 의해 송풍되는 공기를 제진필터에 안내하는 안내로 등을 설치하여, 제진필터와 송풍 팬을 별체에 의해 구성해 실시하는 일도 가능하다.

(5) 상기 실시예 1이나 3에서는, 청정 공기 공급부를 0.5˚ 기울였지만, 대상으로 되는 반송물 등에 따라, 이 각도 보다 크게, 또는 작게 기울여도 된다. 그리고, 도 2, 도 3, 도 4, 도 8, 도 16에 있어서는, 청정 공기 공급부(15)의 경사를 알기 쉽게 하기 위해서 5˚ 기울여 도시하고 있다.

(6) 상기 실시예 4에서는, 자세 변경용 반송 유닛(1A)을 사용하여 자세 변경용 반송용 유닛(1A)과 기립 반송용 반송 유닛(1B)과의 사이에 유리 기판(2)을 주고 받도록 한 반송 시스템 H를 구성했지만, 자세 변경용 반송 유닛(1A)만을 구비한 반송 라인을 구성해도 된다.

즉, 복수의 자세 변경용 반송 유닛(1A)을 반송 방향으로 배열하여 반송 라인을 구성하여, 예를 들면, 얇아서 파손하기 쉬운 반송물을 반송하려면, 반송물을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 반송하는 수평 반송 상태로 해서, 반송물의 파손을 억제하고, 또, 두껍고 튼튼한 반송물을 반송하려면, 반송물을 기립 상태로 반송하는 기립 반송 상태로 해서, 반송 도중의 반송물을 보기 쉽게 해도 된다.

(7) 상기별 실시예 6과 같이 구성하는 경우, 자세 변경용 반송 수단(6a)의 상태를, 수평 반송 상태와 기립 반송 상태 사이의 경사 반송 상태를 더한 3단 이상으로 변경 가능하게 구성해도 된다.

(8) 상기 실시예 4에서는, 자세 변경용 반송 수단(6a)의 요동축 심지 P를 가로폭 방향의 일단측에 위치시켰지만, 가로폭 방향의 일단측에 한정하는 것은 아니다. 즉, 자세 변경용 반송수역(6a)의 요동축 심지 P를, 도 31a에 나타낸 바와 같이 가로폭 방향의 중앙부에 위치시키거나 도 31b에 나타낸 바와 같이 자세 변경용 반송 수단(6a)으로부터 크게 하방으로 멀어진 개소에 위치시켜도 된다. 이와 같이 구성함으로써, 기립 반송 상태 시의 높이를 바꾸거나 전후 위치를 바꾸거나 할 수 있다.

또, 자세 변경용 반송 수단(6a)의 요동축 심지 P를, 전후에 복수 구비한 상 하에 복수 구비해서 사용 편리함이 좋은 것으로 해도 된다.

(9) 상기 실시예 4에서는, 송풍식 지지 수단(3)을, 제진필터(12)로 송풍 팬(13)을 일체적으로 조립한 팬 필터 유닛(14)의 복수에 의해 구성했지만, 제진필터(12)로 송풍 팬(13)을 별체로서 개별적으로 조립해 구성하여 송풍식 지지 수단을 구성해도 된다.

(10) 상기 실시예 4에서는, 구동부를 복수의 구동 롤러(24)에 의해 구성했지만, 구동부를 타이밍 벨트 등의 무단 띠모양체에 의해 구성해도 된다.

(11) 상기 모든 실시예에서는, 반송물로서, 액정용의 유리 기판으로 하였으나, 반도체의 웨이퍼 등이어도 좋고, 반송물의 형상이나 크기는 실시예에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에 의하면, 반송 장치를 추진력 부여 수단의 구성을 간소하게 하여 추진력 부여 수단의 중량을 가볍게 할 수 있다.

Claims

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송풍식 지지 수단에 의해 유리 기판의 하면을 향해 청정 공기를 공급함으로써 비접촉 상태로 지지한 상기 유리 기판에 대해서, 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 부여하도록 구성된 반송 수단을 구비하고, 상기 반송 수단의 반송 상류측 또는 반송 하류측에, 수평 또는 기립 자세로 상기 유리 기판을 반송하여 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 유리 기판을 반송하는 반송 자세 고정형의 반송 장치가 설치되어 있는 반송 시스템으로서,

상기 반송 수단은 상기 유리 기판을 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 지지하여 반송하는 수평 반송 상태와, 상기 유리 기판을 기립 자세로 지지하여 반송하는 기립 반송 상태 간의 변경이 가능하게 구성되어 있고,

상기 반송 수단을 상기 수평 반송 상태로부터 상기 기립 반송 상태로 변경함에 따라, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 상기 유리 기판의 하면의 대략 전체 영역을 향하여 공급하는 청정 공기의 양을 감소시키고 또한 상기 반송 수단을 상기 기립 반송 상태로부터 상기 수평 반송 상태로 변경함에 따라 상기 송풍식 지지 수단에 의해 상기 유리 기판의 하면의 대략 전체 영역을 향하여 공급하는 청정 공기의 양을 증대시키도록, 상기 송풍식 지지 수단의 동작을 제어하는 제어 수단이 구비되며,

상기 반송 수단의 반송 상류측에 수평 자세 또는 대략 수평 자세로 상기 유리 기판을 반송하여 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 유리 기판을 반송하는 상기반송 자세 고정형의 반송 장치가 설치되는 동시에 상기 반송 수단의 반송 하류측에 기립 자세로 상기 유리 기판을 반송하여 상기 반송 수단과의 사이에서 유리 기판을 반송하는 상기 반송 자세 고정형의 반송 장치가 설치되어 있거나; 또는 상기 반송 수단의 반송 상류측에 기립 자세로 상기 유리 기판을 반송하여 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 유리 기판을 반송하는 상기 반송 자세 고정형의 반송 장치가 설치되어 있는 동시에 상기 반송 수단의 반송 하류측에 수평 자세 또는 대략 수평 자체로 상기 유리 기판을 반송하여 상기 반송 수단과의 사이에서 상기 유리 기판을 반송하는 상기 반송 자세 고정형의 반송 장치가 설치되어 있는,

반송 시스템.
제10항에 있어서,

상기 반송 수단은 상기 반송 방향에 따르는 가로축 심지 주위의 요동에 의해, 상기 수평 반송 상태와 상기 기립 반송 상태로 변경 가능한, 반송 시스템.
제10항에 있어서,

상기 추진력 부여 수단은 상기 유리 기판의 하면에서의, 상기 반송 방향과 직교하는 가로폭 방향의 일단측에 접촉 지지해서 추진력을 부여하는 접촉식의 구동부를 구비한 편측 구동식인, 반송 시스템.
제12항에 있어서,

상기 유리 기판에 대한 추진력이 부여되는 일단측의 측면에 접하여, 상기 수평 반송 상태에서는 상기 가로폭 방향으로의 상기 유리 기판의 이동을 규제하고, 상기 기립 반송 상태에서는 상기 유리 기판을 지지하는 규제 지지부가 구비되고,

상기 송풍식 지지 수단은 상기 수평 반송 상태에 있어서, 상기 유리 기판을 상기 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되는 일단측보다도 상기 가로폭 방향의 타단측이 위쪽에 위치하도록 기울어진 자세로 지지하는, 반송 시스템.
제10항에 있어서,

상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진필터와, 상기 제진필터를 통해 상기 유리 기판의 하면을 향해 청정 공기를 공급하는 송풍 수단을 일체적으로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향으로 배열하여 구성되어 있는, 반송 시스템.
제14항에 있어서,

상기 송풍식 지지 수단은 상기 제진필터를 통한 청정 공기의 통과를 허용하고, 또한, 상기 제진필터측으로의 다른 물건의 낙하를 저지하도록 차폐하는 차폐체를 구비하여 구성되며,

상기 차폐체는 상기 제진필터를 통한 청정 공기의 통과를 허용하는 다공체와, 상기 다공체로부터 상기 제진필터측에 위치하는 필터를 구비하여 구성되어 있는 반송 시스템.
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